【課題】塗布液の主成分と基板との接触角が大きい場合でも、塗布膜を均一に形成する。
【解決手段】被塗布物Ｗの被塗布面ＷＡに対して塗布液を供給する際に、被塗布面ＷＡに対して補助溶媒の供給を開始した後に、既に被塗布物Ｗの被塗布面ＷＡに供給されている補助溶媒の上に重なるように塗布液を供給する。これにより、塗布液及び塗布液の主成分である溶媒を被塗布面ＷＡに供給する構成に比して、被塗布物Ｗの被塗布面ＷＡにおいて塗布液が広がりやすくなり、被塗布物Ｗの表面状態や塗布液の粘度等に関わらず塗布液を被塗布面ＷＡに均一に広げることができる。その結果、被塗布面ＷＡに塗布膜を均一に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】アライメントマスクを用いて行う機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を、短時間で且つ精度良く行う描画検査装置を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド３から機能液を吐出・着弾させて吐出性能を検査する描画検査装置３４であって、機能液滴の基準着弾位置となる着弾マークをマーキングしたアライメントマスク４６と、検査吐出された機能液滴が着弾する検査シートＳと、着弾マークと検査シートＳの着弾ドットＤとを位置認識する画像認識手段と、検査シートに臨んだ機能液滴吐出ヘッド３を位置認識するヘッド認識手段と、を備え、アライメントマスク４６は、着弾マークがマーキングされたマスク本体４６ａと、マスク本体４６ａから検査シートを越えて延在する延設部と、を一体に有すると共に、機能液滴吐出ヘッド３を位置認識する位置においてヘッド認識手段をキャリブレーションするヘッド校正マークが設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板上への液剤の塗布によるパターン形成において、微細線のパターン形成であっても安定してパターンを塗布することを可能にする。
【解決手段】保持された基板とノズルとのギャップを変化させながらインクを吐出するパターン形成方法であって、距離センサによるノズルと基板とのギャップを計測する工程と、ノズルと基板とのギャップを狭くする工程（Ａ）と、インクを少量吐出する工程（Ｂ）と、ノズルと基板との間に所定のギャップを設ける工程（Ｃ）と、ノズルと基板とを水平方向に相対移動させると同時にインクを吐出する工程（Ｄ）とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な方法と構成でノズル硬化を確実に防止することができるように工夫した液滴吐出型ディスペンサのノズル硬化防止方法と液滴吐出型ディスペンサのノズル硬化防止装置を提供すること。
【解決手段】 非使用時に液滴吐出型ディスペンサのノズルを溶剤ポット内に漬け置きしておき、使用時に溶剤ポット内より引き抜いた液滴吐出型ディスペンサのノズルに拭き取り処理を施し、その後使用するようにし、それによって、ノズルの先端における溶剤の液溜まりに起因した吐出不良を未然に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 塗布装置及び方法において、ノズル内の異物を除去するために、閉塞する必要のある全てのノズルを確実に閉塞すること。
【解決手段】 塗布ヘッド２２に設けた複数のノズル３４から溶液を吐出させて基板に塗布する塗布装置において、前記塗布ヘッド２２の一部のノズル３４を同時に閉塞する閉塞手段５０であって、それら一部のノズル３４を構成する各個のノズル３４をノズル毎に閉塞する閉塞部５０Ａを備えた閉塞手段５０を有するもの。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業を低減することができ、マスクを不要にすることができ、かつ分散媒の使用量を低減することができる粒子付着層の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明の粒子付着層の形成方法は、分散媒中に粒子を分散させたスラリーをノズルのスリット形状の吐出口から基板に対して供給することによって前記吐出口と前記基板の間に前記スラリーのメニスカスを形成し、前記吐出口と前記基板とを相対移動させることによって前記メニスカスを移動させて前記基板上にスラリー層を形成し、前記ノズルに近接して配置された乾燥部によって前記スラリー層中の前記分散媒を蒸発させることによって前記基板上に粒子付着層を形成する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】
インクジェット方式を用いたパターニング方式においける表面処理を低コストでかつ撥液性の制御可能な方法で行うこと。
【解決手段】
基板に撥液性を付与するためのコーティング液をインクジェット方式により基板上に塗布、乾燥し、表面状態を制御した後、パターン形成用液体材料を基板上に吐出、乾燥、焼成することによってパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、以上のような問題に鑑み、開口部毎の着色パターンの画素形状を改良し、色ムラのないストライプ形状又は格子形状のカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に略直交する格子状に形成された隔壁パターンと、隔壁パターンに区画された開口部の中に設けられ、色ごとに略ストライプ状に形成され複数色の着色パターンを備えたパターン形成基板の製造方法において、
ａ基板上に細長い矩形状の開口部を多数備えた格子状の隔壁パターンを形成する工程と、ｂ前記ａ工程で設けた隔壁パターンに完全に重なるように、開口部の短手方向と平行に形成された部分の一部が欠けている点を除いては前記ａ工程で設けた隔壁パターンと同一の形状の隔壁パターンをさらに積層する工程と、ｃ格子状の隔壁パターンの開口部に着色インクをインクジェット装置により付与する工程とを含むパターン形成基板である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、以上のような問題に鑑み、開口部毎の着色パターンの画素形状を改良し、色ムラのないストライプ形状又は格子形状のカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に略直交する格子状に形成された隔壁パターンと、隔壁パターンに区画された開口部の中に設けられ、色ごとに略ストライプ状に形成され複数色の着色パターンを備えたパターン形成基板の製造方法において、
（ａ）基板上に細長い矩形状の開口部を多数備えた格子状の隔壁パターンを形成する工程と、（ｂ）前記隔壁パターンのうち、前記矩形状の開口部の短手方向と平行に設けられたパターンの一部を切削する工程と、（ｃ）前記格子状の隔壁パターンの開口部に着色インクをインクジェット装置により付与する工程とを含むパターン形成基板である。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドから液状体を吸引するキャップ装置において、固化した液状体の溶質が吸引経路や排出経路に付着することで、吸引特性や液状体の排出が損なわれることを抑制するヘッド保守装置、吐出装置、及びヘッド保守方法を提供する。
【解決手段】ヘッド保守装置は、吐出ノズルを封止する封止室を有するノズル封止手段と、吐出ノズルを封止した封止室の内部の気体又は液体を、封止室に連通する吸引管を介して吸引することで、吐出ノズルを介して吐出ヘッドから液状体を吸引する吸引手段と、封止室内の液状体が外部に流動可能な排液管を有する排出手段と、を備え、封止室は、封止室開口と、底面と、封止室開口の周囲に形成されて吐出ヘッドに当接する封止突起部と、有し、吐出ヘッドから吸引された液状体は、吐出ノズルから落下して底面上に滞留し、吸引管及び排液管は、重力加速度方向において、底面より封止突起部に近い位置で、封止室に開口している。 （もっと読む）

