【課題】多量の溶剤を用いた洗浄が不要で、かつスリットノズルの両隣接面に塗布液を付着させることなく、スリットノズルを毎回一定の初期化された状態にすることが可能な非接触式の予備塗布手段を導入して、スリットノズルで常に均一な塗布膜形成を多数枚にわたって安価に実現できる塗布方法ならびに塗布装置を具現化し、それによって低コストで高品質のカラーフィルターやＴＦＴアレイ基板等の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。
【解決手段】塗布液を吐出するために一方向に延在する吐出口と、吐出口を含む吐出口面と、それに連なる両隣接面とを有する塗布器の両隣接面から吐出口面の方向に向かって気体が流動するように気体を吹き付け、次いで塗布器の吐出口面に略平行で静止した被予備塗布面に塗布液を予備塗布した後、塗布器に対して相対移動する被塗布部材に塗布器から塗布液を吐出して被塗布部材上に塗布膜を形成することを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】ガントリの走行をガイドするレールが分割されている場合であっても、不良基板が大量に生産されるのを抑制し、塗布基板の歩留まりを向上させることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージが配設された基台と、前記基台に特定方向に延びた状態で設けられ、複数に分割されたレールと、前記レールに沿って前記基板に対して相対的に走行し、前記基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備える塗布装置であって、前記塗布ユニットの動作の変動を検出する変動検出手段が設けられ、この変動検出手段の検出結果により基板上における塗布状態の良否を判断し、塗布状態が不適であると判断した場合には、前記塗布ユニットを停止させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】膜厚ムラを抑制し、生産性が高く、経済的な枚葉シートに塗布液を塗布する方法を提供する。
【解決手段】枚葉シートを配置した定盤と塗布液を吐出するスリットを備えたダイヘッドを相対移動させて枚葉シートに塗布液を塗布する方法において、定盤上に多孔質シートを敷設し、該多孔質シート上に該枚葉シートを配置して行うことを特徴とし、多孔質シートとしては、樹脂粉末の焼結多孔質成形体からなるシートが好ましく、枚葉シートとしてはアクリル樹脂シートが、塗布液としてはジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートおよび光重合開始剤を含有するものが好適である。 （もっと読む）

【課題】異物を基材と保持手段の間にはさんで生じる隆起部分を安定して検知し、ダイの衝突を未然に防いで基材を破損させることを防止する塗布部材の製造方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】保持手段に保持された基材9と塗布手段とを相対移動させながら塗液を前記塗布手段より基材の被塗布面９ａに塗布する塗布方法において、前記塗布手段の塗布方向と直交する方向に配置された複数の高さ検出器4aを有する高さ測定手段を用いて、基材を保持する前の前記保持手段の高さプロファイルの測定と、基材を前記保持手段に保持した状態での基材の被塗布面の高さプロファイルの測定とを行い、さらに前記保持手段の高さプロファイルおよび基材の被塗布面の高さプロファイルから基材の厚さプロファイルを算出し、算出結果から異物の有無を判定して異常があれば異常処理を行うことを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】処理雰囲気の制御を容易にすることができる成膜装置構成を提供する。
【解決手段】処理室内に配置された基板(100)上に塗布部(113)から液体を塗布することにより基板上に膜を形成する成膜装置を、処理室(107)を区画する壁(107a,107b，107d等)と、塗布部(113)を処理室に搬送する第１搬送部(105)と、基板の載置台(103)と、を有し、上記処理室(107)は、少なくとも上記壁、上記第１搬送部および上記載置台を有する部位により閉空間とされるよう構成する。かかる構成によれば、載置台と塗布部との距離を小さくすることができる。よって、処理室の容量を小さくすることができ、内部雰囲気の制御を容易にすることができる。例えば、その内部を不活性ガスでパージする際、パージに要する時間を低減でき、また、使用する不活性ガス量を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】 ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレール８ａ１とこのガイドレール８ａ１に摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台８ａ２とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレール８ａ１に沿って複数の真空吸引孔５ｂが所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔５ｂは、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】調整が容易で、長期に亘って故障しにくく、被塗布部材に塗布する塗布液の膜厚分布を、最終塗布位置をも含めて均一とする。
【解決手段】支持台上に載置した被塗布部材１３に対して塗布液吐出装置３を相対的に水平方向へと移動させながら、塗布液供給装置２を駆動して塗布液吐出装置３に塗布液を供給し、塗布液吐出装置３のノズルを介して被塗布部材１３に塗布液を塗布する。塗布液吐出装置３からノズルに至る配管の途中に連通する分岐管１９と、分岐管１９を介してノズルから塗布液を吸引する塗布液吸引装置５と、塗布液吸引装置５による塗布液の吸引動作を、塗布液吐出装置３のノズルの先端開口部が、被塗布部材１３の最終塗布領域に至ることにより開始させる制御装置６とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】性能の劣化を抑制しつつ、小型化を実現できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、吐出面と対向する第１位置を含む所定領域で吐出ヘッドに対して移動可能であり、所定軸に沿って配置された複数の移動体と、複数の移動体を所定軸に沿って移動させる駆動装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 リング塗工によるローラー基体成形機の狭いワーク搬送エリアでも、振れ精度に問題なくワークを把持搬送する方法を考案する。
【解決手段】 本発明の部品把持機構は、６軸ロボットの６軸フランジに装着される、電磁石を用いた上把持冶具と、２対のエアシリンダーを用いた下把持冶具により構成することで、全自動で更にロボットアームが高速移動・搬送してもローラーの外形振れを極小にできる。 （もっと読む）

