【課題】ヒートポンプサイクルのサイクル構成の簡素化を図ることのできる統合弁を提供する。
【解決手段】気液分離空間１４１ｂが形成されたボデー１４０の内部に、液相冷媒を減圧させる固定絞り１７、液相冷媒通路１４１ｄおよび気相冷媒通路１４２ｂを選択的に開閉する統合弁体２９を収容し、統合弁体２９にシャフト２９ｃを介して連結されたステッピングモータ２８にて、統合弁体２９を変位させる。これにより、ガスインジェクションサイクルとして機能するヒートポンプサイクル１０のサイクル構成を簡素化できる。 （もっと読む）

【課題】開閉動作が確実であり、信頼性が高く安価なダンパー装置を提供する。
【解決手段】保持部材１４は、弾性を有するように形成された保持部１４ｃを回転中心部に有し、保持部材１４が回転していない時に所定の位置を保持すると共に駆動歯車１１の回転により供回りしないようケース部５ｃに設けられた軸部５ｄに圧接させると共に、切欠き部１４ａ裏側に係合凸部１４ｆを設け、第２のフラップ７が開時にケース部５ｃに設けた係合凹部５ｆと係合凸部１４ｆを係合させ、保持部材１４の開位置を保持するように構成し、保持部１４ｃの内径及び軸部５ｄの外径寸法バラツキにより保持部材１４の保持力が小さくなったとしても保持部材１４の開位置を確実に保持できるため、保持部材１４の保持力を必要以上に強くする必要が無く、第２の従動歯車１３への伝達トルクの減少を少なくすることができるので、開閉動作が確実であり、温度制御の信頼性を高くできる。 （もっと読む）

【課題】弁体の上下流の圧力差を相殺させて、弁体の駆動トルクを小さくしたＥＧＲバルブを提供する。
【解決手段】ＥＧＲバルブ１の閉弁時は、弁体５がバルブシート４に着座する。このとき、上流側の圧力が圧力導入孔７を通ってベローズ８の内部に供給される。すると、ベローズ８内が加圧されてベローズ８に伸長力（伸びる力）が発生し、弁体５を上流側へ押す。このベローズ８の伸長力（弁体５を上流側へ押す力）によって、弁体５の上流側に加わる圧力を相殺（キャンセル）させることができ、小さな駆動トルクで弁体５を開閉駆動できる。このため、電動アクチュエータにおいて大きな駆動トルクが必要なく、電動アクチュエータを小型化できるとともに、コストを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】流体の送給を停止させることなく、絞り孔を通して流体を下流側に送給する流量絞り装置を提供する。
【解決手段】流量絞り装置は、流体を送給する送給路１１ａと、送給路１１ａの途中部から分岐した分岐路１１ｂとを有する弁箱１１を備える。弁箱１１内には、第１絞り孔１３ａを有する第１オリフィスプレート１３と、第２絞り孔１４ａを有する第２オリフィスプレート１４と、分岐路１１ｂを開閉可能なダンパー１５とが一体回動可能に設ける。各オリフィスプレート１３，１４及びダンパー１５は、上流側の流体が第１オリフィスプレート１３の第１絞り孔１３ａを順方向に通過して下流側に送給される回動位置とし、第１絞り孔１３ａが目詰まりを起こした場合、上流側の流体の一部が第１絞り孔１３ａを逆流して分岐路１１ｂに送出されるとともに、残りの流体が第２オリフィスプレート１４の第２絞り孔１４ａを通過して下流側に送給される回動位置とする。 （もっと読む）

【課題】耐用寿命を短縮しかねない機械的磨耗を受けにくい、ソレノイド駆動空気圧弁によって得られる機能が制限されにくい、さらに、ソレノイド駆動空気圧弁が、電力の損失の場合に通電位置を維持することができる弁アセンブリを提供する。
【解決手段】弁チップは、第１および第２の面および第１および第２の面との間にある開口１１９を有する基板１０１と、開口の少なくとも１つに関連付けられた、基板の面の一方にある複数の可撓性弁フラップ１１７とを含みうる。弁チップは、開口を有するフレームを形成し、フレームの開口に弁チップを固定することによってパッケージングされていてもよい。特に、弁チップは、基板の第１および第２の面の中央部分が、フレームにある開口を通って露出され、フレームと基板の縁部との間に流体シールが設けられるように、開口に固定されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】弁体の微小な反りによって弁機能が損なわれることを防止した弁構造、および、弁構造の製造方法の提供を図る。
【解決手段】圧電弁構造１は、弁室天板２と上壁面板３と弁体板５と下壁面板６と弁室底板７とを備える。弁室天板２は、弁室の天面を構成し、流路口１６が形成される。上壁面板３と下壁面板６は、弁室の天面から立設する弁室の壁面を構成する。弁体板５は、梁状部１１を備え、梁状部１１は上壁面板３と下壁面板６に支持される。弁体板５は、変形力の非作用時に弁座４を介して流路口１６を閉鎖し、変形力の作用時に流路口１６を開放する。上壁面板３と下壁面板６は、弁室の天面側で弁体板５の梁状部１１が撓む方向の力を弁体板５にかける。 （もっと読む）

