液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置
【課題】吐出量を精度良く制御できる液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１４のキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズル３１から機能液を基板７に吐出する液滴吐出装置に関する。液滴吐出ヘッド１４と基板７とを相対移動するキャリッジ１２及びステージ４を備えている。さらに、ノズル３１から吐出される機能液を受けるフラッシングユニット１８とを備えている。また、液滴吐出ヘッド１４は、キャビティを加圧する圧電素子を備えている。液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８と対向する場所から、基板７と対向する場所に移動する間、圧電素子は、ノズル３１から機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１４のキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズル３１から機能液を基板７に吐出する液滴吐出装置に関する。液滴吐出ヘッド１４と基板７とを相対移動するキャリッジ１２及びステージ４を備えている。さらに、ノズル３１から吐出される機能液を受けるフラッシングユニット１８とを備えている。また、液滴吐出ヘッド１４は、キャビティを加圧する圧電素子を備えている。液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８と対向する場所から、基板７と対向する場所に移動する間、圧電素子は、ノズル３１から機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向にガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
ワークに対して、液滴を吐出して塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、所望の量の機能液を塗布することが困難であった。
【０００４】
この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を制御する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧する圧電素子を駆動する駆動波形と、駆動電圧と、吐出する液体の温度を制御するものであった。また、液体の温度を制御するために、液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを設置していた。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２６６７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっていた。また、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、温度が変動する要因となっていた。液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを用いて加熱する方法は、装置を暖め、短い時間で液温を所定の温度にするのに有効であった。一方、液滴吐出ヘッドの動作による温度変動を、ヒータ加熱で一定の温度にするには、液温の変動に追従した制御をなし得ない場合があった。
【０００７】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、吐出量を精度良く制御できる液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルと、ノズルから吐出される機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットと対向する場所から、ワークと対向する場所に移動する間、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【０００９】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００１０】
液滴吐出装置は、フラッシングユニットを備え、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出装置は、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００１１】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００１２】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００１３】
液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットからワークに移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットからワークに移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を間歇吐出する場合で、液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出しないとき、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００１６】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００１７】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００１８】
液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出し、吐出を一旦停止して、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動するときや、ワークに機能液を吐出した後で、機能液を吐出せずに待機するときなど、機能液の吐出と吐出の停止を繰り返す間歇吐出を行うことがある。吐出を停止しているときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドが放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度が下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがワークに吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００１９】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルと、ノズルから吐出される機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、ワークと対向する場所から、フラッシングユニットと対向する場所に移動する間、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００２１】
液滴吐出装置は、フラッシングユニットを備え、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出装置は、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００２２】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００２３】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００２４】
液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００２５】
一方、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下り難いため、加熱するために、液滴を吐出する必要がなく、洗浄のための吐出だけで良い。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００２６】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルと、ノズルから吐出される機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出し、吐出を停止し、再度吐出する場合に、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出しないとき、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００２７】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００２８】
液滴吐出装置は、フラッシングユニットを備え、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出装置は、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００２９】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００３０】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００３１】
液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００３２】
一方、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下り難いため、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００３３】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第１ヘッド移動工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００３４】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。また、この描画方法は、フラッシング工程と第１ヘッド移動工程と描画工程とを有している。描画工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００３５】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００３６】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００３７】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００３８】
第１ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００３９】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出する吐出工程と、機能液を吐出せずに、ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、吐出場所移動工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００４０】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この描画方法は、吐出工程と吐出場所移動工程とを有し、吐出工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００４１】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００４２】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００４３】
吐出場所移動工程において、液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出する場所から、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがワークに吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００４４】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程と、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、描画工程とフラッシング工程との間において、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第２ヘッド移動工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００４５】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この描画方法は、描画工程と第２ヘッド移動工程とフラッシング工程とを有している。描画工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００４６】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００４７】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００４８】
描画工程において、液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００４９】
第２ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットと対向する場所に到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００５０】
一方、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニットと対向する場所に到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がり難く、加熱するために、液滴を吐出する必要がなく、洗浄のための吐出だけで良い。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００５１】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、ノズルから機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、ダミー吐出工程、ダミー吐出停止工程、ダミー吐出工程の順に行うとき、ダミー吐出停止工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００５２】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液をワークに吐出して描画する。また、この描画方法は、ダミー吐出工程とダミー吐出停止工程とを有している。
【００５３】
ダミー吐出工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００５４】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００５５】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００５６】
ダミー吐出停止工程において、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００５７】
