【課題】ホウ素濃度が１ｎｇ／Ｌ以下の超純水を安定して製造することができる超純水製造装置と、これを用いた超純水製造方法、電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とを備えた混床式脱イオン装置１６を最後段の脱イオン装置として設置した超純水製造装置において、該アニオン交換樹脂として、ホウ素含有量が規定値以下であることを確認したアニオン交換樹脂を用いる。規定値は、好ましくは５０μｇ／Ｌ−アニオン交換樹脂（湿潤状態）である。 （もっと読む）

【課題】濾過性能とイオン交換能を高いレベルでバランスさせた、イオン除去と微粒子除去の能力を兼ね備えた液体濾過用カートリッジフィルタを提供する。
【解決手段】異なる機能を有する複数の不織布を積層一体化して、プリーツ状またはロール状に巻き回してなるカートリッジフィルタであって、
該不織布の少なくとも一種は、グラフト重合によりイオン交換基を有するグラフト重合不織布であり、他の一種は、該グラフト重合不織布より繊維径及び平均孔径が小さい非グラフト重合不織布であり、繊維径勾配型の複数濾材からなることを特徴とする液体濾過用カートリッジフィルタなどを提供した。 （もっと読む）

【課題】 被処理水を膜分離処理する際に、被処理水に含まれる膜汚染物質の膜表面への吸着を低減し膜分離性能の劣化を低減することができる膜分離方法及び膜分離装置を提供する。
【解決手段】被処理水に、水中で膨潤し実質的に水に溶解しないカチオン性ポリマーからなる粒子を添加して被処理水を膜分離処理する。 （もっと読む）

【課題】水が繊維の巻回体層を偏りなく透過し、しかも巻回体層の水の透過量を十分に確保することができる糸巻型フィルタと、この糸巻型フィルタを用いた水処理方法とを提供する。
【解決手段】糸巻型フィルタ１は、水透過性の筒体２と、この筒体２の外周に巻回された繊維の巻回体層３とを備えている。巻回体層３は、相当直径１〜１０００ｎｍの単繊維を複数本、撚りをかけて集束して１次繊維束とし、この１次繊維束をさらに通算ｎ回（ｎは２以上の整数）集束してｎ次繊維束としたものである。単繊維は、カチオン交換基、アニオン交換基及びキレート基の少なくとも１種が付与されていることが好ましく、これにより糸巻型フィルタにイオン除去性能が付与される。 （もっと読む）

【課題】不純物の残存や分解物の発生が抑制された、溶出物の少ないアニオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｅ）の工程を含むアニオン交換樹脂の製造方法。
（ａ）モノビニル芳香族モノマーと架橋性芳香族モノマーとを共重合させて架橋共重合体を得る工程
（ｂ）特定の溶出性化合物の含有量を、架橋共重合体１ｇに対して４００μｇ以下とする工程
（ｃ）架橋共重合体をハロアルキル化する工程
（ｄ）ハロアルキル化架橋共重合体から、特定の溶出性化合物を除去する工程
（ｅ）ハロアルキル化架橋共重合体をアミン化合物と反応させる工程 （もっと読む）

【課題】不純物の残存や分解物の発生が抑制された、溶出物の少ないアニオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】下記（ａ）〜（ｅ）の工程を含むアニオン交換樹脂の製造方法。
（ａ）モノビニル芳香族モノマーと架橋性芳香族モノマーとを共重合させて架橋共重合体を得る工程
（ｂ）特定の溶出性化合物の含有量を、架橋共重合体１ｇに対して４００μｇ以下とする工程
（ｃ）架橋共重合体をハロアルキル化して、モノビニル芳香族モノマーに対して８０モル％以下のハロアルキル基を導入する工程
（ｄ）ハロアルキル化架橋共重合体から、特定の溶出性化合物を除去する工程
（ｅ）ハロアルキル化架橋共重合体をアミン化合物と反応させる工程 （もっと読む）

