【課題】加熱室に投入された支持基板の枚数、支持基板上における樹脂の有無、支持基板の履歴などが相違している場合でも、支持基板から水分を十分に除去した後、有機機能層の形成を行なうことのできる有機ＥＬ装置、およびその製造装置を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置１００を形成する際、第１電極層１４０を形成した後、正孔注入層１８１、正孔輸送層１８２、発光層１８３などの有機機能層を形成する前に真空加熱乾燥による水分除去工程をおこなう。この水分除去工程において、加熱室内の基板１枚当たりの水分量、あるいは加熱室内の単位時間当たりの水分減少量を示す監視値が所定レベルに到達した後、有機機能層工程を行なう。 （もっと読む）

【課題】有機発光層の劣化を抑制できる有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１は、基板２と、基板２上に形成された透明電極３と、透明電極３上に形成された有機発光層４と、有機発光層４上に形成された陰極５と、有機発光層４及び陰極５を覆うように、且つ、基板２側に向かって広がるテーパ部８が外周部に形成された樹脂からなる平坦化膜６と、平坦化膜６の上面に形成された無機物からなる封止膜７とを備えている。テーパ部８は、透明電極３または基板２と接する領域まで傾斜している。 （もっと読む）

【課題】キャリア輸送能の優れた有機半導体層を備える有機発光素子、かかる有機発光素子を製造することができる有機発光素子の製造方法、かかる有機発光素子を備える電子デバイスおよび信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子（有機発光素子）１は、陽極５および陰極３と、陽極５および陰極３の間に設けられ、これら電極３、５間への電圧の印加により発光する発光層４２を有するＥＬ層（有機半導体層）４とを備え、陽極５は、金属原子と、該金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、陽極５は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、陽極５の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離して、陽極５の表面の前記領域に接着性が発現し、この接着性によりＥＬ層４と接合している。 （もっと読む）

【課題】半導体ナノ粒子を埋め込んだＳｉ絶縁膜を有するＥＬ素子を製造する方法を、高品質かつ信頼性の高い提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体ナノ粒子を埋め込んだＳｉ絶縁膜を有するＥＬ素子を製造する製造方法は、下部電極を準備し、準備した下部電極を被覆するように、ＮおよびＣからなる群より選択される元素を含む半導体ナノ粒子を埋め込んだＳｉ絶縁膜を堆積する。次いでアニール処理することにより、半導体ナノ粒子を埋め込んだＳｉ絶縁膜は、波長６３２ｎｍでの０．０１〜１．０の範囲の減衰係数（ｋ）、３ＭＶ／ｃｍより小さい電場としたときに１Ａ／ｃｍ^２よりも大きい電流密度を示す。他の態様では、半導体ナノ粒子を埋め込んだＳｉ絶縁膜は、波長６３２ｎｍでの１．８〜３．０の範囲の屈折率（ｎ）、３ＭＶ／ｃｍより小さい電場としたときに１Ａ／ｃｍ^２よりも大きい電流密度を示す。 （もっと読む）

【課題】シリコンナノ結晶を含むシリコン酸化物ＥＬ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のＥＬ装置の製造方法は、基板底部電極の形成、および、基板底部電極上へのシリコンナノ結晶を含むシリコン酸化膜層（ＳｉＯｘ膜層：ｘは０より大きく２未満）の多層形成を含む。各シリコンナノ結晶を含むシリコン酸化膜層は、約５〜３０％のシリコン過剰濃度を有する。シリコンナノ結晶を含むシリコン酸化膜層は、外側の層が内側の層を挟持しており、内側の層ほど、シリコンナノ結晶が低濃度である。また、外側の層は、外側の層によって挟持された内側の層よりも、導電率が高い。シリコンナノ結晶を含むシリコン酸化膜上には、透明上部電極を形成する。多層のシリコンナノ結晶を含むシリコン酸化膜層は、ＨＤＰＥＣＶＤプロセスにより堆積する。ＨＤＰＥＣＶＤプロセスは、シリコン酸化膜層の堆積後、アニール処理を行う。 （もっと読む）

【課題】材料層が形成された基板と転写対象の基板の間の真空度を高く保ちつつ、ムラのないレーザ照射による転写を可能とする技術を提供することを課題とする。
【解決手段】透光性を有し、光吸収層と、発光性材料を有する材料層を第１の面上に有する第１の基板と、第２の基板を対向させ、前記対向させた第１及び第２の基板のうち、第２の基板を真空治具の内部空間に設置し、前記真空治具の内部空間を減圧状態にし、前記第１の基板の第１の面と反対の側の面である第２の面からレーザビームを照射することにより、前記レーザビームが照射された領域の材料層が、第２の基板に転写される成膜方法及びそれを用いた発光素子の作製方法に関する。 （もっと読む）

