【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかもチャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストな加熱素子を提供する。
【解決手段】 少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に第三の元素が含有された化合物からなる耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】共通電極板に接続される電線の太径化を抑制して、電気ヒータの小型化を図る。
【解決手段】通電発熱部材２３と、熱交換フィン２２と、通電発熱部材２３および熱交換フィン２２に接触して通電発熱部材２３へ通電させる電極板とを順次積層して放熱部を構成した電気ヒータにおいて、２つの通電発熱部材２３へ同時に通電する共通電極板２４ａに２つの端子部２４ｃを一体に形成して、これらの端子部２４ｃにそれぞれ電線２７を接続する。これにより、電線２７の線径を太線化することなく一本当たりの電線２７に流れる電流を小さくできるので、電線２７の取り回しスペースの縮小化や電線２７を接続する接続コネクタの小型化が可能となり、電気ヒータ全体を小型化できる。 （もっと読む）

【課題】耐電圧を向上させた加熱体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る加熱体Ａは、ＡｌＮ基板１と、ＡｌＮ基板１上に帯状に形成された発熱抵抗体３と、発熱抵抗体３を覆うように形成された保護膜４とを有する加熱体Ａであって、保護膜４は、発熱抵抗体３を覆う第１保護膜４１と、この第１保護膜４１を覆う第２保護膜４２とを有しており、第１保護膜４１は、結晶化温度がガラス軟化点よりも５０℃以上高い結晶化ガラスまたは半結晶化ガラスを上記ガラス軟化点よりも高温でかつその差が７０℃以内である焼成温度で焼成されており、第２保護膜４２は、非晶質ガラスで形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】炭素質膜セグメントに容易に電極形成でき、かつリード線の機械的接続強度の高いセラミック発熱体を提供する。
【解決手段】所定形状の陶板１１の一方面１１ａに形成した炭素質膜セグメント１に通電することにより発熱させるようにしたセラミック発熱体１０であって、炭素質膜セグメント１０の適所には、溝３ａと、その溝３ａの長手方向に沿って形成した一対の挿通孔３ｂ、３ｂとを有したリード線固着部３とを形成しており、絶縁被膜の一部を剥離して導体部を露出させたリード線４を、挿通孔３ｂの一方から他方に挿通させ、その導体露出部４ａを溝３ａに導電固着させた構造にしている。 （もっと読む）

【課題】定着用のフィルムとの摺動性を向上させて良好な定着性を有するヒータを実現する。
【解決手段】耐熱・絶縁性材料で形成した長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に平行して発熱抵抗体１２，１３を形成する。直列接続された状態の熱抵抗体１２，１３に電極１４，１５から電力を供給する。発熱抵抗体１２，１３上に絶縁ガラス製のオーバーコート層１９１，１９２を形成する。電極１４，１５およびオーバーコート層１９１，１９２以外にオーバーコート層１９１，１９２の表面粗さと異なる粗さのオーバーコート層２０を形成する。これによりヒータを構成する。ヒータの摺動面に加圧ローラによりフィルムを摺動させたとき、ガラス表面の粗さを変えているため、適度なフィルム摺動性が得られスリップやトルクアップ等を防止できる。 （もっと読む）

【課題】部位によらず発熱時の温度分布が略均一である面状発熱体の提供を目的とする。
【解決手段】面状発熱体１は、電気絶縁性を有する板状の基材２を有し、この基材２の電極配置面１０上に電極５，６と発熱部７とが配されている。発熱部７は、電極５，６に対して電気的に接続されており、電極５，６への通電に伴って発熱する。面状発熱体１において、電極配置面１０の外周側における電極５，６の長手部２０ｂ，３０ｂの間隔Ｄ１および長手部２０ｄ，３０ｄの間隔Ｄ１は、電極５，６の中央部２１ａと長手部３０ｂ，３０ｄとの間隔Ｄ２よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】被焼成体を搬送するための搬送路を上下方向に複数有する多段構造の焼成炉において、前記搬送路間に設置した場合に、その上方及び下方の搬送路内を搬送される被焼成体を同時に加熱できるとともに、搬送路を仕切る薄型の隔壁としても機能し、組み立てが容易で、リード線の破断が生じにくいパネル状のヒータを提供する。
【解決手段】パネル状のヒータであって、当該ヒータの両方の面が各々その表面近傍に発熱線が埋設された発熱面４となっており、かつ、前記両方の面が各々独立して温度制御できるように構成された両面ヒータ１。 （もっと読む）