一方、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００５８】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第１ヘッド移動工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００５９】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。また、液滴吐出ヘッドの制御方法は、フラッシング工程と第１ヘッド移動工程と描画工程とを有し、描画工程において、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を吐出して描画する。
【００６０】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００６１】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００６２】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００６３】
第１ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドは、フラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００６４】
液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００６５】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出する吐出工程と、機能液を吐出せずに、ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、吐出場所移動工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００６６】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この液滴吐出ヘッドの制御方法は、吐出工程と吐出場所移動工程とを有し、吐出工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００６７】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００６８】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００６９】
吐出場所移動工程において、液滴吐出ヘッドは、ワークに機能液を吐出する場所から、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００７０】
液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出する場所から、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがワークに吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００７１】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程と、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、描画工程とフラッシング工程との間において、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第２ヘッド移動工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００７２】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この液滴吐出ヘッドの制御方法は、描画工程と第２ヘッド移動工程とフラッシング工程とを有し、描画工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００７３】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００７４】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００７５】
描画工程において、液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００７６】
第２ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドは、ワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００７７】
液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００７８】
一方、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がなく、洗浄のための吐出だけで良い。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００７９】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、ノズルから機能液をフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、ダミー吐出工程、ダミー吐出停止工程、ダミー吐出工程の順に行うとき、ダミー吐出停止工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００８０】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。
【００８１】
この液滴吐出ヘッドの制御方法は、ダミー吐出工程、ダミー吐出停止工程、ダミー吐出工程の順に行われ、ダミー吐出工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００８２】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００８３】
ダミー吐出工程において、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００８４】
続いて、ダミー吐出停止工程において、液滴吐出ヘッドは、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００８５】
液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、ダミー吐出停止工程に続くダミー吐出工程において、加圧手段の動作により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００８６】
一方、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８７】
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（実施形態）
本実施形態では、本発明の特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する場合の例について図１〜図１１に従って説明する。
【００８８】
（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図５に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００８９】
図１は、液滴吐出装置１の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。
図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００９０】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブル及びワーク移動テーブルとしてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００９１】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００９２】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００９３】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。
【００９４】
案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００９５】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるテーブルとしてのキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。
【００９６】
基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００９７】
保守ステージ１７の上には、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０が、配置してある。フラッシングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を液滴吐出ヘッド１４から排除するため、液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。本実施形態では、６個の受け皿が配置され、６個の液滴吐出ヘッド１４からフラッシングユニット１８に液滴を吐出できるようになっている。
【００９８】
キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をする装置である。液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【００９９】
ワイピングユニット２０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１４において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触して、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【０１００】
保守ステージ１７が、案内レール１６ａ，１６ｂに沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、によりヘッドクリーニング部２１を構成している。
【０１０１】
保守用基台１５と基台２との間には、重量測定装置２２が配置されている。重量測定装置２２には、電子天秤が２台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定し、吐出前後の受け皿の重量の差分を測定している。
【０１０２】
キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１、重量測定装置２２、基板７と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。
【０１０３】
図２は、液滴吐出ヘッド１４の構造を説明するための要部模式断面図である。
図２に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ３２には、収容タンク１０に貯留されている機能液３３が供給される。
【０１０４】
キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。圧電素子３５が上下方向に伸縮して振動板３４を振動し、振動板３４がキャビティ３２内の容積を拡大縮小してキャビティ３２を加圧する。それにより、キャビティ３２内の圧力が変動し、キャビティ３２内に供給された機能液３３は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。
【０１０５】
そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子３５を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３３が微小液滴３６として吐出される。
【０１０６】
図３は、液滴吐出装置１の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリ４１とを有する。
【０１０７】
主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレイ４８、図１に示す重量測定装置２２を構成する電子天秤４９、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。同じく、ヘッドクリーニング部２１において、１つのユニットを選択するクリーニング選択装置５０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。
【０１０８】
主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。
【０１０９】
入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行う。
【０１１０】
電子天秤４９は、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴を受ける、受け皿の重量を測定する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４０に送信する。図１に示す重量測定装置２２は、受け皿と電子天秤４９などから構成される。
【０１１１】
クリーニング選択装置５０は、ヘッドクリーニング部２１であるフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に移動する装置である。
【０１１２】
メモリ４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域や、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【０１１３】
ＣＰＵ４０は、メモリ４１内に記憶されたプログラムソフト５１に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、電子天秤４９を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部５３と、液滴吐出ヘッド１４によって液滴を吐出するための演算を行う吐出演算部５４を有する。
【０１１４】
吐出演算部５４を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部５５を有する。さらに、吐出演算部５４は、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５６を有する。加えて、吐出演算部５４は、液滴吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部５７を有する。さらに、吐出演算部５４は液滴吐出ヘッド１４内の複数あるノズルのうちのいずれを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部５８等といった各種の機能演算部を有する。
【０１１５】
図４は、液滴吐出ヘッド１４を駆動する駆動波形を説明するための模式波形図である。
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４が微小液滴３６を吐出するときの駆動波形図であり、図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１４が微小液滴３６を吐出しないときの駆動波形図である。
図４（ａ）及び図４（ｂ）において、図の横軸は時間６０の経過を示し、縦軸は駆動電圧６１の変化を示す。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を連続吐出するときの吐出駆動波形６２を３個分表示している。吐出駆動波形６２は、略台形の波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧６３は、所定の電圧に設定されている。また、吐出駆動波形６２の間隔である吐出波形間隔６４は、所定の間隔で略一定に形成されている。吐出電圧６３及び、吐出波形間隔６４は、圧電素子３５や振動板３４の動特性に合わせて設定する必要がある。従って、実際に吐出する予備試験を実施して、最適な吐出条件を導くことが望ましい。
