描画装置及び描画方法
【課題】 高精度に描画を行う。
【解決手段】 保持対象物を保持するステージと、ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、ステージは、吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、検出器による検出結果に基づいて、第１の吐出ヘッドと第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、把握した相対位置関係を加味して、ステージに保持された保持対象物と吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置を提供する。
【解決手段】 保持対象物を保持するステージと、ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、ステージは、吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、検出器による検出結果に基づいて、第１の吐出ヘッドと第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、把握した相対位置関係を加味して、ステージに保持された保持対象物と吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置を提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出してパターンを描画する描画装置及び描画方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板等のパターン形成面に、パターン形成用材料を含んだ液状材料（インク）を吐出ヘッド（インクジェットヘッド）から液滴として吐出して、基板上に材料層を成膜（描画）する技術が知られている。
【０００３】
基板上に描画される材料層により、たとえばソルダーレジストパターンが形成される。ソルダーレジストは、基材に導体配線が形成されたプリント配線板のはんだ付けのために、必要な導体部分を露出し、はんだ付けが不要な部分にはんだが付かないように配線板上に形成される絶縁膜である。
【０００４】
図６は、複数のインクジェットヘッドを含んで構成されるインクジェットヘッドユニットの、液滴吐出面を示す概略図である。インクジェットヘッドユニット１０は、キャリッジ１４に一体的に組み付けられた３つのインクジェットヘッド１１〜１３を含んで構成される。各インクジェットヘッド１１〜１３は、一列に配列された複数のインクジェットノズル（インク吐出穴）１１ａ〜１３ａを備える。ノズル穴１１ａ〜１３ａは、エッチング等の技術を用いて金属板に形成されるため、インクジェットヘッド１１〜１３内において、それらは高精度に配置されている。
【０００５】
インクジェットヘッド１１〜１３は、それぞれたとえばノックピンによりキャリッジ１４に組み付けられる。しかしながら組み付けに際しては、本来組み付けられるべき位置に対して組み付け誤差が生じる。組み付け誤差はたとえば数μｍ以内である。組み付け誤差により、インクの着弾精度が悪化する。
【０００６】
インクジェットヘッド１１〜１３が高精度に組み付けられた場合であっても、インクジェットヘッドの寿命は通常半年以内であり、その都度交換が必要となる。組み付け位置の再現性の確保は困難である。
【０００７】
インクの着弾精度が基板の各所において異なる場合であっても、各所毎にインクジェットヘッドと基板との相対位置を補正して、液滴の着弾精度を向上させる描画装置の発明が開示されている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１記載の描画装置は、基準板を含み、これを用いてノズル単位でインク着弾位置を検出し補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３９８２５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、高精度の描画が可能な描画装置及び描画方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一観点によると、保持対象物を保持するステージと、前記ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、前記ステージは、前記吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、前記第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、前記ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、前記検出器による検出結果に基づいて、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の前記第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、該把握した相対位置関係を加味して、前記ステージに保持された保持対象物と前記吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、前記第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置が提供される。
【００１１】
また、本発明の他の観点によると、（ａ）第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、着弾した液滴から、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）で把握された相対位置関係を加味して、基板と、前記第１及び第２の吐出ヘッドとを、相対的に前記第１の方向に移動させながら、前記第１及び第２の吐出ヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出する工程とを有する描画方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、高精度の描画が可能な描画装置及び描画方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施例による描画装置を示す概略図である。
【図２】インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ及びＣＣＤカメラ３０の近傍を示す、描画装置の概略的な平面図である。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、インクジェットヘッドユニットの液滴吐出面を示す概略図である。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置の一部を示す概略的な断面図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置を用い、プリント配線板５０に描画を行う前の準備工程を示す概略図である。
【図６】複数のインクジェットヘッドを含んで構成されるインクジェットヘッドユニットの、液滴吐出面を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は実施例による描画装置を示す概略図である。実施例による描画装置は、水平に（ＸＹ平面に平行な面内に）設置された定盤２０、定盤２０上に配置されたステージ２２、定盤２０に固定され、Ｙ軸方向に沿って見たとき、ステージ２２を門型に囲むように配置されたフレーム２１、フレーム２１に保持されたインクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ、ＣＣＤカメラ３０、及び、描画装置の動作を制御する制御装置４０を含む。
