【課題】高速回転ロータを有する真空ポンプの急速な通気を可能にする方法および装置を提供する。
【解決手段】ガスの導入による、高速回転ロータ１２を有する真空ポンプ１０の通気方法に関して、通気時間を改善するために、導入されたガスにより形成された、第１の値から第２の値への回転速度低下に対する期間が決定される時間測定の評価により、少なくとも１つの通気弁２６１、２６２を含む弁装置２６の流量が設定される。真空ポンプ１０を備えた装置は、第１の値から第２の値への回転速度低下に対する期間を決定するための通気時間測定器５０と、基準値５４がその中に記憶されている基準値メモリと、前記期間を前記基準値５４と比較し且つ比較結果を形成するための時間比較器５２と、少なくとも１つの通気弁２６１、２６２を含む弁装置２６の流量を前記比較結果の関数として設定する弁制御３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ２０と、前段真空ポンプ２０の後段に設置される後段真空ポンプ３０と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ５０と、通常ライン２７３と増量ライン２７４から構成され、前段真空ポンプ２０及び後段真空ポンプ３０に軸シールガスを供給するガス系統２７０と、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいてガス系統２７０を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された翼排気部１０と、軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部位４３の前記スパイラル溝４５との対向面と反対の面、および下側回転側部位４３と軸方向に対向する固定翼６３の面の少なくとも一方の面に、気体を半径方向に圧縮排気する遠心翼要素４３ａ，６３ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】ロータ・ステータ・クラッシュの場合においても真空気密性が保持されたままである、高速回転ロータを有する真空ポンプを備えた装置を提供する。
【解決手段】本発明は、高速回転ロータ（２）およびステータ（３）とを有する真空ポンプ(１)と、室フランジ（５）を備えた真空室（４）と、および真空ポンプおよび真空室間に設けられている中間構造部分（６）とを備え、この場合、真空室、真空ポンプおよび中間構造部分が着脱可能に相互に結合されている、装置に関するものである。大きなトルクを真空室に確実に伝達可能な結合を提供するために、真空ポンプが、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に室フランジ（５）と結合されている結合手段（７）に配置されていることが提案される。 （もっと読む）

【課題】 冷却水の供給量の最適化をはかり省エネルギー化に貢献するターボ分子ポンプＴＰを提供する。
【解決手段】 ターボ分子ポンプＴＰへ冷却水ＣＷを供給する配管８に直列的に、温度により開度が変化する流温感知弁Ｖがターボ分子ポンプＴＰに密着して設置されている。この流温感知弁Ｖのハウジング１１内に線膨張係数の大きなワックスＷＸが封入され、ワックスＷＸの熱膨張を利用して流路１２の開閉を行う。流温感知弁Ｖの内方の弁体１４は摺動可能で弁体１４は下方に付勢されるが、ワックスＷＸが封入された拡縮体２０による付勢力がターボ分子ポンプＴＰの温度に相応するワックスＷＸの膨張量で発生する。ハウジング１１に規制ピン２１が植設され、ターボ分子ポンプＴＰの温度が下降してワックスＷＸが収縮したとき、バネ１５にて弁体１４が下方に押されるとき、弁体１４が流路１２を完全に閉塞しないで最少量の流量を維持させるよう付勢が制限される。 （もっと読む）

【課題】水素ガスの排気速度を大きくするとともに、メンテナンスの作業性を簡略化した真空排気装置を提供すること。
【解決手段】真空排気装置１００に水素濃度センサ７と圧力センサ８を設け、ターボ分子ポンプ３０の吸気側配管３内の水素分圧をモニターし、水素分圧を変化させる各種パラメータをパラメータ制御部９により制御する。すなわち、パラメータ制御部９から水素分圧に比例する電気信号を、開閉バルブ制御部１１、調整バルブ制御部２１およびモータ制御部３１の各制御部へ出力し、開閉バルブ１０、調整バルブ２０およびターボ分子ポンプ３０のモータをそれぞれ独立に制御する。これにより、ターボ分子ポンプ３０の吸気口側の水素分圧を増加させ、水素ガスの排気速度を大きくすることが可能となる。また、水素濃度センサ７、圧力センサ８のメンテナンス作業は簡単である。 （もっと読む）

本発明はプロセス流量及びターボ分子ポンプにより真空化される真空プロセス室内の圧力を制御するための装置及び方法である。ポンプとプロセス室との間のスロットル弁は圧力及び流量を規制するように制御される。ポンプの下流側の支援弁はまた好ましい安定した作動範囲内でのスロットル弁の設定を維持するように制御される。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ＴＭＰを付帯するバイパス管路及び弁類と一体化して、単一のサブアッセンブリが製作されるようにすることに関する。ＴＭＰのハウジングは、高真空システムを構築するのに必要な関連機器を収容するために大幅な改造が施されている。 （もっと読む）

【課題】ダクト付きの単一のバルブ・アセンブリであって、前記バルブ・アセンブリを、内側ダクトおよび外側ダクトを有する同軸接続によって、クライオポンプに接続するパージ弁ポートを備えた統合化クライオポンプ・バルブを提供する。
【解決手段】加圧気体との接合部が、内側ダクトを介して加圧気体の供給源をクライオポンプに接続している。粗引き弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを粗引き真空ポンプに接続でき、逃がし弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを排気筒に接続できる。 （もっと読む）

ロードロック室を排気するための真空排気装置を説明する。ブースタポンプが、分子ドラッグ段と、多段遠心コンプレッサ機構とを有する。補助ポンプが、流体を大気圧で又は約大気圧で排気するための多段遠心コンプレッサ機構からなる。かかる装置は、在来のロードロック排気装置と関連した騒音、大きさ、及び振動レベルを下げることができる。
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