【課題】超純水製造システムの殺菌洗浄と微粒子除去洗浄を短時間で簡便に行う。
【解決手段】超純水製造装置２、超純水のユースポイント３、並びに前記超純水製造装置２と前記ユースポイント３とを接続する超純水供給配管１１，１２を有する超純水製造システムの超純水接触面に付着した微粒子を除去すると共に、システム内を殺菌する洗浄方法において、超純水製造システム内にオゾンを供給して殺菌洗浄した後、システム内にオゾンが残留している状態で塩基性薬品を供給することにより、殺菌洗浄に連続して微粒子除去洗浄を行う。系内の溶存オゾン濃度が高いうちに塩基性薬品を添加して、溶存オゾンを自己分解させることにより、オゾンが分解して酸素となることで、酸素過飽和水となり微細気泡が発生し、結果として、系内の水は微細気泡が共存した塩基性溶液となり、高い微粒子除去効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】膜分離装置に供給される被処理水の水質の評価を高精度で行うことができる膜分離装置被処理水の評価方法と、この評価結果に基づいて運転することにより、分離膜の透過流束の低下を事前に回避し、長期間にわたって膜分離装置を安定して運転することができる水処理方法及び水処理装置を提供する。
【解決手段】膜ファウリング物質を含む被処理水を、膜ファウリング物質処理装置１及び膜分離装置２で順次処理する。該膜分離装置２からの濃縮水中の膜ファウリング物質を膜ファウリング物質濃度測定装置３で測定し、この測定結果に基づいて、膜ファウリング物質処理装置１を制御器４で制御する。被処理水中の膜ファウリング物質濃度が低くても、濃縮水に膜ファウリング物質が濃縮されるため、濃縮水中の膜ファウリング物質を精度よく測定することができる。 （もっと読む）

【課題】被処理水中の有機化合物の分解効率を向上させるとともに、紫外線照射装置の後段に酸化剤除去装置を配置することを省略可能な水処理装置および水処理方法を提供する。
【解決手段】水処理装置が、被処理水に亜酸化窒素を添加する亜酸化窒素添加手段と、前記亜酸化窒素を添加された被処理水に紫外線を照射し、水中の有機化合物を分解する紫外線照射装置と、前記紫外線照射装置によって処理された被処理水を導入し、水中のイオンを除去するイオン交換樹脂装置と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素を含有する水、特に各種処理のために過酸化水素が添加され、その処理後に過酸化水素が残存する海水または淡水を用いた工業用水中の過酸化水素を、簡便な操作で、早期に安全かつ確実に自然界レベルにまで過酸化水素の分解を促進する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】過酸化水素を添加した海水または淡水を用いた工業用水中で、発生時に常圧下１０〜３０μｍの直径を有する微細気泡を発生させて、該水中の過酸化水素の分解を促進することを特徴とする過酸化水素の分解促進方法により、上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】少ない炭酸ガスの使用量で発泡を生じることなく、しかも炭酸ガスを注入した超純水中にオゾンを溶解させる場合よりも安定化されたオゾン水の製造方法及びオゾン水の製造装置を提供する。
【解決手段】オゾンを溶解した炭酸水を超純水に溶解させた下流において、この超純水中に所定量の炭酸ガスをさらに溶解させる。さらに溶解させる炭酸ガスの量は、この溶解点とユースポイント間に超純水の電気伝導度を測定する比抵抗測定器又はｐＨ計からなる炭酸ガス濃度測定装置６を配置して、炭酸ガス濃度測定装置の出力信号により制御する。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、有機質分解手段は、光透過性を有する絶縁性材料により形成された管体と、管体の内周側又は外周側に積層され、かつ光透過性を有する導電層と、導電層上に積層され、かつ被処理水と接触する光触媒層と、この光触媒層を励起させる励起光を、管体の管壁部及び導電層を透過させつつ光触媒層に照射する発光ダイオードとを具備することを特徴とする超純水製造装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】構造的に安定である難分解性の有機物を含む水を高効率にて分解することができる紫外線酸化装置と、この紫外線酸化装置を備えた有機物除去装置を提供する。