【００１５】
ステージ２２は、定盤２０側から順に配置されるＹステージ２２ｙ、Ｘステージ２２ｘ、θステージ２２θ、及びチャックプレート２２ａを含む。チャックプレート２２ａは、プリント配線板（基板）５０を吸着保持する。θステージ２２θは、保持されたプリント配線板５０を、ＸＹ平面に平行な面内で、Ｚ軸に平行な回転軸の周囲に回転させる。Ｘステージ２２ｘ、Ｙステージ２２ｙは、それぞれプリント配線板５０を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に移動させることができる。チャックプレート２２ａによるプリント配線板５０の吸着、Ｘ、Ｙ、θステージ２２ｘ、２２ｙ、２２θによるプリント配線板５０の移動は、制御装置４０によって制御される。
【００１６】
フレーム２１は、２本の支柱２１ａ、２１ｂ、及びコラム２１ｃを含む。支柱２１ａ、２１ｂは、定盤２０のＹ軸方向の略中央に立設される。コラム２１ｃは、Ｘ軸方向に沿うように、支柱２１ａ、２１ｂに支持される。
【００１７】
インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ、及びＣＣＤカメラ３０は、フレーム２１のコラム２１ｃに保持されている。インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、それぞれ複数のインクジェットヘッドを含む。インクジェットヘッドは、たとえば紫外線硬化性のインク（パターン形成用材料を含んだ液状材料）をステージ２２に保持されたプリント配線板５０に向けて吐出（滴下）する。吐出されたインクにより、プリント配線板５０上に所定パターンの材料層、たとえばソルダーレジストパターンが成膜（描画）される。
【００１８】
制御装置４０は、たとえばメモリである記憶装置４０ａを含む。記憶装置４０ａには、プリント配線板５０上においてソルダーレジストを形成すべき領域（インクを塗布すべき領域）等のデータ（ガーバデータ）が記憶されている。制御装置４０は、記憶装置４０ａの記憶内容に基いて、プリント配線板５０上の所定領域にインクが塗布されるように、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄからのインクの吐出、及びステージ２２による配線板５０の移動を制御する。プリント配線板５０は、Ｙ軸正方向に移動され、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄの鉛直下方（Ｚ軸負方向）においてインクを塗布される。
【００１９】
実施例による描画装置は、ステージ２２上に移動可能に保持されたプリント配線板５０上に、たとえば所定パターンのソルダーレジストを形成する液滴吐出装置（インクジェット装置）である。
【００２０】
図２は、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ及びＣＣＤカメラ３０の近傍を示す、描画装置の概略的な平面図である。各インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、Ｙ軸方向に沿って配置される複数のノズル列を備える。各ノズル列は、Ｘ軸方向に沿って配列された複数の、たとえば１９２個のインクジェットノズル（インク吐出穴）によって構成される。各ノズル列のＸ軸方向に沿う長さは、たとえば約３０ｍｍである。インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、全体として見たとき、たとえばインクジェットノズルがＸ軸方向に等間隔に配置されるように設置される。このため、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、Ｙ軸正方向に移動中のプリント配線板５０の幅約１２０ｍｍの範囲（Ｘ軸方向に沿う範囲）に、描画を行うことができる。
【００２１】
各ユニット２３ａ〜２３ｄには、ノズル列の両側に余白部が設けられているので、インクジェットノズルをＸ軸方向に等間隔に配置するために、Ｘ軸方向に隣り合うユニット（一例としてユニット２３ａとユニット２３ｂ）は、Ｙ軸方向にたとえば２０ｍｍの間隔を設けて配置される。この結果、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、たとえば互い違いに２列に組まれて、全体としてＸ軸方向に延在するように配置される。
【００２２】
ＣＣＤカメラ３０は、たとえばインクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄの近傍に、実施例においては、インクジェットヘッドユニット２３ｄに隣接して、そのＸ軸負方向側に配置される。
【００２３】
図３（Ａ）及び（Ｂ）は、インクジェットヘッドユニットの液滴吐出面を示す概略図である。図３（Ａ）に示すように、インクジェットヘッドユニット２３ａは、キャリッジ２３ａｃに組み付けられた、たとえば同構成のインクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４を含んで構成される。各インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４は、Ｙ軸正方向側とＹ軸負方向側とに一列ずつ、計二列のノズル列を有する。ノズル穴は、エッチング等の技術を用いて形成されるため、インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４内において、それらは高精度に配置されている。
【００２４】
インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４は、順に相対位置をＸ軸負方向にずらされながら、全体としてＹ軸方向に沿って配置されている。インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４のキャリッジ２３ａｃへの組み付けは、たとえばノックピンを用いて行われる。組み付けに際しては、たとえば相互に隣接するインクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４の間で、Ｙ軸正方向側ノズル列及びＹ軸負方向側ノズル列の、Ｙ軸方向に沿う距離がＬとなるように、組み付け位置が調整される。ただし組み付け誤差から、ノズル列間のＹ軸方向に沿う距離が正確にＬとはならない場合がある。
【００２５】
図３（Ｂ）にインクジェットヘッドの詳細を示した。インクジェットヘッド２３ａ１の同一ノズル列のノズルはＸ軸方向に沿って１６０μｍ間隔で配置される。Ｙ軸正方向側のノズル列は、Ｙ軸負方向側のノズル列に対し、ノズルの配設位置がＸ軸負方向に８０μｍずれるように形成されている。このためインクジェットヘッド２３ａ１は、Ｘ軸方向に８０μｍ間隔で千鳥配列される３８４個のインクジェットノズルを含み、約３００ｄｐｉの分解能を有する。各インクジェットノズルはピエゾ素子を含んで構成され、電圧の印加に応じてインクを吐出する。インクの吐出（電圧の印加）は制御装置４０によって制御される。
【００２６】
インクジェットヘッド２３ａ２はインクジェットヘッド２３ａ１に対し、２０μｍだけＸ軸負方向側に配置される。同様にインクジェットヘッド２３ａ３、ａ４は、それぞれインクジェットヘッド２３ａ２、ａ３に対し、２０μｍだけＸ軸負方向側に配置される。この結果、インクジェットヘッドユニット２３ａは、Ｘ軸方向に２０μｍ間隔で配置されるノズルを備える。
【００２７】
インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄも、インクジェットヘッドユニット２３ａと等しい構成を有する。したがって実施例による描画装置は、Ｘ軸方向に沿う１２０ｍｍの範囲に渡って、２０μｍの分解能（約１２００ｄｐｉの分解能）をもつインクジェットノズル群を備える。
