【課題】気泡を含む液体が基板などの対象物に供給されることを抑制または防止できるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４に供給される液体が流通する液体流路５５が形成された供給部４３と、液体流路５５を上流側と下流側とに仕切っており、上流側と下流側とを接続する複数の第１接続路６４が形成された第１拡散板４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】塗工液の吐出口に対応する上下ダイ間の隙間を調整することが可能な塗工ダイヘッドに関して、該隙間の調整量を安定化させ、被塗工物の横幅方向における塗膜厚のさらなる均一化を図る。
【解決手段】本願発明の塗工ダイヘッド２６は、下面を有する上ダイ２と、塗工液を吐出するための隙間９を形成するように該下面に対向する上面を有する下ダイ１とを備える。さらに、上ダイ２の下面から該下面とは反対側の面までのダイ部分が上リップ４として、上ダイ２から分離されている。上リップ４の下面を下ダイ１の上面に対して平行移動して隙間９の間隔を調整する調整機構の部品として、楔５、天板３および調整ねじ７が設けられている。さらにダイヘッド２６は、上リップ４を固定することが可能な固定機構の一部品として固定ねじ６を有する。 （もっと読む）

【課題】塗工品質の向上を図りつつ、塗工スピードの高速化によって生産性の向上を図った塗工装置を提供する。
【解決手段】塗工ヘッド３からスラリ状の活物質を吐出して、基材である集電体上に間歇的に塗布する装置である。塗工ヘッド３は、ヘッド本体３ａに開口形成されたスリット状の吐出口１６と、ヘッド本体３ａのうち吐出口１６の奥部側に形成された弁室１７と、この弁室１７に回転可能に収容配置されたカムシャフト２０とを備えている。カムシャフト２０の一回転につき一回の割合で、そのカムロブ２２にて吐出口１６を直接的に閉じるようになっている。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

【課題】塗工開始運転時における塗工部分が波打ちやかすれなどが生じない安定した状態で形成できる塗工装置を提供する。
【解決手段】制御部３４は、塗工開始運転を行う場合、ウエブＷを走行させ、給液バルブ３２を閉状態にし、ポンプ２８の運転を開始し、圧力計３７が検出した検出圧力が、設定圧力より高くなると給液バルブ３２を開状態にする。 （もっと読む）

【課題】ウエブの継ぎ目における、塗工の終了と開始を、迅速に行うことができる塗工装置を提供する。
【解決手段】ウエブＷに塗工液を塗工するダイ１２と塗工液を供給するポンプ２８とダイ１２の塗工液入口２４とポンプ２８との間に接続された供給配管３０を有し、塗工液入口２４又は、供給配管３０の途中であって、塗工液入口２４の近傍に給液バルブ３２を設け、塗工液を供給するポンプ２８の運転の開始と同期して給液バルブ３２を開状態に制御し、ポンプ２８の運転終了と同期して給液バルブ３２の閉状態に制御する。 （もっと読む）

【課題】開閉動作が迅速で、かつ、正確に行うことができるバルブ及びそれを用いた塗工装置を提供する。
【解決手段】バルブ１０の第１の出口１６からダイ１０４に塗工液を供給し、バルブ１０の第２の出口１８から塗工液のタンク１１０に塗工液を循環させ、バルブ１０の第１の出口１６の第１の弁体２６を第１のボイスコイルモータ３０によって開閉し、第２の出口１８の第２の弁体２８第２のボイスコイルモータ３２によって開閉することにより、走行するウエブＷに間欠塗工を行う。 （もっと読む）

【課題】マイクロカプセルのカプセル強度や大きさによらず、塗布液中のマイクロカプセルの凝集、沈降を防止または抑制することができ、マイクロカプセルの均一度が高い表示層を形成することのできる塗布装置および表示シートの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２の表面に、正または負に帯電した粒子を移動可能に収容した複数のマイクロカプセル４０を分散させた塗布液１００を塗布する塗布装置８であって、塗布液１００を基板１２に向けて送出する送出部（ダイコーター）８１と、送出部８１に形成され、塗布液１００が流通する流路８１３と、流路８１３に交番電界を作用させる交番電界発生手段８２とを有する。 （もっと読む）

