【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止する。
【解決手段】機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッド５を備える液滴吐出装置であって、上記機能液の吐出を停止した待機状態である場合と上記機能液を吐出可能な吐出状態である場合とにおいて上記液滴吐出ヘッド５に供給する温調ガスの温度を切替可能な温調ガス供給手段１２を備える。 （もっと読む）

【課題】矩形の基板がステージ上で傾いて載置されても、当該基板を位置決めし直すことのできる矩形基板の載置位置矯正方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの左辺Ｌに二点で接触可能な一対の第一部材１１及び第二部材１２を前後方向基準線Ｘ０に平行な直線Ｘ１上に位置させ、基板Ｗの前辺Ｆに一点で接触可能な第三部材１３、及び、基板Ｗの後辺Ｂに一点で接触可能な第七部材１７を、基板Ｗの前後方向寸法ｂよりも広い間隔でかつ左右方向基準線を中心として位置させる。左側の前記二点及び右側の第五部材１５と第六部材１６とで基板Ｗを左右方向に挟むと共に、この左右方向に挟む動作の間に、基板Ｗを第四部材１４及び第八部材１８で、左右方向基準線Ｙ０を中心として前後方向に挟む。 （もっと読む）

【課題】乾燥前の塗布膜であっても塗布ムラを検出することができ、塗布工程直後から塗布ムラを検出することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、基板上に形成された塗布膜に対し、特定の照射パターンの光を出力する照射部と、塗布膜の表面で反射された反射光を受光する受光部と、受光部によって受光された反射光の受光パターンと、特定の照射パターンとを比較することにより、塗布膜の形成状態の良否を判断する制御装置とを備える塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ノズル間の液滴吐出量のバラツキを抑制する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、区画領域ＰＸ１，ＰＸ２の配置間隔が異なる複数の吐出領域ＰＡ１，ＰＡ２に液滴を吐出するものである。副走査方向の移動間隔δを区画領域ＰＸ１の配置間隔の整数倍とし、区画領域ＰＸ１に液滴を吐出するときには、区画領域ＰＸ１と重なる特定のノズルＮからの液滴吐出量の分布に基づいて、各ノズルＮから吐出される液滴吐出量が所定の適正量に近づくように、駆動素子の駆動波形を制御する。一方、区画領域ＰＸ２に液滴を吐出するときには、区画領域ＰＸ２と重なるノズルＮを１主走査毎に選択し、選択したノズルＮから液滴を吐出させると共に、選択され得る全てのノズルの組み合わせ（吐出パターン）についての平均的な吐出量の分布に基づいて、各ノズルＮから吐出される液滴吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子の駆動波形を制御する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷装置を用いて画素が平坦な、むらのないパターン形成体を製造する際に、大型な装置を用いることなく、かつ生産性に優れた製造方法および製造装置を提供することである。
【解決手段】多数の領域に区分けする隔壁を有する基板にインクジェット印刷装置にて隔壁内にインクを塗工することにより画素を形成する際に、基板の加熱とＵＶ露光による初期インク硬化工程をインクジェット塗工の間にはさむことで画素が平坦となる。また、初期インク硬化工程後に画素検査工程を用い、その情報に応じてインクジェット塗工量を調整することでむら不良のないパターン形成体が製造できる。 （もっと読む）

【課題】インク滴の予定外の位置への着弾及び生産性の低下を抑制しつつ隔壁で囲まれた領域全体にインクが行き届かないという事態の発生を抑制することができるインク滴吐出方法及びカラーフィルタ製造方法を提供する。
【解決手段】第１のインク滴群の最終端のインク滴と第２のインク滴群の最先端のインク滴とが接触して繋がる前に、第１のインク滴群の最先端のインク滴が短辺４２ａに接触し、かつ第２のインク滴群の最終端のインク滴が短辺４２ｂに接触するように第１の所定距離、第２の所定距離、及び第３の所定距離を定める。 （もっと読む）

【課題】インク滴の予定外の位置への着弾を抑制しつつ隔壁で囲まれた領域全体にインクが行き届かないという事態の発生を抑制することができるインク滴吐出方法及びカラーフィルタ製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板上の隔壁４０で囲まれた打滴領域４２の縁部に親水性組成物を含有する親水性組成物溶液を付着させ、縁部に付着させた親水性組成物溶液の溶媒を除去してから、打滴領域４２にインク滴を複数滴吐出する。 （もっと読む）