【０１１６】
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を吐出しないときの非吐出駆動波形６５を３個分表示している。非吐出駆動波形６５は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧６６は、微小液滴３６を吐出しない範囲で、圧電素子３５を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧６６は、吐出電圧６３の約３分の１程度の電圧を採用している。また、非吐出駆動波形６５の間隔である非吐出波形間隔６７は、圧電素子３５が振動する範囲で駆動して良い。非吐出波形間隔６７は、本実施形態では、例えば、吐出波形間隔６４と略同じ間隔で略一定に形成している。
【０１１７】
図５は、液滴吐出ヘッド１４の温度変化を説明するための模式図である。図５において、図の横軸は時間６０の経過を示し、縦軸は液滴吐出ヘッド温度６８の変化を示す。実線は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を吐出しないときに、圧電素子３５を振動させない場合である非振動時温度変化線６９である。破線は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を吐出しないとき、圧電素子３５を振動させて、ノズル３１から機能液３３が吐出しない程度に、キャビティ３２内の圧力を変動させる場合の振動時温度変化線７０である。
【０１１８】
横軸において、液滴吐出装置１が、ノズル３１から機能液３３を吐出しない非吐出時７１と、ノズル３１から機能液３３を吐出する吐出時７２を繰り返したとき、非振動時温度変化線６９及び振動時温度変化線７０は、液滴吐出ヘッド温度６８が変化する様子を示している。
【０１１９】
非振動時温度変化線６９において、液滴吐出ヘッド温度６８が、非吐出時７１に最低温度６９ａまで下がり、吐出時７２に最高温度６９ｂまで上昇する。最高温度６９ｂと最低温度６９ａとの差は温度差６９ｃとなる。同様に、振動時温度変化線７０において、液滴吐出ヘッド温度６８が、非吐出時７１に最低温度７０ａまで下がり、吐出時７２に最高温度７０ｂまで上昇する。最高温度７０ｂと最低温度７０ａとの差は温度差７０ｃとなる。
【０１２０】
非振動時温度変化線６９と振動時温度変化線７０とを比較すると、最高温度６９ｂと最高温度７０ｂとは略同じ温度となる。一方、最低温度６９ａは、最高温度７０ｂに比べて温度が下がる。非振動時温度変化線６９においては、非吐出時７１に圧電素子３５を振動させないことから、液滴吐出ヘッド温度６８が低下する。振動時温度変化線７０においては、非吐出時７１に圧電素子３５を振動させていることから、圧電素子３５の発熱による影響を受けて、液滴吐出ヘッド温度６８が低下しにくくなっている。従って、温度差６９ｃが、非振動時温度変化線６９に比べて、振動時温度変化線７０の方が、温度差７０ｃが少なくなっている。
【０１２１】
（描画方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板７に描画する描画方法について図６〜図１１にて説明する。図６は、基板７に描画する製造工程を示すフローチャートであり、図７〜図１１は、液滴吐出装置１を使った描画方法を説明する図である。
【０１２２】
図６のフローチャートを用いて、基板への描画方法に相当する製造工程のステップを説明する。
図６において、ステップＳ１からステップＳ１０まで、同一の液滴吐出装置１によって製造するステップである。ステップＳ１は、ダミー吐出工程に相当し、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、ダミー吐出停止工程に相当し、ノズルから機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、ダミー吐出工程に相当し、ステップＳ１と同様に、ノズル３１から機能液をフラッシングユニットに吐出する工程である。ステップＳ１からステップＳ３を合わせてステップＳ２１とする。ステップＳ２１は、フラッシング工程である。
【０１２３】
次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、第１ヘッド移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所から基板と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ５に移行する。
【０１２４】
ステップＳ５は、吐出工程に相当し、ノズルから機能液を基板に吐出する工程である。次にステップＳ６に移行する。ステップＳ６は、予定した領域総てに機能液を塗布したかを判断する工程に相当し、ＣＰＵが、機能液を塗布する予定の領域と、既に塗布した領域とを比較して、塗布する予定で、まだ塗布していない領域があるかを判断する工程である。塗布していない領域があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７に移行する。ステップＳ７は、吐出場所移動工程に相当し、機能液を吐出せずに、基板と液滴吐出ヘッドとを相対移動する。基板において、機能液を塗布する場所と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ６において、塗布していない領域がないとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ８に移行する。ステップＳ５からステップＳ７を合わせてステップＳ２２とする。ステップＳ２２は、描画工程である。
【０１２５】
ステップＳ８は、第２ヘッド移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドを基板と対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ９に移行する。
【０１２６】
ステップＳ９は、ダミー吐出工程に相当し、ステップＳ１と同様に、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出する工程である。次にステップＳ１０に移行する。ステップＳ１０は、ダミー吐出停止工程に相当し、ステップＳ２と同様に、ノズルから機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止する工程である。ステップＳ９及びステップＳ１０を合わせてステップＳ２３とする。ステップＳ２３は、フラッシング工程である。以上の工程により、基板に描画する製造工程を終了する。
【０１２７】
次に、図７〜図１１を用いて、図６に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
図７（ａ）は、ステップＳ１に対応する図である。図７（ａ）に示すように、ステージ４の載置面６に基板７が配置され、ステージ４は初期位置に移動されている。
【０１２８】
液滴吐出ヘッド１４は、キャリッジ１２に搭載され、Ｘ方向に移動可能となっており、液滴吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１と対向する場所に移動している。ヘッドクリーニング部２１は、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所にフラッシングユニット１８を移動する。つまり、液滴吐出ヘッド１４とフラッシングユニット１８とが対向し合う場所に位置している。
【０１２９】
図３に示すヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形６２の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の微小液滴３６をノズル３１からフラッシングユニット１８に吐出する。液滴吐出ヘッド１４は、図２に示す圧電素子３５が振動して温度が上昇する。
【０１３０】
図７（ｂ）は、ステップＳ２に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、フラッシングユニット１８と対向する場所にて、機能液３３を吐出せずに待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の吐出を停止する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３１】
ステップＳ３は、図７（ａ）に示すステップＳ１と同様であり、詳細な説明を省略する。ステップＳ１で機能液３３を吐出し、ステップＳ２で吐出を停止し、ステップＳ３で再度吐出する。このとき、ステップＳ２で液滴吐出ヘッド１４の温度が下降しにくくなっていることから、ステップＳ３において、液滴吐出ヘッド１４の温度は、短時間で上昇する。
【０１３２】
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、ステップＳ４に対応する図である。図８（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、キャリッジ１２に搭載され、キャリッジ１２は、Ｘ方向に移動可能となっている。液滴吐出ヘッド１４は、フラッシングユニット１８と対向する場所から基板７と対向する場所へ移動する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出せずに移動する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３３】
図８（ｂ）は、キャリッジ１２が移動して液滴吐出ヘッド１４が基板７と対向する場所に移動した図である。図８（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４が目的とする場所に移動して、キャリッジ１２が停止しているとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出せずに待機する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３４】
図９（ａ）〜図９（ｃ）は、ステップＳ５に対応する図である。図９（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、基板７と対向する場所において、吐出開始するまでの間、待機している。ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出せずに待機する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３５】
図９（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１から機能液３３の微小液滴３６を基板７に吐出する。液滴吐出装置１は、ノズル３１から微小液滴３６を吐出しつつ、基板７をＹ方向に移動することにより描画する。基板７には、機能液３３が塗布され、描画される。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形６２の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の微小液滴３６をノズル３１からフラッシングユニット１８に吐出する。液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５が振動して温度が上昇する。
【０１３６】
図９（ｃ）に示すように、ステージ４が移動して、液滴吐出ヘッド１４が基板７に吐出する領域から外れるとき、液滴吐出ヘッド１４は、ノズル３１から機能液３３の吐出を停止する。つまり、吐出と吐出停止を反復する間歇吐出を行うことになる。液滴吐出ヘッド１４が吐出を停止するとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない状態となる。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３７】
図３に示すように、ステップＳ６では、ＣＰＵ４０は、吐出位置データ５２において、吐出していない場所を検索して、吐出していない場所の有無を判断する。吐出していない場所があるとき、ステップＳ７に移行し、次に、基板７に機能液３３を塗布する場所と対向する場所へ液滴吐出ヘッド１４が来るように、ステージ４とキャリッジ１２を移動する。
【０１３８】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、ステップＳ７に対応する図である。図１０（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４が、ノズル３１から機能液３３の吐出を停止した状態で、ステージ４を移動する。基板７において、液滴吐出ヘッド１４が機能液３３を吐出する予定の場所と、対向する場所に、液滴吐出装置１は液滴吐出ヘッド１４を移動する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３９】
図１０（ｂ）に示すように、基板７において、液滴吐出ヘッド１４が、ノズル３１から機能液３３の吐出する予定の場所と対向する場所に、液滴吐出ヘッド１４が移動して、到着し、ステージ４は停止する。続いて、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３を吐出するまでの間、待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４０】
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、ステップＳ８に対応する図である。図１１（ａ）に示すように、基板７への描画が終了したとき、液滴吐出ヘッド１４は、移動を開始するまでの間、待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４１】
図１１（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１は、キャリッジ１２を移動して、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動させる。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。従って、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４２】
図７（ａ）は、ステップＳ９に対応する図である。図７（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４が基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動した後、ノズル３１から機能液３３をフラッシングユニット１８に吐出する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形６２の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の微小液滴３６をノズル３１からフラッシングユニット１８に吐出する。液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５が振動して温度が上昇する。
【０１４３】
図７（ｂ）は、ステップＳ１０に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、フラッシングユニット１８と対向する場所にて、機能液３３を吐出せずに待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の吐出を停止する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４４】
