【課題】改善された真空技術的性能を有する真空ポンプ用高速回転ロータを提供することである。
【解決手段】第１のスリーブ１６および支持構造（１４；６０）を含む、真空ポンプ２用高速回転ロータ１０に関するものである。真空技術的性能を上昇させるために、第１のスリーブ１６の内側に第２のスリーブ１８が配置され且つ第１および第２のスリーブが複合材を形成することが提案される。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造において高い圧力比を有する真空ポンプを提供することである。
【解決手段】軸１２、軸と結合されたハブ４０、およびハブの第１の側と結合された、軸に同心の第１のスリーブ５０、を有するロータを備えた真空ポンプ特に分子真空ポンプに関するものであり、少なくとも１つの第２のスリーブ５２が、軸に同心に、軸方向においてハブの第１の側に向かい合う第２の側でハブと結合され、および第１のスリーブは、ガス流れ内において第２のスリーブに後続配置されている。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置５０は、周縁部５１ａの内周側に凹部５１ｂを有するベース部材５１と、ベース部材５１の凹部５１ｂ側に取り付けられた覆い部材５２を有する。ベース部材５１の凹部５１ｂ内には、高電圧が入出力される電力系ユニット７０が配置され、覆い部材５２の内面側には制御系ユニット８０が配置される。電力系ユニット７０を構成する回路基板７１の配線および電子部品７２、７３の端子部７２ａ、７３ａ等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料５５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ及び又はねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、ねじ溝
ポンプ部のロータとステータとの間の微小な間隙を更に狭めることなしに、高いポンプ効
率が得られるようにする。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部３のロータ３ａの表面及び該ロータ表面と対向するステータ
３ｂの表面の少なくとも一方の表面にセラミックスの粒子のブラストを行なって、該表面
に０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸３ａ１を有する粗表面に形成した
。 （もっと読む）

【課題】排気効率の低下を防止することができる粒子捕捉ユニットを提供する。
【解決手段】パーティクルＰが飛来する空間に晒されるパーティクルトラップユニット４０を構成する第１のトラップユニット４０ａは、複数の第１のステンレス鋼４４ａからなる第１のメッシュ状層４４と、複数の第２のステンレス鋼４５ａからなる第２のメッシュ状層４５とを備え、第１のステンレス鋼４４ａの太さは第２のステンレス鋼４５ａの太さよりも小さく、第１のメッシュ状層４４における第１のステンレス鋼４４ａの配置密度は第２のメッシュ状層４５における第２のステンレス鋼４５ａの配置密度よりも高く、第２のメッシュ状層４５は第１のメッシュ状層４４及びパーティクルＰが飛来する空間の間に介在し、第１のメッシュ状層４４及び第２のメッシュ状層４５は焼結によって焼き固められて互いに接合している。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

高真空ポンプ１１が複数のポンピングステージを備え、該ポンピングステージはそれぞれ、少なくとも１つの回転型ロータ要素１、１３、３３と１つの固定ステータ要素とを含む複数の相互に協働する要素を備える。ポンピングステージのうちの少なくとも１つのポンピングステージの要素のうちの少なくとも１つの要素は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られており、短繊維は、プラスチック材料のマトリックス内部に無秩序で実質的にランダムに分散されている。短繊維によって強化されたプラスチック材料の使用は、射出成形によって少なくとも１つの要素を作ることを可能にし、また従来の真空ポンプと比べた場合に大幅に削減された生産コストで真空ポンプ１１を製造することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】アンバランス修正用部材により、ロータアンバランスの修正と、ロータ温度が許容温度を越えたか否かを判断することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】外周面に排気作用部としての回転翼８が設けられた円筒状のロータ２を高速回転して、ガスを排気する真空ポンプにおいて、アンバランスを修正する修正用磁性部材としてのＣ型リング２１は、ロータ２の許容温度に相当するキュリー温度を有する磁性材料で形成され、ロータ２の内周面に該ロータ２のアンバランスを修正するために付加される。Ｃ型リング２１と対向する位置には、Ｃ型リング２１の透磁率変化を検出するインダクタンス式のギャップセンサ４４が配設されている。検出部３１は、Ｃ型リング２１の透磁率変化に基づいてロータ２の温度を監視する。 （もっと読む）

