【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】流体制御装置を提供する。
【解決手段】入口１８、出口２０、および、この入口から出口に延びる流路２２が形成された弁箱１６と、弁箱に接続された、流体が通過するオリフィスを形成する弁座リング２４と、前記弁箱に接続され且つ内部空洞を有するケージ３０であって、流体が通過する少なくとも一つの流路を含むケージ３０と、ケージの前記内部空洞に進入しうるサイズにされ、軸に沿って開位置と閉位置との間を移動可能に構成された絞り要素１４であって、前記軸に実質的に平行なシール面５２が形成された絞り要素１４と、この絞り要素が実質的に閉位置にあるときに前記シール面に係止し、そうすることによって前記弁座リングのオリフィスを通過する流体の流れを制限するシール１２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体を簡単に製造できるようにすることである。
【解決手段】弁体４を、鋳鉄Ｆの芯材の全表面にゴムライニングＧを施し、流体通路の上流側と下流側に貫通する孔部を設けた筒形部材７と、筒形部材７の孔部の上流側と下流側をそれぞれ、ゴムライニングＧを施さない一対の蓋部材８とで閉塞することにより、ゴムライニングＧが水道水等に晒される表面領域を少なくして、ゴム添加剤の溶け出し量を抑制するソフトシール仕切弁の弁体４の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、流路（Ｆ）を気密式に遮断するためのバルブに関する。バルブは、バルブハウジング（１）と、バルブプレート（５）と、バルブプレート（５）を開放位置（Ｏ）と閉鎖位置（Ｃ）との間でシフトすることができる駆動部（７）とを有する。本発明によると、バルブは、連結位置（Ｋ）において、バルブプレート上のバルブプレート（５）の第一のシール（２１）に対して連結および分離することができ、係留位置（Ｐ）において、バルブハウジング（１）の係留部における係留部（８）の第二のシート（２２）に対して連結および分離することができる、シール支持部（３０）を有する。第一のシール（３１）が連結位置（Ｋ）および閉鎖位置（Ｃ）でバルブシート（４）に気密式に接触し、第一のシール（３１）とバルブプレート（５）上にある閉鎖表面（１３）との間に気密接続が形成されるように、第一のシール（３１）がシール支持部（３０）上に配置される。シール支持部（３０）は、第一の連結手段（３３）により、連結位置（Ｋ）でバルブプレート（５）の第一のシート（２１）に分離可能に連結することができる。シール支持部（３０）は、第二の連結手段（３４）により、係留位置（Ｐ）で係留部（８）の第二のシート（２２）に分離可能に連結することができる。
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動的な弁トリムの結合部を有する流体弁が開示される。流体弁と共に用いる装置は、流体弁のケージを保持するように構成された本体を含む。さらに、装置は、本体の外面の周囲において放射状に間隔をあけて突出する複数の突起を含む。複数の突起の各々は、本体と、流体弁に連結されたボンネットの内面との間に１つ以上の接触点を提供する。
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【課題】ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体を簡単で安価に製造可能とすることと、弁体の重量を軽減することである。
【解決手段】弁体４を、流体通路に対する上流側部と下流側部とを形成するカップ状体８を内向きに突き合わせて溶接した中空の殻構造とし、閉弁状態で弁箱の開口部および開口部での流体通路内面との間をシールするゴムシール材７を、弁体４が弁箱の開口部および開口部での流体通路内面と対向する外径側部分を覆う環状のものとすることにより、ゴムシール材７が水道水等に晒される表面領域を少なくして、ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体４を簡単で安価に製造可能とするとともに、弁体４の重量を軽減できるようにした。 （もっと読む）

【課題】弁体外周に形成されたゴムライニング層を保護するとともに、そのゴムライニング層からの物質の浸出を抑える。
【解決手段】弁箱４内に進退可能に設けた弁体１で弁孔２を開閉し、その弁体１の外周にゴムライニング層１３を形成した仕切弁装置において、前記弁体１に、前記ゴムライニング層１３の外周を覆う四フッ化エチレン樹脂からなるフッ素樹脂層１０を形成した。フッ素樹脂は、ゴムを構成する各種化学物質を通しにくい性質を有するので、前記ゴムライニング層１３をフッ素樹脂層１０で覆うことによって、そのゴムライニング層１３からの物質の浸出を抑えることができる。また、前記ゴムライニング層１３の外周にフッ素樹脂層を設けたことによって、弁体１と弁孔２が接する際における弾性を失うことなく、閉弁時における弁体１と弁孔２との密着度合いを維持できる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを安定させ、シール部材の劣化を防止することができるプラズマ処理装置のシール構造を提供する。
【解決手段】プラズマ発生室２の開口部をシールするゲートバルブは、バルブ弁体１６と、バルブステム１７と、バルブ弁体１６とプラズマ発生室２の隙間を密封する環状のシール部材１１、１２と、を備える。シール部材１１はプラズマ発生室２側にあり、直接プラズマ雰囲気に触れる。シール部材１１とシール部材１２とは接しておらず、間隙Ｓが存在する。バルブ弁体１６は、シール部材１１の長手方向に沿って複数のガス溝１３がある。ガス溝１３は、シール部材１１の長手方向にほぼ直交する方向にあり、間隙Ｓとプラズマ発生室２を連通している。プラズマ発生室２の壁に、間隙Ｓにガスを注入するガス注入通路１４が設けられる。シール部材１１の長手方向に沿って連続する凹部１５を備え、ガス注入通路１４のガス排出口と凹部１５を連結する。 （もっと読む）