【００２８】
なお本図には、ノズル列の端部のインクジェットノズルに、２３Ａ１１、２３Ａ１２、２３Ａ１３、２３Ａ１４、２３Ａ２１、２３Ａ２２、２３Ａ２３、２３Ａ２４、２３Ａ３１、２３Ａ３２、２３Ａ３３、２３Ａ３４、２３Ａ４１、２３Ａ４２、２３Ａ４３、２３Ａ４４の符号を付して示した。
【００２９】
図４（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置の一部を示す概略的な断面図である。図４（Ａ）に示すように、インクジェットヘッドユニット２３ａは、連結部材２８ａを介してコラム２１ｃに固定されている。インクジェットヘッドユニット２３ａのインクジェットノズルから、インク５１がプリント配線板５０に向けて鉛直下方（Ｚ軸負方向）に吐出される。プリント配線板５０は、たとえば３００ｍｍ／秒でＹ軸正方向に移動される。
【００３０】
インクジェットヘッドユニット２３ａのＹ軸正方向側には、光源２７が連結部材２８ｂを介してコラム２１ｃに固定されている。光源２７は制御装置４０の制御によって紫外光を出射する。インクジェットヘッドユニット２３ａから吐出され、プリント配線板５０上に塗布されて、Ｙ軸正方向に移動されたインク５１には、光源２７を出射した紫外光が照射される。紫外光の照射により、インク５１は表面部を硬化（仮硬化）される。
【００３１】
図４（Ａ）にはインクジェットヘッドユニット２３ａを示したが、他のインクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄについても同様である。インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄも、連結部材２８ａを介してコラム２１ｃに固定され、インクジェットノズルから、インク５１をプリント配線板５０に向けて鉛直下方（Ｚ軸負方向）に吐出する。インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄから吐出され配線板５０上に塗布されたインク５１も、光源２７から出射される紫外光によって仮硬化される。
【００３２】
プリント配線板５０に対する描画は、配線板５０をＹ軸正方向に移動しながら、ユニット２３ａ〜２３ｄからインク５１を吐出して、Ｘ軸方向１２０ｍｍの範囲にインク５１を塗布し、塗布したインク５１を光源２７から出射される紫外光で仮硬化した後、ステージ２２により配線板５０をたとえばＸ軸正方向、及びＹ軸負方向に移動する。そしてまた、配線板５０をＹ軸正方向に移動しながら、インク５１を仮硬化させた領域に隣接するＸ軸方向１２０ｍｍの範囲に、インク５１を塗布し仮硬化させる。これを繰り返して、プリント配線板５０のパターン形成面全面に描画を行う。
【００３３】
図４（Ｂ）を参照する。ＣＣＤカメラ３０もまた連結部材２８ａを介してコラム２１ｃに固定されている。ＣＣＤカメラ３０は、ステージ２２に保持された保持対象物、たとえば試料基板６０の表面を撮像する。ステージ２２で試料基板６０を移動させることにより、ＣＣＤカメラ３０で試料基板６０上の任意の位置の画像を取得することができる。取得された画像のデータは、制御装置４０に送信される。ＣＣＤカメラ３０による撮像は制御装置４０によって制御される。
【００３４】
図５（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置を用い、プリント配線板５０に描画を行う前の準備工程を示す概略図である。図５（Ａ）に示すように、準備工程においては、ステージ２２に試料基板６０を保持し、試料基板６０に向けてインクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄからインク５１を吐出する。この場合、インク５１は、たとえば各インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄのノズル列の端部のインクジェットノズルから吐出すればよい。
【００３５】
図５（Ｂ）に、インクジェットヘッドユニット２３ａから吐出され、試料基板６０に着弾したインク５１を示す。ノズル列の端部のすべてのインクジェットノズルからインク５１を吐出してもよいが、本図には、図３（Ｂ）に２３Ａ１１、２３Ａ１３、２３Ａ２１、２３Ａ２３、２３Ａ３１、２３Ａ３３、２３Ａ４１、２３Ａ４３の符号を付して示したインクジェットノズル（各インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４において、Ｙ軸負方向側のノズル列のＸ軸正方向側の端部のノズル、及び、Ｙ軸正方向側のノズル列のＸ軸負方向側の端部のノズル）からインク５１を吐出する場合を示した。たとえばインク５１（２３Ａ１１）は、インクジェットノズル２３Ａ１１から吐出され、試料基板６０上に着弾したインクである。
【００３６】
インク５１の吐出後、試料基板６０上のインク５１着弾領域は、ステージ２２によりＣＣＤカメラ（検出器）３０の撮像（検出）範囲に移動される。ＣＣＤカメラ３０は、試料基板６０上に着弾したインク５１（２３Ａ１１）〜５１（２３Ａ４３）を撮影（検出）し、画像データを制御装置４０に送信する。
【００３７】
制御装置４０は、ＣＣＤカメラ３０から送信された画像データに基づいて、インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４間のＹ軸方向に沿う相対位置関係を把握する。たとえばインクジェットヘッド２３ａ１のＹ軸負方向側ノズル列のＸ軸正方向側端部のノズル２３Ａ１１から吐出されたインク５１（２３Ａ１１）と、インクジェットヘッド２３ａ２における対応端部のノズル２３Ａ２１から吐出されたインク５１（２３Ａ２１）とが撮影された画像に基いて、両インク５１（２３Ａ１１）、５１（２３Ａ２１）間のＹ軸方向に沿う距離ｌ１を検出する。また、インクジェットヘッド２３ａ１のＹ軸正方向側ノズル列のＸ軸負方向側端部のノズル２３Ａ１３から吐出されたインク５１（２３Ａ１３）と、インクジェットヘッド２３ａ２における対応端部のノズル２３Ａ２３から吐出されたインク５１（２３Ａ２３）とが撮影された画像に基いて、両インク５１（２３Ａ１３）、インク５１（２３Ａ２３）間のＹ軸方向に沿う距離ｌ２を検出する。そしてインクジェットヘッド２３ａ１とインクジェットヘッド２３ａ２との間の、Ｙ軸方向の相対位置関係を示す一指標として、距離ｌ１とｌ２との相加平均（ｌ１＋ｌ２）／２を算出する。また、これと、あらかじめ設定された設計値（基準値）Ｌとの差、ｌ１２＝［（ｌ１＋ｌ２）／２］−Ｌを算出する。ｌ１２は、両インクジェットヘッド２３ａ１、２３ａ２間における、Ｙ軸方向の誤差（設計値Ｌからのずれ量）としての意味をもつ。誤差は、ノックピンによる組み付け等に起因する。
【００３８】
同様に、インク５１（２３Ａ２１）とインク５１（２３Ａ３１）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ３、インク５１（２３Ａ２３）とインク５１（２３Ａ３３）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ４から、インクジェットヘッド２３ａ２とインクジェットヘッド２３ａ３との間の、Ｙ軸方向の相対位置関係を示す一指標として、（ｌ３＋ｌ４）／２、及び、ｌ２３＝［（ｌ３＋ｌ４）／２］−Ｌを算出する。
【００３９】
更に、インク５１（２３Ａ３１）とインク５１（２３Ａ４１）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ５、インク５１（２３Ａ３３）とインク５１（２３Ａ４３）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ６から、インクジェットヘッド２３ａ３とインクジェットヘッド２３ａ４との間の、Ｙ軸方向の相対位置関係を示す一指標として、（ｌ５＋ｌ６）／２、及び、ｌ３４＝［（ｌ５＋ｌ６）／２］−Ｌを算出する。