以上の工程により、液滴吐出ヘッド１４はステップＳ２１のフラッシング工程、ステップＳ４の第１ヘッド移動工程、ステップＳ２２の描画工程、ステップＳ８の第２ヘッド移動工程、ステップＳ２３のフラッシング工程を行い、基板７への描画が終了する。
【０１４５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出装置１は、キャビティ３２と、キャビティ３２と連通するノズル３１とを備えている。また、液滴吐出装置１は、キャビティ３２を加圧する圧電素子３５を備え、キャビティ３２を加圧してノズル３１から機能液３３を吐出する。液滴吐出装置１は、ステージ４及びキャリッジ１２を備え、液滴吐出ヘッド１４と基板７とを相対移動することにより、基板７の所望の場所に機能液３３を吐出して塗布する。
【０１４６】
液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１８を備え、ノズル３１からフラッシングユニット１８に機能液３３を吐出する。液滴吐出装置１は、機能液３３を吐出することにより、液滴吐出ヘッド１４内の機能液３３を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド１４内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【０１４７】
機能液３３は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド１４内で、機能液３３に圧力が加わり、ノズル３１等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズル３１から吐出される機能液３３の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【０１４８】
ステップＳ２１のフラッシング工程において、液滴吐出ヘッド１４がフラッシングユニット１８に吐出するとき、液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５がキャビティ３２を加圧するエネルギの一部が熱に変換し、液滴吐出ヘッド１４が加熱される。圧電素子３５が発生する熱量と、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【０１４９】
ステップＳ４の第１ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッド１４をフラッシングユニット１８から基板７と対向する場所に移動するとき、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４は、放熱して温度が下がる。一方、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッド１４がフラッシングユニット１８から基板７に移動するとき、圧電素子３５を動作する方が、液滴吐出ヘッド１４の温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【０１５０】
（２）本実施形態によれば、ステップＳ７の吐出場所移動工程において、液滴吐出ヘッド１４が、基板７に機能液３３を吐出した後、吐出を一旦停止して、基板７に機能液３３を吐出する別の場所に移動するときに、機能液３３の吐出と吐出の停止を繰り返す間歇吐出を行うことがある。同じく、基板７に機能液３３を吐出した後、機能液３３を吐出せずに待機するときなど、機能液３３の吐出と吐出の停止を繰り返す間歇吐出を行うことがある。吐出を停止しているときに、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４が放熱して温度が下がる。
【０１５１】
一方、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッド１４が基板７に吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、圧電素子３５を動作する方が、液滴吐出ヘッド１４の温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【０１５２】
（３）本実施形態によれば、ステップＳ８の第２ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動するときに、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４は、放熱して温度が下がる。そして、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８に到達するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がっている場合には、圧電素子３５を動作する等により、液滴吐出ヘッド１４を所定の温度に加熱する必要がある。
【０１５３】
一方、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動するとき、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニット１８に到達するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。到達した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッド１４を、所定の温度に保持することができる。
【０１５４】
（４）本実施形態によれば、ステップＳ９のダミー吐出工程において、液滴吐出ヘッド１４がフラッシングユニット１８に吐出するとき、液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５がキャビティ３２を加圧するエネルギの一部が熱に変換し、液滴吐出ヘッド１４が加熱される。圧電素子３５が発生する熱量と、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【０１５５】
ダミー吐出停止工程において、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８に機能液３３を吐出せずに、待機するときに、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４は、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８にて待機するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がっている場合には、圧電素子３５を動作する等により、液滴吐出ヘッド１４を所定の温度に加熱する必要がある。
【０１５６】
一方、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８に機能液３３を吐出せずに、待機するときに、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８にて待機するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がらず、加熱するために、微小液滴３６を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッド１４を、所定の温度に保持することができる。
【０１５７】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良などを加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記実施形態では、キャビティ３２を加圧する加圧手段に、圧電素子３５を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて、加圧しても良い。他に、キャビティ３２内にヒータ配線を配置して、機能液３３に含む気体を膨張して加圧しても良い。いずれの場合にも、機能液３３を吐出しないとき、機能液３３を吐出しない程度に加圧手段を動作することにより、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形を説明するための模式波形図。
【図５】液滴吐出ヘッドの温度変化を説明するための模式図。
【図６】基板に描画する製造工程を示すフローチャート。
【図７】描画方法を説明する図。
【図８】描画方法を説明する図。
【図９】描画方法を説明する図。
【図１０】描画方法を説明する図。
【図１１】描画方法を説明する図。
【符号の説明】
【０１５９】
１…液滴吐出装置、４…テーブルとしてのステージ、７…ワークとしての基板、１２…テーブルとしてのキャリッジ、１４…液滴吐出ヘッド、１８…フラッシングユニット、３１…ノズル、３２…キャビティ、３３…機能液、３５…加圧手段としての圧電素子、４４…ヘッド駆動回路。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向にガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
ワークに対して、液滴を吐出して塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、所望の量の機能液を塗布することが困難であった。
【０００４】
この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を制御する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧する圧電素子を駆動する駆動波形と、駆動電圧と、吐出する液体の温度を制御するものであった。また、液体の温度を制御するために、液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを設置していた。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２６６７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっていた。また、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、温度が変動する要因となっていた。液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを用いて加熱する方法は、装置を暖め、短い時間で液温を所定の温度にするのに有効であった。一方、液滴吐出ヘッドの動作による温度変動を、ヒータ加熱で一定の温度にするには、液温の変動に追従した制御をなし得ない場合があった。
【０００７】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、吐出量を精度良く制御できる液滴吐出ヘッドの制御方法、描画方法及び液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルと、ノズルから吐出される機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットと対向する場所から、ワークと対向する場所に移動する間、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【０００９】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００１０】
液滴吐出装置は、フラッシングユニットを備え、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出装置は、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００１１】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００１２】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００１３】
液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットからワークに移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットからワークに移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を間歇吐出する場合で、液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出しないとき、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００１６】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００１７】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００１８】
液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出し、吐出を一旦停止して、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動するときや、ワークに機能液を吐出した後で、機能液を吐出せずに待機するときなど、機能液の吐出と吐出の停止を繰り返す間歇吐出を行うことがある。吐出を停止しているときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドが放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度が下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがワークに吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００１９】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルと、ノズルから吐出される機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、ワークと対向する場所から、フラッシングユニットと対向する場所に移動する間、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００２１】
液滴吐出装置は、フラッシングユニットを備え、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出装置は、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００２２】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００２３】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００２４】
液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００２５】
一方、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下り難いため、加熱するために、液滴を吐出する必要がなく、洗浄のための吐出だけで良い。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００２６】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動するテーブルと、ノズルから吐出される機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出し、吐出を停止し、再度吐出する場合に、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出しないとき、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００２７】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えている。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。液滴吐出装置は、テーブルを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動することにより、ワークの所望の場所に機能液を吐出して塗布する。
