【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】可撓膜の影響を抑え、圧力緩衝部の性能を維持したまま、圧力緩衝部を小型化する。
【解決手段】複数のノズルが配置された記録ヘッドに連通する液体供給流路と、前記液体供給流路に設けられ、液体に所定の圧力を付与する液体圧力付与手段と、前記液体供給流路の途中に設けられた圧力緩衝部であって、前記液体供給流路を流れる液体を流出入させる供給口及び排出口を有する液体室と、前記液体室と可撓膜を挟んで対設された気体室と、を含んで構成される圧力緩衝部とを備え、前記可撓膜は、予め初期撓みが与えられている液体供給装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの移動方向の違いで塗布高さに生じる違いを吸収してガラスペーストの塗布高さの精度を確保できるペースト塗布方法およびペースト塗布装置を提供することを課題とする。
【解決手段】有機ＥＬ素子が蒸着された基板８の蒸着部Ａ１の周囲に沿ってノズル５５ａを移動させてガラスペーストを基板８の蒸着部Ａ１の周囲に塗布するペースト塗布方法であって、ノズル５５ａが移動するときのノズル高さを補正するノズル補正量を、蒸着部Ａ１の周囲に沿ってノズル５５ａが移動するときの移動方向ごとに設定する準備工程と、ノズル高さを移動方向ごとにノズル補正量で補正し、ノズル５５ａを蒸着部Ａ１の周囲に沿って移動させてガラスペーストを塗布する塗布工程と、を有することを特徴とするペースト塗布方法とする。また、当該ペースト塗布方法によってガラスペーストを基板８に塗布するペースト塗布装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】ガラスペーストの塗布高さを所定の誤差範囲に好適に維持できるペースト塗布装置およびペースト塗布方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ノズル５５ａの始点Ｐｓから始端部１０１Ｓを形成する部分ではノズル高さＮｈを基準塗布高さＳｔｄＨより低くしてノズル５５ａが移動し、ノズル５５ａの終点Ｐｅまでの終端部１０１Ｅを形成する部分では、ノズル高さＮｈを基準塗布高さＳｔｄＨより高くしてノズル５５ａが移動し、始端部１０１Ｓが形成される部分および終端部１０１Ｅが形成される部分以外の部分ではノズル高さＮｈを基準塗布高さＳｔｄＨとしてノズル５５ａが移動し、さらに、始端部１０１Ｓと終端部１０１Ｅの少なくとも一部でガラスペーストＧｐが重なって塗布されるようにノズル５５ａが移動することを特徴とするペースト塗布装置およびペースト塗布方法とする。 （もっと読む）

【課題】線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行う。
【解決手段】ペースト吐出装置４は、上端が開口する断面円形の液室１２ａ及びこの液室１２ａ内のペーストを吐出するノズルＮを有する本体１２と、液室１２ａに供給するペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１内に加圧気体を供給する気体供給部１１ａとを備える。本体１２は、回転駆動によってペーストをノズルＮへと送るスクリュー１３を液室１２ａ内に着脱可能に構成されると共に、そのスクリュー１３を離脱させた状態において液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】モジュール式流体材料射出装置の保守の際の作動停止時間を短くすると共に流体材料射出装置を種々の射出用途に合わせて比較的容易に構成できるようにする。
【解決手段】モジュール式流体材料射出装置（10）は流体モジュール（20）への供給を行う容積移送式ポンプ流体供給モジュール（100 ）を有する。シリンジ（22）が逆止弁を通して材料を容積移送式ポンプ（102 ）に供給し、容積移送式ポンプは、別の逆止弁を通して材料を流体モジュールに供給する。弁要素（14）が駆動ピン（36）と可動要素（300 ）の接触によって動かされて弁座に接触し、それにより材料の液滴が射出される。アクチュエータ（74）が駆動ピンを動かす。コントローラ（99）が容積移送式ポンプからの流体の供給と材料の射出速度を協調させる。流体モジュール及び容積移送式ポンプは射出装置から取り外し可能である。 （もっと読む）

【課題】種々の流体材料特性に適合する高い性能を備えた改良型射出弁を提供する。
【解決手段】改良型空気圧射出弁（10）は、空気圧ピストン（80）が納められている第１及び第２のチャンバを備えたハウジングを有する。第１及び第２の電磁弁（82，84）が空気圧力をこれらチャンバにそれぞれ供給したりこれらを排気したりするよう構成されている。コントローラ（104 ）がチャンバの加圧及び空気抜きを調整するよう動作可能である。コントローラは両チャンバを加圧するオーバーラップ時間を制御するよう第１及び第２の電磁弁のための制御信号のタイミングを制御する。オーバーラップ時間の制御によってコントローラは射出弁の駆動ピンの速度及び射出弁が材料液滴を射出するために閉じる速度を制御する。これにより射出されるべき材料の粘度に最も適した弁速度を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布ユニットに対して、液剤貯留圧送タンクによる液剤の供給時におけるタンク内の液剤残量検出を可能とする。
【解決手段】液剤貯留圧送タンク内の液剤を加圧する落し蓋に対し、上方に立てた液剤検出ロッドがあり、タンク上部のタンク蓋より上方に液剤検出ロッドを出し、液剤の減少量を目視やセンサーにより液剤残量検出を可能とした。 （もっと読む）