【課題】装置の機械的精度や基板の製造上の精度に係わらず、機能液滴吐出ヘッドにより基板上の区画部に機能液を精度良く着弾させることができる液滴吐出装置、機能液の着弾位置補正方法、電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供する。
【解決手段】多数の区画部９９がバンク部６１８によりマトリクス状に画成された基板６０１に対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を相対的に走査し、多数の区画部９９に向って機能液を吐出・着弾させる描画手段と、少なくとも基板６０１の一部において、着弾した機能液が区画部９９からバンク部６１８にはみ出した状態を画像認識する着弾結果認識手段と、画像認識の結果に基づいて、はみ出しを抑制するように機能液の吐出・着弾位置を補正する位置補正手段と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルにおける液滴の吐出量のばらつきを考慮して所定量の液状体を安定
して膜形成領域に吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、これを用いたカラーフィ
ルタの製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向に移動させるワーク移動機構２
０と、ワークＷに対してキャリッジ８を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘ
ッド移動機構３０と、キャリッジ８に搭載された複数のノズルと、複数のノズルの駆動手
段に駆動信号を印加するノズル駆動部と、これらを統括的に制御する制御部４０とを備え
、制御部４０は、複数のノズルのうち主走査において膜形成領域に掛かるノズルの駆動手
段に印加される駆動信号が主走査ごとに異なるようにノズル駆動部を制御する。 （もっと読む）

【課題】短時間で、しかも再現性の高いインク吐出量の制御を行うことが可能なインクジェット成膜技術を提供する。
【解決手段】本発明方法では、塗布対象物に対する膜厚を評価するための膜厚評価領域に膜厚評価用部材を配置し（ステップＳ１、Ｓ４、Ｓ７）、インクジェットヘッドの複数のノズルの各々からインクを吐出して膜厚評価用部材上にインクを塗布し、膜厚評価用部材上に塗布して乾燥する（ステップＳ２、Ｓ５、Ｓ８）。そして、膜厚評価用部材上における複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚を測定記憶する（ステップＳ３、Ｓ６、Ｓ９）。これら測定された光学膜厚に基づいてインクジェットヘッドの複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整する（ステップＳ１０、Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】生産性良く描画することができる吐出方法、カラーフィルタの製造方法を提供す
る。
【解決手段】ノズル３１からマザー基板に液滴３６を吐出して、第１塗布領域８３及び第
２塗布領域８７に機能液を塗布する吐出方法にかかわり、マザー基板に液滴３６を吐出す
る吐出工程と、マザー基板とノズル３１とを相対移動する移動工程と、を有し、吐出工程
と移動工程とは並行して行われ、吐出工程では、所定の吐出周期９０と同期して吐出又は
非吐出され、移動工程では、着弾間隔９２に応じてノズル３１とマザー基板とを相対移動
するステージ速度９１を変更することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板表面に液体を塗布するときの所要時間を短縮することが可能な液体塗布方法、液体塗布装置及び放射線検出器製造方法を提供する。
【解決手段】 図５（ａ）に示すように、ノズル２２から吐出された液滴Ｌは、吐出方向の長さ（以下、液柱長という。）Ｌ１０が液滴の断面の寸法と比較して長い柱形状の状態で吐出され、基板１６に球形状に凝集する前に、柱形状のままで着弾する。液滴Ｌの下端部は、基板１６に着弾すると、基板１６の走査方向に引っ張られる。これにより、液滴Ｌの長手方向と基板１６とがなす角θは９０°未満となり、図５（ｂ）に示すように、液滴Ｌは、基板１６上に長手方向に伸びるように塗布される。そして、液滴Ｌは、図５（ｂ）の符号Ｌ′に示すようにぬれ広がる。即ち、液滴Ｌは、球形状に収縮した後で着弾した場合と比較して、短時間で広範囲にぬれ広がる。 （もっと読む）