【課題】微細かつ複雑な形状を有する、媒体上に存在する複数の領域に対して、迅速かつ正確にインクを塗布することができるインク吐出装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】本発明のインク吐出装置１０は、インクジェットヘッド３１を用いたインク吐出によって基板２０上にパターンを形成するために、該基板２０上に形成することを所望するパターンに基づいてインクの吐出対象領域の形状を決定する吐出対象領域決定手段１１と、該インクジェットヘッド３が有する複数のノズル３１を駆動するノズル駆動部１３と、該吐出対象領域の形状に基づいて、インクの吐出を行うノズル３１を決定し、かつインクの吐出を行う該ノズル３１のそれぞれから吐出されるインクの吐出回数および着弾位置を制御する制御信号をノズル駆動部１３に供給する制御手段１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高粘度、高チキソトロピー性材料を塗布しても形状精度が良くエアー巻き込みを低減可能な電子写真用弾性ローラとその製造方法、高精細画像形成に好適な電子写真プロセスカートリッジ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】環状スリットを有する塗工ヘッドを用い液状材料をスリットの外方側入り口部から供給し内方側出口部から吐出して円筒体基材に塗工しこれを硬化させる電子写真用弾性ローラの製造方法であって、同材料の降伏応力が２０〜６００Ｐａでチキソトロピーインデックスが２．０〜６．５で、同入り口部及び同出口部の隙間の間隔を各々Ｔ１及びＴ２（ｍｍ）、同入り口部と同出口部との距離Ｌ（ｍｍ）が０．１≦Ｔ１／Ｔ２＜１．０、１０≦Ｌ≦１００である。この方法で製造された電子写真用弾性ローラ。同ローラを現像ローラとする電子写真プロセスカートリッジ及び画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】塗布走査に支障を来たすおそれのある基板上の異物や基板の盛り上がりを適確に検出すること。
【解決手段】基板Ｇとステージ１０との間に大きくかつ平坦な異物Ｑ４が挟まって基板Ｇがなだらかに塗布ギャップｇの高さレベルよりも高く盛り上がっている場合は、検査走査がこのなだらかな基板盛り上がりＨ４に差し掛かかると、現時の有効受光エリアＡ内の各受光セルの受光量が、第１設定遅延時間Ｔ１前の受光量との間の差分とは大して変わらなくても、第２設定遅延時間Ｔ２前の受光量に比べると相当減少していることから、「異常」のモニタ結果が出力される。 （もっと読む）