【課題】汎用性を向上することができるようにする。
【解決手段】接着剤塗布装置１０は、ロボットアーム１２ａを備えたロボット１２と、ロータ５６を設置するためのロータセット治具１４と、接着剤を収容したカートリッジ５８を装着可能なホルダ部１６ａを備え、当該ホルダ部１６ａに装着されたカートリッジ５８内の接着剤を吐出する、ロボットアーム１２ａの先端に取り付け可能なガン１６と、所定圧の圧縮エアの、ガン１６のホルダ部１６ａに装着されたカートリッジ５８内への供給をオン・オフ切替制御する電磁弁２２と、ロボット１２の動作を制御するロボットコントローラ５０と、電磁弁２２によるオン・オフ切替制御、及び、ロボットコントローラ５０によるロボット１２の動作制御を連携して制御する上位コントローラ５２とを有する。 （もっと読む）

【課題】グラビアロールやマニホールドのメンテナンス時の位置調整作業の容易化を図る。
【解決手段】グラビアロールに対向するようにグラビアロールの軸線に平行に配置された支持フレーム６３と、該支持フレームに対し、移動調整機構ＡＪ１、ＡＪ２により、グラビアロールの軸線方向（左右方向）へ移動調整可能ならびにグラビアロールの周方向（上下方向）へ移動調整可能に取り付けられたマニホールド支持枠６２と、該マニホールド支持枠に対して、軸線方向に直交し且つグラビアロールに対して接近・離間する方向（前後方向）へ移動可能に取り付けられて、グラビアロールの溝に塗料を加圧状態で供給塗布するマニホールド６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】スプレー噴射時には、蛍光体含有液を安定してスプレーノズル１２に供給し、スプレー非噴射時には、不純物を混入させることなく蛍光体含有液を移動させ、これによって、蛍光体含有液が塗布される発光素子の部分的な点欠陥を低減する。
【解決手段】蛍光体塗布装置１０は、蛍光体含有液の移動を調節する移動調節部１８を有している。移動調節部１８は、スプレーノズル１２によるスプレー噴射時には、圧力タンク１５の内部に空気を供給することによって、圧力タンク１５から蛍光体含有液を押し出してスプレーノズル１２に供給する一方、スプレー非噴射時には、上記空気の供給によって圧力タンク１５から蛍光体含有液を押し出し、スプレーノズル１２を介して貯蔵タンク１４に移動させる。 （もっと読む）

【課題】ホースやチューブ等の液送管手段と収容容器や加圧タンク等との接続部における空気の侵入を阻止した塗布装置を提供する。
【解決手段】開閉可能な蓋体２２ｂを備えた加圧タンク２２ａと、加圧タンク内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、該加圧タンク内に設置されたプラスチック容器１０と、該プラスチック容器の広口開口部１４に先端開口部が連通する液送管手段２０と、該液送管手段の後端開口部に接続された塗布ノズル手段と、を含み、プラスチック容器は、柔軟性を有するプラスチック容器本体１２と、広口開口部に取付けられた長尺状流路部材１８と、を有する塗布装置であって、プラスチック容器本体の広口開口部に該長尺状流路部材の上端取付け部２４を嵌着し、密封連通手段７０を介して、液送管手段を該上端取付け部の液吐出口に密封状態で連通した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、噴霧配管内に対する洗浄を行うための洗浄方法、及び、当該噴霧配管内に対する洗浄が自動的に行われるようにしたスプレー容器に関する新規な技術の提供を図ったものである。
【解決手段】
円筒圧力容器１内に、気密用オーリング2ａを設けたピストン体２を摺動自在に収装し、当該円筒圧力容器１内にしてピストン体２で仕切られたノズル側部分を噴霧用流体充填用部分とし、また、その反対側部分はピストン体２をスプレーノズル方向に摺動させるための圧縮性流体充填用部分とし、当該ピストン体２が円筒圧力容器１内の終端部に移動した際に、当該ピストン体２の周面部による気密性を解除させるように構成したスプレー容器。 （もっと読む）

【課題】 熱式の流量計を使用して塗布液の流量を正確に測定することにより、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 各々流量計を備えたマスフローコントローラ８２、８４は、透光性を有する樹脂製のフィルムから構成される気室７２内に収納されている。この気室７２は、その前面に扉を有する筐体部７１内に収納されている。この筐体部７１の上部には、その内部にファンを備えた気体噴出部７６が配設されている。この気体噴出部７６には、温度制御部７７により温度制御された加圧空気等の気体が供給管７８を介して供給される。これにより、気体噴出部７６から筐体部７１内の気室７２に向けて、温度制御された気体によるダウンフローが供給される。気室７２における供給口とマスフローコントローラ８２、８４との間には、板状部材７５が配設されている。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板へ高精細なパターンでシール材を高精度に塗布できるようにする。
【解決手段】ペースト塗布ヘッドでは、大容量の親ペースト収納筒２３と小容量の子ペースト収納筒２４とが設けられており、この親ペースト収納筒２３には、多量のペーストが収納されている。子ペースト収納筒２４では、ガラス基板へのペーストパターンの描画時、そこに収納されているペーストがノズル２２から吐出される。子ペースト収納筒２４内でのペーストの収納量が少なくなると、仕切り弁３０が開放されて親ペースト収納筒２３と子ペースト収納筒２４とがペースト終点流路２７を介して連通し、親ペースト収納筒２３内のペーストが子ペースト収納筒２４に補充される。 （もっと読む）

