【課題】シール部に作用する荷重が変動しても、ゲート弁の本体がゲートに接触することを防止するとともに、所定のシール性を確保することが可能なゲート弁を提供する。
【解決手段】ゲート弁は、本体部１と、ゲート弁が閉じたときにゲートの周縁部に当接するシール部２とを備える。シール部２は、本体部１の周縁部に沿って延びるように設けられ、ゲート弁が開いたときに主面１Ａから突出する凸状の第１部分２Ａおよび凸状の第２部分２Ｂを含む。第１部分２Ａの主面１Ａからの突出量（Ｈ１）は、第２部分２Ｂの主面１Ａからの突出量（Ｈ２）よりも大きい。第１部分２Ａは、第２部分２Ｂに対して主面１Ａの内周側に設けられる。 （もっと読む）

【課題】コイルの大型化を回避して、電動切換弁による占有スペースの縮小化共に、バランスのよい弁体形状により、弁シート面上での弁体の回転方向の摺動を確実に行う電動切換弁を提供する。
【解決手段】弁シート面１１ａ面上に開口して設けられた流入ポート及び所定の間隔で配置された複数の開口を有する流出ポートと、モータ１２の駆動力により上記弁シート面上で回転摺動する弁体２３とを具え、上記回転弁体が上記複数の出力ポートを選択的に開閉する電動切換弁であって、上記弁シートは、上記円筒状ハウジングの下端開口部に固着され、上記弁体は、上記モータの駆動力を伝達する上記円筒状ハウジング内に配在された歯車装置によって駆動され、上記弁体は、中央部を円板状弁体で構成すると共に、その円板外周から外方に突出して設けられた鍔部を対称的に具備し、上記鍔部の一方を上記歯車装置の同軸の軸受部とすると共に、上記鍔部の他方をストッパ部とする。 （もっと読む）

【課題】 ピンロッド６に対する、ロータリバルブの位置保持精度を向上することを課題とする。
【解決手段】 金属製のリングプレート４、５にばね性を有する突起片６３、６４を設けたことにより、ロータリバルブとピンロッド６とが、突起片６３、６４の板ばね性によって直接的に結合一体化されている。これにより、熱クリープ等によりロータリバルブとカップリング７との間に界面剥離が発生、あるいはピンロッド６とカップリング７との間に界面剥離が発生しても、リングプレート４、５とピンロッド６との間にガタが発生することはない。また、カップリング７に過大な面圧が作用しないので、樹脂割れの発生を抑制できる。これにより、リングプレート４、５とピンロッド６とが分離する等の不具合が発生せず、ロータリバルブの位置制御を精度良く実施することができる。 （もっと読む）

【課題】弁体を冷却するための熱交換器を設け、該熱交換器内の冷却水通路と主ロッドの内部の冷却水供給路とを、相対的に変位可能な方法によって簡単にしかも液漏れを生じないように連結する。
【解決手段】開口部２を開閉する弁体５と、弁体５を開口部２に接離させる開閉シリンダ６と、弁体５を開口部２に対向する位置と非対向の位置とに変位させる主シリンダ７と、弁体５を冷却する熱交換器８とを有し、主シリンダ７の主ロッド１３の先端に開閉シリンダ６を取り付け、開閉シリンダ６の開閉ロッド２５に熱交換器８を取り付け、熱交換器８に弁体５を取り付け、熱交換器８内の冷却水通路４８の冷却水入口４８ａ及び冷却水出口４８ｂと、主ロッド１３の内部の冷却水供給路５０及び冷却水排出路５１とを、伸縮自在で液密性を有する供給用及び排出用のベローズ継手５２ａ，５２ｂで接続する。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させることが可能なピストンバルブを提供する。
【解決手段】流体が供給される入口ポート１２、出口ポート１３およびこれらに連通する流路１５，１４，１６を有するバルブ本体１１と、前記流路の途中に設けられ弁座１９を有する弁座部材１７と、この弁座部材の弁座を開閉する弁棒３１と、この弁棒を弁座に対して接離動作させ弁座を開閉する駆動部５０とを備えたピストンバルブ。弁座部材および弁棒の少なくとも一方は、基材と、この基材の表面に形成された硬質被覆層とを含んで構成されている。硬質被覆層は、基材の表面からの距離が大きくなるに従って硬さが次第に低下するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でシール材が弁体の弁本体から外れることを防止できる仕切弁を提供する。
【解決手段】弁体１５を、弁本体１９の周囲にシール材２０を被覆して形成する。弁本体１９は、上流側面１９ａと下流側面１９ｂの弁座に当接する位置に第１シール材装着溝２２を、弁箱内周面下半部に当接する位置に、第１シール材装着溝２２に連続して第２シール材装着溝をそれぞれ形成する。第１シール材装着溝２２は、上流側面１９ａまたは下流側面１９ｂに開口する溝部２２ａと、該溝部２２ａとつながる所定深さ位置で前記溝部より幅広となる幅広溝部２２ｂとを備え、第１シール材装着溝２２と第２シール材装着溝２３とにシール材２０を装着する。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】回動ネジを回動させることで流体管の流路を遮断する際に、安価に製造できる構成で弁体の回動を規制することができる流体管の制流弁を提供すること。
【解決手段】ケース２は、流体管１に取り付けられる分岐管１２と、分岐管１２に水密に接続され、流体管１に向けて開口し内部に弁体６０が収納可能な収納部３ａが形成された弁蓋３と、を備え、収納部３ａは、弁体６０を収納部３ａ内に収納する収納位置と流体管１の流路を遮断する遮断位置との間に亘り回動ネジ４の回動に伴う弁体６０の回動を規制するように、非円筒形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、該コイルスプリングを介して加熱手段と電気的に接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体を簡単に製造できるようにすることである。
【解決手段】弁体４を、鋳鉄Ｆの芯材の全表面にゴムライニングＧを施し、流体通路の上流側と下流側に貫通する孔部を設けた筒形部材７と、筒形部材７の孔部の上流側と下流側をそれぞれ、ゴムライニングＧを施さない一対の蓋部材８とで閉塞することにより、ゴムライニングＧが水道水等に晒される表面領域を少なくして、ゴム添加剤の溶け出し量を抑制するソフトシール仕切弁の弁体４の製造方法。 （もっと読む）

