【課題】均一な浮上量で基板を浮上させること。
【解決手段】所定領域に液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記所定領域を通過するように基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、少なくとも前記所定領域において前記基板のうち基板搬送方向に直交する方向の端部の浮上量を調整する調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高精度に描画を行う。
【解決手段】 保持対象物を保持するステージと、ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、ステージは、吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、検出器による検出結果に基づいて、第１の吐出ヘッドと第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、把握した相対位置関係を加味して、ステージに保持された保持対象物と吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高精度に描画を行う。
【解決手段】 保持面を備え、保持面に基板を保持するステージと、保持面に保持された基板に向けて液滴を吐出する第１及び第２の吐出領域とを有し、保持面に保持された基板と、第１の吐出領域との間の距離、及び、保持面に保持された基板と、第２の吐出領域との間の距離を、それぞれ所定範囲内に維持する描画装置であって、ステージは、保持面内の第１の方向に、第１及び第２の吐出領域との間で相対的に移動可能に基板を保持し、第２の吐出領域は、第１の吐出領域の、第１の方向と保持面内で交差する方向と平行な方向側に配置され、第１、第２の吐出領域は、それぞれ保持面と交差する第２、第３の方向と平行な方向に、基板との間で相対的な移動が可能であり、更に、基板の反りに応じて、基板の第１の方向への相対的な移動、及び、第１、第２の吐出領域の第２、第３の方向と平行な方向への相対的な移動を制御する制御装置を含む描画装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ワークの姿勢を良好にアライメントできるアライメント装置、基板処理装置、およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】注目マーク９４ａが初期位置Ｐ０から第１計測位置Ｐ１へ第１距離Ｄ１だけ移動した後、位置演算部は、対応撮像部にて撮像された第１撮像画像に基づいて、第１撮像画像の座標系における注目マーク９４ａの第１計測位置Ｐ１を演算する。また、位置演算部は、注目マーク９４ａが第１計測位置Ｐ１から第２計測位置Ｐ２に移動した後、対応撮像部により撮像された第２撮像画像に基づいて、第２撮像画像の座標系における第２計測位置Ｐ２を演算する。続いて、演算された第１および第２計測位置Ｐ１、Ｐ２と、第１角度θ１と、に基づいて、回転軸３５ａから見た注目マーク９４ａのマーク位置を演算する。そして、求められた各アライメントマークのマーク位置を通る直線を求めることによって、主走査方向に対する基板の傾きを求める。 （もっと読む）