【課題】流体の流出口または流入口を開閉する弁部の、流出口または流入口に対する移動方向において、小型化を図ることが可能なバルブ機構を提供すること。
【解決手段】バルブ機構４は、内部に弁室１０が形成されるとともに流入口と流出口とが形成される本体部１１と、弾性材料で形成されるとともに流出口を開閉するための弁体１４と、一端側が弁体１４の内部に配置されるとともに他端側が本体部１１の外部に配置されるレバー部材１５とを備えている。弁体１４は、本体部１１に固定されレバー部材１５の揺動動作の支点となる支点部１４ａと、支点部１４ａよりもレバー部材１５の一端側に配置されるとともに弁室１０の内部に配置され流出口を塞ぐ弁部１４ｂとを備えている。弁部１４ｂは、支点部１４ａを支点とするレバー部材１５の揺動動作によって流出口を開閉する。 （もっと読む）

【課題】供給する流体の流量が大であったり、又は供給する流体の圧力が高い場合であっても作動良好で、且つ流体を外部に供給する流体供給部が負圧になることを防止できる圧電式バルブを提供することである。
【解決手段】流体受入部と、流体を外部に排出するための流体排出部と、流体を外部に供給するための流体供給部とを備えている。さらに、流体排出部に設けられ、薄い板状であって長手方向を有し、印加電圧に応じて前記流体排出部の外部に通じる排出側経路を開閉する圧電動作体と、流体受入部と流体排出部と流体供給部とを連通し圧電動作体への流体の作用圧を抑制する流体室とを備えている圧電素子を用いた圧電式バルブ。 （もっと読む）

【課題】開度計測レベルの自動調整を短時間でかつ正確に行う。
【解決手段】自動調整開始指令を受けた時、閉リミットスイッチＬＳ１がオン状態であった場合、駆動軸を開方向へ動作させて閉リミットスイッチＬＳ１をオフ状態とした後（矢印（１））、閉リミットスイッチＬＳ１がオフ状態からオン状態に変化するまで駆動軸を閉方向へ動作させ（矢印（２））、その時のポテンショメータの出力値（開度計測値）を第１の調整値として記憶する。次に、開リミットスイッチＬＳ２がオフ状態からオン状態に変化するまで駆動軸を開方向へ動作させ（矢印（３））、その時のポテンショメータの出力値を第２の調整値として記憶する。この記憶した第１の調整値と第２の調整値に基づいてポテンショメータの出力値と弁体の実開度との関係を自動調整する。 （もっと読む）

【課題】幅方向の寸法を圧縮できるダンパー装置を提供すること。
【解決手段】ダンパー装置１において、出力部材６は駆動ユニット５から出力穴部５１３を貫通し、バッフル４と係合し、直線的な進退動作によりバッフル４に回転動作を行わせる。ここで、前記係合部は、前記出力穴近部を貫通する個所における出力部材の移動延長軸から離間し、前記バッフルの回転軸は前記係合部の移動延長軸から離間することにより、幅方向寸法を増大させることなくバッフルを回転動作可能となる。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減らすことにより、コストの低減および組み立て工数の削減を図ることのできるダンパー装置を提供することにある。
【解決手段】ダンパー装置１において、バッフル４の幅方向の略中央に連結した出力部材６の進退動作によりバッフル４に回転動作を行わせる。フレーム３に対してバッフル４に回転可能に取り付けるにあたっては、バッフル４において、樹脂製のバッフルプレート４１に形成された軸部４０Ｒを、樹脂製のフレーム３の側板部３２Ｒに形成された軸穴３０Ｒに嵌めて回転支持部９Ｒを構成する。 （もっと読む）

【課題】幅方向の寸法を圧縮でき、かつ、組み立てが容易なダンパー装置を提供すること。
【解決手段】ダンパー装置１において、バッフル４に形成した溝８１Ｒに駆動ユニット５から延びた出力部材６のスライダ部６３Ｒを嵌めてスライド機構１０Ｒを構成し、出力部材６の直線的な進退動作によりバッフル４に回転動作を行わせる。ここで、溝８１Ｒは、一方端が開放端８１０になっているので、ダンパー装置１を組み立てる際、溝８１Ｒにスライダ部６３Ｒを容易に嵌めることができる。 （もっと読む）

