【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】
マイクロメータスケールの微小物質を基板の任意な位置に確実に堆積させる方法を提供する。
【解決手段】
内部に電極が挿入され、且つ、微小物質を溶剤に溶かした溶融液、或いは、溶剤に分散させて得られた微小物質を含む分散液が充填されているマイクロピペットを傾けて配置させ、その先端部が基板表面に近接するように位置決めし、適切な電圧を印加することで分散液のメニスカスを成長させ、基板表面に接触移動させることによって、マイクロメータスケールの微小物質を確実に堆積させる方法。 （もっと読む）

【課題】曲げ剛性の高い可撓性支持体の塗工開始時に、膜厚が早く安定する塗工膜製造方法を提供する。
【解決手段】制御部８は、張力制御で可撓性支持体２を搬送する。制御部８は、主速ロール３を予め定められた一定の周速で回転させ、張力計６で測定した可撓性支持体２の張力が予め定められた一定値になるように従属ロール４の周速を制御する。続いて、吐出口５１から塗工液を吐出させ、塗工ヘッド５を可撓性支持体２に向けて移動させ、吐出口５１を可撓性支持体２に接触させる。吐出口５１が可撓性支持体２に接触した後、更に予め定められた距離だけ塗工ヘッド５を可撓性支持体２に押し込む。塗工が開始された後、可撓性支持体２の張力変動が安定した後に、張力制御から比率制御に切り換える。 （もっと読む）

【課題】小型の生産設備で、低コストに、連続的に、電気容量の高い電気化学素子用電極を製造する方法を提供する。
【解決手段】一対の逆方向に回転するロール間に、電極活物質および結着材を含有してなる複合粒子粉末を供給し、複合粒子粉末を圧縮して一方のロール面に付着させて圧粉層を形成する圧粉層形成工程、ロールの一方に付着された圧粉層を長尺のシート状集電体に加圧によって圧着させロール面から集電体に転写する転写工程、および転写と同時に又は転写の後に、前記圧粉層を加圧する工程を有する電気化学素子用電極の製造方法。 （もっと読む）

【課題】材料の供給状態を正確に調整して高精度に膜圧形状を制御することが可能な塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】 スジムラ故障や泡欠陥のないエクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗液を外部に吐出するスリット１７とこのスリット１７と連通し塗液を供給するマニフォールド１８とを内部に有するエクストルージョン型ダイヘッド１を使用して被塗布物上に塗液を塗布する塗布装置であって、マニフォールド１８の壁面に気泡捕集部１９としてＶ字溝を設ける。 （もっと読む）

【課題】ドクターブレードとグラビアロールの接触が適正な状態であることを確認して塗布を開始するグラビア塗布装置と塗布方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材１０５の表面に塗膜を形成するグラビア塗布装置であって、塗布されるインキ１１７を溜めるインキパン１１６と、インキパン中のインキを掻き上げ、表面に設けられた凹部に充填するグラビアロール８と、掻き上げられたグラビアロール表面のインキを掻き落とすドクターブレード１０１と、グラビアロールとグラビアブレード間の電気抵抗値を測定する電気抵抗測定器１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第１動作と、第１動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、第２動作後、第１状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第３動作と、を含み、第３動作における液滴供給位置が、第１動作における液滴供給位置より、開口のエッジから離れるように、第３動作における複数の液滴の間隔を第１動作における複数の液滴の間隔よりも狭くするための液滴供給位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】液体を吐出する複数のノズルと複数のノズルに対応して設けられた容量性負荷である複数のアクチュエーターとを有する液体吐出ヘッドを駆動する際の駆動信号の波形再現性を向上させる。
【解決手段】液体吐出ヘッドを駆動するための駆動回路は、アクチュエーターを駆動するための駆動信号の基準となる駆動波形信号を自励式の変調方式でパルス変調して変調信号とする変調回路と、変調信号に基づきスイッチング動作を行う２つのスイッチング素子を有し変調信号を電力増幅して電力増幅変調信号とするデジタル電力増幅回路と、電力増幅変調信号を平滑化して駆動信号とする平滑フィルターと、２つのスイッチング素子のそれぞれについて個別にスイッチング動作を停止させてオフ状態とする停止制御を行う停止制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高分子を含有する液体を噴射するに際し噴射される液体を微小化すること。
【解決手段】電圧を液体噴射ヘッドに印加して、高分子を含有する液体を噴射させる液体噴射ヘッドの駆動方法であって、前記電圧を第１電圧から第２電圧に上昇させることと、前記電圧を前記第１電圧から前記第２電圧に上昇させたときよりも大きな傾きで前記第２電圧から第３電圧に上昇させ、該第３電圧に保持することと、前記電圧を前記第３電圧から第４電圧に降下させ、該第４電圧に保持することと、前記電圧を前記第４電圧から第５電圧に上昇させ、該第５電圧に保持することと、前記電圧を前記第５電圧から第６電圧に降下させ、該第６電圧に保持することと、前記電圧を前記第６電圧から第７電圧に上昇させることと、を含み、前記第５電圧は前記第３電圧よりも高い液体噴射ヘッドの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】導電性メッシュを透明電極内部に埋設することによって導電性メッシュが透明電極から突出しなくなり、これによって透明電極の接触性能を向上させる一方、導電性メッシュが透明電極から分離しないようにする透明電極の導電性メッシュ埋設方法を提供する。
【解決手段】ＰＤＭＳ材質の伝達部１２０に導電性メッシュＭを付着する段階と、伝達部１２０を基板Ｓ上の透明電極Ｅに加圧密着させる段階と、伝達部１２０を透明電極Ｅから分離することで導電性メッシュＭが伝達部１２０から分離する一方、透明電極Ｅから突出しないように透明電極Ｅに埋設されるようにする段階と、を含む、透明電極の導電性メッシュ埋設方法。 （もっと読む）

【課題】乾燥処理を必要とすることなく、処理時間や処理スペースの短縮化および設備の廃止や簡略化、設備費の低減を図ることのできる被塗布板表面への塗布剤の塗布方法および装置を提供する。
【解決手段】被塗布板の表面に弾性的に押し付けるように塗布部材を保持するホルダー部材と、上記塗布部材に対して上流側に間隔を空けて提部材を設置するとともに、該提部材の上記塗布部材側に傾斜面を設けて、該傾斜面上に塗布剤を供給落下せしめ、該傾斜面および上記塗布部材を調温可能に加熱して、供給された塗布剤の流動性を保ちながら、上記塗布部材により被塗布板の表面に塗布剤をならい加圧して塗布することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】凹凸のあるウエブであっても、塗工厚さを均一にして塗工液を塗工できる塗工装置を提供する。
【解決手段】長尺状のウエブ１を搬送する金属製のバックアップロール１２と、ウエブ１に塗工液を塗工するクッション性のある多孔質吸水体の塗工ロール１４とを有し、凹凸２２のあるウエブ１に対し塗工層３を塗工する。 （もっと読む）

【課題】粘度変化が生じる液体材料を高精度に塗布すること。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル６と、液体材料をノズル６から吐出するためのポンプと、液体材料が通過する経路における液体材料の粘度を算出するための熱式流量センサ９と、算出した粘度に基づいて液体材料をノズル６から吐出させるための吐出圧力を設定し、設定された吐出圧力に基づいてポンプを制御するメインコントローラ８と、を備えた塗布装置であって、液体材料の粘度変化に合わせ、吐出圧力を調整することにより、高精度な塗布が実現可能となる。 （もっと読む）