【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第１のコネクタ部材と制御ユニット側の第２のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第１のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第１の取り付け位相および第２の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転方向を検出することができる真空ポンプ。
【解決手段】モータ３６により回転駆動されるロータ３０に所定のキュリー温度を有する磁性体１１を設け、ロータ３０の回転に伴って、ロータ３０の磁性体１１が設けられた領域と磁性体１１が設けられていない領域とに交互に対向するように温度センサ１０を設ける。温度センサ回路４３ｂからは、ロータ１回転当たりのパルス数が前記第１のパルス列信号と等しい第２のパルス列信号が温度センサ回路４３ｂから出力される。また、ロータ３０の回転と同期した第１のパルス信号を出力する回転センサ回路４３ａを設けた。温度センサ回路４３ｂは、温度センサ１０が磁性体１１と対向しているときの第２のパルス信号の出力レベルの変化に基づいて、ロータ３０の温度を推定する。そして、正逆判定回路４４、第１のパルス信号のパルス発生パターンと第２のパルス信号のパルス発生パターンとに基づいてロータの回転方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】翼排気部における各構成部材間の伝熱効率を向上する。
【解決手段】スペーサ５とステータ翼６が一体に形成されたステータ翼構成体７が軸方向に多段に積層されている。下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間には間隙Ｇが形成され、この間隙Ｇに柔軟な材料で形成されたＯリング２１が介装されている。Ｏリング２１はスペーサ５の溝部５ｆおよび下端面５ａの各表面が有する微細な凹凸に倣って変形するため、接触部の接触面積が増大し、これにより、伝熱効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】ケース部材の吸気口側にロータ翼の直径より小さい絞り部が形成された構造において、異常により分裂したロータによるケース部材への衝撃を小さくする。
【解決手段】吸気口１５を有する上ケース１２内には、ロータ４に設けられたロータ翼４ａとステータ翼６が多段に積層された翼排気部２が構成されている。ステータ翼６は上下に配置されたスペーサ５に挟まれて取り付けられる。最上段のスペーサ５の上面は、最上段のロータ翼４ａの上面より吸気口１５側に配置され、この最上段のスペーサ５上に上ケース１２の絞り部１２ａの内面から離間して衝撃干渉部材２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ポンプケーシング固定用のボルトに剪断力が作用した際の、ロータ回転方向のボルト変形量をより大きくすることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数のボルト孔２１０が形成された吸気口フランジ２１ｂを有するポンプケーシングと、ポンプケーシング内に設けられた固定翼と、回転翼が形成されるとともにポンプケーシング内で高速回転駆動されるロータと、吸気口フランジ２１ｂのシール面側にボルト孔２１０毎に設けられ、底部を貫通するようにボルト孔２１０が形成された円形凹部２１２と、を備え、円形凹部２１２は、ボルト孔２１０に対して径方向内側および外側に形成される径方向ボルト変形スペースＳ２と、ボルト孔２１０に対してロータ回転逆方向に形成され、径方向ボルト変形スペースＳ２よりも大きな周方向ボルト変形スペースＳ１とを有する。 （もっと読む）

【課題】ロータの、特に該ロータの一部を構成する回転軸を効果的に冷却し、例えば動翼と該動翼に対向して配置される静翼との間のクリアランスが変化して、排気性能が変化するような時に、警報を発するか、またはポンプ運転を停止して、ポンプを保護できるようにする。
【解決手段】磁気軸受５０，５２，５８によりロータを磁気浮上させ、該ロータをモータ１２により高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、磁気軸受５０，５２，５８に冷却用気体を導入する冷却用気体導入部６４と、磁気軸受に導入される冷却用気体の圧力を検出する圧力検出部６８とを備え、ポンプ運転中に圧力検出部６８で検出された圧力が規定圧力以下になった時に、警報を発すか、またはポンプ運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

本発明は、シーグバーン・ポンプ機構（１４）と直列接続のターボ分子ポンプ機構（１２）を含む真空ポンプ（１０）を提供する。気体がターボ分子ポンプ機構及びシーグバーン・ポンプ機構の両方を通過することができる第１のポンプ入口（１６）が、設けられる。さらに、気体がターボ分子ポンプ機構とシーグバーン・ポンプ機構との間の場所においてポンプに入り、シーグバーン・ポンプ機構のみを通過することができる段間（入口）１８が、設けられる。段間入口（１８）と流体連通する、シーグバーン・ポンプ機構の第１の複数の段（３２、３４）内の流路（５２、６２）が存在し、段間入口を通ってポンプに入る気体は、前述の流路に沿って並行排気される。
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【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ４１とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源６０からヒータ４１へ供給される電流とヒータ４１から外部電源６０に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ４１の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源６０からの電力をヒータ４１に供給する電力ライン上に設けられたリレー５４を開いてヒータ４１への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー５４の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー５４を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 （もっと読む）