【課題】円筒の側面形状を側面に有する物体の側面に、歪みのない印字をすることができる印字装置を提供する。
【解決手段】被印字体である円筒の側面形状を側面に有する物体（円筒状のハニカム構造体）１０１が載置され、載置された当該物体（ハニカム構造体１０１）を上記「円筒の側面形状」についての中心軸（円筒状のハニカム構造体１０１の中心軸）を中心にして回転（自転）させる回転テーブル１と、載置された当該物体（ハニカム構造体１０１）の円筒の側面形状に形成された側面（外周面）１０２に、円筒の側面形状に形成された側面（ハニカム構造体１０１の側面１０２）との距離を一定に保った状態でインク１２を噴射する印字ヘッド１１を有するインクジェットプリンタ１３と、回転テーブル１の回転位置に合わせて印字ヘッド１１からインク１２を噴射するように制御するための制御部２１とを備えた印字装置。 （もっと読む）

【課題】光硬化性を有する液状材料を用い、高精度な液滴吐出を実現することができる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置１は、光透過性を有する板状またはシート状のワークＷの一方の面の描画領域に向けて、光硬化性を有する液状材料を液滴として吐出し、描画領域に付与された液状材料Ｌに、当該液状材料を硬化し得る光を照射するものであり、ワークＷ内に光を入射させるように設けられた光出射部７１を備え、液状材料の屈折率をｎ_Ｌとし、空気の屈折率をｎ_Ａとしたときに、これらの屈折率は、ｎ_Ａ＜ｎ_Ｌなる関係を満たし、光出射部７１からワークＷ内に入射した光を、描画領域のうち液状材料Ｌが付与されていない領域では、ワークＷと空気との界面で反射させ、描画領域のうち液状材料Ｌが付与された領域では、ワークＷと液状材料Ｌとの界面を通過させて当該液状材料Ｌに入射させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でノズル間の液滴の吐出量のバラツキを抑制することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】主走査と副走査を繰り返しながら、副走査方向に一定間隔で配列された複数の区画領域に液滴を吐出する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの副走査の移動量を区画領域の配置間隔の整数倍とし、全ての主走査において常に同じ吐出パターンで液滴を吐出する。吐出を行う前にはノズル毎の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキに応じて吐出量の調整を行う。その際、吐出量の測定は、実際に吐出を行う１種類の吐出パターンにおいてのみ行うこととし、副走査の前後でノズルデューティが異なる場合には、ノズルデューティに応じて駆動電圧を調節し、副走査前後において吐出量を均一化する。そして、ノズル毎の吐出量のバラツキが精密に制御された液滴吐出ヘッドを用いて、均一な膜厚の薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】吐出する液滴の量を高精度に補正可能な液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】ノズルから液滴を複数吐出して、シート部材に塗布する塗布工程と、シート部材に塗布された液滴を撮像する撮像工程と、撮像した複数の液滴の面積をそれぞれ計測する計測工程と、計測した液滴の面積に基づいてノズルから吐出する液滴の量を補正する補正工程Ｓ３９とを有する。計測工程で面積を計測した複数の液滴のうち、所定の面積範囲を超える液滴の割合が所定値を超えた異常ノズルの数を計数するとともに、計数された異常ノズルの数が所定数を超えたときに、補正工程前に塗布工程、撮像工程及び計測工程を順次再実行する再計測工程を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でノズル間の液滴の吐出量のバラツキを抑制することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】主走査と副走査を繰り返しながら、副走査方向に一定間隔で配列された複数の区画領域に液滴を吐出する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの副走査の移動量を区画領域の配置間隔の整数倍とし、全ての主走査において常に同じ吐出パターンで液滴を吐出する。吐出を行う前にはノズル毎の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキに応じて吐出量の調整を行う。その際、吐出量の測定は、実際に吐出を行う１種類の吐出パターンにおいてのみ行うこととし、ノズル毎の吐出量のバラツキが精密に制御された液滴吐出ヘッドを用いて、均一な膜厚の薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルと、複数の駆動素子と、振動板と、を有する複数の液滴吐出ヘッド５と、シート部材１５を供給する供給リール１２と、巻取リール１３と、撮像装置１４と、機能液の吐出量の分布を求める解析手段３２と、分布から複数のノズルにおける吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段３１と、を有し、制御手段３１は、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルから第１の間隔で機能液を所定の吐出数だけ吐出した場合の温度上昇のデータに基づいて、各液滴吐出ヘッド５の各ノズルから第１の間隔で機能液を所定の吐出数だけ吐出した後の各液滴吐出ヘッド５の温度が全て等しくなるように、駆動電圧を駆動素子に印加し、振動板を振動させて発熱させる。 （もっと読む）

