【課題】液状樹脂の廃棄を少なくして、樹脂膜の形成コストを低減すること。
【解決手段】本発明の樹脂膜形成装置（２）は、ウェーハ（Ｗ）を保持する吸着面（６１）を囲むように環状凸部（６５）が設けられた成膜用テーブル（２２）と、成膜用テーブル（２２）の環状凸部（６５）に当接して、ウェーハ（Ｗ）上方に液密な空間（Ｓ）を形成する塗布部（２３）とを備え、塗布部（２３）には、液密な空間に液状樹脂を供給する供給口（７４）と、ウェーハ（Ｗ）の外周側に対向する位置において液密な空間（Ｓ）内を吸引する吸引溝（７６）とが形成され、成膜用テーブル（２２）と塗布部（２３）とを相対的にスライドさせる構成にした。 （もっと読む）

【課題】 重量が大きく反りが大きい基板に対して塗布液を塗布する場合においても、装置コストを増大させることなく、短い処理時間で精度よく塗布液を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板は、基板搬送機構１４によりステージ１２上に搬送されて、その保持面３０に吸着保持される。そして、ステージ１２上に吸着保持された基板の表面に、スリットノズル４１における塗布液吐出用スリットを近接させた状態で、スリットノズル４１を基板に対して移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する。しかる後、塗布液が塗布された基板は、基板搬送機構１５によりステージ上から搬出される。 （もっと読む）

【課題】塗布液の粘性やぬれ性を制御して膜厚を制御する。
【解決手段】塗布装置１は、基板Ｗを支持するステージ２と、前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に塗布材料を吐出する材料吐出ノズル７と、前記材料吐出ノズルとともに前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に気体を噴射する気体噴射ノズル８と、を一体に備える塗布ヘッド４を備えた。 （もっと読む）

【課題】円形の基板の周縁部に塗布液を塗布してリング状の塗布膜を形成するにあたり、その幅を均一性高く形成することができる技術を提供すること。
【解決手段】基板の回転及びノズルからの塗布液の供給を行いながら、塗布液の供給位置を基板の外側から基板の周縁部に向けて移動させ、当該基板を平面で見たときにその角度が１０°以下である楔型に塗布液を塗布し、次いで、基板の回転及び塗布液の供給を続けたままノズルの移動を停止し、基板の周縁部に沿って帯状に塗布液を塗布し、この帯状に塗布された塗布液の端部を前記楔型に塗布された塗布液に接触させ、基板の全周に亘って塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】 光学シートの背面にドットパターン印刷を施す際に、印刷面におけるスジの発生を抑制することにより、光学シートを用いた製品の品質向上を図ることができる光学シートの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 導光板を製造する際のドットパターン印刷において、インクジェットノズル５１から導光板の原板６０に対してインクを噴射する。このとき、原板６０の非印刷面を吸引吸着して反りを排除し、ジェットノズル５１と原板６０との距離であるギャップ距離Ｄが２．８ｍｍ以下に調整されている。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の重量が重い場合でも、特にθ方向の位置合わせを高精度かつ容易に行い得る低コストのアライメント機能付きステージを提供する。
【解決手段】基板Ｓをその処理面を開放して保持するステージ本体４ａを備えたアライメント機能付きステージを有し、基板の処理面に背向する他面に吸着自在な吸着手段８と、前記吸着手段での吸着箇所以外の領域に気体を供給する気体供給手段９と、前記吸着手段を回転中心として基板が同一平面内で回転されるように前記吸着手段に回転力を付与する駆動手段１０とを備え、前記駆動手段は、前記吸着手段を所定の微小角度範囲内で回転させる微動機構と、前記吸着手段を微動機構より大きな角度範囲で回転させる粗動機構とから構成され、前記粗動機構が前記吸着手段に直結されている。 （もっと読む）