【課題】弁洩れ量を低減すると同時に、弁体の摺動時の異音を抑制することを可能にする。
【解決手段】密閉空間を有する弁本体と、弁本体に連結された高圧管と、弁本体に連結され、高圧管と対向して配置された低圧管と、弁本体に連結され、低圧管を挟んで両側に配置された一対の導管と、低圧管及び一対の導管に連通する開口部が設けられた弁座と、弁座上を摺動する弁体１とを備え、弁体１を摺動させることにより、高圧管、低圧管及び一対の導管の連通状態が切り換えられる四方切換弁であって、弁体１の摺動面４ａのＲｋ（コア部のレベル差）を０．５以上５．２以下とした四方切換弁。また、摺動面のＲｋは、１．０以上４．０以下とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】酸素の流れを安全に制御するガス流量規制装置を提供する。
【解決手段】ノズル３０は、最小限の直径を有し、ステム２１の基ステム部２３の直径は、ノズル最小直径の９８％であって、基ステム部２３の最小直径部の外周には複数の流体溝３８が外周を等分するように形成されてステム２１とノズル３０との間にガス流を供給し、先方ステム部２２は基ステム部２３に螺子締結手段で着脱式に連結でき、連結されると先方ステム部２２と基ステム部２３はＯリングシート体２４を受領する環状ポケット部を形成し、完全に連結がされた場合には、先方ステム部２２と基ステム部２３は、ポケット内にＯリングシート体２４が捕捉されるように押し込まれて、Ｏリングシート体２４のドーナツ状周囲の１/３以下がポケット部の外側に露出するように変形し、閉鎖時には、露出部が前記ノズル３０の狭窄部分に最接近するガス通路に接触する。 （もっと読む）

【解決手段】実質的に金属製又はセラミック製のステータデバイス（２１）と、実質的に金属製又はセラミック製のロータデバイス（２５）とを有する多位置回転せん断バルブアセンブリ（２０）が提供される。ステータデバイス（２１）が、実質的に平坦なステータ面（２２）と、対応するステータポート（２３）においてステータ面（２２）と流体連通している少なくとも２本又は３本以上のステータチャネルとを画定する一方で、ロータデバイス（２５）は、１本又は２本以上のロータチャネルを画定する実質的に平坦なロータ面（２６）を含む。ロータ面（２６）上及びステータ面（２２）上のうちの少なくとも一方に、トライボロジコーティングが配され、これは、２つ又は３つ以上のロータ位置の間における、ロータ−ステータ界面におけるロータ面（２６）とステータ面（２５）との間の実質的に流体密で選択的な相対的回転を可能にする。 （もっと読む）

【課題】表面処理を施すことなく、必要十分な耐摩耗性を確保し、コストダウンを図ることができるスプールバルブを提供すること。
【解決手段】スプールバルブ１は、油圧経路２１内に配設されると共に、油圧経路２１に対して摺動させることにより油路２２の開閉を行うものである。スプールバルブ１は、質量％で、Ｓｉ：３．０〜１７．０％、Ｃｕ：０．５〜５．０％、Ｍｎ：０．５％以下、Ｍｇ：０．０２〜１．５％を含有し、残部がＡｌ及び不可避的不純物であるアルミニウム合金よりなる。スプールバルブ１には、人工時効硬化させるＴ６処理又はＴ８処理が施されており、かつ、表面処理が施されていない。 （もっと読む）