【００２８】
液滴吐出装置は、フラッシングユニットを備え、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出装置は、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００２９】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００３０】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドでは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００３１】
液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００３２】
一方、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下り難いため、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００３３】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第１ヘッド移動工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００３４】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。また、この描画方法は、フラッシング工程と第１ヘッド移動工程と描画工程とを有している。描画工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００３５】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００３６】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００３７】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００３８】
第１ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００３９】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出する吐出工程と、機能液を吐出せずに、ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、吐出場所移動工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００４０】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この描画方法は、吐出工程と吐出場所移動工程とを有し、吐出工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００４１】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００４２】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００４３】
吐出場所移動工程において、液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出する場所から、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがワークに吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００４４】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程と、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、描画工程とフラッシング工程との間において、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第２ヘッド移動工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００４５】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この描画方法は、描画工程と第２ヘッド移動工程とフラッシング工程とを有している。描画工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００４６】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００４７】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００４８】
描画工程において、液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００４９】
第２ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットと対向する場所に到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００５０】
一方、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニットと対向する場所に到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がり難く、加熱するために、液滴を吐出する必要がなく、洗浄のための吐出だけで良い。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００５１】
上記課題を解決するために、本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、ノズルから機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、ダミー吐出工程、ダミー吐出停止工程、ダミー吐出工程の順に行うとき、ダミー吐出停止工程において、加圧手段は、ノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする。
【００５２】
この描画方法によれば、描画方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液をワークに吐出して描画する。また、この描画方法は、ダミー吐出工程とダミー吐出停止工程とを有している。
【００５３】
ダミー吐出工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００５４】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００５５】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００５６】
ダミー吐出停止工程において、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００５７】
一方、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００５８】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第１ヘッド移動工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００５９】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。また、液滴吐出ヘッドの制御方法は、フラッシング工程と第１ヘッド移動工程と描画工程とを有し、描画工程において、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を吐出して描画する。
【００６０】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００６１】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００６２】
液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００６３】
第１ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドは、フラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００６４】
液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットと対向する場所からワークと対向する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００６５】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出する吐出工程と、機能液を吐出せずに、ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、吐出場所移動工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００６６】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この液滴吐出ヘッドの制御方法は、吐出工程と吐出場所移動工程とを有し、吐出工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００６７】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００６８】
液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００６９】
吐出場所移動工程において、液滴吐出ヘッドは、ワークに機能液を吐出する場所から、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００７０】
液滴吐出ヘッドが、ワークに機能液を吐出する場所から、ワークに機能液を吐出する別の場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッドがワークに吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、加圧手段を動作する方が、温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【００７１】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画工程と、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、描画工程とフラッシング工程との間において、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、第２ヘッド移動工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００７２】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。この液滴吐出ヘッドの制御方法は、描画工程と第２ヘッド移動工程とフラッシング工程とを有し、描画工程において、機能液をワークに吐出して描画する。
【００７３】
フラッシング工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００７４】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００７５】
描画工程において、液滴吐出ヘッドがワークに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００７６】
第２ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッドは、ワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００７７】
液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、加圧手段を動作する等により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００７８】
一方、液滴吐出ヘッドをワークと対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニットに到達するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がなく、洗浄のための吐出だけで良い。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【００７９】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出ヘッドの制御方法は、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、ノズルから機能液をフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、ダミー吐出工程、ダミー吐出停止工程、ダミー吐出工程の順に行うとき、ダミー吐出停止工程において、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御することを特徴とする。
【００８０】
この液滴吐出ヘッドの制御方法によれば、液滴吐出ヘッドの制御方法は、キャビティと、キャビティと連通するノズルとを備えている液滴吐出ヘッドとヘッド駆動回路とを用いる。また、液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、キャビティを加圧する加圧手段を備え、キャビティを加圧してノズルから機能液を吐出する。
【００８１】
この液滴吐出ヘッドの制御方法は、ダミー吐出工程、ダミー吐出停止工程、ダミー吐出工程の順に行われ、ダミー吐出工程において、ノズルからフラッシングユニットに機能液を吐出する。液滴吐出ヘッドは、機能液を吐出することにより、液滴吐出ヘッド内の機能液を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッドは、機能液と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【００８２】
機能液は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【００８３】
ダミー吐出工程において、液滴吐出ヘッドがフラッシングユニットに吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、加圧手段がキャビティを加圧するエネルギの一部が熱に変換され、液滴吐出ヘッドが加熱される。加圧手段が発生する熱量と、液滴吐出ヘッドが放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【００８４】
続いて、ダミー吐出停止工程において、液滴吐出ヘッドは、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機する。このとき、ヘッド駆動回路は、加圧手段がノズルから機能液が吐出しない程度に、キャビティ内の圧力を変動させる駆動信号を加圧手段に送信して制御する。
【００８５】
液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、加圧手段を動作しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がっている場合には、ダミー吐出停止工程に続くダミー吐出工程において、加圧手段の動作により、液滴吐出ヘッドを所定の温度に加熱する必要がある。