【課題】基板が薄く大型化しても静電気により基板が割れるのを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置する石材製のステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、を有しており、前記ステージの基板が載置される載置面には、載置された基板を前記載置面に吸着させる吸着溝が形成されており、この吸着溝にはアース接続された導電材が埋設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 電極基材の垂れ下がりを防止し、乾燥時の塗工斑を押さえ、安定して均一な電極基材を得ることができる電極乾燥装置、及び電極乾燥方法を提供する。
【解決手段】 塗工材が塗工された電極基材を搬送し、乾燥炉において乾燥させる電極乾燥装置であって、前記電極基材を搬送する搬送手段と、前記電極基材を吸引する構造を有する載置部材と、前記電極基材を前記載置部材を介して吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の浮上量の変動を抑制することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】第一気体供給経路及び第一吸引経路のうち少なくとも一方の経路の一部分には大気開放が可能な大気開放部が設けられているので、噴出される気体の流量及び吸引される気体の流量のうち少なくとも一方の変化を緩和することが可能となる。これにより、基板の浮上量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布における各種の塗布条件や生産数量等に対して、より標準的にシステム化対応する。
【解決手段】基本的な塗布対応構成の塗布ロボット１において、塗布ヘッド９をＸ方向に駆動させるＸ軸駆動部７、塗布ヘッドを上下させるＺ軸駆動部１０、塗布部材５をＹ方向に位置決めするＹ軸駆動部８と、Ｙ軸部と一体駆動可能な様に組み付け、塗布部材を回転させるθ軸駆動部１１で構成し、塗布部材に対して上記塗布ロボットの各軸を選択して塗布を行う。また、各種の塗布に対しては、塗布ロボットを単体から定ピッチで連結可能な構成とすることによりシステム化対応まで可能となり、塗布部材に対し最適な塗布ができる。また塗布に関連する各種の機能ヘッドにおいても、取付互換性を持たせて選択搭載し、各種塗布部材に対して最適な構成で液剤塗布をする。 （もっと読む）

【課題】硬化時間が長い接着剤を使用する場合でも、効率よく接着剤塗布を行うことができる接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】所定の位置関係に位置決めされたレンズ１００と鏡筒１１０とに接着剤Ａｄを塗布する接着剤塗布装置１は、レンズと鏡筒とを位置決めされた状態で保持する保持ユニット１０と、保持ユニットに保持されたレンズおよび鏡筒を回転させる駆動部３０と、保持ユニットに保持されたレンズおよび鏡筒の上方から接着剤を吐出する接着剤供給部４０と、駆動部および接着剤供給部の動作を制御する制御部５０とを備え、保持ユニットは、レンズと鏡筒とを位置決めされた状態で保持したまま、駆動部に対して着脱可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】片伸びが生じた支持体の全域に均一な膜厚の機能性膜を形成する。
【解決手段】長尺帯状の支持体１０を走行させる走行装置２と、支持体１０に樹脂材料（機能性膜形成用塗料としての光学膜形成用塗料）Ｒを塗布する塗布装置３とを備えて、走行装置２によって支持体１０を走行させつつ、塗布装置３によって支持体１０の一方の面１１に樹脂材料Ｒを塗布することによってハードコート膜ＨＣ（機能性膜としての光学膜）を形成する光学膜形成システ（機能性膜形成システム）１であって、支持体１０を吸引する正圧吸引装置４を備え、正圧吸引装置４は、塗布装置３による塗布処理位置に配設されて、支持体１０の他方の面１２（一方の面１１の裏面）に向けて気体を吹き付けることによって正圧吸引装置４と支持体１０との間に負圧を生じさせて支持体１０を非接触状態で吸引して保持する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低価格化に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材１に対して所定のパターンを印刷する印刷部と、パターンが印刷された基材が収納される収納部１２と、パターンが印刷された基材を収納部に搬入する搬入部１３０と、搬入部による基材の収納部への搬入中に、基材に印刷されたパターンの検査を行う検査部１３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】シート体における皺の発生を防止しつつシート体を支持する。
【解決手段】連続的に移動する長尺のシート体１００を吸着ローラ３１の外周面３１ｂに形成された吸気孔４１からの吸気によって吸着して支持可能に構成され、吸着ローラ３１の外周面３１ｂに向けて気体を吹き付ける吹き付け部３４を備え、吸着ローラ３１には、吸着ローラ３１の中心軸３１ａに対して平行な直線に沿って複数の吸気孔４１が配列されて構成された複数の吸気部３１ｃが外周面３１ｂの周方向に沿って配列されている。 （もっと読む）