【課題】高周波プラズマを発生可能な加熱装置において、プラズマの分布を被加熱物の中央部と周縁部とで均一にして、良好な特性の製品を安定して生産することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】被加熱物を加熱する加熱面を有する絶縁性セラミックス基体１０と、この絶縁性セラミックス基体１０に配設された発熱体１３と、この加熱面より絶縁性セラミックス基体１０の内部にて、この加熱面と平行に近接して設けられた低抵抗セラミックス部材１６と、この低抵抗セラミックス部材に接続する導電性部材１８とを備える加熱装置。 （もっと読む）

【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）

ヒータ構造の製造方法および対応するヒータ構造が開示される。上記方法は、ガラスクロスのような多孔質の補強材料を準備することと、スプレーによって上記多孔質の補強材料に金属を付着させることと、その構造を堅くするために金属を付着させた上記多孔質の補強材料に樹脂を付着させることからなる。樹脂を付着させる前に多孔質の補強材料に金属を付着させることは、多孔質の補強材料と付着される金属層の間の剪断強度を向上させたり、樹脂を付着させる前に金属を付着させた多孔質の補強材料の形状を操作しうるというような多くの利点がある。ヒータ構造は、上記したような多くの用途で使用することができる。
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【課題】ヒータ寿命が長く、且つ、到達温度が高い結晶成長装置を実現する。
【解決手段】結晶基板支持部１０は、蓋部１２と、アルミナスリーブ１４と、石英管１６と、を備えている。蓋部１２の上には結晶基板１００が載置され、上方から原料ガスが導入される。アルミナスリーブ１４は、円筒状をなしており、その円筒の一方端には蓋部１２が配置される。さらにこの一方端の内部には第１の平面ヒータ１８ａと、第２の平面ヒータ１８ｂとが重畳して取り付けられている。第１の平面ヒータ１８ａと第２の平面ヒータ１８ｂとは電気的に直列に接続されており、同じ電力の場合、電流値を小さく電圧値を大きくすることができる。電流値が小さくなるので、電源コード等を細くすることができ、さらに水銀接点等の発熱を抑制できる。さらに、平面ヒータ１８を２枚で構成したので、発生する熱量をより多くすることができ、高温をより容易に実現可能である。 （もっと読む）

【課題】被加熱物を均一に加熱でき加熱効率も高く、ヒーター本体が大型化せずコンパクトであり、不純物等の飛散が少なく長寿命で安価なセラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】貫通孔１３が形成された絶縁性の板状部材１２と、導電性の導電層１９と、絶縁性の被覆層２１とを備えたセラミックスヒーター１１であって、貫通孔に導電性の接続部材１４が挿入され、一端面１６が板状部材の主面１５と同一平面をなし導電層が被覆されて板状部材に固定され、反対側は突出部１８が被覆層の形成されていない端子を構成するものであり、一端に接続部材の突出部１８が挿入される凹部２５を有する導電性セラミックスからなる棒状の導電部材２２とその外表面に設けられた絶縁性セラミックスからなる保護層２４とを有する別体のヒーター給電部品３０を具備し、接続部材１４が接続される一端の端面２３の最外部２７から凹部までが３ｍｍ以上有するセラミックスヒーター。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主に半導体ウェーハ処理装置に用いるための加熱装置に関する。
【解決手段】バッチ加熱／ウェーハ処理に用いるための加熱処理装置が提供され、ウェーハボートを受けるためのプロセスチャンバと、少なくとも１つの加熱ゾーン用の電気加熱回路を形成するように構成され、連続オーバーコート層内に封入された基板本体を含む少なくとも１つの加熱素子と、ウェーハボート内のウェーハを加熱するために少なくとも１℃／秒の温度変化率を有する加熱素子上に配置された熱反射面を含む熱リフレクタとを備える。 （もっと読む）

【課題】被加熱物に接していない面からの放熱による熱損失を小さくした、省エネルギーを考慮した可撓性面状発熱体を提供すること。
【解決手段】発熱素子１をシリコーンゴム等のシート状可撓性樹脂からなる絶縁材２に挟持した面状発熱体において、該面状発熱体の一方側の面（被加熱物に接していない面）に、５０〜３００°Cの温度条件下で、波長３〜２５μｍの赤外線の放射率が０．２以下となるアルミニウムの箔等の放熱防止材３を設けて構成した。 （もっと読む）