【課題】両面間欠塗布において、塗工区間と無塗工区間との、ウェブの両面における位置合わせの精度や、塗工区間の膜厚の精度を向上させることが可能であり、さらに、工程ロスが少ない両面間欠塗布装置を提供する。
【解決手段】ウェブ２の片面に薬液を塗布する薬液塗布装置１０の上流側に配置されたパターン位置検出機構１４が検出した、ウェブ２の一方の面に形成した塗工区間４と無塗工区間６との位置に応じて、ウェブ２の他方の面に形成される塗工区間４と無塗工区間６が、ウェブ２の一方の面に形成した塗工区間４と無塗工区間６と、ウェブ２の搬送方向から見て同じ位置に形成されるように、薬液塗布装置１０をウェブ２の搬送方向に対して垂直な幅方向に移動可能な薬液塗布装置可動機構１２を介して薬液塗布装置１０の位置と塗布のタイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】塗料の物性の経時変化で塗工膜の膜厚が不均一になる事態が生じても迅速に対処することが可能な塗工システムを提供すること。
【解決手段】塗料を貯蔵可能なタンク２と、タンク２から供給された塗料を塗工対象物に吐出する塗工ヘッド１と、タンク２と塗工ヘッド１との間に位置し、塗料の吐出時にタンク２から塗工ヘッド１に流れる塗料の流量を調整可能な流量調整部４と、一端が流量調整部４に連通し、他端が塗工ヘッド１に連通し、タンク２から流量調整部４を通じて流入した塗料が塗工ヘッド１に向かって流れる流路５と、塗料の吐出で塗工対象物に形成される塗工膜の膜厚、流量、または流量に換算可能な塗料の物性のいずれかを計測する計測部１５と、流量調整部４と計測部１５の各々に接続され、計測部１５の計測値が許容範囲外である場合に流量調整部４に流量を調整させる制御部１４と、を有し、計測部１５は、流路５を除く位置に設置されている。 （もっと読む）

【課題】供給バルブを開いた直後にスロットダイから設定以上の多量の塗布液が吐出されるのを防止する。
【解決手段】スロットダイ１０のマニホールド１３に、マニホールドに向かって塗布液が流れる供給ライン２２と、マニホールドから塗布液が流出する排出ライン３１とが接続されている。供給ラインにはスロットダイに対する塗布液の供給／停止を切り替える供給バルブ２５が設けられている。排出ラインには排出バルブ３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スロットダイのスロットからの塗布液の吐出の開始／停止を切り替えるバルブを操作した時点からスロットダイのスロットから塗布液が吐出される時点までの期間を短くする。
【解決手段】スロットダイ１０のマニホールド１３に、塗布液が流入する供給ライン２２と、塗布液が流出する排出ライン３１とが接続されている。供給ラインにはスロットダイに対する塗布液の供給／停止を切り替える供給バルブ２５が設けられている。排出ラインには排出バルブ３２が設けられている。スロットの塗布液が吐出される開口１４ａがマニホールドよりも高くなるようにスロットダイは配置される。排出ラインのうち最も高い位置に配された部分３１ａは、マニホールドの排出ラインとの接続部１３ａよりも高く、且つ、スロットの開口と同じかこれより低い位置に配されている。 （もっと読む）

【課題】基板の端面及び端面に隣接する基板の面に液体を吐出するためのスロット部が形成された塗工ノズルを提供する。
【解決手段】液体供給弁から供給される液体を受け入れる入口開口と、液体を吐出する出口開口とを有するノズル本体１１と、ノズル本体に隣接して配置され、出口開口から吐出される液体を分配する溝穴を有する分配板１２と、分配板に隣接して配置され、分配板の溝穴と連通する切り取り部が設けられたシム板１３と、シム板に隣接して配置され、シム板の切り取り部を覆う遮蔽板１４とを有する塗工ノズル１０において、基板の端面及び端面に隣接する基板の面に液体を吐出するためのスロット部は、分配板と遮蔽板との間でシム板の切り取り部により形成されている。 （もっと読む）

【課題】被塗布基材の一定長さ（例えば製品１枚分の長さ）あたりの液体の間欠塗布回数を増加させた場合に発生し易い液体塗布不良を確実に検知することができる液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】搬送中の被塗布基材２の一定の送り長さ間隔で周期信号を発生する信号発生手段３と、圧縮流体の流路を開閉する電磁弁４と、電磁弁４からの圧縮流体により弁体を移動させて被塗布基材２に塗布される液体を放出又は不放出状態に切り換える液体塗布部５と、圧縮流体が電磁弁４から液体塗布部５へ向かう途中の流路の内圧を測定し、予め定めた閾値以上の圧力が検知された場合にオン信号を出力する圧力センサ６と、該信号を受信し分析するシーケンサ７とを備える液体間欠塗布装置１であり、周期信号間の圧力センサからのオン信号の送信時間の和に基づいて電磁弁４の動作チェックが行われる。 （もっと読む）