【課題】材料と被成膜基板との間にマスクを設けることなく、被成膜基板に微細なパターンの薄膜を形成する成膜用基板、及び成膜方法を提供することを課題の一とする。また、このような成膜方法を用いて発光素子を形成し、高繊細な発光装置を生産性よく作製することを課題の一とする。
【解決手段】第１の領域及び第２の領域を含む透光性基板と、第１の領域において、透光性基板上に透光性の第１の断熱層と、第１の断熱層上に光吸収層と、光吸収層上に第１の有機化合物材料を含む層と、第２の領域において、透光性基板上に反射層と、反射層上に第２の断熱層と、第２の断熱層上に第２の有機化合物材料を含む層とを有し、第２の断熱層の端部は反射層の端部より内側に位置し、第１の断熱層と第２の断熱層とは間隔を有する。 （もっと読む）

【課題】キャリア輸送能の優れた有機半導体層を備える有機発光素子、かかる有機発光素子を製造することができる有機発光素子の製造方法、かかる有機発光素子を備える電子デバイスおよび信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子（有機発光素子）１は、陰極５および陽極３と、陰極５および陽極３の間に設けられ、これら電極３、５間への電圧の印加により発光する発光層４２を有するＥＬ層（有機半導体層）４とを備え、陰極５は、金属原子と、該金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、陰極５は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、陰極５の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離して、陰極５の表面の前記領域に接着性が発現し、この接着性によりＥＬ層４と接合している。 （もっと読む）

実質的に平坦な断面を有する電気活性材料の層の形成方法を提供する。この方法は、少なくとも１つの活性領域を有するワークピースを提供するステップと；活性領域内のワークピース上に電気活性材料を含む液体組成物を堆積して、湿潤層を形成するステップと；２５〜８０℃の範囲内に制御された温度および１０^-6〜１，０００Ｔｏｒｒの範囲内の減圧下、１〜１００分の第１の時間の間、ワークピース上の湿潤層を処理して、部分的に乾燥した層を形成するステップと；部分的に乾燥した層を１００℃を超える温度まで１〜５０分の第２の時間の間加熱して、乾燥した層を形成するステップとを含む。
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【課題】低分子系材料や分子量の低い非共役系高分子を、インクジェット法を用いて良好に塗布成膜することができるインク組成物、有機ＥＬ素子の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】インクジェット法により有機ＥＬ素子用の有機薄膜層３を形成するために用いられるインク組成物であって、前記インク組成物は、有機ＥＬ素子用有機材料が０．１以上４質量％未満の濃度でインク用溶媒に溶解されてなり、４〜２０ｍＰａ・ｓの粘度を有しており、前記有機ＥＬ素子用有機材料は質量平均分子量が５０万以下であり、前記インク用溶媒は、前記有機ＥＬ素子用有機材料を溶解する第１溶媒と、２０ｍＰａ・ｓ以上の粘度を有するとともに前記第１溶媒よりも低い沸点を有する第２溶媒と、の少なくとも２種類以上の溶媒を含むインク組成物を用いることによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機ＥＬ素子９の封止性を向上させることが可能な有機ＥＬパネル２の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】中央領域に有機ＥＬ素子９が設けられた素子基板４と、素子基板４に対向させた封止基板８と、素子基板４と封止基板８との間であって有機ＥＬ素子９の端部に隙間Ｇを設けるとともに、素子基板４及び封止基板８を貼り合わせる接着材６と、を備えた基体を準備する工程と、素子基板４と封止基板８との間の隙間Ｇに、減圧雰囲気中にて封止材７を充填する工程と、封止材７を硬化させて、有機ＥＬ素子９を素子基板４、封止基板８及び封止材７にて封止する工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬパネル２の製造方法。 （もっと読む）

【課題】真空下、可撓性支持体にロール方式で多層薄膜形成を行う生産工程において支持体や成膜面にキズの発生しないガイドロール機構を組み込んだ真空成膜装置、及びこれを用い発光寿命の改善された生産性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】可撓性支持体（ウェブ）を支持し、真空中でウェブの搬送方向を３０度以上、２４０度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、かつ、少なくとも接触部分の一部において、可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構を設けたことを特徴とするガイドロール機構。 （もっと読む）

【課題】湿式成膜法で成膜される発光層を有する有機電界発光素子の製造方法において、長寿命でかつ発光効率の高い素子を安定して製造する方法を提供する。
【解決手段】正孔注入層または正孔輸送層の下地層上に、発光材料および溶剤を含む発光層形成用組成物を湿式成膜した後、（大気圧−０．２）ｋＰａ〜（大気圧＋０．２）ｋＰａの気圧下で加熱して発光層を形成する有機電界発光素子を製造する。該発光層形成用組成物に含まれる溶剤の沸点は１４０℃以上であり、該発光層形成用組成物の該下地層の成膜面に対する接触角は１０度未満である。 （もっと読む）

