【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スピンドルモータに関する。
【解決手段】本発明によるスピンドルモータは、回転軸と、前記回転軸を収容して回転可能に支持する軸受と、軸受が内部に取付けられる軸受ホルダと、前記軸受ホルダの外径に積層されて取付けられたコア及び前記コアに巻線されたコイルからなる電機子と、前記電機子との電磁気力により回転するように、内部に磁石が取付けられ、前記回転軸の外径に取付けられるロータケースと、前記ロータケースに対向するように前記電機子または前記軸受ホルダに選択的に取付けられ、吸引力により前記ロータケースの浮上及び離脱を防止する電磁石と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超高速回転でも長寿命と安全性を確保することができるスキャナモーターを提供する。
【解決手段】回転可能な軸支用回転軸１４０、及び回転軸１４０を回転可能に支持するために、上部に流体動圧軸系１３１が備えられ、下部に含油焼結軸系１３２が備えられた中空の円筒状ベアリング１３０を含む。また含油焼結軸系１３２と回転軸１４０の間の接触面が曲面であり、流体動圧軸系１３１の長さは含油焼結軸系１３２の長さより長いスキャナモーター。 （もっと読む）

静止部材と、静止部材に対して回転可能な回転可能部材と、静止部材と回転可能部材とを相互に接続し、潤滑流体によって分けられる作動面を有するハイドロベアリングとを含み、潤滑流体は、少なくとも１１０の粘度指数を有する少なくとも１つの合成エステルベース流体と、１０から５０００ｐｐｍの少なくとも１つの導電性誘導剤と、潤滑流体の全重量を基準として、０．０１重量％から５重量％の少なくとも１つの酸化防止剤と、潤滑流体の全重量を基準として、０．０１重量％から５重量％の少なくとも１つの耐摩耗添加剤とを含む、ディスクドライブスピンドルモータ。
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【課題】流体動圧軸受け装置、およびこれを用いたモータの構造を簡略化するとともに、潤滑流体の漏れを防止することである。
【解決手段】動圧軸受け装置は、軸部２８とフランジ部３２とを有する軸部材２４、および、軸部材２４に対し相対的に回転自在なスリーブ部材２６を備える。軸部２８の外周面とスリーブ部材２６の内周面との間の間隙にはラジアル動圧軸受けが構成され、フランジ部３２の一面とスリーブ部材２６の第一対向面との間の間隙にはスラスト動圧軸受けが構成される。軸部材２４又はスリーブ部材２６は、スラスト動圧軸受けによって発生するスラスト方向の支持力とは反対方向へ磁気力によって吸引されている。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】起動時ないし停止時における摺動摩耗を確実に低減し得る流体動圧軸受装置を提供する。
【解決手段】ハウジング７および軸受スリーブ８により回転自在に支持される軸部材２は、軸部２１と、軸部２１の下端に一体又は別体に設けられたフランジ部２２とで構成される。フランジ部２２の一部をなす一方の磁極２３が永久磁石で構成されると共に、一方の磁極２３との間でスラスト方向の磁力を発生できる位置、例えばハウジング７の底部７ｂの下端面側に他方の磁極１１が取り付けられている。他方の磁極１１は、いわゆる電磁石をなすもので、磁心１２と、磁心１２の周囲に巻き付けられたコイル部１３とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】減衰性や制御性を高めることができ、また、クリーンルーム等の環境で使用する装置類に好適な流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフト１と、シャフト１の外周に対して非接触状態の軸受２を備え、軸受２は、シャフト１の軸線方向における両側に、シャフト１の全周にわたって気体を供給する気体供給部３，３を備えると共に、両気体供給部３，３の間に、シャフト１の全周にわたって液体Ｌ１を供給する液体供給部４を備えた流体軸受装置としたことにより、気体による低摩擦機能に加え、液体の粘性によるダンパ機能を確保して減衰性や制御性を高めることができ、また、液体の漏出を阻止してクリーンルーム等の環境で使用する装置類に非常に好適なものとなった。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受式モータにおいて、コストの低廉化を図ることができるとともに、モータ使用時の軸受け温度を考慮することなく、高精度及び安定した強度で動圧軸受部を固定すること。
【解決手段】一端に開口部を有する樹脂製のハウジング１１０内に、動圧軸受部１５０を配し、この動圧軸受部１５０にロータシャフト１４０を回転自在に支承させる。動圧軸受部１５０の内周面にはヘリングボーン溝部が形成され、動圧軸受部１５０とロータシャフト１４０のとの間には潤滑油が配させる。ハウジング１１０内の動圧軸受部１５０の上端部を覆うようにキャップ１９０が取り付けられている。キャップ１９０は、開口部を閉塞する蓋上面部の外周縁から垂下する筒状壁部の内周面で、動圧軸受部１５０の上端部の外周面に圧入により外嵌され、外周面でハウジング１１０の開口部の内周面に内嵌されて固定させる。 （もっと読む）