【課題】設備コスト、ランニングコスト値をさほど上げることなく、ＴＯＣ濃度を格段に低減させた超純水を製造し得る超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】被処理水を、紫外線分解装置で処理する紫外線処理工程と、紫外線処理工程を経た被処理水をイオン交換装置で処理する脱イオン工程と、前記紫外線処理工程前、又は前記紫外線処理工程の後前記脱イオン工程の前に、前記被処理水を尿素除去手段で処理する尿素除去工程とからなるＴＯＣ低減工程を備えることを特徴とする超純水の製造方法及び製造装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】不純物の残存や分解物の発生が抑制された、溶出物の少ないカチオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】モノビニル芳香族モノマーと架橋性芳香族モノマーとを共重合させて架橋共重合体を得、得られた架橋共重合体をスルホン化してカチオン交換樹脂を製造するに当たり、特定の溶出性化合物の含有量が架橋共重合体１ｇに対して４００μｇ以下である架橋共重合体に対してスルホン化を行なって、カチオン交換樹脂を製造する。重合の段階で溶出性ポリスチレン等の特定の溶出性化合物を固定化するため、不純物の残存が少なく、かつ使用時における溶出物の発生が少ないカチオン交換樹脂を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】溶出物が少なく、シリコンウエハ表面の平坦度を悪化させにくいアニオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】アニオン性解離基を含有する水溶性高分子を接触させる工程を含むアニオン交換樹脂の製造方法であって、該水溶性高分子の接触量が、アニオン交換樹脂１リットルに対する水溶性高分子のアニオン性解離基量として０．０１〜１０ｍｍｏｌ／Ｌであり、得られるアニオン交換樹脂について、シリコンウエハ試験により求めたウエハ表面平坦度がＲｍｓで４Å以下であることを特徴とするアニオン交換樹脂の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ｐＨが７を超える被処理水中に存在する有機質不純物を紫外線照射とイオン交換樹脂の組合せにより除去するにあたり、紫外線照射による分解の効率を上げてランニングコストを低減させること。
【解決手段】微量の有機質不純物を含むｐＨが７以上の被処理水に、紫外線を照射して前記有機質不純物を有機酸及び／又は炭酸に分解し、しかる後前記有機酸及び／又は炭酸を除去する方法において、紫外線の照射に先立って被処理水のｐＨを７未満にすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体ろ過フィルタ用途などに好適に用いることができる各種素材のグラフト重合された高性能の機能性不織布フィルタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ポリアミド、ポリオレフィンから選ばれる基材の平均径が１〜８μｍの連続繊維からなるメルトブロー不織布を、大気下において３０ｋＧｙ以下の放射線を照射した後、大気下にあるエマルジョン化した反応性モノマーの液槽に浸漬して、液相にてグラフト重合を完了させることにより、さらにグラフト鎖に機能性官能基を導入することにより得られる機能性不織布フィルタ及びその製造方法などを提供した。 （もっと読む）

