【課題】一定のＸ線量を安定して得ることができるＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置は、Ｘ線源１と、電源ユニット１７とを備えている。Ｘ線源１は、ヒータ３ａ、３ｂと、電子源２と、ターゲット２０と、Ｘ線透過窓１１を有した真空容器１８とを具備している。電源ユニット１７は、ターゲット２０に流れた第１電流ｉ１の値を測定する第１電流計５と、ヒータ３ａ、３ｂに流れる第２電流ｉ２の値を測定する第２電流計６と、電源１３とを具備している。電源１３は、ヒータ３ａ、３ｂに一定の値に設定された第２電流ｉ２を出力し、第２電流計６で測定された第２電流の値の情報に基づいて第２電流の値を一定の値に維持する。 （もっと読む）

【課題】複数の異なるエネルギーのＸ線を放射すると共に、生成したＸ線のエネルギーのばらつきを抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０に備えられるＸ線発生装置１４は、粒子加速装置２０が複数の異なるエネルギーのＸ線を発生させるための荷電粒子ビームを生成し、ターゲット２２に荷電粒子ビームが照射されることによってＸ線を放射する。単一エネルギー制御装置は、ターゲット２２に荷電粒子ビームが照射されることによって、ターゲット２２に流れる電流の計測値及びターゲット２２から放射されるＸ線の線量の計測値から求められる単位ターゲット電流当たりのＸ線線量に基づいて、異なるエネルギーのＸ線毎に粒子加速装置２０を制御する。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、真空チャンバ内に配置され、プラズマから発生したイオンを検出して、そのイオン量を表す検出信号を出力するイオン検出器と、該イオン検出器から出力された検出信号に基づいて、イオン量を積算して積算値を算出する計算部と、該計算部によって算出された積算値が所定の基準値に至った場合に、集光ミラーの交換時期又は修理時期を表す判定信号を出力する判定部とを含む。 （もっと読む）

Ｘ線管の陰極のフィラメント電流をブースティング／ブランキングするために、Ｘ線管の管電流の時間変動が測定され、第１のメモリに保存される。そして反復的ブースティング／ブランキングが実行され、ブースティング／ブランキング電流が短い時間間隔Δｔの間フィラメントに印加され、保存された管電流の時間変動に基づいて短い時間間隔Δｔ後の管電流が決定され、管電流は第２のメモリに保存される。保存された管電流の時間変動に基づいて、管電流ＩＥがその目標値ＩＥ２未満であるかどうかが決定され、もしそうであればブースティング／ブランキング電流がさらなる時間間隔Δｔの間フィラメントに印加され、その他の場合は管電流ＩＥが目標値ＩＥ２に等しいことが決定される。従って、反復的ブースティング／ブランキングがいつでも中断され得るように、各時間間隔Δｔ後の管電流ＩＥがわかる（第２のメモリに保存された管電流データから決定され得る）。
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【課題】より広い制御範囲を持ち、Ｘ線出力を最大限に取り出すことができるＸ線発生装置、およびそれを備えたＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】ダイオードＤ３，トランジスタＱ，および抵抗Ｒ２を図２のような関係で接続することにより、流入する管電流Ａの量にかかわらずＸ線管のカソード電極３ａの電位は設定電圧近傍に保たれる。また、設定電圧が０Ｖ近傍まで制御することが可能となるため、Ｘ線管の制御範囲が拡大し、Ｘ線出力を最大限に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】目標値となるＸ線管電流までの立ち上がり時間を短縮し、Ｘ線撮影を速やかに行うことができるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管の陽極に管電圧を印加する高電圧回路と、Ｘ線管のフィラメントに最大定格付近に設定したフィラメント電流を流してフィラメントを予備加熱する予備加熱制御回路と、予備加熱を開始して所定時間経過後に作動し、Ｘ線管の管電圧を目標電圧値に制御する管電圧制御回路と、Ｘ線管の管電圧の増加によりＸ線管の管電流が目標電流値に到達したときに、予備加熱制御回路に代わってフィラメント電流を制御し、管電流を目標電流値に制御する管電流制御回路と、Ｘ線管の管電圧及び管電流が目標値に到達して所定時間経過後に管電圧及び管電流の供給を停止する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント温度が必要以上に高温にならないようにして、フィラメント寿命を延ばすことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 開放型Ｘ線管１０と、フィラメント電流供給部２１と、高電圧供給部２２とバイアス電圧供給部２３と、Ｘ線検出器１２と、検出信号に基づいてＸ線輝度信号を作成することによりＸ線画像を作成する画像作成部１３とを備え、フィラメント電流供給部とバイアス電圧供給部とにより管電流を制御し、高電圧供給部により管電圧を制御するＸ線検査装置において、フィラメント電流が順次増加していくようにフィラメント電流供給部の制御を行うフィラメント電流制御部４１と、フィラメント電流の増加に対するＸ線輝度信号の変化をフィラメント電流特性として計測するフィラメント電流特性計測部４２と、飽和フィラメント電流（Ｉ_０）を抽出する飽和フィラメント電流抽出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線発生装置のメンテナンス時間を短縮することを可能とするＸ線発生装置、Ｘ線コンピュータ断層撮影装置及びＸ線診断装置の提供。
【解決手段】Ｘ線を発生するＸ線管８と、Ｘ線管８に印加する管電圧を発生する管電圧発生部３５と、Ｘ線管８にフィラメント電流を供給するフィラメント電流供給部３９と、当該管電圧のもとフィラメント電流に応じてＸ線管８に流れる管電流を測定する管電流測定部４１と、管電流測定部４１にて測定された複数の管電流の値と複数の管電流のそれぞれに対応する複数のフィラメント電流の値のデータを記憶する制御装置記憶部４３と、複数の管電流の値と複数のフィラメント電流の値との複数の点を通る管電流とフィラメント電流とのエミッション特性を高次の補間法によって推定するエミッション特性推定部４７と、を具備する。 （もっと読む）