【課題】電動機の中で発生する軸方向力を全面的に、しかも単独で受けるのに適し、特に、小型ディスクドライブ装置に具備されるスピンドルモータに好適に利用できるスラスト磁気軸受を提供する。
【解決手段】スラスト磁気軸受は、少なくとも1個の永久磁石と、該永久磁石に割り当てられ、該永久磁石の対向する端部に配設されつつ、回転軸に対して半径方向及び垂直方向に配された少なくとも2個の磁束誘導部材とから成る第1の軸受構成部材と、軸方向に互いに間隔を置いて配設されつつ、前記回転軸に対して半径方向及び垂直方向に配された少なくとも2個の磁束誘導部材(32; 132)から成る第2の軸受構成部材を含む。第2の軸受構成部材に属する前記磁束誘導部材(32; 132)の各々は、前記第1の軸受構成部材に属する前記磁束誘導部材(28; 128)に割り当てられつつ、空隙(34)を置いて該磁束誘導部材と半径方向に直に正対する。 （もっと読む）

【課題】回転システムで起こる共振を減衰させることにある。
【解決手段】回転システムの共振を減衰する方法を開示しており、同方法は、回転システム中の振動運動を表す式の展開、同式からの導関数の採用、運動を減衰させるため導関数に基づき位相のずれた能動的な減衰力を回転システムに加えることを含んでいる。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】始動の際にも定常運転状態においても最小限の摩擦しか引き起こさず、しかも、特に、ミニディスクドライブ装置用スピンドルモータに好適に用いることができるハイブリッド軸受を備える電動機を提供する。
【解決手段】流体軸受として形成されたラジアル軸受（２８）及び磁性素子によって形成されたアキシャル磁気軸受（３０）を備え、ロータをステータ（２０）に相対的に軸支するハイブリッド軸受を具備する電動機であって、該磁性素子が、半径方向において互いに対向するよう配設された少なくとも１個の永久磁石（３４）及び１個の磁束導体（３２）を含む電動機。 （もっと読む）

【課題】軸受摩擦を低減し、これによりモータの消費電力を低減することができる軸受装置を備えたスピンドルモータを提供すること。
【解決手段】スピンドルモータは、ラジアル軸受及びスラスト軸受によって相対回転可能に支持された固定部と回転部とを有し、ラジアル軸受が流体軸受で構成され、回転部が電磁駆動装置により駆動される。スラスト軸受は、磁気軸受で構成されており、この磁気軸受は、磁気的な予圧に対して反対方向の力を発するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】適切な負荷容量および軸受剛性を確保し、円滑かつ高精度な相対運動を可能とする静圧軸受装置を低コストに提供する。
【解決手段】軸部材２の外周面２ａとの間にラジアル軸受隙間４を形成する軸受部材３に、加圧流体の流体圧で軸部材２の側に弾性変形可能な部分を有する電鋳部５を設けた。かかる構成によれば、流体圧を調整することにより、ラジアル軸受隙間４の幅を最適な負荷容量および軸受剛性を確保し得る隙間幅とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 ラジアル方向の荷重だけでなくアキシャル方向の荷重も低摩擦で支持できる磁性流体軸受を提供する。
【解決手段】 この磁性流体軸受１は、軸受外輪２とこの軸受外輪２内に軸受隙間ｇを介して嵌まった軸３のいずれか一方の軸受隙間形成面７ａに、複数の磁極４を互いに円周方向に分散して全周に設ける。軸受外輪２と軸３のいずれか他方は非磁性材料からなり、上記複数の磁極４により軸受隙間ｇ内に磁性流体５を保持させる。軸受の両端には磁石１１を配置し、その磁石１１と対向する面が同極となるように、上記非磁性材料の端面に磁石１３を設ける。 （もっと読む）

【課題】 安価かつ簡単な構成で回転体（シャフト又はスリーブ）の回転軸方向の位置を保持し得る空気動圧軸受、及びブラシレスモータを提供する。
【解決手段】 上下の組のヘリングボーン溝５により発生される動圧が不均一となるのを放置したままの状態で、閉空間１０ａから外部に通じる空気の流路（空調孔１５）をシャフト１の中心部に形成することにより、上記動圧の不均一によって回転体（シャフト又はスリーブ）の回転軸方向の位置が変位するのを抑制する。 （もっと読む）