【課題】低透過性の高いガスバリアフィルムを成膜することが可能な成膜装置、成膜方法を提供すること、および低透過性の高いガスバリアフィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】成膜装置１は、基材８１の成膜面８１０にガスバリアフィルム８２を成膜する。成膜装置１は、基材８１が配置されるプラズマ生成室２０と、プラズマ生成室２０に露出する誘電体２１と、を有する減圧容器２と、プラズマ生成室２０に原料ガスを供給する原料ガス供給部５０と、プラズマ生成室２０にキャリアガスを供給するキャリアガス供給部５１と、マイクロ波ＭＷをプラズマ生成室２０に導入するスロットアンテナ３と、誘電体２１と基材８１との間に配置され負のバイアス電圧が周期的に印加される加速部材４と、ガスバリアフィルム８２を成膜する際に基材８１を冷却する冷却部材４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】３層以上の配線を接続する際に、最も効率的にかつ最小面積で接続を行えるコンタクト構造を実現可能な半導体装置およびその製造方法、並びに表示装置を提供する。
【解決手段】基板２０１上に３層以上のｎ層の導電層２０２〜２０４が積層して形成され、ｎ層の導電層がコンタクトパターンを介して接続され、コンタクトパターンが形成される一つの主コンタクト領域には、（ｎ−１）個の導電層２０２，２０３を接続する（ｎ−１）個の接続領域２１１，２１２を有し、（ｎ−１）個の導電層のうち基板２０１に対する積層方向（基板２０１の主面に対する法線方向）において第１層より上層の導電層は、その終端部がコンタクトパターンＣＰＴＮの縁の一部に臨むように形成され、（ｎ−１）個の導電層は、第ｎ層の導電層により電気的に接続されている。第ｎ層の導電層は、コンタクトパターンＣＰＴＮであるコンタクト孔を埋めつくよう形成されている。 （もっと読む）

【課題】表示パネルごとの光量を上げなくても、多くの光量を得ることができる電気光学装置を提供すること。
【解決手段】電気光学装置としての投射型表示装置１００は、各表示ユニットに設けられ互いに異なる発光ピーク波長を有する第１表示パネルおよび第２表示パネルと、第１および第２表示パネルから入射した光を合成して射出するダイクロイックミラー（第１光学素子）と、各表示ユニット１０，２０，３０の表示光（ＲＧＢ）を合成して射出するクロスダイクロイックプリズム４０（第２光学素子）と、を備え、ダイクロイックミラーは、第１表示パネルの発光ピーク波長と第２表示パネルの発光ピーク波長との間に、光の透過と反射とが分かれる光学特性のしきい値を有し、クロスダイクロイックプリズム４０は、第１表示ユニット１０の発光と第３表示ユニット３０の発光とを反射して、第２表示ユニット２０の発光を透過する光学特性のしきい値を有している。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造を要することなく、小型且つ高品位な有機ＥＬ装置、およびこれを備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】本適用例のトップエミッション型の有機ＥＬ装置１００は、基体としての基板１０上に配置された、光反射性を有する反射層３Ｅと、反射層３Ｅ上に絶縁層としての第３層間絶縁膜４Ｈを介して画素毎に配置された、光透過性を有する第１電極としての陽極３Ａと、陽極３Ａ上に配置された、少なくとも発光層を含む有機機能層４Ｊと、有機機能層４Ｊ上に配置された、光反射性および光透過性を有する陰極２Gと、反射層３Eと陰極２Gとの間に形成された、有機機能層４Jからの光を共振させる光共振器４Ｎとを備えると共に、反射層３Eと絶縁層４Hと陽極３Ａとにより構成された保持容量２Cを有する。このような構成は、ボトムエミッション型の有機ＥＬ装置にも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】表示装置における発光層からの光を、平坦化膜、層間絶縁膜、トランジスタのゲート絶縁膜等の絶縁膜を介して取り出す際、光が各絶縁膜を通過する毎に、その絶縁膜の表面の微妙な凹凸により、乱反射が起こる。これにより、不要光が発生し、画素の輪郭が不明瞭となったり、トランジスタの特性が劣化する等の問題が生じていた。
【解決手段】本発明に係る表示装置は、基板上に設けられたトランジスタと、前記トランジスタ上に設けられた遮光性を有する絶縁膜と、前記遮光性を有する絶縁膜上に設けられた発光素子とを有し、前記遮光性を有する絶縁膜には、前記発光素子からの光を通過させる開口部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】新規な両面発光表示装置を用いた新規な電子ブックを提供する。
【解決手段】第１乃至第４の表示面を有する電子ブックであって、前記第１の表示面を有
する第１の片面表示パネルと、前記第４の表示面を有する第２の片面発光パネルと、前記
第２及び第３の表示面を有する両面発光パネルと、を有し、前記両面発光パネルは、前記
第１の片面発光パネルと第２の片面発光パネルとの間に挿入されており、前記電子ブック
を閉じたとき、前記第１の表示面と前記第２の表示面は対向するように配置されていると
ともに、前記第３の表示面と前記第４の表示面は対向するように配置されており、前記第
１及び第２の表示パネルに用いられている基板はガラスであり、前記第３の表示パネルに
用いられている基板はフィルム基板である電子ブック。 （もっと読む）