プル電極（１４０）を備える回転する陽極（１３０）を含むＸ線管（１００）が記載される。プル電極（１４０）は、変調電子ビーム（１２０ａ，１２０ｂ）を生成するために、固定の電子源（１１０）と相互作用する。ビーム変調は、強度変動及び／又は空間偏向であり得る。プル電極（１４０）は、陽極（１３０）に対して固定的な位置に取り付けられ、それと共に回転する。プル電極（１４０）は、電子ビーム（１２０ａ）を通すための孔（１４１）を有し得る。電子源（１１０）の前にあるとき、プル電極（１４０）は、強い電子ビーム（１２０ａ）が生成されるよう高い電場（１４２ａ）を引き起こす。電子源（１１０）の前にないとき、低電流又は零電流の電子ビーム（１２０ｂ）のみが生成される。しかしながら、プル電極（７４０）は、陽極（７３０）の角度位置に依存して、電子ビーム（７２０）の焦点（７２１ａ，７２１ｂ）の位置が変更されるよう、径方向ビーム偏向も引き起こし得る。
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【課題】Ｘ線管のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】カソードとアノードとによって加速した電子線を電子光学系によってターゲットに導いてターゲットからＸ線を出力させるＸ線出力部と、前記Ｘ線出力部によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得してＸ線画像を取得するＸ線画像取得部とを含むＸ線検出器において、前記Ｘ線出力部における性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管への印加電圧を高速で昇降でき、出力が変動するＸ線を高い周波数で連続的に発生することができるＸ線検査装置用のＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】陰極１２から熱電子を発生し印加電圧で加速して陽極１４に衝突させＸ線を発生するＸ線管１０と、印加電圧を一定周期の正弦波状に変動させて発生する変動電圧発生装置２０とを備える。変動電圧発生装置２０は、印加電圧の直流成分を発生させる直流高電圧回路２２と、印加電圧の交流成分を発生させる交流高電圧回路２４とを有する。直流高電圧回路２２の−端子２３ａはＸ線管の陰極に接続され、直流高電圧回路の＋端子２３ｂは管電流検出抵抗２２ｅを介して接地される。また、交流高電圧回路２４は、１対の出力端子２５ａ，２５ｂを有し、その一方２５ａはＸ線管の陽極に接続され、他方２５ｂは接地されている。 （もっと読む）

本発明のＸ線源は光ファイバーケーブルに沿って伝播するレーザー光とともに加熱されるカーボンナノチューブ電界放出カソードを含む。結果として作製される本発明の２端子Ｘ線管は菅の電圧及び菅の電流の独立した制御を可能にする。菅の電圧の制御は通常、制御電極を使用して達成され、菅の電流は熱的な調節によって制御される。本発明はＸ線源のビーム電流を正確に測定するための技術を提供する。この技術はカソードを活性化すること、出力Ｘ線放射の所望の線量が達成されるまでレーザーの強度を調節すること、及びＸ線管の全電流を測定することを含む。次に、カソードは電子ビームをオフにするためにオフにされる。そして、Ｘ線管の電流が再度測定される。カソードはその後すぐに、再びオンにされる。上述のＸ線管の電流の２つの値の間の差は正確なＸ線管のビーム電流を与える。
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