【００４０】
算出された（ｌ１＋ｌ２）／２、（ｌ３＋ｌ４）／２、（ｌ５＋ｌ６）／２、ｌ１２、ｌ２３、ｌ３４の値は、記憶装置４０ａに記憶される。更に、たとえば制御装置４０がディスプレイ等の表示装置を備える場合には、表示装置に表示してもよい。
【００４１】
制御装置４０は、プリント配線板５０に対する描画を行うに当たり、準備工程で得られたインクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４の間の、Ｙ軸方向の相対位置関係、たとえば（ｌ１＋ｌ２）／２、ｌ１２等を加味した制御を行う。
【００４２】
前述のように、制御装置４０は、記憶装置４０ａに記憶されている、プリント配線板５０上においてソルダーレジストを形成すべき領域のデータに基いて、プリント配線板５０上の所定領域にインクが塗布されるように、インクジェットヘッドユニット２３ａからのインクの吐出、及びステージ２２による配線板５０の移動を制御する。
【００４３】
この場合、たとえば準備工程で把握されたインクジェットヘッド間の、Ｙ軸方向の相対位置関係のデータは、プリント配線板５０上のＸ軸に平行な位置（Ｙ座標が等しい位置）に、インク５１を吐出する際の、インクジェットヘッド２３ａ１とインクジェットヘッド２３ａ２との間の、吐出時刻（タイミング）の遅延時間の制御に利用される。
【００４４】
一例として、制御装置４０に、インクジェットヘッド２３ａ１とインクジェットヘッド２３ａ２の対応ノズル列間のＹ軸方向に沿う距離がＬであり、インクジェットヘッド２３ａ１のＹ軸負方向側のノズル列に含まれるノズルからインク５１が吐出される時刻と、インクジェットヘッド２３ａ２のＹ軸負方向側のノズル列に含まれるノズルからインク５１が吐出される時刻との差（遅延時間）がＴであると設定されているとする。このとき制御装置４０は、算出されたｌ１２の値を用いて補正を行い、遅延時間をＴ＋ｌ１２・Ｔ／Ｌとする制御を行う。インクジェットヘッド２３ａ１、２３ａ２のＹ軸正方向側のノズル列に含まれるノズルからインク５１が吐出される時刻の差（遅延時間）についても同様に、Ｔ＋ｌ１２・Ｔ／Ｌと補正する。なお、インクジェットヘッド２３ａ１、２３ａ２の対応ノズル列間のＹ軸方向に沿う距離が補正される場合、補正後の値は（ｌ１＋ｌ２）／２となる。
【００４５】
インクジェットヘッド２３ａ２〜２３ａ４間についても同様の補正を行う。こうしてインクジェットヘッドユニット２３ａについて、インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４間の、Ｙ軸方向に関する相対位置関係の補正が行われる。また、インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄについても同様の補正を行う。
【００４６】
試料基板６０への試射（試料基板６０へのインク５１の着弾位置）に基き、各インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄについて、インクジェットヘッド間の、Ｙ軸方向に関する相対位置関係を検出し、検出結果を、インクジェットヘッド単位（インクジェットヘッド間）で加味して、インクジェットヘッドからのインク５１の吐出を制御することにより、たとえばプリント配線板５０上におけるインク５１の着弾位置を高精度、簡易、低コストで制御することができる。たとえばインクジェットヘッドの組み付けが高精度に行われず誤差を有する場合であっても、プリント配線板５０に対し高精度の描画を行うことができる。
【００４７】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
【００４８】
たとえば、実施例においては、インクジェットヘッドユニット等に対するプリント配線板や試料基板の移動をステージによって行ったが、たとえば固定ステージを用い、フレーム２１をＹ軸方向に移動可能とし、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ、ＣＣＤカメラ３０、光源２７等を、フレーム２１にＸ軸方向に移動可能に取り付ける構成としてもよい。このようにインクジェットヘッドユニット等とプリント配線板等とは、相対的に移動させればよい。
【００４９】
その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者には自明であろう。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
インクジェットヘッドから液滴を吐出して行うパターン描画に広く利用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０ インクジェットヘッドユニット
１１〜１３ インクジェットヘッド
１１ａ〜１３ａ ノズル
１４ キャリッジ
２０ 定盤
２１ フレーム
２１ａ、２１ｂ 支柱
２１ｃ コラム
２２ ステージ
２２ａ チャックプレート
２２θ θステージ
２２ｘ Ｘステージ
２２ｙ Ｙステージ
２３ａ〜２３ｄ インクジェットヘッドユニット
２３ａ１〜２３ａ４ インクジェットヘッド
２３ａｃ キャリッジ
２３Ａ１１、２３Ａ１２、２３Ａ１３、２３Ａ１４、２３Ａ２１、２３Ａ２２、２３Ａ２３、２３Ａ２４、２３Ａ３１、２３Ａ３２、２３Ａ３３、２３Ａ３４、２３Ａ４１、２３Ａ４２、２３Ａ４３、２３Ａ４４ インクジェットノズル
２７ 光源
２８ａ、２８ｂ 連結部材
３０ ＣＣＤカメラ
４０ 制御装置
４０ａ 記憶装置
５０ プリント配線板
５１ インク
６０ 試料基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出してパターンを描画する描画装置及び描画方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板等のパターン形成面に、パターン形成用材料を含んだ液状材料（インク）を吐出ヘッド（インクジェットヘッド）から液滴として吐出して、基板上に材料層を成膜（描画）する技術が知られている。
【０００３】
基板上に描画される材料層により、たとえばソルダーレジストパターンが形成される。ソルダーレジストは、基材に導体配線が形成されたプリント配線板のはんだ付けのために、必要な導体部分を露出し、はんだ付けが不要な部分にはんだが付かないように配線板上に形成される絶縁膜である。
【０００４】
図６は、複数のインクジェットヘッドを含んで構成されるインクジェットヘッドユニットの、液滴吐出面を示す概略図である。インクジェットヘッドユニット１０は、キャリッジ１４に一体的に組み付けられた３つのインクジェットヘッド１１〜１３を含んで構成される。各インクジェットヘッド１１〜１３は、一列に配列された複数のインクジェットノズル（インク吐出穴）１１ａ〜１３ａを備える。ノズル穴１１ａ〜１３ａは、エッチング等の技術を用いて金属板に形成されるため、インクジェットヘッド１１〜１３内において、それらは高精度に配置されている。
【０００５】
インクジェットヘッド１１〜１３は、それぞれたとえばノックピンによりキャリッジ１４に組み付けられる。しかしながら組み付けに際しては、本来組み付けられるべき位置に対して組み付け誤差が生じる。組み付け誤差はたとえば数μｍ以内である。組み付け誤差により、インクの着弾精度が悪化する。
【０００６】
インクジェットヘッド１１〜１３が高精度に組み付けられた場合であっても、インクジェットヘッドの寿命は通常半年以内であり、その都度交換が必要となる。組み付け位置の再現性の確保は困難である。
【０００７】