【課題】ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体を簡単で安価に製造可能とすることと、弁体の重量を軽減することである。
【解決手段】弁体４を、流体通路に対する上流側部と下流側部とを形成するカップ状体８を内向きに突き合わせて溶接した中空の殻構造とし、閉弁状態で弁箱の開口部および開口部での流体通路内面との間をシールするゴムシール材７を、弁体４が弁箱の開口部および開口部での流体通路内面と対向する外径側部分を覆う環状のものとすることにより、ゴムシール材７が水道水等に晒される表面領域を少なくして、ゴム添加剤の溶け出し量を抑制できるソフトシール仕切弁の弁体４を簡単で安価に製造可能とするとともに、弁体４の重量を軽減できるようにした。 （もっと読む）

【課題】高精度の圧力または流量制御性をもちながらも安価であり、小型で、簡素な弁構造及びこの弁構造を備える燃料電池システムを提供する。
【解決手段】燃料極に燃料ガスを供給し、酸化剤極に酸化剤ガスを供給することによって発電する燃料電池システム１において、酸化剤ガスが流通する１次流路１７ａと該１次流路１７ａに連通して該１次流路１７ａより断面が小さい２次流路１７ｂとの間に弁体１９が設けられ、弁体１９が１次流路１７ａに連通する２次流路１７ｂの一端に密接して移動可能であり、かつ弁体１９の移動による有効断面積を自在に設定した非対称の弁孔１９ｃを弁体１９に形成する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで配管し易く、開閉弁のストロークが短く、開閉弁操作が容易な弁構造を提供する。
【解決手段】流路２を一次側と二次側に区画すると共に、複数の横長スリット状の不動弁口3aと、該不動弁口3aの上下幅より拡幅した複数の不動板弁3bとを上下方向で交互に平行配列した仕切板３と、該仕切板３の一面に上下摺動自在に当接すると共に、不動弁口3aと同形で合致可能にして、且つ不動板弁3bで水密閉塞可能な可動弁口4aと、不動板弁3bに合致可能にして、且つ不動弁口3aを水密閉塞可能な可動板弁4bとを上下方向で交互に平行配列した滑り弁体４とを備え、開弁状態で不動弁口3aに可動弁口4aが合致すると共に、不動板弁3bに可動板弁4bが合致し、閉弁状態で不動弁口3aは可動板弁4bに水密閉塞され、可動弁口4aは不動板弁3bに水密閉塞される様に成した。 （もっと読む）

【課題】 比較的長い時間、安定した性能で使用することができる流路規定部材を提供する。
【解決手段】
内部空間を有し、前記内部空間と連通した貫通孔を備えた筒状体と、前記内部空間に挿入され、前記貫通孔と連通可能な流路を備えた軸部材と、を有し、前記軸部材が軸方向を中心に回転されることで前記貫通孔と前記流路との連通状態が変化し、前記貫通孔から前記内部空間の側へ流入される流体の経路が、前記連通状態に応じて規定される流路規定部材であって、前記筒状体の内周面と前記軸部材の外周面との間隙は、前記軸部材の長さ方向の端部の側が、前記軸部材の長さ方向の中央位置に比べて大きいことを特徴とする流路規定部材を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱用ヒータを真空処理雰囲気と隔離して大気雰囲気中に置くとともに交換可能な構造とすることにより、伝熱効率が良く、弁体の温度制御が十分に可能であり、パーティクルの発生がなく、かつ、ヒータ部分の交換が可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、真空処理装置における真空処理室の開口部を開閉するゲートバルブにおいて、弁体と、該弁体を加熱するための弁体加熱用ヒータと、一方の面に弁体を支持し、他方の面に弁体加熱用ヒータを収納するヒータ収納部を有する弁体支持部材と、該弁体支持部材のヒータ収納部を密閉する蓋と、弁体支持部材を支持するとともに内部に大気と連通する挿通孔を有する弁ロッドとを備え、蓋をＯリングを介して弁体支持部材に着脱可能に固定し、弁体支持部材のヒータ収納部と弁ロッドの挿通孔とを連通する接続通路を弁体支持部材に設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】改善された密閉能力を有するプロセスチャンバのためのバルブアセンブリの実施形態が提供される。
【解決手段】いくつかの実施形態において、プロセスチャンバのためのバルブアセンブリは、基板が搬送される、壁に設けられた開口を有する筐体と、開口を選択的に密閉するために、筐体の壁にほぼ平行な平面内において筐体に移動可能に接続されるドアと、ドアが閉じた位置にあるときに、壁にほぼ垂直な方向における、圧縮可能なシーリング部材の圧縮によって、その間の密閉を形成するためにドアの上側表面と筐体の対応する表面との間で少なくとも部分的に設けられた圧縮可能なシーリング部材と、筐体のプロセスチャンバの側において、圧縮可能なシーリング部材の環境への露出を制限するためのメカニズムを含む。 （もっと読む）