【課題】改善された密閉能力を有するプロセスチャンバのためのバルブアセンブリの実施形態が提供される。
【解決手段】いくつかの実施形態において、プロセスチャンバのためのバルブアセンブリは、基板が搬送される、壁に設けられた開口を有する筐体と、開口を選択的に密閉するために、筐体の壁にほぼ平行な平面内において筐体に移動可能に接続されるドアと、ドアが閉じた位置にあるときに、壁にほぼ垂直な方向における、圧縮可能なシーリング部材の圧縮によって、その間の密閉を形成するためにドアの上側表面と筐体の対応する表面との間で少なくとも部分的に設けられた圧縮可能なシーリング部材と、筐体のプロセスチャンバの側において、圧縮可能なシーリング部材の環境への露出を制限するためのメカニズムを含む。 （もっと読む）

【課題】流体管に向かって動作される際に、ゴム部が、流体管の内周面に追随して弾性変形することにより流体管の内周面に亘って十分に水密性を維持できる耐腐食性の良い流体管の制水弁を提供する。
【解決手段】弁体５は、回動ネジを挿入する挿入孔３１が形成された基部６ａと、基部６ａから延設され穿孔を閉塞する蓋部６ｂと、上下流側に対向配置するように基部６ａから延設された一対の弁板部６ｃと、一対の弁板部６ｃの対向面間に挟持されるとともに少なくとも弁板部６ｃの表面及び蓋部６ｂの表面を被覆して形成され、流体管の内周面及び穿孔の周面に沿って水密に当接するゴム体７と、から構成されており、弁板部６ｃは、離型剤を介してゴム体７により被覆されている。 （もっと読む）

トリムを有する弁であって、該トリムは、複数の渦流路(201)からなり、各流路は、中央渦流室(202)からなり、３つの接線方向の流入路(203、204、205)を備える。流体が流入路(203、204、205)を通過し、渦流室(202)に入ると、流体が回転し始め、互いに衝突する。すなわち、流入路203を経由して流入した流れは、流入路204を経由して流入した流れに衝突し、流入路204を経由して流入した流れは流入路205を経由して流入した流れに衝突し、流入路205を経由して流入した流れは流入路203を経由して流入した流れに衝突する。渦流室に入った流体が、流路壁に対向するもう一つの流体流れに衝突するため、渦流は浸食の少ない流路を形成することができる。流入路(203、204、205)からの流れは、渦流室(202)内の放射状の流れにおいて結合され、実質的に渦流室に対して垂直方向に延設された流出路(206)から流出する。
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【課題】ポンピングボリュームがゼロになり、また、装置の小型化、低コスト化、制御の容易化を図ること。
【解決手段】スライド式ソレノイドバルブは、流路構成部材２と、流路構成部材３と、流路構成部材２と流路構成部材３との間に、流路構成部材２、３に対して摺動可能に配されるスライドシール板９であって、流路５、６、７と連通可能な流路開放孔部２５と流路５、６、７を遮断可能な流路遮断壁部２６、２７とを有するスライドシール板９と、スライドシール板９を原点位置に保つ方向の力を常時発生するスプリング２０と、通電時にスプリング２０の力に打ち勝ってスライドシール板９を原点位置から摺動させるソレノイド１４とを備え、スライドシール板９は、ソレノイド１４への通電の有無に応じて、流路開放孔部２５及び流路遮断壁部２６、２７により、流路５、６、７を切替える。 （もっと読む）