インクの着弾精度が基板の各所において異なる場合であっても、各所毎にインクジェットヘッドと基板との相対位置を補正して、液滴の着弾精度を向上させる描画装置の発明が開示されている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１記載の描画装置は、基準板を含み、これを用いてノズル単位でインク着弾位置を検出し補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３９８２５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、高精度の描画が可能な描画装置及び描画方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一観点によると、保持対象物を保持するステージと、前記ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、前記ステージは、前記吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、前記第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、前記ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、前記検出器による検出結果に基づいて、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の前記第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、該把握した相対位置関係を加味して、前記ステージに保持された保持対象物と前記吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、前記第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置が提供される。
【００１１】
また、本発明の他の観点によると、（ａ）第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、着弾した液滴から、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）で把握された相対位置関係を加味して、基板と、前記第１及び第２の吐出ヘッドとを、相対的に前記第１の方向に移動させながら、前記第１及び第２の吐出ヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出する工程とを有する描画方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、高精度の描画が可能な描画装置及び描画方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施例による描画装置を示す概略図である。
【図２】インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ及びＣＣＤカメラ３０の近傍を示す、描画装置の概略的な平面図である。
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、インクジェットヘッドユニットの液滴吐出面を示す概略図である。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置の一部を示す概略的な断面図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置を用い、プリント配線板５０に描画を行う前の準備工程を示す概略図である。
【図６】複数のインクジェットヘッドを含んで構成されるインクジェットヘッドユニットの、液滴吐出面を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は実施例による描画装置を示す概略図である。実施例による描画装置は、水平に（ＸＹ平面に平行な面内に）設置された定盤２０、定盤２０上に配置されたステージ２２、定盤２０に固定され、Ｙ軸方向に沿って見たとき、ステージ２２を門型に囲むように配置されたフレーム２１、フレーム２１に保持されたインクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ、ＣＣＤカメラ３０、及び、描画装置の動作を制御する制御装置４０を含む。
【００１５】
ステージ２２は、定盤２０側から順に配置されるＹステージ２２ｙ、Ｘステージ２２ｘ、θステージ２２θ、及びチャックプレート２２ａを含む。チャックプレート２２ａは、プリント配線板（基板）５０を吸着保持する。θステージ２２θは、保持されたプリント配線板５０を、ＸＹ平面に平行な面内で、Ｚ軸に平行な回転軸の周囲に回転させる。Ｘステージ２２ｘ、Ｙステージ２２ｙは、それぞれプリント配線板５０を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に移動させることができる。チャックプレート２２ａによるプリント配線板５０の吸着、Ｘ、Ｙ、θステージ２２ｘ、２２ｙ、２２θによるプリント配線板５０の移動は、制御装置４０によって制御される。
【００１６】
フレーム２１は、２本の支柱２１ａ、２１ｂ、及びコラム２１ｃを含む。支柱２１ａ、２１ｂは、定盤２０のＹ軸方向の略中央に立設される。コラム２１ｃは、Ｘ軸方向に沿うように、支柱２１ａ、２１ｂに支持される。
【００１７】
インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ、及びＣＣＤカメラ３０は、フレーム２１のコラム２１ｃに保持されている。インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、それぞれ複数のインクジェットヘッドを含む。インクジェットヘッドは、たとえば紫外線硬化性のインク（パターン形成用材料を含んだ液状材料）をステージ２２に保持されたプリント配線板５０に向けて吐出（滴下）する。吐出されたインクにより、プリント配線板５０上に所定パターンの材料層、たとえばソルダーレジストパターンが成膜（描画）される。
【００１８】
制御装置４０は、たとえばメモリである記憶装置４０ａを含む。記憶装置４０ａには、プリント配線板５０上においてソルダーレジストを形成すべき領域（インクを塗布すべき領域）等のデータ（ガーバデータ）が記憶されている。制御装置４０は、記憶装置４０ａの記憶内容に基いて、プリント配線板５０上の所定領域にインクが塗布されるように、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄからのインクの吐出、及びステージ２２による配線板５０の移動を制御する。プリント配線板５０は、Ｙ軸正方向に移動され、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄの鉛直下方（Ｚ軸負方向）においてインクを塗布される。
【００１９】
実施例による描画装置は、ステージ２２上に移動可能に保持されたプリント配線板５０上に、たとえば所定パターンのソルダーレジストを形成する液滴吐出装置（インクジェット装置）である。
【００２０】
図２は、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ及びＣＣＤカメラ３０の近傍を示す、描画装置の概略的な平面図である。各インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、Ｙ軸方向に沿って配置される複数のノズル列を備える。各ノズル列は、Ｘ軸方向に沿って配列された複数の、たとえば１９２個のインクジェットノズル（インク吐出穴）によって構成される。各ノズル列のＸ軸方向に沿う長さは、たとえば約３０ｍｍである。インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、全体として見たとき、たとえばインクジェットノズルがＸ軸方向に等間隔に配置されるように設置される。このため、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、Ｙ軸正方向に移動中のプリント配線板５０の幅約１２０ｍｍの範囲（Ｘ軸方向に沿う範囲）に、描画を行うことができる。