【課題】塗布液による装置内の汚染を防止しつつ、媒体に対する均一塗布を実現する。
【解決手段】塗布ローラ(11)の塗布面(11A)に当接することにより、該塗布面に液体を供給する液体保持ユニット(14)を備える液体塗布装置(10)において、塗布ローラ(11)に対する媒体（P）の相対位置に基づき、塗布ローラ(11)と液体保持ユニット(14)の間の第１の当接圧力及び塗布ローラ(11)と媒体（P）の間の第２の当接圧力のうち少なくとも一方の当接圧力を変化させる制御を行う。例えば、媒体（P）の先端が塗布ローラ(11)に接触する直前に第１の当接圧力を弱くして塗布ローラ上の液膜厚を増やし、媒体（P）の後端が塗布ローラ(11)を通過する直前に第１の当接圧力を強くして塗布ローラ(11)上の液膜厚を減らす。 （もっと読む）

【課題】重畳塗布によっても膜厚ムラを低減するようにしたインクジェットヘッド、塗布装置および塗布方法、ならびに放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド６０４は、前記溶液を吐出するノズル６０９を副走査方向に並んで複数有し、前記複数のノズル６０９は、副走査方向の両端部６０４ａ、６０４ｃで粗、中央部６０４ｂで密に配設されている。このインクジェットヘッド６０４を、これらのノズル６０９から溶液を吐出させながら、基材６０１に対して主走査方向に相対移動させる主走査工程と、前記インクジェットヘッドを前記基材に対して副走査方向に相対移動させる副走査工程と、を交互に繰り返して基材表面に溶液を塗布する。そして、主走査工程において、副走査工程を挟んだ直前の主走査工程でインクジェットヘッド６０４の一方の端部６０４ｃにより溶液が塗布された基材表面の領域にインクジェットヘッド６０４の他方の端部６０４ａの少なくとも一部を重ねて溶液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出されるインクの量と吐出速度を制御可能なインクの吐出方法およびインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】ヘッド１内には、インクが充填される液室内の圧力を変化させる圧力発生素子があり、液室には、インクを吐出するノズルが設けられている。ノズルから吐出されたインク滴は、吐出状態観測装置２において、異なるタイミングで２回撮像され、得られた画像からインクの吐出速度が取得される。制御装置６では、ノズルから吐出されるインクの吐出量と吐出速度がそれぞれ独立に制御される。 （もっと読む）

【課題】支持部材毎の塗布ヘッド間で、異なる塗布パターンを描画することができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置１において、第１軸方向に移動可能に第１塗布ヘッド３Ａを支持し、第２軸方向に移動可能に設けられた第１支持部材５Ａと、第１軸方向に移動可能に第２塗布ヘッド３Ｂを支持し、第２軸方向に移動可能に設けられた第２支持部材５Ｂと、第１塗布条件に基づいて、第１塗布ヘッド３Ａによるペーストの塗布、第１塗布ヘッド３Ａの移動及び第１支持部材５Ａの移動を制御し、第１塗布条件と異なる第２塗布条件に基づいて、第２塗布ヘッド３Ｂによるペーストの塗布、第２塗布ヘッド３Ｂの移動及び第２支持部材５Ｂの移動を制御し、第１塗布ヘッド３Ａによるペーストの塗布パターンと、第２塗布ヘッド３Ｂによるペーストの塗布パターンとを異ならせて塗布面Ｋａ上に描画する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】成膜雰囲気を良好にすることができる成膜装置および成膜方法を提供する。また、当該装置および方法により、特性の良好な膜を形成する。
【解決手段】本発明の成膜装置は、処理室(11)内の基板(S1)上に配置された液体材料(3)に熱処理を施すことにより液体材料を固化する成膜装置であって、処理室内に、基板が搭載されるステージ(15)と、基板を加熱する加熱手段(15a)と、基板を覆うカバー(17)と、を有し、カバーの内部に不活性ガス（Ｎ₂）を供給する第１供給手段(19)と、カバーの内部に不活性ガス以外の他のガスを供給する第２供給手段(40)と、を有する。かかる装置によれば、カバーにより基板上の液体材料が接触し得る雰囲気ガスを制限しつつ加熱処理を行うことができるため、膜中に取り込まれる不純物（例えば、酸素など）を低減することができる。また、他のガスを供給することで他の処理（例えば、酸化処理やドーパントの混入処理）などを同一の装置内で行うことができる。 （もっと読む）