【課題】装置構造が簡単で且つ調整に多くの時間を必要としないようにする。
【解決手段】ケーシング１６、弁装置１７及び体積調整装置２８を備えてダイＤへ塗工液供給を断続的に行なうものである。弁装置１７は、ケーシング１６の分岐空間１６ａとダイ側空間１６ｂの境界に設けられた弁座１９と、ダイ側空間内に位置して弁座１９から離座する開弁端位置Ａから分岐空間へ向かう移動の途中で弁座１９に液漏れなく内嵌して閉弁状態のまま移動して至る閉弁端位置Ｂまでの間を進退自在に設けられた弁体２０と、弁体２０を開弁端位置Ａから閉弁端位置Ｂまでの間で開弁端位置Ａへ向かって前進又は閉弁端位置Ｂへ向かって後退させる弁体用操作装置２１とを備え、弁体２０が閉弁状態のまま閉弁端位置Ａから押出用前進できると共に閉弁端位置Ｂまで吸引用後退できるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】液体が放出状態又は不放出状態に切り換わったことを簡便に確認でき、液体の間欠塗布を安定して精度良く行うことのできる液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】液体塗布装置１は、圧縮エアの流路を開閉する電磁弁４と、電磁弁４からの圧縮エアにより弁体を移動させて搬送中の被塗布基材２に塗布される液体を放出状態又は不放出状態に切り換える液体塗布部５と、圧縮流体が電磁弁４から液体塗布部５へ向かう途中の流路の内圧を測定する圧力センサ６と、圧力センサ６からのオン信号を受信し該オン信号を分析するシーケンサ７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】吐出口近傍にパターン形成材料が付着することを抑制し、基板上に所定の断面形状を有するパターンを形成する。
【解決手段】パターン形成装置は、パターン形成材料を吐出するノズル、パターン形成材料を貯溜するサブタンク５５１、サブタンク５５１に接続される圧縮空気用の配管５６および真空用の配管５７、並びに、配管５７上に設けられた負圧タンク５７２を備える。パターン形成材料の吐出を停止する際には、バルブ５５４を閉じてサブタンク５５１と配管５６との接続を遮断した直後に、バルブ５５５を一時的に開いてサブタンク５５１と負圧タンク５７２とを短時間だけ接続する。これにより、速やかにサブタンク５５１内を負圧にしてパターン形成材料の吐出を停止することができる。その結果、吐出口にパターン形成材料が付着して次の吐出時に吐出が不安定になることが防止され、所望の断面形状のパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】一つのダイヘッドにて幅広い塗布液物性・塗布条件においても、精密な膜厚精度を確保しうるダイコーティング装置を提供する。
【解決手段】ダイヘッド１１に形成しているマニホールド１７の一端にマニホールド入口を、他端にマニホールド出口を形成し、マニホールド入口には塗布液を供給するポンプ２２を、マニホールド出口には排出される塗布液の流量を調整する流量調整バルブ２３を連結しておき、マニホールド１７内に、スリットから吐出する塗布液量よりも大量の塗布液を供給し、一部の塗布液をマニホールド出口から排出することでマニホールド内におけるマニホールド入口側とマニホールド出口側での圧力差を小さくして膜厚精度を高める構成とする。 （もっと読む）

【課題】ダイ内部におけるエアの残留を確実に防止するとともに、ダイからペーストが自然に流出することを防止する技術を提供する。
【解決手段】ペーストの供給口６と、該供給口６のペーストの流れ方向における下流側に連通するマニホールド５と、該マニホールド５の下流側に連通し、下流側端が開放されたスリット３と、該スリット３の開放端に形成される吐出口４とを備えたペースト塗工用のダイ１であって、マニホールド５とダイ１の外部とを連通するエア抜き孔７を形成し、かつ、マニホールド５と吐出口４の間にペーストの流出を防止するストッパ８を設ける構成とする。 （もっと読む）