【００８６】
一方、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットに機能液を吐出せずに、待機するときに、機能液を吐出しない程度に加圧手段を動作する場合には、加圧手段による発熱に影響され、液滴吐出ヘッドの温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッドが、フラッシングユニットにて待機するとき、液滴吐出ヘッドの温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッドを、所定の温度に保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８７】
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（実施形態）
本実施形態では、本発明の特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する場合の例について図１〜図１１に従って説明する。
【００８８】
（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図５に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００８９】
図１は、液滴吐出装置１の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。
図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００９０】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブル及びワーク移動テーブルとしてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００９１】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００９２】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００９３】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。
【００９４】
案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００９５】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるテーブルとしてのキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。
【００９６】
基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００９７】
保守ステージ１７の上には、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０が、配置してある。フラッシングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を液滴吐出ヘッド１４から排除するため、液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。本実施形態では、６個の受け皿が配置され、６個の液滴吐出ヘッド１４からフラッシングユニット１８に液滴を吐出できるようになっている。
【００９８】
キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をする装置である。液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【００９９】
ワイピングユニット２０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１４において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触して、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【０１００】
保守ステージ１７が、案内レール１６ａ，１６ｂに沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、によりヘッドクリーニング部２１を構成している。
【０１０１】
保守用基台１５と基台２との間には、重量測定装置２２が配置されている。重量測定装置２２には、電子天秤が２台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定し、吐出前後の受け皿の重量の差分を測定している。
【０１０２】
キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１、重量測定装置２２、基板７と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。
【０１０３】
図２は、液滴吐出ヘッド１４の構造を説明するための要部模式断面図である。
図２に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ３２には、収容タンク１０に貯留されている機能液３３が供給される。
【０１０４】
キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。圧電素子３５が上下方向に伸縮して振動板３４を振動し、振動板３４がキャビティ３２内の容積を拡大縮小してキャビティ３２を加圧する。それにより、キャビティ３２内の圧力が変動し、キャビティ３２内に供給された機能液３３は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。
【０１０５】
そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子３５を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３３が微小液滴３６として吐出される。
【０１０６】
図３は、液滴吐出装置１の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリ４１とを有する。
【０１０７】
主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレイ４８、図１に示す重量測定装置２２を構成する電子天秤４９、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。同じく、ヘッドクリーニング部２１において、１つのユニットを選択するクリーニング選択装置５０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。
【０１０８】
主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。
【０１０９】
入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行う。
【０１１０】
電子天秤４９は、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴を受ける、受け皿の重量を測定する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４０に送信する。図１に示す重量測定装置２２は、受け皿と電子天秤４９などから構成される。
【０１１１】
クリーニング選択装置５０は、ヘッドクリーニング部２１であるフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に移動する装置である。
【０１１２】
メモリ４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域や、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【０１１３】
ＣＰＵ４０は、メモリ４１内に記憶されたプログラムソフト５１に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、電子天秤４９を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部５３と、液滴吐出ヘッド１４によって液滴を吐出するための演算を行う吐出演算部５４を有する。
【０１１４】
吐出演算部５４を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部５５を有する。さらに、吐出演算部５４は、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５６を有する。加えて、吐出演算部５４は、液滴吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部５７を有する。さらに、吐出演算部５４は液滴吐出ヘッド１４内の複数あるノズルのうちのいずれを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部５８等といった各種の機能演算部を有する。
【０１１５】
図４は、液滴吐出ヘッド１４を駆動する駆動波形を説明するための模式波形図である。
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４が微小液滴３６を吐出するときの駆動波形図であり、図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１４が微小液滴３６を吐出しないときの駆動波形図である。
図４（ａ）及び図４（ｂ）において、図の横軸は時間６０の経過を示し、縦軸は駆動電圧６１の変化を示す。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を連続吐出するときの吐出駆動波形６２を３個分表示している。吐出駆動波形６２は、略台形の波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧６３は、所定の電圧に設定されている。また、吐出駆動波形６２の間隔である吐出波形間隔６４は、所定の間隔で略一定に形成されている。吐出電圧６３及び、吐出波形間隔６４は、圧電素子３５や振動板３４の動特性に合わせて設定する必要がある。従って、実際に吐出する予備試験を実施して、最適な吐出条件を導くことが望ましい。
【０１１６】
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を吐出しないときの非吐出駆動波形６５を３個分表示している。非吐出駆動波形６５は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧６６は、微小液滴３６を吐出しない範囲で、圧電素子３５を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧６６は、吐出電圧６３の約３分の１程度の電圧を採用している。また、非吐出駆動波形６５の間隔である非吐出波形間隔６７は、圧電素子３５が振動する範囲で駆動して良い。非吐出波形間隔６７は、本実施形態では、例えば、吐出波形間隔６４と略同じ間隔で略一定に形成している。
【０１１７】
図５は、液滴吐出ヘッド１４の温度変化を説明するための模式図である。図５において、図の横軸は時間６０の経過を示し、縦軸は液滴吐出ヘッド温度６８の変化を示す。実線は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を吐出しないときに、圧電素子３５を振動させない場合である非振動時温度変化線６９である。破線は、液滴吐出ヘッド１４から微小液滴３６を吐出しないとき、圧電素子３５を振動させて、ノズル３１から機能液３３が吐出しない程度に、キャビティ３２内の圧力を変動させる場合の振動時温度変化線７０である。
【０１１８】
横軸において、液滴吐出装置１が、ノズル３１から機能液３３を吐出しない非吐出時７１と、ノズル３１から機能液３３を吐出する吐出時７２を繰り返したとき、非振動時温度変化線６９及び振動時温度変化線７０は、液滴吐出ヘッド温度６８が変化する様子を示している。
【０１１９】
非振動時温度変化線６９において、液滴吐出ヘッド温度６８が、非吐出時７１に最低温度６９ａまで下がり、吐出時７２に最高温度６９ｂまで上昇する。最高温度６９ｂと最低温度６９ａとの差は温度差６９ｃとなる。同様に、振動時温度変化線７０において、液滴吐出ヘッド温度６８が、非吐出時７１に最低温度７０ａまで下がり、吐出時７２に最高温度７０ｂまで上昇する。最高温度７０ｂと最低温度７０ａとの差は温度差７０ｃとなる。
【０１２０】
非振動時温度変化線６９と振動時温度変化線７０とを比較すると、最高温度６９ｂと最高温度７０ｂとは略同じ温度となる。一方、最低温度６９ａは、最高温度７０ｂに比べて温度が下がる。非振動時温度変化線６９においては、非吐出時７１に圧電素子３５を振動させないことから、液滴吐出ヘッド温度６８が低下する。振動時温度変化線７０においては、非吐出時７１に圧電素子３５を振動させていることから、圧電素子３５の発熱による影響を受けて、液滴吐出ヘッド温度６８が低下しにくくなっている。従って、温度差６９ｃが、非振動時温度変化線６９に比べて、振動時温度変化線７０の方が、温度差７０ｃが少なくなっている。
【０１２１】
（描画方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板７に描画する描画方法について図６〜図１１にて説明する。図６は、基板７に描画する製造工程を示すフローチャートであり、図７〜図１１は、液滴吐出装置１を使った描画方法を説明する図である。
【０１２２】
図６のフローチャートを用いて、基板への描画方法に相当する製造工程のステップを説明する。
図６において、ステップＳ１からステップＳ１０まで、同一の液滴吐出装置１によって製造するステップである。ステップＳ１は、ダミー吐出工程に相当し、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、ダミー吐出停止工程に相当し、ノズルから機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、ダミー吐出工程に相当し、ステップＳ１と同様に、ノズル３１から機能液をフラッシングユニットに吐出する工程である。ステップＳ１からステップＳ３を合わせてステップＳ２１とする。ステップＳ２１は、フラッシング工程である。
【０１２３】
次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、第１ヘッド移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドをフラッシングユニットと対向する場所から基板と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ５に移行する。
【０１２４】
ステップＳ５は、吐出工程に相当し、ノズルから機能液を基板に吐出する工程である。次にステップＳ６に移行する。ステップＳ６は、予定した領域総てに機能液を塗布したかを判断する工程に相当し、ＣＰＵが、機能液を塗布する予定の領域と、既に塗布した領域とを比較して、塗布する予定で、まだ塗布していない領域があるかを判断する工程である。塗布していない領域があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ７に移行する。ステップＳ７は、吐出場所移動工程に相当し、機能液を吐出せずに、基板と液滴吐出ヘッドとを相対移動する。基板において、機能液を塗布する場所と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ６において、塗布していない領域がないとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ８に移行する。ステップＳ５からステップＳ７を合わせてステップＳ２２とする。ステップＳ２２は、描画工程である。
【０１２５】