【課題】制御バルブ用トリムの耐浸食性を向上させる。
【解決手段】複数の流動抵抗の高い流路を有し、これが通る減圧バルブ用のバルブトリムにおいて、各流路は少なくとも２つの流入部（２０８、２０９）と、少なくとも１つの衝突領域（２１０）とを有し、この衝突領域は２つの領域内流入部（２１１、２１２）と２つの領域内流出部（２１３、２１４）とを有する。領域内流入部（２１１、２１２）は流入部（２０８、２０９）と連通して互いに実質的に１８０°となるように構成されている。２つの領域内流出部（２１３、２１４）は領域内流入部（２１１、２１２）に実質的に垂直となるよう構成され、この２つの領域内流入部（２１１、２１２）に入る流れは互いに、それ自身と衝突し、エネルギー損失の高い領域を形成した後、分かれて領域内流出部（２１３、２１４）を通過して出るようになっている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の高い真空性を保つことができ、表面が非粘着性であり、かつ優れた耐プラズマ性を兼ね備えた半導体製造装置用バルブの弁体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】弁体本体１のシール側部分にエラストマーシール材３が一体化された半導体製造装置用バルブの弁体であって、前記弁体本体のシール側部分に、金属、金属酸化物、金属チッ化物、金属炭化物およびそれらの複合物からなる群より選ばれる１種以上の金属または金属化合物を含むコーティング膜を有する半導体製造装置用バルブの弁体である。 （もっと読む）

【課題】水道用仕切弁等の水道用弁の弁体の表面に被覆されたゴム材の含有成分が水道水中に溶け出しにくい水道用弁を提供する。
【解決手段】表面全体にゴム被覆層２２が被覆された弁体１２において、閉弁状態において水道水に晒される表面領域にポリエチレンフィルム２３が熱圧着によって被覆されている。ポリエチレンフィルム２３の厚みはゴム被覆の厚さの５〜１２．５％の範囲が望ましい。ポリエチレンフィルム２３の分子量は５５０万以上であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】真空シール性、耐ラジカル性、耐腐食ガス性などの性能を有し、繰り返しの使用によっても、脱落や動作不良が発生せず、真空シール性能に優れ、金属パーティクルが発生することなく、被シール部分に対して装着が容易で、製造が容易なシール材を提供する。
【解決手段】シールコア部材と、シールコア部材を被包する外皮部材とを備え、シールコア部材の断面形状が、略波板形状であって、シール材を圧接した際に、シール部を構成する、一方側シール部分と、他方側シール部分と、シール材を圧接した際に、被シール部分のシール面と当接してシール材を固定した状態にする一方側シール固定部と、他方側シール固定部と、これらの間を連接する略直線状の連接部と、最も内周側または外周側に位置する一方側シール部分と他方側シール部分のうち、少なくともいずれか一方の端部に形成されたシール係止部とを備える。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションの発生をより確実に抑制または防止することができ、また最大流量の減少を抑えることができる流体制御弁用ディフューザおよび流体制御弁を提供する。
【解決手段】弁本体２の下流側開口部内に流体３０の流れを減速し、運動エネルギを圧力に変換するディフューザ３１を組み込む。ディフューザ３１は、底部３４が開放する中空円錐形に形成され、頂部３３の内角度（θ）が９０°以下で、周壁に多数の小孔３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 流体制御装置を提供する。
【解決手段】 入口１８、出口２０、および、この入口から出口に延びる流路２２が形成された弁箱１６と、弁箱に接続された、流体が通過するオリフィスを形成する弁座リング２４と、前記弁箱に接続され且つ内部空洞を有するケージ３０であって、流体が通過する少なくとも一つの流路を含むケージ３０と、ケージの前記内部空洞に進入しうるサイズにされ、軸に沿って開位置と閉位置との間を移動可能に構成された絞り要素１４であって、前記軸に実質的に平行なシール面５２が形成された絞り要素１４と、この絞り要素が実質的に閉位置にあるときに前記シール面に係止し、そうすることによって前記弁座リングのオリフィスを通過する流体の流れを制限するシール１２と、を備えている。 （もっと読む）

回転制御バルブ用の制御要素（５４）が、少なくとも１つの耳（７６）によって回転シャフト（５６）に取り付けられている。制御要素（５４）には少なくとも２つの表面が含まれており、その第１表面（６０）は流れリング（６４）に対してほぼ密閉可能である。第２表面（６２）は、第１表面を越えてバルブを通る流体の流れを促進してその表面におけるスケーリングすなわち異物堆積を阻止するために、第１表面から概ね退避している。
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【課題】 弁体表面を清浄に保ち、かつ、ランニングコストを低減し、容易にメンテナンスが行えるようにする。
【解決手段】 本発明のゲートバルブ付き真空チャンバは、筐体111の被処理物の出し入れ面側に設けた開口部16と、開口部を開閉するゲートバルブとを有し、ゲートバルブの弁体112の表面の一部または全面に形成した光触媒膜1と、筐体の外側に設けられ光触媒膜を励起する光源2と、光源2からの光を光触媒膜１に導入する光導入口６とを備えたものである。 （もっと読む）