【課題】複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置(100)とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。
【解決手段】本発明のポンピング装置は、第１と第２の複合ポンプ(102,104)を有し、各複合ポンプは、第１入口(120,124)と、第２入口(122,126)と、第１と第２のポンピング・セクション(110,112)とを有する。ポンピング・セクションは、第１入口からポンプ内に入る流体が、第１と第２のポンピング・セクションを通り、第２入口からポンプに入る流体は、第２ポンピング・セクションのみを通る。第１ポンプ(102)の第１入口(120)は、第１低圧チェンバ(10)の出口に接続され、第１ポンプ(102)の第２入口(122)と第２ポンプ(104)の第１入口(124)は、第２の共通中圧チェンバ(16)の出口に接続され、第２ポンプ(104)の第２入口(126)は、第３高圧チェンバ(14)の出口に接続される。 （もっと読む）

本発明は、低真空段（１６）から高真空段（４４）まで流体連通状態にある複数個の質量分析計段（１６，１８，２０，４４）を含む質量分析計（１２）を有する質量分析システム（１０）を提供する。分割流多段ポンプ（１４）が質量分析計段を排気する。ポンプは、ポンプエンベロープ（２８）を有し、このポンプエンベロープ（２８）内では、複数個のポンプ輸送段（２０，３２，３４）が流体を主ポンプ入口（３６）から主ポンプ出口（３８）にポンプ輸送するために質量分析計段内における流れ方向にほぼ平行な軸線Ｘ回りに回転可能に支持されている。高真空段（４４）の少なくとも一部は、ポンプエンベロープ内で主ポンプ入口のところに配置されている。
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【課題】粘性流条件において所望の圧力差を実現できる分子ドラッグステージを備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、吸入口14および排出口16を有するハウジング10と、ハウジング内の少なくとも1つの分子ドラッグステージ30、32、．．．46であって、ロータ302およびロータの表面に向かって開口する接線方向のフローチャネルを区画するステータ300を含む、分子ドラッグステージと、ロータを回転させて、気体が吸入口から排出口へポンピングされるようにするモータ52とを含んでいる。ステータ300は、チャネル306中で1つ以上の障害物320を区画する。障害物はチャネルを通る気体の流れを変更し、粘性または部分粘性流条件下で乱流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】粘性流条件において所望の圧力差を実現できる分子ドラッグステージを備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、吸入口および排出口を有するハウジングと、ハウジング内の少なくとも1つの分子ドラッグステージとを含む。分子ドラッグステージは、分子ドラッグディスクの形態のロータと、当該ディスクの表面に向かって開口する接線方向のフローチャネルを区画するステータとを含み、ロータは回転軸を有する。真空ポンプは、ロータを回転させて、気体が吸入口から排出口へポンピングされるようにするモータをさらに含んでいる。チャネルは、回転軸からの距離の関数として寸法が変化する回転軸を含む平面における横断面を有している。チャネル横断面は、粘性または部分粘性流条件中で逆流の傾向を制限するために選択される。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置および回転式真空ポンプの破損を防止する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１の吸気口フランジ１３ａと真空装置のフランジ１６とをボルト１５で締結する。吸気口フランジ１３ａのボルト孔１４は、長穴形状であり、その長手方向が吸気口フランジ１３ａの円周の接線方向と略一致するように吸気口フランジ１３ａの周縁近傍に設けられている。ボルト孔１４に発泡金属からなる緩衝部材３０を配設する。ターボ分子ポンプ１の不具合により、衝撃力が発生した場合、吸気口フランジ１３ａからボルト１５に作用する衝撃力を緩衝部材３０で受け止める。これにより、ボルト１５にかかる剪断応力と、装置側のフランジ１６に伝達される運動エネルギーをともに減少させることができるので、ボルト１５の破断や装置側の破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置および回転式真空ポンプの破損を防止する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１の吸気口フランジ１３ａと真空装置のフランジ１６とをボルト１５で締結する。吸気口フランジ１３ａのボルト孔１４は、長穴形状であり、その長手方向が吸気口フランジ１３ａの円周の接線方向と略一致するように吸気口フランジ１３ａの周縁近傍に設けられている。ボルト孔１４に板状の部材が複数積層された積層板３０を配設する。ターボ分子ポンプ１の不具合により、衝撃力が発生した場合、吸気口フランジ１３ａからボルト１５に作用する衝撃力を積層板３０で受け止める。これにより、ボルト１５にかかる剪断応力と、装置側のフランジ１６に伝達される運動エネルギーをともに減少させることができるので、ボルト１５の破断や装置側の破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】回転翼を高速で回転させ、ポンプ翼径を大型化させることなく、大流量・低圧化に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ長期的使用に対し有利なターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼７０、２４と固定翼７１、２８とを交互に配置する排気部５０と、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え；回転翼が、前記吸い込んだ気体を前記軸方向に排気する１段以上のタービン翼７０と、タービン翼の後流側に位置し、前記排気された気体をさらに遠心ドラッグ作用により排気する１段以上の遠心翼２４を含んで構成され；遠心翼が、該遠心翼を貫通する回転軸に固定され；遠心翼と回転軸の間に配置され、回転軸に締り嵌めされた円管リング４１をさらに備えるターボ型真空ポンプ１とする。 （もっと読む）