【課題】強い磁場内でも安全に運転することができて、周辺機器と干渉する心配がなく、分子ポンプ本体への固定にも問題がないような構造のシールド機能を有する分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部Ｔのロータの動翼２Ａを囲むケーシング６Ａとねじ溝ポンプ部Ｓの外部を覆うケーシング６Ｂとを軟磁性材料からなる一体のケーシング６にて形成すると共に、該ケーシング６の下方部をポンプ本体Ｐの下端部より下方に延長した。 （もっと読む）

【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による固定翼の座屈変形、およびその変形による固定翼と回転翼との接触を防止することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】固定翼３３を軸方向上下から挟持する一対のスペーサリング３５は、挟持状態において固定翼３３の外周縁部が挿入されるリング状の溝３５０を形成し、外周縁部の外周端と該外周端に対向する溝３５０の底面との間の隙間寸法が、固定翼３３の熱膨張による外周端の底面方向への移動量Δよりも大きく設定されているので、固定翼３３が熱膨張したときの座屈を防止できる。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関しており、真空ポンプは軸(12)に支持されたポンプ要素(14)を備えている。軸(12)は、第１の軸受組立体(24)と第２の軸受組立体(26)とによりポンプハウジング(10)内に支持されている。動作中に生じる軸(12)とポンプハウジング(10)との熱膨張の差を補償するために、第１の軸受組立体(24)は、軸方向の移動を少なくとも部分的に補償するための補償要素(32)を有する。
（もっと読む）

【課題】排気速度の低下を抑えつつ、反跳パーティクルの逆流を防止するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】多段の回転翼32が形成され、高速回転するロータ30と、回転翼32に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼33と、回転翼32および固定翼33を収容し、吸気口21aが形成されたポンプハウジング34と、ロータ30の吸気口側に近接して設けられ、ロータ30の回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤150と、吸気口21aとロータ30との間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体153a,153bとを備え、ロータから吸気口側に反跳したパーティクルを、網目構造体153a,153bの内部に捕捉するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成により磁気軸受システムを構成し、水蒸気排気速度の増大に対応可能なターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】高温超伝導磁気軸受をポンプロータの軸端に設け、クライオトラップを用いた冷凍機で高温超伝導磁気軸受を冷却するよう構成したので、被支持体のパラメータの変化（例えば、回転翼の重量増大）に応じて、排気速度、支持能力、および減衰能を増大させ、高温超伝導磁気軸受部の付加コストも極小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】磁性体に不要な応力が作用せず正確に温度測定ができる非接触式温度計を備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】磁性体Ｍ１〜Ｍ３は３体に分割された四角矩形体の小片に形成され、フランジ３Ｐの凹部３Ｋに固設されている。この分割体化によって応力が低減できる。これら各四角矩形体の磁性体Ｍ１〜Ｍ３はそれぞれがフランジ３Ｐの回転中心から等距離に位置するよう円弧状に配設されるのが望ましい。分割体は小さい円筒体にすることもできる。フランジ３Ｐへの固設は接着剤による方式でもよい。 （もっと読む）

【課題】高速の回転機械のロータの温度や他の作動パラメータを測定するための、簡単で費用のかからない構造の非接触装置を提供する。
【解決手段】高速回転機械、特にターボ分子真空ポンプ100のロータの少なくとも温度を測定するための非接触装置は、ポンプ100のロータ101に取り付けられた少なくとも1つの磁気カプセル10を備えている。カプセル10は、永久磁石2と、測定されることになる最高温度よりもわずかに高いキュリー温度および温度に強く依存する透磁率を有する強磁性の材料からなる少なくとも1つのパステル3とを備えている。パステルは、磁石2により生成される磁場を変化させることを意図している。ポンプ100のステータ102に支持された検知器4は、カプセルが検知器の前を通過したときはいつでも、ロータの温度に従って変化しカプセル10により生成される磁場を表すパルスを発生させる。 （もっと読む）