【課題】 簡単な装置と操作により、少量の樹脂試料を用いて、短時間にかつ正確に超純水製造用イオン交換樹脂の超純水製造時の有機物溶出性を測定、評価して、有機物溶出性の低い超純水製造用イオン交換樹脂を選択することができる超純水製造用イオン交換樹脂の性能評価方法ならびに超純水製造方法を提案する。
【解決の手段】 イオン交換樹脂が陰イオン交換樹脂である場合に、酸溶液によってイオンを負荷し、イオン交換樹脂が陽イオン交換樹脂である場合に、アルカリ溶液によってイオンを負荷し、溶出する有機物量を測定することにより、超純水製造時の有機物の溶出性を評価し、有機物溶出性の低い超純水製造用イオン交換樹脂を選択する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良
否を簡易且つ迅速に判定できるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限
外ろ過膜を装填した限外ろ過膜装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該
カラムから流出したカラム流出水を第１のウエハを装填したウエハホルダに供給して第１
のウエハと接触させ、接触後の第１のウエハの表面状態を測定すると共に、前記溶存酸素
を除去した超純水を樹脂カラムまたは限外ろ過膜装置に通水することなく、第２のウエハ
を装填したウエハホルダに供給して第２のウエハと接触させ、接触後の第２のウエハの表
面状態を測定し、第１のウエハの上記測定結果と第２のウエハの前記測定結果とを対比す
ることにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 不純物が少なく且つ、洗浄に用いた場合に不純物の半導体材料上への付着が少ない超純水及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 正のゼータ電位を有する物質の含有率が、０．３ｐｐｂ以下であることを特徴とする超純水。 （もっと読む）

【課題】従来技術の問題を解決できる、浄水再循環ループを備えるタイプの水浄化システムを提供する。
【解決手段】本発明は、浄化流体入口１４２と３つの出口１４３、１４４、１４５を有する流体浄化システム１００の流体回路用のディストリビュータまたはマニホルドを形成する液圧連結器１４０であって、入口１４２が、パイプによって３つの出口の第１の出口１４３に直接連結されること、および第２のパイプ１４１が、前記入口１４２と前記第１の出口１４３との間で第１のパイプに、かつ連結器の他の２つの出口１４４、１４５を形成する２つの端部を有する第３のパイプに液圧的に連結されることを特徴とする液圧連結器１４０に関する。 （もっと読む）

【課題】従来技術の問題を解決できる、浄水再循環ループを備えるタイプの水浄化システムを提供する。
【解決手段】本発明は、水浄化システム１００に関し、この水浄化システム１００は、水入口１０１によって１つのポイントで浄化されるべき水が供給され、浄水の少なくとも１つの出口ユースポイント１０２（を有する）、閉じた水再循環ループ１０６を含み、水の流れ方向に、入口ポイントの下流側にポンプ輸送手段１０３および少なくとも１つの出口ポイント１０２の上流側に水浄化手段１５０をループ上に（さらに）含み、水浄化システム１００が、２つの独立の弁、すなわち、ポンプ輸送手段１０３の上流側にループ上の第１の弁１３０と、少なくとも１つのユースの出口ポイント１０２の上流側に第２の弁１２０とを含むことを特徴とする。本発明は、また水浄化方法に関する。 （もっと読む）

【課題】超純水中のＮａ⁺イオン濃度を０．１ｐｐｔ以下に抑制するとともに、ＴＯＣ濃度を低減して、高純度の超純水を安定に効率よく製造する方法、およびその装置を提供する。
【解決手段】一次純水１０を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂とで構成される混床を備えるイオン交換装置３に通して超純水を形成する超純水の製造方法であって、強酸性カチオン交換樹脂の交換容量が１．５〜２．５ｍｅｑ／ｍＬ、強塩基性アニオン交換樹脂の交換容量が０．５〜１．５ｍｅｑ／ｍＬ、強酸性カチオン交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂の総体積に対するカチオン交換樹脂の体積の比率が、４０％以上７０％未満であることを特徴とする超純水の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】温超純水から微粒子のみならず、金属イオン、アニオン成分等の他の不純物をも除去することができ、したがって高純度の温超純水を安定して供給することが可能な超純水システムを提供する。
【解決手段】超純水システムにおいて、超純水を加温して温超純水を製造する超純水加熱装置１４と、超純水加熱装置により製造された温超純水をイオン吸着膜に通水する温超純水浄化装置１８とを設ける。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機化合物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、前記有機質分解手段は、被処理水の流路となる紫外線透過性材料からなる管体と、前記管体の被処理水と接する側に被着された光触媒層と、前記管体の光触媒の被着された側と反対側に前記光触媒層に向けて配置された紫外線を照射する発光ダイオードと、前記発光ダイオードを駆動させる電源装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来の超純水製造装置では除去困難な低濃度の重金属イオンを効果的に除去して、高純度超純水を得ることが可能な超純水製造装置を提供する。
【解決手段】一次純水製造装置と、イオン捕捉用樹脂としてキレート樹脂を用いてなる一次純水処理装置とを少なくとも備える超純水製造装置であって、上記キレート樹脂は好ましくは樹脂担体にキレート基とアミノ基が結合したキレート樹脂である。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置と操作により、過酸化水素の発生を防止し、効率よくＵＶ処理を行って有機物を分解除去し、高純度の超純水を製造することができる超純水製造方法および装置を提供する。
【解決の手段】 １次純水製造システムＡにおいて製造された１次純水を、２次純水製造システム（サブシステム）Ｂにおいて、サブタンク１１からＵＶ処理装置１３へ供給する際、水素添加装置１２から過酸化水素の発生を抑制する量の水素を添加し、ＵＶ処理装置１３においてＵＶを照射し、一次純水中に含まれる有機物を分解してイオン化し、アニオン交換器１４および混床式交換器１５で有機物が分解して生成するアニオンや、一次純水から持ち込まれる他のアニオンおよびカチオンを除去して超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】イオン交換樹脂内の金属不純物の含有量を確実に低減し、このイオン交換樹脂により精製される製造用液中への不純物金属溶出量を低減し、ひいては含有金属不純物量の少ない高純度の製造用液を得ることができるイオン交換樹脂の含有金属不純物低減方法、その方法により製造されたイオン交換樹脂、イオン交換樹脂カラム、そのイオン交換樹脂を用いた精製装置、及び精製方法を提供すること。
【解決手段】このイオン交換樹脂７は、含有金属不純物量が１ｍｇ／ｌ以下でかつ濃度が５％以上の鉱酸溶液１１に接触させることにより、濃度３％の塩酸を体積比２５倍量で通過させたときに溶出する全不純物量が５μｇ／ｍｌ−Ｒ以下とされている。 （もっと読む）