【課題】基板上に処理液を供給する複数のノズルのうちの処理に供される選択された１つのノズル先端部の処理液の状態を安定して画像処理する液処理装置及び液処理方法を提供すること。
【解決手段】基板に液処理を行う液処理装置において、基板を保持するスピンチャック４１と、スピンチャックに保持された基板に処理液を供給する複数のノズル１０と、複数のノズルを搬送するノズル搬送機構１０Ａと、ノズルの先端を撮像するカメラ１７と、カメラを複数のノズルの１つに対して移動させる移動機構と、ノズルの処理液供給部、ノズル搬送機構及びカメラの移動機構の処理動作を制御すると共に、複数のノズルの中から１つのノズルを選択する処理プログラムを備える制御部９と、を備える。これにより、ノズル先端部の液だれまたは滴下の発生状況に応じて所定の対処動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】 製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】 ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレール８ａ１とこのガイドレール８ａ１に摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台８ａ２とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレール８ａ１に沿って複数の真空吸引孔５ｂが所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔５ｂは、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】基材の表面にバルジを誘導するためのパターンを形成せずに組成物の液滴を付与して線状パターンを形成する場合に比べ、線状パターンに生じるバルジの方向が制御されるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に組成物の液滴を線状に付与して線状パターン１２Ａ，１２Ｂを形成する線状パターン形成工程と、線状パターンを形成すると共に又は線状パターンを形成する前に、液滴を付与して、前記線状のパターンの幅方向における片側の縁で接触するバルジ誘導用パターン１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを形成するバルジ誘導用パターン形成工程と、を含む。バルジ誘導用パターンを形成した後、線状パターンを形成することが望ましく、予めパターン形成領域外に組成物の液滴を付与してバルジ発生位置を確認するためのバルジ確認用パターンを形成する工程をさらに含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】外観品質に優れた自動車の開閉可能な窓ガラスが得られ、しかも繰り返し開閉してもガラス面に設けた被膜に傷が形成されることを抑制できる被膜付き自動車用窓ガラスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】窓ガラス１０を上辺１３を上にして保持し、ノズル２０を、凹面１０ａの側辺１１に沿って上方に非塗布領域Ａの下縁ａまで相対移動させ、非塗布領域Ａの下縁ａに沿って側辺１１から側辺１２まで相対移動させ、側辺１２に沿って非塗布領域Ａの下縁ａから下方に相対移動させて、凹面１０ａに塗布液を塗布する工程と、塗布した塗布液を乾燥して被膜を形成する乾燥工程と、を有する被膜付き自動車用窓ガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】塗布層が塗布された支持体を巻き取る際に、効率的に同伴エアを排除でき、巻き取り形状を高い精度で安定させることができる塗布方法、塗布装置、支持体ロールの製造方法を提供する。
【解決手段】搬送される帯状の支持体に、塗布液を塗布する塗布方法であって、支持体表面に塗布される塗布液の、支持体の幅方向の厚み分布曲線が、最大厚みとなる部位から支持体の幅方向両側に向かうに伴って厚みが薄くなる形状で、かつ、最大厚みとなる部位の曲率半径を最小値とし、その幅方向の両端側に曲率半径が最大厚みとなる部位の曲率半径よりも大きくなる領域が設けられるように、塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドのノズルから真空吸引手段が吸引したＵＶ硬化型塗布材のＵＶ光による硬化を防止し、真空吸引手段での目詰まりによる吸引不良の発生を防止する。
【解決手段】搬送されてきたフィルム１は、吸着テーブル１０上に吸着固定されて塗布ヘッド１５からＵＶ硬化型塗布材３５が塗布され、この塗布されたＵＶ硬化型塗布材３５は塗布ヘッド１５と一体のＵＶ光源２０からのＵＶ光３６が照射されて硬化される。この吸着テーブル１０の外側には、真空吸引部２１が配置されており、塗布ヘッド１５をこの真空吸引部２１に移動させることにより、この真空吸引部２１によって塗布ヘッド１５内の気泡などが吸引され。かかる塗布ヘッド１５の吸引が行なわれないときには、ＵＶフィルタ２２がエアシリンダ２３によって移動し、この真空吸引部２１の吸引口を塞ぐ。これにより、真空吸引部２１内がＵＶ光３６に対して遮光される。 （もっと読む）

【課題】
複数の塗布液の吐出口を有してストライプ状塗布膜を形成するノズルで、いかなる特性の塗布液や塗布条件であっても、きわめて微細な幅のストライプ状塗布膜を形成できるノズルや塗布装置および塗布方法を実現させるとともに、低コストで高品質のディスプレイ用部材を製造できるディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】
吐出口から吐出される塗布液を塗布液吐出方向に案内する一対の対向平面を備え、この一対の対向平面はノズル長手方向と略直交する方向に平行となるように形成されているノズル。 （もっと読む）

【課題】個人の熟練度に影響されず、ノズルの姿勢を正確に調整することのできるノズルの姿勢調整方法および塗布装置を提供すること。
【解決手段】載置面８４１に対するノズル８１の姿勢を調整する姿勢調整方法であって、載置面８４１に設けられ互いに絶縁された一対の導通部８６２、８６３にノズル８１の異なる部位を接触させ、各導通部８６２、８６３とノズル８１とを導通する導通工程と、ノズル８１を、載置面８４１に対する姿勢を維持しながら、各導通部８６２、８６３との導通状態を解除するために載置面８４１から遠ざけるように移動させるときの、各導通部８６２、８６３とノズル８１との離間を電気的に検出する検出工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる。
【解決手段】ワークＷ上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、１以上の吐出ノズル２１により液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズル２１に対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズル２１を適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッド１の駆動電圧設定方法であって、グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズル２１を複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布装置、その塗布方法及びそれを用いた有機膜形成方法を提供する。
【解決手段】基板に塗布材料を塗布した後、乾燥装置に移送中に発生する膜厚の変動を防止することができる塗布装置、その塗布方法及びそれを用いた有機膜形成方法に関する。塗布対象物が載置されるステージ、上記ステージ上に設けられて上記塗布対象物に塗布材料を塗布する塗布部及び上記ステージに対向して離隔して設けられて上記塗布材料が上記塗布対象物に塗布された後、上記塗布対象物に熱を供給する加熱源を備える塗布装置、その塗布方法及びそれを用いた有機膜形成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数のパターンを形成する工程中でディスペンサを複数回にわたって上昇・下降させて前記基板とノズルとの間のギャップを調節する過程を繰り返さないで、全体の工程時間を短縮する、塗布装置の制御方法を提供する。
【解決手段】原料物質を貯留するシリンジと、基板上に前記原料物質を吐出するノズルと、シリンジとノズルとの間の連通を制御するバルブとを有し、基板上に複数のパターンを離隔させて形成するディスペンサを備える塗布装置の制御方法であって、ディスペンサを水平移動させて原料物質を基板上に吐出して複数のパターンを形成し、基板上に原料物質を吐出する時の基板とノズルとの間のギャップと、基板上に原料物質を吐出しない時の基板とノズルとの間のギャップとを同一にすることで、前記ディスペンサを水平移動させる塗布装置の制御方法。 （もっと読む）