【課題】定着ヒータの全長より小さいサイズを通紙する場合、通紙部のみを定着に必要な温度になるよう均一に発熱させ、通紙部以外の部分での異常発熱は防ぎながらも、グリースによるローラの潤滑性を阻害させないようにする。
【解決手段】耐熱・絶縁性の材料で形成された絶縁基板１１上に、比抵抗の大きい発熱抵抗体１２，１３の両端に、発熱抵抗体１１，１２の比抵抗より小さく発熱抵抗体１２１，１２２と１３１，１３２を直列接続して形成する。直列接続された１２１，１２，１２２と直列接続された１３１，１３，１３２に対し電極１４，１５から電力を供給する。これにより、各発熱抵抗体は発熱を始めるが、通紙部以外の発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の比抵抗を発熱抵抗体１２，１３の比抵抗より小さくしたことで、発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２の異常昇温を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱面を略均一な加熱温度面になすことができる配置パターンを有するカーボンワイヤー発熱体を備えた面状ヒータを提供する。
【解決手段】カーボンワイヤー発熱体ＣＷの面内配置密度が、内側領域とこの外周に位置する外側領域で異なっており、前記外側領域の面内配置密度が内側領域の面内配置密度より密となっており、前記発熱体ＣＷに通電する接続線を有する電源端子部８が、前記シリカガラス板状体２の裏面側の中央部に配置され、前記内側領域のカーボンワイヤー発熱体と接続される接続線４ａ、４ｂは、前記シリカガラス板状体の中央部において、内側領域のカーボンワイヤー発熱体ＣＷと接続され、前記外側領域のカーボンワイヤー発熱体と接続される接続線３ａ、３ｂは、前記内側領域のカーボンワイヤー発熱体ＣＷと交差することなく、前記シリカガラス板状体の中央部から外側領域に延設され、外側領域のカーボンワイヤー発熱体ＣＷと接続される。 （もっと読む）

【課題】可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層を有する加熱体について熱効率の向上と摺動性の確保を両立できるようにする。
【解決手段】被加熱材Ｐを可撓性部材２を介して加熱する加熱装置１０７に用いられる加熱体であって、基板と、前記基板の基板面上に形成された発熱体と、前記基板７面上に形成され前記可撓性部材が接触しつつ移動するガラスコート層８の熱伝導率が２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、前記ガラスコート層の表面粗さが十点平均粗さＲｚで０．７μｍ以上１．４μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】オーバーエッチングのない所望の形状の膜パターンが形成された薄膜ヒーターを製造する。
【解決手段】基板１上に薄膜２１からなる第１の被エッチング層と薄膜２２からなる発熱抵抗層と薄膜２３からなる第２密着層を積層する積層工程と、第１のレジストマスク３１を形成する第１のレジスト形成工程と、第１のレジストマスク３１を用いて第２密着層及び発熱抵抗層をエッチングして第１密着層の上面の一部を露出する第１のエッチング工程と、第１のレジストマスク３１を除去する工程と、第２密着層の上面及び側面と発熱抵抗層の側面とを被覆し且つ第１密着層の露出された上面における第２密着層及び発熱抵抗層の周囲の部分を被覆する第２のレジストマスク３２を形成する第２のレジスト形成工程と、第２のレジストマスク３２を用いて第１密着層をエッチングする第２のエッチング工程と、を含む薄膜ヒーター１０の製造方法である。 （もっと読む）

【解決手段】ガラスパネルは、導電性フィルムを設けたガラスシートと、導電性フィルム上に配置された導電体とを有し、ガラスシートと導電体とに係合するリテーナにより、導電体と導電性フィルムとの間の電気的接触を高める導電体に、圧縮圧力を加える。加熱ガラスパネルは、導電性フィルムを設けたガラスシートと、導電性フィルム上の第１の位置に配置する第１導電体と、導電性フィルム上の第２の位置に配置する第２導電体を含み、直流電源の第１端子は、第１導電体に接続され、制御システムは、直流源の第２端子と第２導電体の間に直列に接続され、直流源を第２導電体に接続している。
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【課題】炭素ナノチューブを利用した発熱体の提供を目的とする。
【解決手段】上記課題を達成するため、耐熱性を有する耐熱基材と、耐熱基材の少なくとも一面に形成される炭素ナノチューブ（ＣＮＴ、Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏ ｔｕｂｅ）コーティング層と、炭素ナノチューブコーティング層に電気的に接続され、電源に接続するときに前記炭素ナノチューブコーティング層の発熱を誘導する１対の電極と、を含むことを特徴とする発熱体を採用する。本発明によれば、耐熱基材に、炭素ナノチューブをコーティングする簡単な製造工程の採用が可能で、全体的な製造時間の短縮化ができ、製品形状及び寸法の変更が容易でに行え、従来の材質の発熱体に比べ、発熱効率が優れるものとなる。 （もっと読む）