ステップＳ８は、第２ヘッド移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドを基板と対向する場所からフラッシングユニットと対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ９に移行する。
【０１２６】
ステップＳ９は、ダミー吐出工程に相当し、ステップＳ１と同様に、ノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出する工程である。次にステップＳ１０に移行する。ステップＳ１０は、ダミー吐出停止工程に相当し、ステップＳ２と同様に、ノズルから機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止する工程である。ステップＳ９及びステップＳ１０を合わせてステップＳ２３とする。ステップＳ２３は、フラッシング工程である。以上の工程により、基板に描画する製造工程を終了する。
【０１２７】
次に、図７〜図１１を用いて、図６に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
図７（ａ）は、ステップＳ１に対応する図である。図７（ａ）に示すように、ステージ４の載置面６に基板７が配置され、ステージ４は初期位置に移動されている。
【０１２８】
液滴吐出ヘッド１４は、キャリッジ１２に搭載され、Ｘ方向に移動可能となっており、液滴吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１と対向する場所に移動している。ヘッドクリーニング部２１は、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所にフラッシングユニット１８を移動する。つまり、液滴吐出ヘッド１４とフラッシングユニット１８とが対向し合う場所に位置している。
【０１２９】
図３に示すヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形６２の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の微小液滴３６をノズル３１からフラッシングユニット１８に吐出する。液滴吐出ヘッド１４は、図２に示す圧電素子３５が振動して温度が上昇する。
【０１３０】
図７（ｂ）は、ステップＳ２に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、フラッシングユニット１８と対向する場所にて、機能液３３を吐出せずに待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の吐出を停止する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３１】
ステップＳ３は、図７（ａ）に示すステップＳ１と同様であり、詳細な説明を省略する。ステップＳ１で機能液３３を吐出し、ステップＳ２で吐出を停止し、ステップＳ３で再度吐出する。このとき、ステップＳ２で液滴吐出ヘッド１４の温度が下降しにくくなっていることから、ステップＳ３において、液滴吐出ヘッド１４の温度は、短時間で上昇する。
【０１３２】
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、ステップＳ４に対応する図である。図８（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、キャリッジ１２に搭載され、キャリッジ１２は、Ｘ方向に移動可能となっている。液滴吐出ヘッド１４は、フラッシングユニット１８と対向する場所から基板７と対向する場所へ移動する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出せずに移動する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３３】
図８（ｂ）は、キャリッジ１２が移動して液滴吐出ヘッド１４が基板７と対向する場所に移動した図である。図８（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４が目的とする場所に移動して、キャリッジ１２が停止しているとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出せずに待機する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３４】
図９（ａ）〜図９（ｃ）は、ステップＳ５に対応する図である。図９（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、基板７と対向する場所において、吐出開始するまでの間、待機している。ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出せずに待機する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３５】
図９（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１から機能液３３の微小液滴３６を基板７に吐出する。液滴吐出装置１は、ノズル３１から微小液滴３６を吐出しつつ、基板７をＹ方向に移動することにより描画する。基板７には、機能液３３が塗布され、描画される。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形６２の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の微小液滴３６をノズル３１からフラッシングユニット１８に吐出する。液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５が振動して温度が上昇する。
【０１３６】
図９（ｃ）に示すように、ステージ４が移動して、液滴吐出ヘッド１４が基板７に吐出する領域から外れるとき、液滴吐出ヘッド１４は、ノズル３１から機能液３３の吐出を停止する。つまり、吐出と吐出停止を反復する間歇吐出を行うことになる。液滴吐出ヘッド１４が吐出を停止するとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない状態となる。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３７】
図３に示すように、ステップＳ６では、ＣＰＵ４０は、吐出位置データ５２において、吐出していない場所を検索して、吐出していない場所の有無を判断する。吐出していない場所があるとき、ステップＳ７に移行し、次に、基板７に機能液３３を塗布する場所と対向する場所へ液滴吐出ヘッド１４が来るように、ステージ４とキャリッジ１２を移動する。
【０１３８】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、ステップＳ７に対応する図である。図１０（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４が、ノズル３１から機能液３３の吐出を停止した状態で、ステージ４を移動する。基板７において、液滴吐出ヘッド１４が機能液３３を吐出する予定の場所と、対向する場所に、液滴吐出装置１は液滴吐出ヘッド１４を移動する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１３９】
図１０（ｂ）に示すように、基板７において、液滴吐出ヘッド１４が、ノズル３１から機能液３３の吐出する予定の場所と対向する場所に、液滴吐出ヘッド１４が移動して、到着し、ステージ４は停止する。続いて、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３を吐出するまでの間、待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４０】
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、ステップＳ８に対応する図である。図１１（ａ）に示すように、基板７への描画が終了したとき、液滴吐出ヘッド１４は、移動を開始するまでの間、待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４１】
図１１（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１は、キャリッジ１２を移動して、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動させる。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３を吐出しない。従って、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４２】
図７（ａ）は、ステップＳ９に対応する図である。図７（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４が基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動した後、ノズル３１から機能液３３をフラッシングユニット１８に吐出する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に吐出駆動波形６２の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の微小液滴３６をノズル３１からフラッシングユニット１８に吐出する。液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５が振動して温度が上昇する。
【０１４３】
図７（ｂ）は、ステップＳ１０に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、フラッシングユニット１８と対向する場所にて、機能液３３を吐出せずに待機する。このとき、ヘッド駆動回路４４は、液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を出力する。液滴吐出ヘッド１４は、駆動信号を受けて機能液３３の吐出を停止する。ただし、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３が吐出しない程度に圧電素子３５が振動しているため、温度が下降しにくくなっている。
【０１４４】
以上の工程により、液滴吐出ヘッド１４はステップＳ２１のフラッシング工程、ステップＳ４の第１ヘッド移動工程、ステップＳ２２の描画工程、ステップＳ８の第２ヘッド移動工程、ステップＳ２３のフラッシング工程を行い、基板７への描画が終了する。
【０１４５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出装置１は、キャビティ３２と、キャビティ３２と連通するノズル３１とを備えている。また、液滴吐出装置１は、キャビティ３２を加圧する圧電素子３５を備え、キャビティ３２を加圧してノズル３１から機能液３３を吐出する。液滴吐出装置１は、ステージ４及びキャリッジ１２を備え、液滴吐出ヘッド１４と基板７とを相対移動することにより、基板７の所望の場所に機能液３３を吐出して塗布する。
【０１４６】
液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１８を備え、ノズル３１からフラッシングユニット１８に機能液３３を吐出する。液滴吐出装置１は、機能液３３を吐出することにより、液滴吐出ヘッド１４内の機能液３３を入れ替えている。さらに、液滴吐出ヘッド１４内の流路に固形物が存在するとき、液滴吐出ヘッド１４は、機能液３３と一緒に固形物を吐出することにより、流路を洗浄する。
【０１４７】
機能液３３は、液の温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド１４内で、機能液３３に圧力が加わり、ノズル３１等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズル３１から吐出される機能液３３の吐出量が変化する。従って、温度変化が少ない状態にて吐出する方が、温度変化が大きい場合に比べて、吐出量を精度良く吐出することができる。
【０１４８】
ステップＳ２１のフラッシング工程において、液滴吐出ヘッド１４がフラッシングユニット１８に吐出するとき、液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５がキャビティ３２を加圧するエネルギの一部が熱に変換し、液滴吐出ヘッド１４が加熱される。圧電素子３５が発生する熱量と、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【０１４９】
ステップＳ４の第１ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッド１４をフラッシングユニット１８から基板７と対向する場所に移動するとき、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４は、放熱して温度が下がる。一方、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度は下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッド１４がフラッシングユニット１８から基板７に移動するとき、圧電素子３５を動作する方が、液滴吐出ヘッド１４の温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【０１５０】
（２）本実施形態によれば、ステップＳ７の吐出場所移動工程において、液滴吐出ヘッド１４が、基板７に機能液３３を吐出した後、吐出を一旦停止して、基板７に機能液３３を吐出する別の場所に移動するときに、機能液３３の吐出と吐出の停止を繰り返す間歇吐出を行うことがある。同じく、基板７に機能液３３を吐出した後、機能液３３を吐出せずに待機するときなど、機能液３３の吐出と吐出の停止を繰り返す間歇吐出を行うことがある。吐出を停止しているときに、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４が放熱して温度が下がる。
【０１５１】
一方、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がり難くなる。その結果、液滴吐出ヘッド１４が基板７に吐出する場所から別の吐出する場所に移動するとき、圧電素子３５を動作する方が、液滴吐出ヘッド１４の温度変動が少ない為、吐出量を精度良く制御することができる。
【０１５２】
（３）本実施形態によれば、ステップＳ８の第２ヘッド移動工程において、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動するときに、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４は、放熱して温度が下がる。そして、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８に到達するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がっている場合には、圧電素子３５を動作する等により、液滴吐出ヘッド１４を所定の温度に加熱する必要がある。
【０１５３】
一方、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所からフラッシングユニット１８と対向する場所に移動するとき、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度は下がり難くなる。従って、フラッシングユニット１８に到達するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がらず、加熱するために、液滴を吐出する必要がない。到達した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッド１４を、所定の温度に保持することができる。
【０１５４】