【課題】粉末状の有機ＥＬ材料は取り扱うが難しく、大気に曝すと、すぐに特性が劣化してしまう。
【解決手段】粉末状の有機ＥＬ材料１２を、ガラス製のアンプル１３に封入してなる有機ＥＬ素子用材料１１の形態で、有機ＥＬ材料を取り扱う。そして、真空蒸着装置を用いて素子形成用基板上に有機層を形成する場合は、その有機ＥＬ素子用材料１１を蒸着源に投入した後、真空チャンバ内を減圧する過程で、アンプル１３を内外圧力差により開裂させ、これによって露出した有機ＥＬ材料１２を加熱して蒸発させる。 （もっと読む）

【課題】水分の影響を効果的に除去し、かつ、製造コストを抑えることが出来る有機ＥＬ表示装置の封止方法を得る。
【解決手段】有機ＥＬ層２２がマトリクス状に形成された素子基板１０と対向して封止基板４０がシール材５２を介して設置されている。素子基板１０、封止基板４０、シール材５２で囲まれた内部には、ゲル状乾燥剤３０が充填されている。ゲル状乾燥剤３０はゲル状態であるから、有機ＥＬ表示装置の内部を柔軟に充填し、隙間を完全に無くすことが出来る。内部にはゲル状乾燥剤３０が充填されているので、外部から水分が浸入しにくく、また、有機ＥＬ表示装置としての機械的強度も向上する。封止基板４０に乾燥剤設置のための凹部を形成する必要はなく、平板を用いることが出来るので、製造コストを低減することが出来る。 （もっと読む）

【課題】材料の無駄を減らし利用効率を向上させ、かつ被成膜基板に微細なパターンの薄膜を形成する成膜方法を提供することを課題の一とする。また、このような成膜方法を用いて発光素子を形成し、高精細な発光装置を低コストで作製することを課題の一とする。
【解決手段】基板上に光吸収層及び材料層が形成された成膜用基板に、基板を透過させて光吸収層に光を照射することによって、選択的に材料層に含まれる材料を、対向して配置された被成膜基板へ成膜する。光吸収層を選択的に形成することによって、被成膜基板に成膜される膜は、光吸収層のパターンを反映した微細なパターンで選択的に成膜することができる。材料層の形成は、基板及び光吸収層上に、有機化合物材料を含む粉体を散布し、加熱処理によって固定させて行う。 （もっと読む）

【課題】光学的品質の薄膜を製造することに関し、特に非線形光学デバイス及び有機発光デバイスで利用されるそのような薄膜の低圧製造を提供する。
【解決手段】基体５８上に有機薄膜を形成する方法であって、その方法は、複数の有機前駆物質（１４、４８）を気相で与え、前記複数の有機前駆物質（１４、４８）を減圧下で反応させる工程を有する。そのような方法により製造された薄膜及びそのような方法を実施するのに用いられる装置も含む。本方法は、有機発光デバイスの形成及び他のディスプレイ関連技術によく適している。 （もっと読む）

本発明は、水分及び／又は酸素に敏感な電子デバイス又は光電子デバイスをカプセル封じすることが可能な多層バリア膜を参照し、このバリア膜は、水分及び／又は酸素と相互作用することが可能な反応性ナノ粒子を含む少なくとも１つのナノ構造化層を備え、反応性ナノ粒子は、ポリマー結合剤内に分布しており、少なくとも１つの紫外光中和層が、紫外光を吸収することが可能な材料を含み、それによりバリア膜を紫外線が透過するのを制限する。 （もっと読む）

【課題】 長寿命で高効率の有機ＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】 アノード電極（３ａ，３ｂ，３ｃ）が配列して形成された基板（２）と、前記アノード電極上の発光領域を画定するバンク（４）と、前記発光領域に形成された有機発光層（５ａ，５ｂ，５ｃ）と、前記バンクおよび前記発光層の上に形成されたカソード電極（６）と、前記カソード電極を介して前記バンクの上に選択的に形成された乾燥剤層（８）とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子の異物やムラによる欠陥を有する画素に粘着剤を用いて修復する高性能な有機ＥＬ素子及び有機ＥＬ素子のリペア装置並びにリペア方法を提供すること。
【解決手段】透明電極と対向電極との間に有機エレクトロルミネッセンス層が介在されている有機エレクトロルミネッセンス素子からなる画素を複数備えた有機エレクトロルミネッセンス素子基板のうち欠陥を有する画素を修復するリペア装置において、有機エレクトロルミネッセンス素子基板を固定する定盤と、有機エレクトロルミネッセンス層を剥離する、粘着剤および剥離治具と、有機エレクトロルミネッセンス素子の画素を観察する観察装置と、有機エレクトロルミネッセンス材料を含むインキを補充する装置、を具備することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子のリペア装置。 （もっと読む）