【課題】処理液供給系から発生する振動や低周波のゆらぎを除去することにより、塗布処理への悪影響を低減し、均一な処理液膜を形成することのできる塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法を提供する。
【解決手段】基板表面に処理液Ｒを塗布するノズル１０２と、伸縮部１３２を有し、該伸縮部１３２の伸縮動作により処理液Ｒをノズル１０２へ供給するポンプ手段１３１と、伸縮部１３２の伸縮方向の一端に設けられたボールねじナット１３６と、伸縮部１３２の伸縮方向に沿って設けられ、ボールねじナット１３６に螺合することにより該ボールねじナット１３６を伸縮部１３２の伸縮方向に移動させるボールねじ軸１３７と、ボールねじ軸１３７を軸周りに回転させるモータ１３３とを備え、ボールねじ軸１３７は、モータ１３３の回転軸上に設けられ、モータ１３３の回転軸の慣性モーメントは、１×１０^-3ｋｇ・ｍ²以上となされる。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】ベース部材に対してマザーシートの膨張方向（Ｘ矢印方向）に沿ってスライ
ド移動可能となるキャリッジＣＡ１〜ＣＡ１５を設けた。また、互いに隣接するキャリッ
ジＣＡ１〜ＣＡ１５をマザーシートの膨張方向（Ｘ矢印方向）に沿って伸長する連結部材
Ｌを介して連結した。そして、マザーシートの膨張度合いに基づいて、キャリッジＣＡ１
〜ＣＡ１５間の距離を、マザーシートの膨張方向（Ｘ矢印方向）に沿って補正するように
した。従って、各ノズルの配置ピッチがキャリッジＣＡ１〜ＣＡ１５毎に補正される。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口からパターン形成材料を吐出して線状の複数のパターン要素により構成されるパターンを形成する際に、パターンに生じるムラを抑制する。
【解決手段】パターン形成装置１は、複数の吐出口を有する得るノズル部５、および、基板９をノズル部５に対して移動するステージ移動機構２を備え、ノズル部５の複数の吐出口からパターン形成材料が連続的に吐出される間に基板９が移動することにより、基板９上に等ピッチにて配列された線状かつリブ状の複数のパターン要素により構成されるパターンが形成される。パターン形成装置１では、パターン形成材料の吐出速度などを変動させることにより、ノズル部５から基板９に付与されるパターン形成材料の量のノズル部５の相対移動距離に対する割合が不規則に変更される。これにより、各パターン要素の幅や高さが不規則に変更され、ストライプ状のパターンに生じるムラが抑制される。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く制御できる液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１４のキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズル３１から機能液を基板７に吐出する液滴吐出装置に関する。液滴吐出ヘッド１４と基板７とを相対移動するキャリッジ１２及びステージ４を備えている。さらに、ノズル３１から吐出される機能液を受けるフラッシングユニット１８とを備えている。また、液滴吐出ヘッド１４は、キャビティを加圧する圧電素子を備えている。液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８と対向する場所から、基板７と対向する場所に移動する間、圧電素子は、ノズル３１から機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂フィルムの製造工程中において、比較的高粘度の塗液を、装置構成が単純で操作および保守が簡易なロッドコート法によって塗布することが可能な、塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】樹脂フィルムの上面側に配置した塗工ロッドを、該塗工ロッドの長手方向に間欠的に配置した複数対のローラを有する支持体で外接支持しながら前記樹脂フィルムに押し付けて前記樹脂フィルムと略同速かつ順方向に回転させると共に、前記塗工ロッドの下流側かつテンターの上流側に配置したガイドロールまたは第２塗工ロッドで前記樹脂フィルムの下面を支持し、前記樹脂フィルムの上面に連続的に計量供給される前記塗液を前記塗工ロッドで平滑化する。 （もっと読む）

【課題】連続走行する支持体に、ウエット膜厚が５μｍ以下の超薄膜の塗膜を、スジやムラを発生させることがなく、均一かつ高精度に塗工することができる精密塗工用ワイヤバーの製作方法及びその精密塗工用ワイヤバー、並びにそれを用いた精密塗工用ワイヤバー塗布装置を提供する。
【解決手段】連続走行する支持体に塗布液を精密塗布する精密塗工用ワイヤバーの製作方法において、センタレス研磨済みロッドを用い、該ロッドの外周におけるワイヤ巻回部分を外周にならって特殊精密研削加工により０．５ｓ以下の面粗度に仕上げ、該仕上げ面に洗浄したワイヤを１．５μｍ以下のワイヤ間隔をもって螺旋状に密着巻回してワイヤバーを製作する。 （もっと読む）

【課題】マスキングテープの側面に形成されるメニスカスを小さくする。
【解決手段】マスキングテープ１は、テープ状の基材１１、粘着剤層１２、および、マスキングテープ１の両側面１０３内に設けられる吸収性部材１３を備える。マスキングテープ１は、下面エッジ１０５を基板９上の塗布領域と非塗布領域９２との境界に一致させつつ、基板９の主面９０に貼付される。マスキングテープ１の側面１０３では、粘着剤層１２の側方端面が有機ＥＬ液に対して非吸収性である非吸収領域１０３１となり、吸収性部材１３の側面１０３における露出領域が、有機ＥＬ液に対して吸収性を有する吸収領域１０３２となる。基板９に有機ＥＬ液が塗布される際には、マスキングテープ１の側面１０３に付着した有機ＥＬ液９３が吸収性部材１３により吸収される。これにより、マスキングテープ１の側面１０３に形成されるメニスカス９４の高さを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】予備吐出の頻度を上げても予備吐出による堆積物の影響を受け難い安定した吐出状態が得られる液滴吐出装置、液状体の吐出方法、二次電池の製造方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、被吐出物を載置する載置台１０４のＸ軸方向（主走査向）の前後に設けられた予備吐出を受ける一対の液滴受け部１３０と、液滴受け部１３０に吐出された液状体の堆積物７０を掻き取る除去装置１６５とを備えた。除去装置１６５は、スキージ６０と、液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドキャリッジ１０１に取り付けられたスキージセットモータ６１とを備えた。堆積物７０を掻き取る際には、スキージセットモータ６１がスキージ６０を液滴受け部１３０側に回転させる。ヘッドキャリッジ１０１がＹ軸方向（副走査方向）に移動することによって、セットされたスキージ６０が堆積物７０を掻き取る。 （もっと読む）