【課題】 消費電力が最小でありながら早い動作、大きなバルブ力及び大きな変位利点があるマイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）のバルブ装置を提供する。
【解決手段】 開口７０が形成された基板２０と基板電極４０と開口７０の上に位置して電極素子層６２及びバイアス素子層６４、６６を有する可動膜６０とを含む。少なくとも１つの弾性的に圧縮可能な誘電体層５０を設け、基板電極４０と可動膜６０の電極素子層６２との間の電気的絶縁を確実にする。動作に当たっては、開口７０に対して可動膜６０を動かすように電圧差を基板電極４０と可動膜６０の電極素子層６２との間に設け、これにより、可動膜６０によってカバーされる開口７０の部分を制御可能に調整する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロシステムの製造方法に関し、さらには当該マイクロシステムにも関する。この方法によって、マイクロシステムは、少なくとも1面上に導電性層(11a,11b)を有する前処理がされた処理ホイル(10)を積層することによって製造されて良い。積層後、ホイル(10)は、圧力及び熱を用いることによって密閉される。最終的には、マイクロシステムは積層体(S)から分離される。ホイルの前処理（レーザービームの手段によって行われることが好ましい）は、次の、(A)ホイルをそのままにしておく工程、(B)導電性層を除去する工程、(C) 導電性層を除去し、かつホイル(10)を部分的に蒸発させる工程、及び(D)ホイル(10)だけではなく導電性層をも除去することでホイル(10)内に穴を作る工程、を選択する。前記の積層と併用することによって、空洞、自由に浮くカンチレバー、及び膜を作製することが可能となる。これによって、MEMS素子及びマイクロ流体システムのような様々なマイクロシステムを製造する可能性が開かれる。
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【課題】 通電を継続することなく弁体の開放状態を保持することが可能であると供に小型化及び高信頼性化が可能な熱動弁を提供する。
【解決手段】 所定の主流路と、該主流路を開/閉する弁体と、外部からの通電に基づいて弁体を駆動すると共に熱によって弁体の駆動状態を維持するアクチュエータと、外部から供給される熱エネルギによってアクチュエータを加熱することにより弁体の駆動状態を保持する保持手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】小型低消費電力、かつ長期信頼性の高いラッチバルブ１を提供する。
【解決手段】形状記憶合金を用いたラッチバルブ１において、バルブシート８を板ばねとすることにより、バルブシート８自身に自己保持機能を持たせることにより小型化を可能とした。また、形状記憶合金１０、１１とバルブシート８の締結は、バルブシート８に設けた通し孔１８、１９を用い接合、接着することなく行い、ラッチバルブの長期安定性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】駆動手段により弁体を変位させていない状態における弁体による流出口の閉止力を従来に比べて高めることができ、流入口側内部空間へ流入した流体の圧力が低くても流体が漏れるのを防止することができるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】弁座形成基板１０との間に流出口側内部空間Ｓ２を形成する第１のダイヤフラム部２２、流出口１２を開閉する弁体２３、弁座形成基板１０との間に流入口側内部空間Ｓ１を形成する第２のダイヤフラム部２５を有する弁体形成基板２０と、弁体形成基板２０との間に閉鎖空間３６を形成する閉鎖空間形成用基板３０とを備える。弁体形成基板２０における第１のダイヤフラム部２２とフレーム２１における第１のダイヤフラム部２２の周辺部とに跨って積層された応力付与膜２８が、駆動手段により弁体２３を変位させていない状態で閉止力を増大させるバイアス手段を構成している。 （もっと読む）

マイクロバルブまたはマイクロバルブのアセンブリを環境から保護するのを助けることができるマイクロバルブアセンブリ。そのようなマイクロバルブアセンブリは、ガスを放出するかつ／または別の形で中に入れられる静電作動マイクロバルブの性能を低下させる可能性のある接着剤および／または他の材料の使用なしで、機械的に組み立てることができる。特に、マイクロバルブアセンブリは、基台取付具（１６）、基台取付具に取り付けられるように構成されるクランプ取付具（１０）、および基台取付具とクランプ取付具の間に配設される静電作動マイクロバルブ（１２）を含むことができる。クランプ取付具は基台取付具に機械的に取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】トルクの異なる出力をもつ電動機を用いた流体制御弁を実現すること。
【解決手段】コイル１５を有するステータ１４と、コイル１５への通電による励磁により回転するロータ１６と、ロータ１６の回転軸１８と、回転軸１８の一方に設けられた第１の軸受１９と、回転軸の他方に設けられ第１の軸受１９と材質を異にする第２の軸受２２とで構成した電動機２８の回転軸１８に回転運動を直進運動に変換する変換手段３４，４２と、ロータ１６が回転する際に弁体３３が回転しないように規制する回転防止手段３７を設け、変換手段３４，４２を介して弁体３３を設けた構成としたことで、電動機２８を開閉弁の駆動手段として用いることにより、出力を選択的に弁体３３の開成力として利用することが出来る。 （もっと読む）

単一流体の流れを二つの流れに分割するスプリッタ弁。弁はスターリング・エンジンに対するバーナと補助バーナを有するＤＣＨＰシステムに用いることを主目的とする。弁には、単一流体の流れを二つの流れに転流する比を変化させるためのオリフィス（１０）を横切る位置でその範囲に亘り回転できるベーン（５）を含む。オリフィスはベーンの角位置と転流される二つの流れに対する流体の比との間に事実上直線的な関係が存在するよう輪郭が形成される。鑽孔プレート（４）又は絞り（１３）のような層流形成装置をベーン（５）の下流側の二つの流れに設けることができる。
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