【課題】純水製造システムから発生する排水を、簡便な方法で純水製造の原水として再利用し、水の利用率（回収率）を大幅に向上する。
【解決手段】純水製造システム内のろ過器（３）の逆洗排水を、沈殿槽（１０）で処理し、該沈殿槽（１０）による処理水を純水製造用の原水として再利用することを特徴とする純水製造方法および装置。 （もっと読む）

【課題】排水処理装置中に配置された各種装置内のバクテリア繁殖を防止し、長期間安定した運転を行うことができるようにした、排水処理装置のバクテリア繁殖防止方法を提供する。
【解決手段】少なくとも陰イオン交換装置を有する排水処理装置に対し、該陰イオン交換装置の再生時に生じる再生廃液又は再生排水の少なくとも一部を、排水処理装置中の他の装置の入口に導入することを特徴とする、排水処理装置のバクテリア繁殖防止方法。 （もっと読む）

【課題】
陰イオン交換樹脂からの有機物溶出量を低減させるための追加の単位操作・装置が不要であり、且つ有機物の溶出量が確実に一定量以下となる、陰イオン交換樹脂における有機物溶出量の低減方法の提供。
【解決手段】
陰イオン交換樹脂を密閉状態で保存することによりエージングし、該エージング後の陰イオン交換樹脂を超純水で洗浄することを含む、陰イオン交換樹脂における有機物溶出量の低減方法。 （もっと読む）

【課題】 ランニングコストが低くて、短時間で殺菌処理ができる超純水製造装置の殺菌方法および殺菌装置を提供する。
【解決手段】 この超純水製造装置の殺菌装置によれば、二次純水タンク１内に窒素マイクロナノバブル発生機３が設置されている。殺菌が必要な時は、二次純水タンク１内で窒素マイクロナノバブル発生機３が窒素マイクロナノバブルを発生させて、この窒素マイクロナノバブルにより過酸化水素等の薬品を使用することなく、二次純水タンク１から殺菌することができる。すなわち、二次純水製造装置の最初の設備が二次純水タンク１であるので、最初の設備から殺菌することができる。 （もっと読む）

【課題】原水の凝集処理工程に鉱酸を全く添加することなく、又はその添加量を著しく少なくして、凝集処理を適正ｐＨ条件下で行うことができる水処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】原水としての工業用水に無機凝集剤を添加して凝集反応槽１で凝集処理した後、加圧浮上装置２及び二層濾過装置３で固液分離し、次いでカチオン交換塔４でカチオンを除去する。このカチオン交換塔４からの脱カチオン水を脱炭酸塔５で脱炭酸処理し、アニオン交換塔６でアニオンを除去して脱イオン水とする。カチオン交換塔４からの処理水は酸性水であるので、その一部を凝集反応槽１又は原水に添加して凝集反応槽１のｐＨを調整する。 （もっと読む）

【課題】半導体用シリコン基板などの電子材料表面を清浄化するためのウェット洗浄工程で用いられる超純水中から、電子材料表面に付着し、後の工程において半導体性能を低下させる恐れがある不純物を高度に除去し、半導体製品の歩留まりに大きく貢献する超純水の精製方法および精製装置を提供する。
【解決手段】超純水を、粒状シリコンおよび／または粒状シリコン酸化物に接触させた後、イオン交換能および吸着能を有する構造体に接触させる超純水の精製方法。粒状シリコンおよび／または粒状シリコン酸化物の充填層と、該イオン交換能および吸着能を有する構造体の後段に設けられたイオン交換能および吸着能を有する構造体とを備える超純水の精製装置。 （もっと読む）