【課題】異物が付着していない状態での基板の上面の全面に対する光学センサの受光量の変化に基づいて異物の有無を判別する際の閾値情報を作成し、基板に起伏を生じている場合でも基板上における異物の有無を正確に検出できるようにする。
【解決手段】この発明は、定盤１、塗布ヘッド３、センサ４，５及び制御部８を備えている。制御部８は、塗布ヘッド３が処理液を吐出していない状態で移動方向Ｙ１に沿って移動する間におけるセンサ４，５の検出信号を時系列的に記憶し、この記憶内容に基づいて移動方向Ｙ１に沿って連続した検出データの閾値データを作成する。制御部８は、塗布ヘッド３が処理液を吐出している状態で同じ基板１００の上面の全面に対して移動する間に、検出データと閾値データとを比較した結果に基づいて基板１００の上面における異物の有無を判別し、この判別結果に基づいて塗布ヘッド３の移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズルの先端部において固形物やゲルの発生ならびに微粒子の凝集による沈降やノズル内の固着を防止できる塗布ヘッド、および被塗布基材上の塗布膜に塗布ムラやスジの不良現象発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】溶液を吐出するノズルを有する塗布ヘッドにおいて、電圧を印加した金属線または金属プレートをノズルの内側に配置し、ノズルには逆電位の電圧を印加することでノズル内における材料の沈降と固着を抑制できる。その結果、被塗布基材上の塗布膜に塗布ムラやスジの不良現象が発生しない塗布装置の実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】横断流供給マニホールドと、横断流計量すき間をもたらす流れ計量部と、出口オリフィスを含む出口チャネルとを含む流路を備えるスロットダイを提供する。
【解決手段】スロットダイの第１の状態にあるとき、前記第２のダイ本体および前記第３のダイ本体が調節不可能であるが、前記スロットダイの第２の状態にあるときは、前記第２のダイ本体および前記第３のダイ本体が、位置調節可能であって、それぞれＸ‐Ｙ‐Ｚ座標系のＺ軸を定める移動軸を有しており、前記流れ計量部の前記横断流計量すき間が、少なくとも１つの位置調節可能なダイ本体を前記Ｚ軸に沿って移動させることによって、出口オリフィスのすき間の変化とは別個独立に調節可能であるスロットダイ。横断流計量すき間を、１つ以上の常時は調節不可能なダイ本体を使用して、出口オリフィスのすき間または幅の変化と別個独立に選択することができる。 （もっと読む）

【課題】微粒子と親水性バインダーを含有する塗布液を塗工し、低コストで高品質の塗工層を形成することが可能な塗工システムを提供する。
【解決手段】塗布液を貯蔵する供給タンクＴ１と、塗布液を支持体上に塗布するコーターヘッドＨと、供給タンクＴ１から前記コーターヘッドＨへ塗布液を供給する供給経路のコーターヘッドＨの直前に設けられたスタティックミキサーＭと、その上流側に設けられた脱泡部Ｄを備え、脱泡部Ｄは、流入した塗布液を旋回させて、気泡含有量が減少した塗布液と気泡含有量が増加した塗布液に分離して排出する旋回式脱泡器を有することを特徴とする塗工システム。 （もっと読む）

【課題】比較的小さい穴を通って供給室へ、そして／または供給室からノズルスリットへのコーティング材の供給を、コーティング材の特性に応じてコントロールできるような解決法を提供する。
【解決手段】アプリケーターバー１には、コーティング装置の長手方向（Ｗ）に延びる供給室１２が設けられて、コーティング材は供給部材によって供給室に導かれる。このカーテンコーティング装置は、上記供給室と流れの上で結合されているノズルスリット３０を備え、コーティング材は供給室からノズルスリットに、次いでノズルスリットの流出開口３１の外に導かれる。別個に設けられた交換可能な部品に、供給室に入るコーティング材のための供給ブロック５０の供給開口、および／または供給室とノズルスリットとの間に形成された供給穴が形成されている。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルから吐出される処理液の状態を正確に測定する。
【解決手段】スリットノズル４１の二次側に設けられたエア抜き用の配管４２を設ける。配管４２とスリットノズル４１の一次側に設けられた配管６３とを直接連通させず独立させるとともに、配管４２を直接スリットノズル４１内の流路４１０と連通させる。配管４２に圧力センサ４３を設置し、測定値を制御部８に伝達する。ポンプ６１からスリットノズル４１にレジスト液を供給し、そのときの配管４２内の圧力を圧力センサ４３によって測定する。 （もっと読む）

【課題】第１液溜め室を容易に洗浄することができるリップコータ型塗工装置を提供する。
【解決手段】ウエブＦが前後方向に走行するバックアップロール１２の下方にドクターエッジ１８を有するノズルヘッド１４を配し、ノズルヘッド１４がヘッド本体１６とタンク部２２とより構成され、タンク部２２はタンク本体１００と板状の蓋体１０２とより構成され、蓋体１０２を取り外すことによりタンク本体１００の第１液溜め室２６を洗浄可能にする。 （もっと読む）