【解決手段】紫外線酸化装置２０は、有機物含有水を通水する筒形容器２１と、該筒形容器２１内に同軸状に配置された保護菅２２と、該保護菅２２内に配置された紫外線ランプ２３とを有している。保護菅２２の外周面と該筒形容器２１の内周面との間隔Ｙは、８ｍｍ以下である。これにより、難分解性の有機物が効率良く酸化分解され、ＴＯＣ除去率が向上する。この紫外線酸化装置２０の前段に、ペルオキソ二硫酸塩注入装置３１が設けられている。また、この紫外線酸化装置２０の後段に、酸化剤除去装置２３、微粒子除去膜装置３３、第１のイオン交換装置３４、熱交換器３５、脱気装置３６及び第２のイオン交換装置（交換型の非再生式イオン交換装置）３７がこの順に設けられている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡易な設備で希薄尿素様窒素化合物濃度の被処理水中から尿素様窒素化合物を十分に除去することができる手段を備えた純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水に紫外線を照射する紫外線酸化装置４を有する純水製造装置において、被処理水は尿素様窒素化合物を含有しており、該紫外線酸化装置４の前段又は後段に尿素様窒素化合物を吸着する酸化セルロース、フェノール樹脂等の尿素様窒素化合物吸着剤を有した尿素様窒素化合物吸着装置３が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、純水の製造において供給する還元剤を、その還元剤の製造ラインへの注入前に配管移送する段階で殺菌処理を行い、製造ラインへの還元剤による汚染を防止することができる還元剤注入方法及び装置を提供する。
【解決手段】純水の製造ラインへ注入する還元剤を収容するタンク２と、このタンクから純水の製造ラインへ前記還元剤を移送することができる配管３と、還元剤をタンク２から配管３へ送出して移送させるポンプ４と、配管中を移送する還元剤を５０℃以上還元剤を沸騰させない温度に加熱して殺菌処理を行うことができる加熱用の熱交換器５と、を有することを特徴とする還元剤注入装置１。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機化合物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、前記有機質分解手段は、被処理水の流路となる紫外線透過性材料からなる管体と、前記管体の被処理水と接する側に被着された光触媒層と、前記管体の光触媒の被着された側と反対側に前記光触媒層に向けて配置された紫外線を照射する発光ダイオードと、前記発光ダイオードを駆動させる電源装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置と操作により、過酸化水素の発生を防止し、効率よくＵＶ処理を行って有機物を分解除去し、高純度の超純水を製造することができる超純水製造方法および装置を提供する。
【解決の手段】 １次純水製造システムＡにおいて製造された１次純水を、２次純水製造システム（サブシステム）Ｂにおいて、サブタンク１１からＵＶ処理装置１３へ供給する際、水素添加装置１２から過酸化水素の発生を抑制する量の水素を添加し、ＵＶ処理装置１３においてＵＶを照射し、一次純水中に含まれる有機物を分解してイオン化し、アニオン交換器１４および混床式交換器１５で有機物が分解して生成するアニオンや、一次純水から持ち込まれる他のアニオンおよびカチオンを除去して超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において行われるウェット洗浄工程に使用される窒素ガス溶解水を、窒素ガスの使用量を低減して、効率的かつ経済的に製造することができる窒素ガス溶解水の製造方法を提供する。
【解決手段】超純水に窒素ガスを溶解して窒素ガス溶解水を製造する方法において、超純水がパラジウム触媒による脱酸素処理を受けた超純水であることを特徴とする窒素ガス溶解水の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
光触媒を用いて水処理を行う場合において、光利用効率、光触媒効率及びガス利用効率に優れ、且つ、オゾン処理施設の不要な水処理装置および水処理方法を提供すること。
【解決手段】
有機物含有水を光触媒に接触させて処理する装置であって、酸化チタンなどの光触媒と、光触媒に光を照射する高圧水銀灯などの光照射手段と、有機物含有水に酸素含有ガスの気泡径１００μｍ未満の微細気泡を供給する微細気泡供給手段とを有する有機物含有水処理装置を用い、気泡径０．１〜５０μｍの酸素含有ガスの存在下で有機物含有水を光触媒反応によって分解除去する。
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【課題】有機物によるＲＯ膜の汚染が生じにくく、殺菌剤を添加しなくてもＲＯ膜のファウリングを防止でき、高流束運転が可能となる水処理方法及び水処理装置を提供する。