【課題】液送管手段と収容容器や加圧タンク等との接続部における空気の侵入を完全に阻止可能とした塗布装置を提供する。
【解決手段】加圧タンクと、前記加圧タンク内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、該加圧タンク内に設置されたプラスチック容器と、該プラスチック容器の開口部に一端が連通する液送管手段と、該液送管手段の他端に接続された塗布ノズル手段と、を含み、前記プラスチック容器は、広口開口部を開穿するとともに内部に粘性液体が充填されかつ加圧によって押し潰されて前記粘性液体が前記開口部から加圧吐出されるように形成された柔軟性を有するプラスチック容器本体と、前記プラスチック容器本体の内部に延出するように前記開口部に取付けられかつ前記粘性液体が加圧吐出される際に当該粘性液体の吐出流路を形成する長尺状流路部材と、密封挿着手段とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】プラスチック容器本体が押し潰される際に粘性液体の流路が閉塞されるという不都合を皆無とし、チューブ部材を繰り返し使用する際にチューブ部材に付着した粘性部材が飛散して周囲の汚れの原因となることを解消することができるプラスチック容器を提供する。
【解決手段】開口部を開穿するとともに内部に粘性液体が充填されかつ加圧によって押し潰されて前記粘性液体が前記開口部から加圧吐出されるように形成された柔軟性を有するプラスチック容器本体と、前記プラスチック容器本体の内部に延出するように前記開口部に取付けられかつ前記粘性液体が加圧吐出される際に当該粘性液体の吐出流路として少なくとも側面からの吐出流路を形成する長尺状流路部材と、を有し、前記プラスチック容器本体が加圧によって押し潰された後には、当該押し潰されたプラスチック容器本体と前記長尺状流路部材が共に廃棄可能であるようにした。 （もっと読む）

【課題】水頭圧を安定させ、吐出されるインク量の変化を抑制し、優れた印刷品質を得ることが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド９と、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記機能液を貯留する貯留部２０と、前記液滴吐出ヘッドと前記貯留部とを同時に走査方向に移動させる移動手段１５と、前記移動手段の動作を制御する制御装置を備え、前記制御装置は、前記液滴吐出ヘッドと前記貯留部とを移動させる前に、前記液滴吐出ヘッドと前記貯留部の移動に伴って前記貯留部内の前記機能液に付与される圧力変化を抑制する圧力変化を前記貯留部内の前記機能液に付与させる。 （もっと読む）

【課題】活性エネルギー硬化型インクで含有成分の沈降を抑制し、活性エネルギー硬化型インクを送液させることができる、インクジェット記録装置及びインクジェット記録方法を提供することを目的とする。
【解決手段】インク供給流路７０２によって、インクタンク６０から記録ヘッド２０に活性エネルギー硬化型インクが供給される。第一インク循環流路７０４は、インク供給流路７０２の第一位置でインク供給流路７０２から分岐し、活性エネルギー硬化型インクをインクタンク６０に流入させる。第一切替部７２は、第一位置に設けられ、活性エネルギー硬化型インクが、第一インク循環流路７０４を流れる第一循環状態とするか、第一位置を通過しインク供給流路７０２を記録ヘッド２０の側に流れるインク供給状態とするかを切り替える。加熱部２１は、第一切替部７２がインク供給状態である場合に、記録ヘッド２０の側に流れた活性エネルギー硬化型インクを加熱する。 （もっと読む）

【課題】シリンジ内の液体容量によらず、立ち上がり時間にばらつきが生じるのを防止して設定量の液体を正確に塗布できる流体供給装置を提供する。
【解決手段】液体Ｌが封入されて、液体Ｌの吐出口５１が設けられたシリンジ１を備え、シリンジ内に空気圧回路２を介して流体を供給することにより液体Ｌを吐出口５１から押出す液体供給装置である。空気圧回路２は、常時シリンジ内に流体を供給する主供給系統５と、主供給系統５と同一圧力の流体を供給し、流体の供給開始からシリンジ内が液体Ｌを押し出す設定圧に達するまでの流体圧の立ち上がり時間を短縮するための副供給系統６とを備えるとともに、シリンジ内に流体圧の立ち上がり状態を検出する検出手段３と、シリンジ内の流体圧の立ち上がり状態に基づいて、主供給系統５からの流体供給と、主供給系統５及び副供給系統６の両方からの流体供給との切換を行う切換手段４とを備えた。 （もっと読む）