【課題】高分子材料を有するペーストに対し、ポンプなどによりせん断力を受けると、ペーストが繊維化して粘土状となることで塗布が適正に行えなくなる。
【解決手段】ガラス転移点以下で使用すると高分子材料が繊維化しにくいという特長を生かし、ポンプ２２及び上流側の配管２６の一部を、冷却装置１２８で覆い、この冷却装置１２８での熱交換により、ポンプ２２を通過するペーストＰＡの温度を撥水性物質のガラス転移点以下の温度となるよう保持しつつ、塗布装置２４からペーストＰＡを塗布する。 （もっと読む）

【課題】 移動可能なスロットダイの振動を効果的に抑制することができる塗布装置および塗布方法と、そのような塗布装置や塗布方法によって得られる塗布膜を含む光学フィルムの製造方法とを提供する。
【課題を解決するための手段】
ダイコータ１８を支持するダイ支持部９８、移動テーブル１００、ストッパー受け部１２２と、回転に応じて支持台を移動させるボールネジ１２３と、移動テーブル１００の位置を検出するテーブル位置検出装置１２５と、テーブル位置検出装置１２５の検出結果に基づいて、ボールネジ１２３の回転を制御するサーボモータ１２４と、ストッパー受け部１２２との接触によって支持台の移動を制限する複数のストッパー１１０、１１２と、を備える。所定の塗布位置に配置されたダイコータ１８から塗布液を吐出させ、塗布する際に、ストッパー１１０、１１２にストッパー受け部１２２が押し当てられる。 （もっと読む）

【課題】押し出し型塗布コーターを使用して塗布を行う時、塗布開始時の帯状支持体への液付きを改良した押し出し型塗布コーターと、押し出し型塗布コーターを使用して生産された光学フィルム及び塗布物の生産方法と、塗布物の生産方法による光学フィルムの提供。
【解決手段】連続搬送される帯状の支持体上に押し出し塗布方式により塗布液を塗布する押し出し型塗布コーターであり、前記押し出し型塗布コーターの塗布液吐出部に、支持体搬送方向下流側から溶剤を流下させるための溶剤流下機構を有し、前記溶剤が流下する部分が樹脂部材で被覆されていることを特徴とする押し出し型塗布コーター。 （もっと読む）

【課題】 減圧チャンバーにおけるサクション変動（減圧変動）を低減させる塗布装置および塗布方法と、そのような塗布装置や塗布方法によって得られる塗布膜を含む光学フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】 エアー配管２８を介して減圧チャンバー２６にブロア３０が接続され、減圧チャンバー２６とブロア３０との間のエアー配管２８には、オリフィス３２およびバッファ装置３３が順次設けられている。オリフィス３２は、エアー配管２８内の通気可能な断面積を４分の１以下に局所的に絞る。バッファ装置３３は、バッファタンク３４と、バッファタンク３４に給気するエアー吸引口３５とを有する。 （もっと読む）

【課題】塗布停止時におけるスリット内の塗布液の乾燥防止や目詰まり防止をメンテナンスフリーで実現するスリットコータの提供。
【解決手段】ノズルを構成する対となったリップ部１２，１３相互間にスリット１５を介在させてなるスリットコータ１１と、塗布液Ｌを貯留する貯液タンク２１と、該貯液タンク２１からスリット１５内へと塗布液Ｌを送る送液管３１との間に形成される液流路系Ｆに対し、スリットコータ１１が塗布停止中に振動を与える振動付与手段４１を配設して、液流路系Ｆ中の塗布液Ｌにおける大気との接触面Ｌ_１の乾燥を自動阻止自在とした。また、スリットコータ１１と、塗布停止時にスリット１５における液吐出口１６を閉止すべく真空吸引自在に配設される蓋体と、該蓋体の内側面と液吐出口１６との間に配設されて施蓋時に液吐出口１６に接触する吸湿清拭材とを少なくとも具備させてスリット１５の目詰まりを自動阻止自在とした。 （もっと読む）

【課題】塗布剤を塗布ノズル内で略均一に分布させることで、塗布厚さを均一にして材料の使用量を適正化できる塗布方法およびそれに用いる塗布ノズルを提供する。
【解決手段】塗布剤供給源２０から供給された塗布剤６０を塗布ノズル４０内で略均一に分布させる工程を備えた塗布剤の塗布方法。この塗布方法に用いる塗布ノズルが、塗布剤供給源２０から塗布剤６０が供給される供給部４１と、供給部４１と連通して流入した塗布剤６０が貯留される平板状の空隙の塗布剤貯留部４３と、この先端に設けられ、スリット状の吐出口４５１を有する塗布剤吐出部４５とを備えた塗布ノズルであって、供給部４１は、塗布剤貯留部４３の、塗布剤吐出部４５と対向する端部に設けられるとともに、塗布剤貯留部の厚さを供給部の口径と略同一および／またはそれ以上、かつ、塗布剤吐出部の厚さを塗布剤の塗布厚さと略同一とした。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理において、パーティクルの発生を防止し、洗浄液の使用量を大幅に低減すること。
【解決手段】 ハウジング１９０内には、プライミングローラ１８８の上端から下端まで正の回転方向（時計回り）に沿って向う途中にミスト遮蔽板２０２および洗浄部２０４が設けられている。さらに、プライミングローラ１８８からみてミスト遮蔽板２０２および洗浄部２０４とは反対側に、ミスト引き込み部２２２および乾燥部２２４が設けられている。ミスト引き込み部２２２および乾燥部２２４は、吸引口２２６、バキューム通路２３６およびバキューム管２３８を介してバキューム機構２４０に通じている。 （もっと読む）