【課題】基板への連続塗布を行う場合においてもタクトタイムを短縮することのできる塗布方法、及び塗布装置を提供する。
【解決手段】基板Ｓを浮上させて順次搬送しつつ、順次搬送される複数の基板Ｓに液状体を連続的に塗布する方法である。基板Ｓの搬送方向後方側の所定領域を用いて、液状体を吐出するノズルの液状体の吐出状態を管理する、ノズル管理工程を備える。 （もっと読む）

【課題】画像の絵柄と画像の凹凸パターンとが対応し、且つ高画質な印刷物を容易に得る画像記録方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出法を用いて形成材料を溶解または分散させた液状体を塗布することにより、支持体上に画像と該画像に対応した凹凸形状とを記録する画像記録方法であって、画像の画像データの一部を用いて、支持体上に選択的に設けられる下地層の画像データである下地層データを生成する工程S3と、下地層データに基づいて、描画領域の輪郭が下地層データを構成する複数の画素間の境界と重ならないように縮小したビットマップデータを作成する工程S4と、ビットマップデータに基づいて、支持体上に選択的に液状体を塗布することにより下地層を形成する工程S5と、画像データに基づいて、下地層および支持体の上に液状体を塗布することにより下地層及び支持体の表面に接する画像層を形成する工程S6と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、多数のインクジェットヘッドを好適に洗浄することができ、また、スペーサ粒子分散液の無駄な消費も防止することが可能なインクジェット塗布装置およびインクジェット塗布装置におけるインクジェットヘッドの洗浄方法を提供する。
【解決手段】検査装置による透明基板の検査結果に基づいて、塗布不良領域３０１、３０２に対してスペーサ粒子分散液を塗布したインクジェットヘッド１８Ａ〜１８Ｅを特定し、このインクジェットヘッド１８Ａ〜１８Ｅ、または、このインクジェットヘッド１８Ａ〜１８Ｅを含むインクジェットヘッドユニット１２Ａまたは１２Ｂのみを、洗浄ユニットまたは超音波洗浄ユニットにより洗浄する。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１において、塗布対象物が載置されるステージ２と、液滴を吐出するための吐出孔が形成された吐出面Ｍ１を有しステージ２上の塗布対象物に向けて吐出孔から塗布液を液滴として吐出する塗布ヘッド３と、ステージ２と塗布ヘッド３とをステージ２の面方向に相対移動させる移動機構７と、塗布ヘッド３の吐出面Ｍ１に接触する接触面Ｍ２を有する吸液性の吸収体１１を有し、吸収体１１の接触面Ｍ２の全面を濡らし、濡れた接触面Ｍ２と塗布ヘッド３の吐出面Ｍ１とを接触させて塗布ヘッド３の吐出面Ｍ１の全面を濡らす吐出安定装置６とを備える。 （もっと読む）

【課題】配線を任意のパターンで高精度に、かつ低コストで形成可能であり、また、基板に形成した配線にダメージを与えることがない回路基板の形成方法を提供する。
【解決手段】筋状に複数（ここでは２箇所）の撥液部Ｈを、互いに所定の隙間をあけて形成する。なお、ここで記載する撥液部とは、後工程で第２の配線Ｗ２を形成するための無電解メッキ液に対する接触角が所定値以上となる、撥液性を示す領域とされる。撥液部Ｈの形成にあたっては、液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドから無電解めっき液に対して撥液性を有する材料（撥液材料）を含む液状体の液滴Ｌを吐出して、基板Ｐに形成した第１の配線Ｗ１上の所定領域に塗布する。 （もっと読む）