【００２１】
各ユニット２３ａ〜２３ｄには、ノズル列の両側に余白部が設けられているので、インクジェットノズルをＸ軸方向に等間隔に配置するために、Ｘ軸方向に隣り合うユニット（一例としてユニット２３ａとユニット２３ｂ）は、Ｙ軸方向にたとえば２０ｍｍの間隔を設けて配置される。この結果、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄは、たとえば互い違いに２列に組まれて、全体としてＸ軸方向に延在するように配置される。
【００２２】
ＣＣＤカメラ３０は、たとえばインクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄの近傍に、実施例においては、インクジェットヘッドユニット２３ｄに隣接して、そのＸ軸負方向側に配置される。
【００２３】
図３（Ａ）及び（Ｂ）は、インクジェットヘッドユニットの液滴吐出面を示す概略図である。図３（Ａ）に示すように、インクジェットヘッドユニット２３ａは、キャリッジ２３ａｃに組み付けられた、たとえば同構成のインクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４を含んで構成される。各インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４は、Ｙ軸正方向側とＹ軸負方向側とに一列ずつ、計二列のノズル列を有する。ノズル穴は、エッチング等の技術を用いて形成されるため、インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４内において、それらは高精度に配置されている。
【００２４】
インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４は、順に相対位置をＸ軸負方向にずらされながら、全体としてＹ軸方向に沿って配置されている。インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４のキャリッジ２３ａｃへの組み付けは、たとえばノックピンを用いて行われる。組み付けに際しては、たとえば相互に隣接するインクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４の間で、Ｙ軸正方向側ノズル列及びＹ軸負方向側ノズル列の、Ｙ軸方向に沿う距離がＬとなるように、組み付け位置が調整される。ただし組み付け誤差から、ノズル列間のＹ軸方向に沿う距離が正確にＬとはならない場合がある。
【００２５】
図３（Ｂ）にインクジェットヘッドの詳細を示した。インクジェットヘッド２３ａ１の同一ノズル列のノズルはＸ軸方向に沿って１６０μｍ間隔で配置される。Ｙ軸正方向側のノズル列は、Ｙ軸負方向側のノズル列に対し、ノズルの配設位置がＸ軸負方向に８０μｍずれるように形成されている。このためインクジェットヘッド２３ａ１は、Ｘ軸方向に８０μｍ間隔で千鳥配列される３８４個のインクジェットノズルを含み、約３００ｄｐｉの分解能を有する。各インクジェットノズルはピエゾ素子を含んで構成され、電圧の印加に応じてインクを吐出する。インクの吐出（電圧の印加）は制御装置４０によって制御される。
【００２６】
インクジェットヘッド２３ａ２はインクジェットヘッド２３ａ１に対し、２０μｍだけＸ軸負方向側に配置される。同様にインクジェットヘッド２３ａ３、ａ４は、それぞれインクジェットヘッド２３ａ２、ａ３に対し、２０μｍだけＸ軸負方向側に配置される。この結果、インクジェットヘッドユニット２３ａは、Ｘ軸方向に２０μｍ間隔で配置されるノズルを備える。
【００２７】
インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄも、インクジェットヘッドユニット２３ａと等しい構成を有する。したがって実施例による描画装置は、Ｘ軸方向に沿う１２０ｍｍの範囲に渡って、２０μｍの分解能（約１２００ｄｐｉの分解能）をもつインクジェットノズル群を備える。
【００２８】
なお本図には、ノズル列の端部のインクジェットノズルに、２３Ａ１１、２３Ａ１２、２３Ａ１３、２３Ａ１４、２３Ａ２１、２３Ａ２２、２３Ａ２３、２３Ａ２４、２３Ａ３１、２３Ａ３２、２３Ａ３３、２３Ａ３４、２３Ａ４１、２３Ａ４２、２３Ａ４３、２３Ａ４４の符号を付して示した。
【００２９】
図４（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置の一部を示す概略的な断面図である。図４（Ａ）に示すように、インクジェットヘッドユニット２３ａは、連結部材２８ａを介してコラム２１ｃに固定されている。インクジェットヘッドユニット２３ａのインクジェットノズルから、インク５１がプリント配線板５０に向けて鉛直下方（Ｚ軸負方向）に吐出される。プリント配線板５０は、たとえば３００ｍｍ／秒でＹ軸正方向に移動される。
【００３０】
インクジェットヘッドユニット２３ａのＹ軸正方向側には、光源２７が連結部材２８ｂを介してコラム２１ｃに固定されている。光源２７は制御装置４０の制御によって紫外光を出射する。インクジェットヘッドユニット２３ａから吐出され、プリント配線板５０上に塗布されて、Ｙ軸正方向に移動されたインク５１には、光源２７を出射した紫外光が照射される。紫外光の照射により、インク５１は表面部を硬化（仮硬化）される。
【００３１】
図４（Ａ）にはインクジェットヘッドユニット２３ａを示したが、他のインクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄについても同様である。インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄも、連結部材２８ａを介してコラム２１ｃに固定され、インクジェットノズルから、インク５１をプリント配線板５０に向けて鉛直下方（Ｚ軸負方向）に吐出する。インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄから吐出され配線板５０上に塗布されたインク５１も、光源２７から出射される紫外光によって仮硬化される。
【００３２】
プリント配線板５０に対する描画は、配線板５０をＹ軸正方向に移動しながら、ユニット２３ａ〜２３ｄからインク５１を吐出して、Ｘ軸方向１２０ｍｍの範囲にインク５１を塗布し、塗布したインク５１を光源２７から出射される紫外光で仮硬化した後、ステージ２２により配線板５０をたとえばＸ軸正方向、及びＹ軸負方向に移動する。そしてまた、配線板５０をＹ軸正方向に移動しながら、インク５１を仮硬化させた領域に隣接するＸ軸方向１２０ｍｍの範囲に、インク５１を塗布し仮硬化させる。これを繰り返して、プリント配線板５０のパターン形成面全面に描画を行う。
【００３３】
図４（Ｂ）を参照する。ＣＣＤカメラ３０もまた連結部材２８ａを介してコラム２１ｃに固定されている。ＣＣＤカメラ３０は、ステージ２２に保持された保持対象物、たとえば試料基板６０の表面を撮像する。ステージ２２で試料基板６０を移動させることにより、ＣＣＤカメラ３０で試料基板６０上の任意の位置の画像を取得することができる。取得された画像のデータは、制御装置４０に送信される。ＣＣＤカメラ３０による撮像は制御装置４０によって制御される。
【００３４】