【課題】受光素子の受光面に発光層からの直接光や対象物から斜めに入射した散乱光が入射することを抑制しつつ装置を薄型化する。
【解決手段】センシング装置は発光部２０と受光部３０を備え、発光部２０は受光部３０より対象物Ｆ側に位置する。発光部２０は、照射光ＩＬを発する発光層２６と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを透過する第１電極２２と、照射光ＩＬと反射光ＲＬを遮光すると共に開口部が形成された第２電極２４とを備える。また、受光部３０は、反射光ＲＬを受光する受光素子Ｄを備える。対象物Ｆ側から平面視した場合に、受光素子Ｄの受光面は第２電極２４の開口部内に位置する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ照明パネルの透明電極に形成される開口部の割合を大きくする。
【解決手段】素子基板１１の表面全面にＩＴＯ膜を真空蒸着法で積層した透明電極１３の上に、素子基板１１の四辺に沿ってクロムからなる第１給電部としての正電極給電部２０を形成し、正電極給電部２０の上にアクリル系フォトレジスト材料を用いて塗膜・パターン形成を行い、層間絶縁膜１４を形成する。続いて、有機ＥＬ発光層１５を形成するが、層間絶縁膜１４及びレジストパターン２２がマスクの役割を果たすため、アライメント精度の高いシャドーマスクは必要ない。さらに、アルミニウムを真空蒸着して金属電極１６を形成する。金属電極１６の四辺にアルミニウム膜を厚く積層して、第２給電部としての負電極給電部２１を形成し、金属電極１６の上に封止基板１２を積層する。 （もっと読む）

【課題】 可撓性を有するアクティブマトリクス型表示装置を実現する方法を提供することを課題とする。また、異なる層に形成された配線間の寄生容量を低減する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 第１の基板上に形成された薄膜デバイスと第２の基板とを接着して固定した後、第１の基板を取り除いて薄膜デバイスに配線等を形成する。その後、第２の基板も取り除き、可撓性を有するアクティブマトリクス型表示装置を形成する。また、第１の基板を取り除いた後、配線を活性層のゲート電極が形成されていない側に形成することにより、寄生容量を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】画像表示装置において、発光素子の経時的変化による発光輝度の変化を駆動トランジスタの特性変動の影響を抑制した形で補償する。
【解決手段】画像表示装置において、複数の画素を備え、各前記画素は、通電により発光する発光素子（ＯＬＥＤ）と、前記発光素子の発光を制御するドライバ素子（Ｔｄ）と、発光素子及び前記ドライバ素子に対して電気的に接続され、少なくとも前記発光素子の発光中に前記発光素子に印加される電圧を直接的または間接的に検出し、該検出結果を前記ドライバ素子に反映させる制御回路（Ａ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】表示画素に有機電界発光素子を用いた場合に、装置全体の厚みを増大させることなくタッチセンサ機能を付加することが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】ボトムエミッション方式による有機ＥＬ表示装置１は、光取り出し面を有する透明基板１１上に、複数の画素電極１９Ａと、発光層を含む有機層２１と、上部電極２２と、封止用基板２４とをこの順に備える。透明基板１１と封止用基板２４との間に、透明基板１１の側から順に、検出電極１２と、この検出電極１２との間に容量素子Ｃ１を形成するセンサ用駆動電極１９Ｂとを備える。有機層２１から発せられた光は透明基板１１側から取り出される（透明基板１１側に画像が表示される）一方で、その透明基板１１の表面に接触または近接する物体の検出がなされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、バリア性および狭額縁を同時に実現することが可能であり、さらには放熱性にも優れる電子素子用積層基板を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、電子素子に用いられる電子素子用積層基板であって、絶縁層貫通孔を有する絶縁層と、上記絶縁層貫通孔に充填された第１導通部と、上記絶縁層上にパターン状に形成され、上記第１導通部上に開口部を有する金属層と、上記電子素子用積層基板の厚み方向に形成され、上記電子素子用積層基板の表裏を導通し、少なくとも上記第１導通部を有する導通部とを有し、上記導通部が上記金属層と導通していないことを特徴とする電子素子用積層基板を提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】 単層であってもガスバリア性に優れ、かつ、高い透明性を有し、さらに、内部応力が非常に低い透明ガスバリア層を、高温に加熱せずとも製造することが可能な、透明ガスバリア層の製造方法を提供する。
【解決手段】 スパッタリング法により透明ガスバリア層を形成する透明ガスバリア層の製造方法であって、炭化金属および炭化半金属から選択される少なくとも１種の炭化物を含むターゲットを用い、反応ガスとして水素含有ガスを用いる。 （もっと読む）