【解決手段】被処理水を光触媒反応塔１、活性炭塔２、イオン交換樹脂塔３及びＲＯ膜装置４に順次に通水して処理する。ＲＯ膜装置４への流入水のＴＯＣを０．５ｍｇ／Ｌとすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】バックライトの特徴を生かし、主として光触媒を励起するための紫外光を放射することができる面発光デバイスを提供する。さらには、バックライトの特徴を生かし、流体が透過できるフィルタとしても機能する、コンパクトで薄型の面発光デバイスを提供する。
【解決手段】光源と、この光源を側面に配置した導光板とを有し、この導光板の表面または裏面の少なくとも一方が光源からの光を放射する発光面であって、導光板の発光面及び光源が配置された側面以外の面が遮光面として形成された面発光デバイスであって、ピーク波長が３８８ｎｍ以下の光を放射する、又は前記導光板が多孔体として形成されている面発光デバイス。導光板が複数の貫通孔を有し、貫通孔を形成する面が発光面である面発光デバイスとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】被処理水に紫外線を照射して酸化した後、パラジウム触媒と接触させて、溶存酸素を極低濃度にまで除去した超純水を製造するに当たり、装置の運転停止後の運転再開時において、装置の立ち上げ期間を短縮し、早期に低溶存酸素濃度の超純水の採水を行う。
【解決手段】紫外線照射酸化装置とパラジウム触媒充填容器とを有し、被処理水に紫外線を照射して酸化した後、パラジウム触媒と接触させて、溶存酸素を除去した超純水を得る超純水製造装置において、パラジウム触媒充填容器への通水停止期間中に該充填容器内を加圧下に保持する。 （もっと読む）

【課題】被処理水にＵＶを照射して酸化した後、パラジウム触媒と接触させて、ＤＯを極低濃度にまで除去した超純水を製造するに当たり、容器数、付帯機器、設置面積を低減し、維持管理の手間を軽減することができる非再生型イオン交換容器及び超純水製造装置を提供する。
【解決手段】容器内に、アニオン交換樹脂層、又はアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とが混合状態で存在する混合樹脂層を有し、該アニオン交換樹脂層又は混合樹脂層の上表面にパラジウム触媒層が積層されている非再生型イオン交換容器。被処理水が導入される紫外線照射酸化装置と、該紫外線照射酸化装置の流出水が通水される非再生型イオン交換容器とを有する超純水製造装置において、該非再生型イオン交換容器としてこのような非再生型イオン交換容器を有し、被処理水に紫外線を照射して酸化した後、パラジウム触媒と接触させることにより溶存酸素を除去すると共にアニオン交換樹脂又は混合樹脂と接触させてイオン性物質を除去した超純水を得る超純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】タイロッドや通しボルト等の金属製締結部材、及びＯリングを用いることなく、部品点数の減少、コスト低減を図ることができるとともに、コンパクトで耐圧性の高いケーシング構造及び信頼性の高いシール構造を有する流体用照射装置を提供する。
【解決手段】流体用照射装置Ａおいて、フッ素樹脂のチューブ材から成るケース本体４、及びこのケース本体４の両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられるフッ素樹脂製の蓋部ｆから成るケーシング１と、少なくとも一方の蓋部ｆを貫通してケース本体４の内部に通されてケーシング１内の流体に紫外線を照射作用自在な照射手段Ｈとを有するとともに、ケース本体４の内部空間に対する流体給排部３０，３１が各蓋部ｆに２箇所ずつ形成されている。 （もっと読む）

ＵＶガス放電光源のようなデバイスを使用する高圧ガス放電デバイスおよび方法が開示される。このデバイスは、カソードとアノードとを分離する誘電体層によって部分的に覆われたカソードを有する。放電デバイスは、カソードの覆われていない部分において、１つまたはそれ以上の微細空洞を利用する。ガス放電光源として放電デバイスを利用する方法は超純水を製造するための方法である。
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【課題】長期間にわたり連続的で、また、常に安定した２つ以上の濃度のオゾン水を得る。
【解決手段】純水または炭酸水の少なくとも一方にオゾンガスを添加し、また、純水に炭酸ガスが添加されたオゾンガスを添加し、オゾン水を生成する方法または装置において、オゾンガスを溶解させ、オゾン水を生成している途中でその一部をオゾン水として取り出し、最後まで溶解させたオゾン水と同時に使用する。 オゾン水は、途中で取り出した前記オゾン水の方が、最後まで溶解させたオゾン水より、濃度が低い。オゾン水の溶解は、膜を介してオゾンガスを溶解させ、オゾン水を生成する。途中で取り出したオゾン水、および最後まで溶解させたオゾン水の各々のオゾン水濃度を測定し、その差が大きくなったときには警報を発信する。 （もっと読む）