【課題】均一な品質のコーティング層を形成することができる表示装置製造用スリットコーターを提供する。
【解決手段】表示装置製造用スリットコーターは、コーティング液供給部と、コーティング液供給部からのコーティング液が注入される注入部とコーティング液を処理対象の基板上にコーティングさせる細長型のスリット部とを含み、注入部とスリット部との間にスリット部の長さ１ｍｍ当り０．１３ｃｃ〜０．５ｃｃの体積を有するキャビティが形成されているスリットノズルとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シール剤を高速度で塗布を行う場合であっても、コーナ部における塗布形状を一定に保ち塗布品質を維持すること。
【解決手段】ガラス基板Ｗを支持するステージ３３と、ステージ３３に対向配置され、シール剤Ｓを吐出するディスペンサ５０と、ＸＹステージ３０とディスペンサ５０とを被塗布面に沿って相対的に移動させるＸＹステージ３０と、ディスペンサ５０に少なくとも２種類の圧力でシール剤Ｓを供給するシール剤供給部６０と、ディスペンサ５０に供給されるシール剤Ｓの圧力に基づいてＸＹステージ３０による相対移動の速度を制御する制御部１００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗液であっても、スループットを低下させることなく、ダイヘッドに塗液を供給可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】３０℃における粘度が１．０〜２．０Ｐａ・ｓである塗液を定量ポンプによりタンクから配管を通してダイヘッドに供給し、そのダイヘッドに対し相対移動する基材にダイヘッドのスリット先端から塗液を１〜５Ｌ／ｍの流量で吐出して塗膜を形成する塗布装置である。ダイヘッドの上流側には塗液を濾過するフィルターを有しており、ダイヘッド入口における塗液圧力が１ＭＰａ以下となるように、配管の内径及び長さを、それぞれ２０〜２５ｍｍと４．０〜６．０ｍに設定した。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理のためにノズルの吐出口とプライミングローラの頂部とが所定の位置関係で正しく対向する最適なプライミング位置を容易に決定できるようにする。
【解決手段】プライミングの位置合わせを行うときは、ノズル昇降機構およびノズル水平移動機構によりレジストノズル７８をプライミングローラ１８８の上でノズル長手方向と直交する水平方向（Ｘ方向）に移動させる。その際、レジストノズル７８に一体的に取付されている光学式距離センサ１６２を働かせて、レジストノズル７８の移動する各位置でプライミングローラ１８８の外周面との距離間隔を測定し、移動中で最も短い測定距離ｄを求める。そして、この最小距離測定値ｄが得られる位置に基づいてプライミング位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】 異物の大きさに応じてスリットノズルの停止と異物の除去を振り分けることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】 リニアモータを駆動して門型移動機構３を図中右方向に移動させつつスリットノズル１４下端の吐出口からガラス基板Ｗ表面に塗布液を塗布する際に、走行方向前方にセンサ１７が感知し得る径寸法の異物Ｇ１が基板Ｗ上に付着していると、センサ１７はそれを感知した時点でリニアモータに停止信号を出力し、門型移動機構３の走行を直ちに停止する。一方、走行方向前方にセンサ１７が感知し得ない径寸法の異物Ｇ２が基板Ｗ上に付着している場合には、リニアモータには停止信号が出力されないので、門型移動機構３はそのまま走行する。そして、異物Ｇ２はプロテクター１５によって排除される。また、異物Ｇ２の寸法が極めて小さい場合にはプロテクター１５によって排除できないが、この場合にはスリットノズル１４を傷つけるおそれもない。 （もっと読む）

【課題】回転軸等の外周面に形成したねじ部等の凹凸部に潤滑剤を迅速・容易に、かつ、異物が混入するのを防いだ状態で均一に塗布すること。
【解決手段】被塗布部材を挿入可能な長さ寸法及び径寸法で形成した横長な中空円筒状の塗布筒と、前記被塗布部材よりも大きな径寸法の挿通孔を有し、前記塗布筒の一方端側に着脱可能に取付けられる口蓋と、前記被塗布部材とほぼ同一径寸法の貫通孔を有し、前記塗布筒の一方端側の開口端部と前記口蓋との間に挟持・配設される弾力性及び柔軟性に優れた薄膜状部材と、前記塗布筒の他方端側に着脱可能に取付けられ、該塗布筒の他方端側の開口部を開閉可能に閉鎖する底蓋と、前記塗布筒の一方端側と近接する位置にその吐出口を塗布筒内に臨ませた状態で固定され、前記塗布筒内に挿入した被塗布部材の外周面に向けて潤滑剤を吐出する塗布ノズルと、前記塗布ノズルへ潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを備えて潤滑剤の塗布装置を構成したことを特徴とする。 （もっと読む）