図５（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例による描画装置を用い、プリント配線板５０に描画を行う前の準備工程を示す概略図である。図５（Ａ）に示すように、準備工程においては、ステージ２２に試料基板６０を保持し、試料基板６０に向けてインクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄからインク５１を吐出する。この場合、インク５１は、たとえば各インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄのノズル列の端部のインクジェットノズルから吐出すればよい。
【００３５】
図５（Ｂ）に、インクジェットヘッドユニット２３ａから吐出され、試料基板６０に着弾したインク５１を示す。ノズル列の端部のすべてのインクジェットノズルからインク５１を吐出してもよいが、本図には、図３（Ｂ）に２３Ａ１１、２３Ａ１３、２３Ａ２１、２３Ａ２３、２３Ａ３１、２３Ａ３３、２３Ａ４１、２３Ａ４３の符号を付して示したインクジェットノズル（各インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４において、Ｙ軸負方向側のノズル列のＸ軸正方向側の端部のノズル、及び、Ｙ軸正方向側のノズル列のＸ軸負方向側の端部のノズル）からインク５１を吐出する場合を示した。たとえばインク５１（２３Ａ１１）は、インクジェットノズル２３Ａ１１から吐出され、試料基板６０上に着弾したインクである。
【００３６】
インク５１の吐出後、試料基板６０上のインク５１着弾領域は、ステージ２２によりＣＣＤカメラ（検出器）３０の撮像（検出）範囲に移動される。ＣＣＤカメラ３０は、試料基板６０上に着弾したインク５１（２３Ａ１１）〜５１（２３Ａ４３）を撮影（検出）し、画像データを制御装置４０に送信する。
【００３７】
制御装置４０は、ＣＣＤカメラ３０から送信された画像データに基づいて、インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４間のＹ軸方向に沿う相対位置関係を把握する。たとえばインクジェットヘッド２３ａ１のＹ軸負方向側ノズル列のＸ軸正方向側端部のノズル２３Ａ１１から吐出されたインク５１（２３Ａ１１）と、インクジェットヘッド２３ａ２における対応端部のノズル２３Ａ２１から吐出されたインク５１（２３Ａ２１）とが撮影された画像に基いて、両インク５１（２３Ａ１１）、５１（２３Ａ２１）間のＹ軸方向に沿う距離ｌ１を検出する。また、インクジェットヘッド２３ａ１のＹ軸正方向側ノズル列のＸ軸負方向側端部のノズル２３Ａ１３から吐出されたインク５１（２３Ａ１３）と、インクジェットヘッド２３ａ２における対応端部のノズル２３Ａ２３から吐出されたインク５１（２３Ａ２３）とが撮影された画像に基いて、両インク５１（２３Ａ１３）、インク５１（２３Ａ２３）間のＹ軸方向に沿う距離ｌ２を検出する。そしてインクジェットヘッド２３ａ１とインクジェットヘッド２３ａ２との間の、Ｙ軸方向の相対位置関係を示す一指標として、距離ｌ１とｌ２との相加平均（ｌ１＋ｌ２）／２を算出する。また、これと、あらかじめ設定された設計値（基準値）Ｌとの差、ｌ１２＝［（ｌ１＋ｌ２）／２］−Ｌを算出する。ｌ１２は、両インクジェットヘッド２３ａ１、２３ａ２間における、Ｙ軸方向の誤差（設計値Ｌからのずれ量）としての意味をもつ。誤差は、ノックピンによる組み付け等に起因する。
【００３８】
同様に、インク５１（２３Ａ２１）とインク５１（２３Ａ３１）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ３、インク５１（２３Ａ２３）とインク５１（２３Ａ３３）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ４から、インクジェットヘッド２３ａ２とインクジェットヘッド２３ａ３との間の、Ｙ軸方向の相対位置関係を示す一指標として、（ｌ３＋ｌ４）／２、及び、ｌ２３＝［（ｌ３＋ｌ４）／２］−Ｌを算出する。
【００３９】
更に、インク５１（２３Ａ３１）とインク５１（２３Ａ４１）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ５、インク５１（２３Ａ３３）とインク５１（２３Ａ４３）との間のＹ軸方向に沿う距離ｌ６から、インクジェットヘッド２３ａ３とインクジェットヘッド２３ａ４との間の、Ｙ軸方向の相対位置関係を示す一指標として、（ｌ５＋ｌ６）／２、及び、ｌ３４＝［（ｌ５＋ｌ６）／２］−Ｌを算出する。
【００４０】
算出された（ｌ１＋ｌ２）／２、（ｌ３＋ｌ４）／２、（ｌ５＋ｌ６）／２、ｌ１２、ｌ２３、ｌ３４の値は、記憶装置４０ａに記憶される。更に、たとえば制御装置４０がディスプレイ等の表示装置を備える場合には、表示装置に表示してもよい。
【００４１】
制御装置４０は、プリント配線板５０に対する描画を行うに当たり、準備工程で得られたインクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４の間の、Ｙ軸方向の相対位置関係、たとえば（ｌ１＋ｌ２）／２、ｌ１２等を加味した制御を行う。
【００４２】
前述のように、制御装置４０は、記憶装置４０ａに記憶されている、プリント配線板５０上においてソルダーレジストを形成すべき領域のデータに基いて、プリント配線板５０上の所定領域にインクが塗布されるように、インクジェットヘッドユニット２３ａからのインクの吐出、及びステージ２２による配線板５０の移動を制御する。
【００４３】
この場合、たとえば準備工程で把握されたインクジェットヘッド間の、Ｙ軸方向の相対位置関係のデータは、プリント配線板５０上のＸ軸に平行な位置（Ｙ座標が等しい位置）に、インク５１を吐出する際の、インクジェットヘッド２３ａ１とインクジェットヘッド２３ａ２との間の、吐出時刻（タイミング）の遅延時間の制御に利用される。
【００４４】
一例として、制御装置４０に、インクジェットヘッド２３ａ１とインクジェットヘッド２３ａ２の対応ノズル列間のＹ軸方向に沿う距離がＬであり、インクジェットヘッド２３ａ１のＹ軸負方向側のノズル列に含まれるノズルからインク５１が吐出される時刻と、インクジェットヘッド２３ａ２のＹ軸負方向側のノズル列に含まれるノズルからインク５１が吐出される時刻との差（遅延時間）がＴであると設定されているとする。このとき制御装置４０は、算出されたｌ１２の値を用いて補正を行い、遅延時間をＴ＋ｌ１２・Ｔ／Ｌとする制御を行う。インクジェットヘッド２３ａ１、２３ａ２のＹ軸正方向側のノズル列に含まれるノズルからインク５１が吐出される時刻の差（遅延時間）についても同様に、Ｔ＋ｌ１２・Ｔ／Ｌと補正する。なお、インクジェットヘッド２３ａ１、２３ａ２の対応ノズル列間のＹ軸方向に沿う距離が補正される場合、補正後の値は（ｌ１＋ｌ２）／２となる。
【００４５】
インクジェットヘッド２３ａ２〜２３ａ４間についても同様の補正を行う。こうしてインクジェットヘッドユニット２３ａについて、インクジェットヘッド２３ａ１〜２３ａ４間の、Ｙ軸方向に関する相対位置関係の補正が行われる。また、インクジェットヘッドユニット２３ｂ〜２３ｄについても同様の補正を行う。
【００４６】
試料基板６０への試射（試料基板６０へのインク５１の着弾位置）に基き、各インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄについて、インクジェットヘッド間の、Ｙ軸方向に関する相対位置関係を検出し、検出結果を、インクジェットヘッド単位（インクジェットヘッド間）で加味して、インクジェットヘッドからのインク５１の吐出を制御することにより、たとえばプリント配線板５０上におけるインク５１の着弾位置を高精度、簡易、低コストで制御することができる。たとえばインクジェットヘッドの組み付けが高精度に行われず誤差を有する場合であっても、プリント配線板５０に対し高精度の描画を行うことができる。
【００４７】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