（４）本実施形態によれば、ステップＳ９のダミー吐出工程において、液滴吐出ヘッド１４がフラッシングユニット１８に吐出するとき、液滴吐出ヘッド１４は、圧電素子３５がキャビティ３２を加圧するエネルギの一部が熱に変換し、液滴吐出ヘッド１４が加熱される。圧電素子３５が発生する熱量と、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱量との平衡がとれる温度で安定する。
【０１５５】
ダミー吐出停止工程において、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８に機能液３３を吐出せずに、待機するときに、圧電素子３５を動作しない場合には、液滴吐出ヘッド１４は、放熱して温度が下がる。液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８にて待機するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がっている場合には、圧電素子３５を動作する等により、液滴吐出ヘッド１４を所定の温度に加熱する必要がある。
【０１５６】
一方、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８に機能液３３を吐出せずに、待機するときに、本実施形態では、ヘッド駆動回路４４が液滴吐出ヘッド１４に非吐出駆動波形６５の駆動信号を送信して、液滴吐出ヘッド１４が、機能液３３を吐出しない程度に圧電素子３５を動作している。このとき、圧電素子３５による発熱に影響され、液滴吐出ヘッド１４の温度は下がり難くなる。従って、液滴吐出ヘッド１４が、フラッシングユニット１８にて待機するとき、液滴吐出ヘッド１４の温度が下がらず、加熱するために、微小液滴３６を吐出する必要がない。待機した後にフラッシングするときは、洗浄する目的のためだけにフラッシングを行えばよい。従って、生産性良く液滴吐出ヘッド１４を、所定の温度に保持することができる。
【０１５７】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良などを加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記実施形態では、キャビティ３２を加圧する加圧手段に、圧電素子３５を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて、加圧しても良い。他に、キャビティ３２内にヒータ配線を配置して、機能液３３に含む気体を膨張して加圧しても良い。いずれの場合にも、機能液３３を吐出しないとき、機能液３３を吐出しない程度に加圧手段を動作することにより、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】液滴吐出ヘッドを駆動する駆動波形を説明するための模式波形図。
【図５】液滴吐出ヘッドの温度変化を説明するための模式図。
【図６】基板に描画する製造工程を示すフローチャート。
【図７】描画方法を説明する図。
【図８】描画方法を説明する図。
【図９】描画方法を説明する図。
【図１０】描画方法を説明する図。
【図１１】描画方法を説明する図。
【符号の説明】
【０１５９】
１…液滴吐出装置、４…テーブルとしてのステージ、７…ワークとしての基板、１２…テーブルとしてのキャリッジ、１４…液滴吐出ヘッド、１８…フラッシングユニット、３１…ノズル、３２…キャビティ、３３…機能液、３５…加圧手段としての圧電素子、４４…ヘッド駆動回路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルと、
前記ノズルから吐出される前記機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記フラッシングユニットと対向する場所から、前記ワークと対向する場所に移動する間、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワークに前記機能液を間歇吐出する場合で、前記液滴吐出ヘッドが、前記ワークに前記機能液を吐出しないとき、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルと、
前記ノズルから吐出される前記機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワークと対向する場所から、前記フラッシングユニットと対向する場所に移動する間、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルと、
前記ノズルから吐出される前記機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記フラッシングユニットに前記機能液を吐出し、吐出を停止し、再度吐出する場合に、前記液滴吐出ヘッドが、前記フラッシングユニットに前記機能液を吐出しないとき、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
前記液滴吐出ヘッドを前記フラッシングユニットと対向する場所から前記ワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第１ヘッド移動工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項６】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出する吐出工程と、
前記機能液を吐出せずに、前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記吐出場所移動工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項７】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程と、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
描画工程とフラッシング工程との間において、
前記液滴吐出ヘッドを前記ワークと対向する場所から前記フラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第２ヘッド移動工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項８】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、
前記ノズルから前記機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記ダミー吐出工程、前記ダミー吐出停止工程、前記ダミー吐出工程の順に行うとき、
前記ダミー吐出停止工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項９】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
前記液滴吐出ヘッドを前記フラッシングユニットと対向する場所から前記ワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第１ヘッド移動工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１０】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出する吐出工程と、
前記機能液を吐出せずに、前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記吐出場所移動工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１１】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程と、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
描画工程とフラッシング工程との間において、
前記液滴吐出ヘッドを前記ワークと対向する場所から前記フラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第２ヘッド移動工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１２】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記ダミー吐出工程、前記ダミー吐出停止工程、前記ダミー吐出工程の順に行うとき、
前記ダミー吐出停止工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルと、
前記ノズルから吐出される前記機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記フラッシングユニットと対向する場所から、前記ワークと対向する場所に移動する間、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワークに前記機能液を間歇吐出する場合で、前記液滴吐出ヘッドが、前記ワークに前記機能液を吐出しないとき、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルと、
前記ノズルから吐出される前記機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワークと対向する場所から、前記フラッシングユニットと対向する場所に移動する間、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動するテーブルと、
前記ノズルから吐出される前記機能液を受けるフラッシングユニットとを備え、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記液滴吐出ヘッドが、前記フラッシングユニットに前記機能液を吐出し、吐出を停止し、再度吐出する場合に、前記液滴吐出ヘッドが、前記フラッシングユニットに前記機能液を吐出しないとき、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
前記液滴吐出ヘッドを前記フラッシングユニットと対向する場所から前記ワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第１ヘッド移動工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項６】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出する吐出工程と、
前記機能液を吐出せずに、前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記吐出場所移動工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項７】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程と、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
描画工程とフラッシング工程との間において、
前記液滴吐出ヘッドを前記ワークと対向する場所から前記フラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第２ヘッド移動工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項８】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出して描画する描画方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、
前記ノズルから前記機能液のフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記ダミー吐出工程、前記ダミー吐出停止工程、前記ダミー吐出工程の順に行うとき、
前記ダミー吐出停止工程において、前記加圧手段は、前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させることを特徴とする描画方法。
【請求項９】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
前記液滴吐出ヘッドを前記フラッシングユニットと対向する場所から前記ワークと対向する場所に移動させる第１ヘッド移動工程と、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第１ヘッド移動工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１０】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出する吐出工程と、
前記機能液を吐出せずに、前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとを相対移動する吐出場所移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記吐出場所移動工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１１】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液を前記ワークに吐出して描画する描画工程と、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するフラッシング工程と、
描画工程とフラッシング工程との間において、
前記液滴吐出ヘッドを前記ワークと対向する場所から前記フラッシングユニットと対向する場所に移動させる第２ヘッド移動工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記第２ヘッド移動工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【請求項１２】
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧して、前記キャビティと連通するノズルから機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドの制御方法であって、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットに吐出するダミー吐出工程と、
前記ノズルから前記機能液をフラッシングユニットへの吐出を停止するダミー吐出停止工程とを有し、
前記液滴吐出ヘッドは、ヘッド駆動回路の駆動信号を受けて、前記キャビティを加圧する加圧手段を備え、
前記ダミー吐出工程、前記ダミー吐出停止工程、前記ダミー吐出工程の順に行うとき、
前記ダミー吐出停止工程において、前記ヘッド駆動回路は、前記加圧手段が前記ノズルから前記機能液が吐出しない程度に、前記キャビティ内の圧力を変動させる前記駆動信号を前記加圧手段に送信して制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドの制御方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００８−１１４１０５（Ｐ２００８−１１４１０５Ａ）
【公開日】平成２０年５月２２日（２００８．５．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２９７４５５（Ｐ２００６−２９７４５５）
【出願日】平成１８年１１月１日（２００６．１１．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年５月２２日（２００８．５．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１１月１日（２００６．１１．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]