【課題】強い磁場内でも安全に運転することができて、周辺機器と干渉する心配がなく、分子ポンプ本体への固定にも問題がないような構造のシールド機能を有する分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部Ｔのロータの動翼２Ａを囲むケーシング６Ａとねじ溝ポンプ部Ｓの外部を覆うケーシング６Ｂとを軟磁性材料からなる一体のケーシング６にて形成すると共に、該ケーシング６の下方部をポンプ本体Ｐの下端部より下方に延長した。 （もっと読む）

【課題】高速で回転する分子ポンプ装置において、モータや回転軸の軸受等からの発熱によるポンプ本体の高温化を簡便な冷却手段により冷却する。
【解決手段】ポンプ本体２の側面に冷却ユニット４をボルト６ａの締結により固定する分子ポンプ装置１において、該冷却ユニット４に形成した該ボルト６ａの挿通孔６ｂを横長の長孔に形成し、該冷却ユニット４の前記側面への固定位置を移動可能に形成し、該冷却ユニット４と前記ポンプ本体２との相互の接触面積を調節可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロータ本体が破壊し、その中に蓄積されたエネルギーが急激にハウジングに放出されるいわゆる破裂が発生したときの危険を回避する。
【解決手段】軸は第１のロータ構造部分１０１を支持し、第１のロータ構造部分はロータ羽根リング１１９および羽根１２３を含む。第１のロータ構造部分１０１はさらにロータ・スリーブ１２７を支持し、凹部１３０を有している。凹部１３０は、軸方向および半径方向に伸長して中空空間を形成する。軸方向に伸張し、かつ半径方向内側に存在する凹部、即ち中間空間が形成されるように対称回転軸線から半径方向に伸張する凹部を有することにより、破片の大きさを低減し、かつ破壊過程を長引かせる。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のステータの温度を所定の高温に保つことができると共に排気ガス中の付着凝固性を有するプロセスガスが分子ポンプ内の排気ガス通路に凝着せず、しかも排気ガスの熱が該分子ポンプのベース部等に伝達することがなく、更に分子ポンプの全長を短くすることができるような構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部ロータ４ｂの外側にステータ３ａを有するねじ溝ポンプ部３をベース部８上に立設して有する分子ポンプ１において、該ねじ溝ポンプ部３を囲繞するケーシング５と前記ステータ３ａとの間に円筒状の排気ガス室６ｃを介在させると共に前記ケーシング５の側壁部５ｃに排気口５ａを設けて、前記ねじ溝ポンプ部３の排気ガスが前記排気ガス室６ｃを介して前記排気口５ａへ連通するように形成した。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による固定翼の座屈変形、およびその変形による固定翼と回転翼との接触を防止することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】固定翼３３を軸方向上下から挟持する一対のスペーサリング３５は、挟持状態において固定翼３３の外周縁部が挿入されるリング状の溝３５０を形成し、外周縁部の外周端と該外周端に対向する溝３５０の底面との間の隙間寸法が、固定翼３３の熱膨張による外周端の底面方向への移動量Δよりも大きく設定されているので、固定翼３３が熱膨張したときの座屈を防止できる。 （もっと読む）

【課題】外部装置により制御やモニタをするような使い方をする場合において、使い勝手の良い真空ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成された回転体をモータ１１により高速回転して真空排気するポンプ本体１と、モータ１１を駆動制御する電源装置２とを備える真空ポンプであって、電源装置２は、外部装置３によりポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うための通信インターフェース２４と、通信インターフェース２４を介してポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うためのソフトウェアを、予め記憶保持している記憶媒体２３とを備え、記憶媒体２３に記憶保持されたソフトウェアを、通信インターフェース２４を介して外部装置３に出力することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】永久磁石を用いた受動型磁気軸受は、大型支持体を低価格で安定に回転させることが困難である。一方、水蒸気の排気速度を増大させるためにクライオトラップを付加すると同時に高温超伝導磁気軸受を利用するのは、高温超伝導体のコストと冷凍機の冷凍能力が過大となるため、システム全体でかえって高価格となる。
【解決手段】小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの前段に、クライオトラップと高温超伝導磁気軸受で支持された中型高真空ブースターポンプを配置する。中型高真空ブースターポンプを非接触電磁誘導結合機により、後段の小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプと結合させ、小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの回転トルクで中型高真空ブースターポンプを回転させ、中型相当のターボ分子ポンプの排気速度を実現し、しかもクライオトラップで水蒸気の排気速度はクライオポンプ相当である真空ポンプシステムを実現する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）