【課題】より少ない供給量で、レジスト液をウェハ全面に効率よく塗布することができ、レジスト液の消費量を削減することができるレジスト塗布方法を提供する。
【解決手段】略静止したウェハの略中心上に、溶剤を供給する溶剤供給工程Ｓ０と、溶剤供給工程Ｓ０の後に、ウェハの略中心上であって溶剤の上にレジスト液を供給しつつ、第１の回転数Ｖ１でウェハを回転させる第１の工程Ｓ１と、第１の工程Ｓ１の後に、第１の回転数Ｖ１よりも低い第２の回転数Ｖ２でウェハを回転させる第２の工程Ｓ２と、第２の工程Ｓ２の後に、第１の回転数Ｖ１よりも低く第２の回転数Ｖ２よりも高い第３の回転数Ｖ３でウェハを回転させる第３の工程Ｓ３とを有する。 （もっと読む）

【課題】メディア上に描画されるドット面積に基づいてノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数回の液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５から複数のドットが配されるドット受け部と、液滴吐出ヘッド５とドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、ドット受け部に配されたドットの各々の面積を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、ドット受け部にドットを配する場合において複数のドットの各々を構成する各吐出動作による液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように相対移動手段を制御する制御部１１と、を備えた液滴吐出装置ＩＪである。 （もっと読む）

【課題】熱により反りや膨張収縮といった変形が基板に生じても基板上に形成された画素上に正確に材料を塗布することができる液体材料の塗布方法及び塗布装置の提供。
【解決手段】基板を載置するテーブルと、複数の吐出口を有する吐出部とを第一の方向及び第二の方向に相対移動させて前記基板上に液体材料を塗布する塗布方法における、塗布開始前の塗布位置調整工程であって、前記基板上の複数の基準マークの設定位置座標を記憶するステップと、熱処理を伴う工程を経た前記基板をテーブル上に載置し、前記複数の基準マークを画像認識し、測定位置座標を測定するステップと、前記設定位置座標と前記測定位置座標とに基づき前記基板の伸縮率を算出するステップと、前記基板の伸縮率に基づき、前記吐出部を走査方向に対して回動して塗布位置及び吐出口毎の吐出タイミングを調整するステップと、を有する塗布位置調整工程を含む液体材料の塗布方法及びその塗布装置。 （もっと読む）

【課題】 基板ＷのエッジＥに沿う塗布領域Ｒの外縁Ｆの真直性を向上すること。
【解決手段】 塗布ヘッド２２のノズルＮiから吐出される溶液を、外縁Ｆに直線状のエッジＥを備えた基板Ｗ上の、当該基板ＷのエッジＥに沿って前記規則的に形成された凹凸パターンを含む塗布領域内に塗布する溶液の塗布方法において、塗布ヘッド２２と基板Ｗとの相対移動方向を基板ＷのエッジＥに対して斜交させて相対移動させながら、塗布ヘッド２２の複数のノズルＮiから前記塗布領域内のエッジ側塗布領域Ｒeを除く内側塗布領域Ｒiに溶液を吐出塗布する第１塗布工程を行ない、その後、塗布ヘッド２２と基板Ｗとの相対移動方向を基板Ｗの前記エッジＥに対して平行に相対移動させながら、塗布ヘッド２２の同一のノズルＮiから前記塗布領域内のエッジ側塗布領域Ｒeに溶液を吐出塗布する第２塗布工程を行なうもの。 （もっと読む）

【課題】ブラックマトリクスのような格子状パターンを形成する際のコストを低減する。
【解決手段】第１の工程において、格子状パターンの全体における長手方向の直線パターンを、例えば１ｋＨｚ以上の高い印字周波数により描画する。次いで、第２の工程において、格子状パターンの全体における短手方向の直線パターンを、例えば１００Ｈｚ以下の低い印字周波数により描画する。これにより、短手方向の直線パターンと長手方向の直線パターンとの交点にバルジが発生し、これをブラックマトリクスにおけるＴＦＴの遮光部として用いることができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル面にキャップを当接させた状態でのノズル及びノズル面に存在している機能液の乾燥を防ぐことのできる液滴吐出装置及びそのメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】機能液の液滴を吐出するノズルが形成されたノズル面３３を有する液滴吐出ヘッド３と、ノズル面３３に当接してノズル面３３との間で密閉空間Ｋを形成するキャップ８４とを備える液滴吐出装置であって、密閉空間Ｋのキャップ８４側に保湿液を供給する保湿液供給部８６を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】
塗布装置１０は、ベース１２と、ベース１２上に所定間隔離れて設けられた一対のフレーム１４と、フレーム１４上に設けられた軸受１６と、軸受１６に回転自在に支持され、連続走行するウエブを外周面で支持するバックアップローラ１８と、バックアップローラ１８と対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド２８と、ベース１２上に設置され、塗布ヘッド２８を支持する移動台２６を備える。ベース１２からバックアップローラ１８の軸心までの高さ（Ｈ１）が８００ｍｍ以下とされ、フレーム１４は１５０Ｈｚ以上の固有振動数を有する。 （もっと読む）