【課題】記録媒体に発生する筋むらを容易かつ確実に抑制することができる描画装置及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、ワークＰに対して液体Ｌを噴射する走査型液体噴射ヘッド９と、ワークＰを吸着支持しつつ副走査方向に搬送するワーク搬送テーブル６と、ワーク搬送テーブル６に形成された吸引開口３０の内部に配置されて、ワークＰのうち吸引開口３０に接する領域の温度を他の領域における温度に近接させる温度調整手段３１，３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テーブルの温調を行う加熱機構と冷却機構として安価な装置を備えることにより、テーブルの温度が目標温度に集束する時間を短縮することのできる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射装置は、支持体上に液体を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドの近傍に対向配置され支持体を支持するテーブル１９と、テーブルに接続された加熱装置および冷却装置１８を有し、テーブルの温度調整を行うテーブル温調機構６と、液滴吐出ヘッドおよびテーブル温調機構に駆動信号を供給する制御装置８と、を備え、制御装置は、テーブルの温度が設定温度に対して相対的に高い場合には冷却装置を駆動させ、テーブルの温度が設定温度に対して相対的に低い場合には加熱装置を駆動させることにより、テーブルの温度が設定温度になるよう温度調整を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄時に洗浄液が環状フレーム押さえに当たってウエーハ上面に飛散することのない保護膜塗布装置を提供することである。
【解決手段】環状フレーム押さえ手段４９は、強磁性体からなる錘部９２と、錘部に連結され環状フレームを抑える爪部９４とを含む振り子体９０と、スピンナテーブルの外周部に配設されて振り子体を回動可能に支持する支持部８８と、爪部が環状フレームを押さえる押さえ位置と爪部が環状フレームを解放する解放位置との間で回動可能なように振り子体を支持部に回動可能に取り付ける振り子軸９５と、錘部に対面して支持部に固定され、爪部が解放位置に位置付けられた状態で錘部を所定の磁力で固定する永久磁石からなる錘固定部９６とを有する。スピンナテーブルの回転速度が所定速度以下の時には、永久磁石の磁力が振り子体の遠心力に打ち勝って錘固定部が錘部を固定することにより爪部が解放位置に位置付けられる。 （もっと読む）

【課題】基板の姿勢を安定に保ちつつ浮上搬送のゆらぎやうねりを補償して塗布膜の膜厚均一性を改善する。
【解決手段】このレジスト塗布装置では、浮上ステージ上で基板の左右両側の縁部を保持する各吸着パッド４２から見てパッド支持部材４０の反対側つまり外側の面に、各吸着パッド４２と同じ形状および同じ材質を有する被測定部材としてのダミーパッド４６を同じ高さ位置に取り付けている。そして、搬送方向（Ｘ方向）においてレジストノズル１８の吐出口１８ａ付近に監視点が設けられ、この監視点を通過する吸着パッド４２の吸着面高さ位置のプロファイルを光学的に監視するための監視部４８が備えられている。 （もっと読む）

【課題】ノズル流路の残圧を素早く減少させてエッジ部の膜厚形状を制御することが可能な塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物が載置される載置面を有するステージと、前記ステージを前記載置面に沿う回転方向に回転させる回転機構と、前記ステージ上の前記塗布対象物に材料を吐出して塗布する塗布ノズルと、前記ステージと前記塗布ノズルとを前記回転方向に交わる交差方向に前記載置面に沿って相対移動させる移動機構と、前記塗布ノズルに材料を供給する供給部と、前記材料を排出する排出部と、前記供給部、前記塗布ノズル、及び前記排出部を連通する連通管と、前記連通管における前記材料の流れを切り替える切替機構と、前記連通管の排出側の高さを調整する排出高さ調整機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の凹部が形成された可撓性を有する基材をより低工数かつ簡単な構成で位置決めして、凹部のそれぞれにインクジェット方式によりインクを塗布できる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】長手方向Ｘに張力を受けて所定高さＨＲで保持されると共に、短手方向Ｙに位置決めされた基材Ｆが吸着プレート８上に画像表示領域Ｓ単位で供給されて固定され、吸着固定された画像表示領域Ｓの形状の歪みが検出され、検出された画像表示領域Ｓの形状の歪みに基づいて、当該画像表示領域Ｓに配設されている複数の凹部Ｐのそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータＤｍが作成され、複数のノズル１３が基材Ｆの側部近傍のホームポジションＨＰから短手方向Ｙに移動されながら、当該複数のノズル１３の中の前記マッピングデータＤｍに基づいて選択されたノズルから、画像表示領域Ｓの複数の凹部Ｐのそれぞれにインクが吐出される。 （もっと読む）