【００４８】
たとえば、実施例においては、インクジェットヘッドユニット等に対するプリント配線板や試料基板の移動をステージによって行ったが、たとえば固定ステージを用い、フレーム２１をＹ軸方向に移動可能とし、インクジェットヘッドユニット２３ａ〜２３ｄ、ＣＣＤカメラ３０、光源２７等を、フレーム２１にＸ軸方向に移動可能に取り付ける構成としてもよい。このようにインクジェットヘッドユニット等とプリント配線板等とは、相対的に移動させればよい。
【００４９】
その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者には自明であろう。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
インクジェットヘッドから液滴を吐出して行うパターン描画に広く利用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０ インクジェットヘッドユニット
１１〜１３ インクジェットヘッド
１１ａ〜１３ａ ノズル
１４ キャリッジ
２０ 定盤
２１ フレーム
２１ａ、２１ｂ 支柱
２１ｃ コラム
２２ ステージ
２２ａ チャックプレート
２２θ θステージ
２２ｘ Ｘステージ
２２ｙ Ｙステージ
２３ａ〜２３ｄ インクジェットヘッドユニット
２３ａ１〜２３ａ４ インクジェットヘッド
２３ａｃ キャリッジ
２３Ａ１１、２３Ａ１２、２３Ａ１３、２３Ａ１４、２３Ａ２１、２３Ａ２２、２３Ａ２３、２３Ａ２４、２３Ａ３１、２３Ａ３２、２３Ａ３３、２３Ａ３４、２３Ａ４１、２３Ａ４２、２３Ａ４３、２３Ａ４４ インクジェットノズル
２７ 光源
２８ａ、２８ｂ 連結部材
３０ ＣＣＤカメラ
４０ 制御装置
４０ａ 記憶装置
５０ プリント配線板
５１ インク
６０ 試料基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持対象物を保持するステージと、
前記ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットと
を有し、
前記ステージは、前記吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、
更に、
前記第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、前記ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、
前記検出器による検出結果に基づいて、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の前記第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、該把握した相対位置関係を加味して、前記ステージに保持された保持対象物と前記吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、前記第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置と
を含む描画装置。
【請求項２】
前記制御装置は、前記相対位置関係を加味して前記第１及び第２の吐出ヘッドから液滴を吐出する時刻の遅延時間を制御する請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
（ａ）第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、着弾した液滴から、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）で把握された相対位置関係を加味して、基板と、前記第１及び第２の吐出ヘッドとを、相対的に前記第１の方向に移動させながら、前記第１及び第２の吐出ヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出する工程と
を有する描画方法。
【請求項４】
前記工程（ｂ）において、前記工程（ａ）で把握された相対位置関係を加味して、前記第１及び第２の吐出ヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出する時刻を遅延させる請求項３に記載の描画方法。
【請求項１】
保持対象物を保持するステージと、
前記ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットと
を有し、
前記ステージは、前記吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、
更に、
前記第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、前記ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、
前記検出器による検出結果に基づいて、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の前記第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、該把握した相対位置関係を加味して、前記ステージに保持された保持対象物と前記吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、前記第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置と
を含む描画装置。
【請求項２】
前記制御装置は、前記相対位置関係を加味して前記第１及び第２の吐出ヘッドから液滴を吐出する時刻の遅延時間を制御する請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
（ａ）第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、着弾した液滴から、前記第１の吐出ヘッドと前記第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）で把握された相対位置関係を加味して、基板と、前記第１及び第２の吐出ヘッドとを、相対的に前記第１の方向に移動させながら、前記第１及び第２の吐出ヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出する工程と
を有する描画方法。
【請求項４】
前記工程（ｂ）において、前記工程（ａ）で把握された相対位置関係を加味して、前記第１及び第２の吐出ヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出する時刻を遅延させる請求項３に記載の描画方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１２−９６２０５（Ｐ２０１２−９６２０５Ａ）
【公開日】平成２４年５月２４日（２０１２．５．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２４８４５８（Ｐ２０１０−２４８４５８）
【出願日】平成２２年１１月５日（２０１０．１１．５）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月２４日（２０１２．５．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月５日（２０１０．１１．５）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
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