【課題】タッチパネル機能を有する薄型の表示パネルならびにそれを備えた表示装置および電子機器を提供する。
【解決手段】各サブピクセルは、有機ＥＬ素子１１と、有機ＥＬ素子１１を駆動する画素回路１２とを有している。有機ＥＬ素子１１は、画素回路１２に接続されたアノード電極３５、有機層３６およびカソード電極を積層して構成されている。カソード電極は、行方向に配列された複数の有機ＥＬ素子１１で共有されたカソード線ＣＴＬとなっている。カソード線ＣＴＬは、映像表示面Ｓ側に配置された検出電極ＤＥＴと共にタッチセンサの検出電極として使用される。 （もっと読む）

【課題】挟額縁化を実現可能な有機ＥＬ装置の製造方法および電子機器を提供すること。
【解決手段】第１基板２０Ａ上に設けられた発光素子を封止する封止膜を形成する封止膜形成工程を有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、マザー基板Ｗ上に複数の前記第１基板２０Ａがマトリックス状にレイアウトされると共に、第１基板２０Ａの実装端子部４０を有する辺２５が向い合せにレイアウトされ、前記封止膜形成工程では、実装端子部４０を有する辺２５の反対側の辺２８が互いに向い合うようにレイアウトされた部分においては、前記封止膜を構成するガスバリア層１９を少なくとも二つの第１基板２０Ａにまたがって形成すること特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。これによって、実装端子部４０の反対側の辺において額縁領域を狭くすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ガスバリア性に優れた透明ガスバリア層を、高温に加熱せずとも、層形成時の窒化および酸化を制御することで効率よく製造することが可能な、透明ガスバリア層の製造方法を提供する。
【解決手段】 スパッタリング法により透明ガスバリア層を製造する透明ガスバリア層の製造方法であって、炭化金属および炭化半金属から選択される少なくとも１種の炭化物を含むターゲット１７を用い、反応性ガスとして窒素ガスおよび酸素ガスを含む混合ガスを用い、前記反応性ガスにおいて、前記窒素ガスに対する前記酸素ガスの混合比率が１〜１０体積％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】重量や厚みを小さくすることが可能な表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】素子用基板の表示領域に設けられた複数の有機ＥＬ素子と、複数の有機ＥＬ素子を被覆するシリコン窒化膜と、シリコン窒化膜の上面側に設けられたカラーフィルタと、カラーフィルタの上面に設けられた可撓性フィルムとを備えた表示装置。 （もっと読む）

【課題】レーザーリペアを行なっても、駆動時間の経過に伴う輝度の低下、ダークスポットの発生・拡大といったディスプレイの劣化現象を抑制でき、かつ薄型な有機ＥＬディスプレイとその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に設けられたパターン状の第一の電極と、前記第一の電極の端部を被覆する第一の隔壁と、前記第一の電極上であって前記第一の隔壁で区画された領域に設けられた有機発光媒体層と、この有機発光媒体層を挟んで前記第一の電極に対向する第二の電極からなる有機ＥＬ素子基板を、シール剤を全面に介して対向基板と貼り合わせてなる有機ＥＬディスプレイにおいて、前記第一の隔壁上には、更に第二の隔壁が形成され、前記第二の隔壁によって区画された領域には充填剤が充填されている。 （もっと読む）

【課題】本発明では、特に、ＮＴＳＣ方式の規格末端近傍の色度範囲でも、輝度が高く、また明度（透過率）が高い画素を形成しうる着色樹脂組成物を提供することを課題とする。
本発明はまた、高品質の液晶表示装置及び有機ＥＬ表示装置を提供することを課題とする。
【解決手段】（Ａ）顔料、（Ｂ）溶剤、（Ｃ）バインダー樹脂を含有する着色樹脂組成物であって、該（Ａ）顔料として、臭素化亜鉛フタロシアニン顔料、及びニッケルアゾ系黄色顔料、及びＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を含有し、該着色樹脂組成物を用いて形成された組成物膜のＸＹＺ表色系における色度座標が、ＮＴＳＣ方式の規格末端近傍の色度範囲である時に、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を特定量含有することを特徴とする、着色樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】照明装置において、発光面側における発光領域の割合を大きくし、光源部の交換を容易とする。
【解決手段】照明装置１は、平面状の発光パネルを有する光源部２と、これと着脱自在に取り付けられる装着部３とを備える。光源部２の非発光面側の端部に係合部２１ａが設けられ、装着部３の光源部２が装着される装着面に被係合部３１ａが設けられ、係合部２１ａが被係合部３１ａに係合された状態で光源部２が装着部３に対して回動自在とされる。また、光源部２及び装着部３には夫々保持部２１ｂ及び被保持部３１ｂが設けられ、光源部２が装着部３へ装着した状態で保持される。この構成によれば、係合部２１ａ及び保持部２１ｂが、光源部２の発光面側に被らず、発光面側における非発光領域の小さくすることができる。また、光源部２を装着部３に対して回動させた状態で、装着又は取り外すことが可能となるので、光源部２の交換を容易にすることができる。 （もっと読む）