【課題】超純水中の溶存酸素濃度の増加を経済的にほぼ防止するとともに、全有機炭素濃度（ＴＯＣ）の低減を実現する超純水製造方法および超純水製造装置を提供する。
【解決手段】真空脱気塔８により溶存酸素を除去した被処理水に、紫外線照射装置９により紫外線を照射して第１の処理水を生成し、前記第１の処理水に対し混床式イオン交換塔１０によりイオン交換を実行して、第２の処理水を生成する超純水製造方法および超純水製造装置であり、少なくとも被処理水中のＴＯＣ濃度を測定し、前記測定の結果に基づいて被処理水に照射する前記紫外線の照射量を決定して該照射量の紫外線を被処理水に照射する超純水製造方法および超純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】被処理水中の有機化合物の分解効率を向上させるとともに、紫外線照射装置の後段に酸化剤除去装置を配置することを省略可能な水処理装置および水処理方法を提供する。
【解決手段】水処理装置が、被処理水に亜酸化窒素を添加する亜酸化窒素添加手段と、前記亜酸化窒素を添加された被処理水に紫外線を照射し、水中の有機化合物を分解する紫外線照射装置と、前記紫外線照射装置によって処理された被処理水を導入し、水中のイオンを除去するイオン交換樹脂装置と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】電気脱イオン装置を用い、電気脱イオンによる純水製造と、イオン交換による純水製造とを実行できるようにすることを目的とする。
【解決手段】陽極３２と陰極３１との間にイオン交換膜３３’，３４，３３を配置することにより、濃縮室兼陰極室３５、脱塩室３７及び陽極側濃縮室４０を設け、各室にイオン交換樹脂を充填してなる電気脱イオン装置を有する純水製造装置において、通電を停止するかもしくは電流密度が１０００ｍＡ／ｄｍ^２以下になるように通電制御した状態で脱塩室３７に被処理水を通水し、該脱塩室３７内のイオン交換樹脂３８，３９によってイオン交換して該脱塩室３７から純水を流出させる。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、有機質分解手段は、光透過性を有する絶縁性材料により形成された管体と、管体の内周側又は外周側に積層され、かつ光透過性を有する導電層と、導電層上に積層され、かつ被処理水と接触する光触媒層と、この光触媒層を励起させる励起光を、管体の管壁部及び導電層を透過させつつ光触媒層に照射する発光ダイオードとを具備することを特徴とする超純水製造装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】構造的に安定である難分解性の有機物を含む水を高効率にて分解することができる紫外線酸化装置と、この紫外線酸化装置を備えた有機物除去装置を提供する。
【解決手段】紫外線酸化装置２０は、有機物含有水を通水する筒形容器２１と、該筒形容器２１内に同軸状に配置された保護菅２２と、該保護菅２２内に配置された紫外線ランプ２３とを有している。保護菅２２の外周面と該筒形容器２１の内周面との間隔Ｙは、８ｍｍ以下である。これにより、難分解性の有機物が効率良く酸化分解され、ＴＯＣ除去率が向上する。この紫外線酸化装置２０の前段に、ペルオキソ二硫酸塩注入装置３１が設けられている。また、この紫外線酸化装置２０の後段に、酸化剤除去装置２３、微粒子除去膜装置３３、第１のイオン交換装置３４、熱交換器３５、脱気装置３６及び第２のイオン交換装置（交換型の非再生式イオン交換装置）３７がこの順に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置と操作により、飽和濃度未満の任意の一定濃度のガスを溶解し、超音波洗浄の洗浄水として用いる際のキャビテーション力を調整することが可能な高純度の超純水を製造できる超純水製造装置および方法をする。
【解決の手段】 一次純水システムＡにおいて、原水を脱塩および脱気して一次純水を製造し、一次純水システムＡで得られる一次純水およびユースポイントから循環する二次純水を二次純水貯留槽１１において、窒素ガスでシールして貯留し、二次純水貯留槽１１から得られる窒素濃度が異なる二次純水を膜脱気装置１４で脱気して窒素を除去し、ガス溶解装置１６で脱気処理水にガスを添加してガスを溶解させる際、ガス溶解装置１６に供給するガス流量をガス流量制御装置１７により所定の流量に制御し、超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】原水を逆浸透膜処理装置に導入し、該逆浸透膜処理装置の透過水を電気再生式脱イオン装置又はイオン交換装置に供給して処理するに当たり、後段の脱イオン装置への給水のシリカの負荷を軽減して、安定かつ効率的に、シリカ濃度の低い純水を製造する。
【解決手段】逆浸透膜処理装置が、高分子を主成分とする阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備える純水製造装置。逆浸透膜処理装置が、その一次側に高分子を主成分とする阻止率向上剤を供給するための阻止率向上剤供給手段を有する純水製造装置。定期的に、又は逆浸透膜処理装置の阻止率が低下した際に、高分子を主成分とする阻止率向上剤で逆浸透膜処理装置の逆浸透膜を処理する工程を有する純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】非凝集性混床イオン交換体を提供する。
【解決手段】陽イオン交換成分との混合前または混合後に、陰イオン交換成分を１０ｍｇ／リットル（樹脂）〜１００ｇ／リットル（樹脂）の適用濃度の１種以上の芳香族スルホン酸の縮合物で処理する。芳香族スルホン酸としては、フェノールスルホン酸、スルホン化ジトリルエーテル、４，４’−ジヒドロキシジフェニルスルホン、スルホン化ジフェニルメタン、スルホン化ビフェニル、スルホン化テルフェニル、ナフタレンスルホン酸、またはベンゼンスルホン酸が好ましい。 （もっと読む）

【課題】全有機炭素（ＴＯＣ）の溶出が低減された塩基性陰イオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】ホウ素選択性の塩基性陰イオン交換樹脂をアルカリ金属水酸化物である水酸化ナトリウム等のアルカリ溶液中で６０℃以上の温度で加熱処理した後、イオン交換樹脂から脱離したＴＯＣ成分を取り除くため、水と任意の割合で混合できる有機溶媒であるアルコール、アセトン等の水溶性有機溶媒またはその５０重量％以上の水溶液で洗浄する。 （もっと読む）