【課題】平坦なポンピング面を備えた回転ディスクまたは回転円筒状ドラムを有する分子引きずりステージを含まない真空ポンプを提供する。
【解決手段】ハイブリッドターボ分子真空ポンプは、取入口と排出口とを有するハウジングと、前記ハウジング内部に設けられかつ傾斜ブレードを有する固定子と傾斜ブレードを有するインペラとを各々が含む１つ以上の軸方向フローステージと、軸方向フローステージではなくてかつハウジング内に設けられているとともに固定子とインペラとを含む少なくとも１つの追加真空ポンピングステージと、前記取入口から前記排出口へ気体をポンピングするように前記インペラを回転させる原動機とを含む。追加真空ポンピングステージは、インペラが粗いまたは溝付きのポンピング面を有するディスクを含む改良型分子引きずりステージ、および／または再生ステージであってもよい。 （もっと読む）

チャンバ内の圧力を制御する真空ポンプ排出装置（１０）であって、分子ポンプ排出機構（１２）及びバッキングポンプ排出機構（１４）を有する真空ポンプ排出装置。バッキングポンプ排出機構（１４）は、モータ（３４）により回転可能であり、モータは、分子ポンプ排出機構（１２）をバッキングポンプ排出機構（１４）と同時に回転させるようになっている。バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構の回転速度を制御する手段が設けられる。
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少なくとも１つのターボ圧縮機段（１１）を有する多段式の摩擦真空ポンプは、ターボ圧縮機段の吐出し側にサーキュラ圧縮機段（３３）を備えている。このサーキュラ圧縮機段（３３）は僅かな軸方向の寸法を有している。このサーキュラ圧縮機段（３３）によって、スペース要求が著しく高められる恐れなしに、圧縮が増大させられる。
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差圧ポンプ型質量分光計システムは、複数の圧力チャンバを有する質量分光計と、質量分光計に取付けられかつ少なくとも３つのポンプ入口を有する真空ポンプと、第一ポンピングセクションと、第一ポンピングセクションから下流側の第二ポンピングセクションと、第二ポンピングセクションから下流側の第三ポンピングセクションとを備え、比較的低圧の第一チャンバからの出口が第一ポンプ入口に連結されており、第一ポンプ入口を通って流体が第一チャンバからポンプに流入しかつ第一ポンピングセクション、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションだけを通ってポンプ出口へと流れることができる。分光計の第二中間圧力チャンバが第二ポンプ入口に連結され、第二ポンプ入口を通って流体がポンプに流入できる。分光計の第三の最高圧力チャンバの出口が第三ポンプ入口に連結され、第三ポンプ入口を通って流体がポンプに流入することができ、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションを通過する。第三ポンピングセクションの少なくとも一部だけがポンプ出口に向っている。バッキングポンプは、使用時に、分光計からポンピングされる流体質量の少なくとも９９％が、真空ポンプおよびバッキングポンプの両方を通って流れるようにポンプ出口に連結されている。
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真空ポンプは、分子ドラッグ排気機構と、再生排気機構と、を含む。分子ドラッグ排気機構のロータ要素は、再生排気機構のロータ要素を取り囲む。
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本発明の真空ポンプは、流体が入る入口と、ポンピングされた流体を排出する出口と、前記入口と出口との中間点の位置と連通するポンピング手段と、前記ポンピング手段により受け入れられる流体の少なくとも一部を受け入れ、その中の汚染物の存在を検出するセンサーとを有する。
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回転軸（１０１）の周りを回転するシャフト（２０）を回転自在に支持するための電磁ベアリング装置（１）を開示する。装置（１）は、第一作動ラジアルベアリング（５）、一つまたは複数の第一ラジアル変位センサ（８１）、および軸方向ベアリング（６，７）からなる。軸方向ベアリング（６，７）の少なくとも一部分は、回転軸（１０１）の正射影で見たときに、第一作動ラジアルベアリング（５）と第一ラジアル変位センサ（８１）との間に配置される。また、前記電磁ベアリング装置（１）と複合センサユニット（８）からなる真空ポンプを開示する。
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