【課題】カートリッジの交換が容易で、使い勝手が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】タンク6，7を有するカートリッジ部3と、塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部4と、タンク6の塗布液をヘッド部4に供給して、ヘッド部4を通過した塗布液をタンク7に戻す塗布液供給循環部2と、塗布液供給循環部2を介して洗浄液をヘッド部4に供給する洗浄液供給部29と、塗布液供給循環部2の一部から廃液を排出する廃液排出部33と、洗浄液供給部2から供給する洗浄液で塗布液供給循環部2とヘッド部4を洗浄する際に洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、塗布液供給循環部2により塗布液を循環する際にタンク6，7内を減圧する圧力切替部を備え、カートリッジ部3が塗布液供給循環部2に交換可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を防止しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１７の駆動による液滴吐出に伴って、供給流路１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する真空パック形式のパック容器１１１と、パック容器１１１を密閉状態で収容する密閉容器１１５と、密閉容器１１５に連通し、密閉容器１１５内の圧力を調整する圧力調整手段１４２と、密閉容器１１５内の圧力を検出する圧力検出手段１１６と、圧力検出手段１１６の検出結果に基づいて、密閉容器１１５内の圧力が一定になるように圧力調整手段１４２を制御する制御手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を抑制しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】供給流路１０３を介して機能液滴吐出ヘッド７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する密閉型の貯留タンク１１１と、貯留タンク１１１内の機能液上に浮き、且つ浮いた状態で機能液を閉蓋する蓋体１１２と、貯留タンク１１１に連通し、貯留タンク１１１内の圧力を調整する圧力調整手段１０７と、貯留タンク１１１の圧力を検出する圧力検出手段１１３と、圧力検出手１１３段の検出結果に基づいて、貯留タンク１１１内の圧力が一定になるように圧力調整手段１０７を制御する制御手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液体収容袋を加圧する場合、液体収容袋内の液体残量が少なくなるほど大きな加圧力が得られるとともにそのために特別な制御や、複雑な機構を用いずに液体収容袋に適正な加圧力を加えることができる液体加圧方法、液体吐出装置、及び液体カートリッジを提供する。
【解決手段】
プリンタはインクカートリッジ部２５内にはインクパック４０を加圧する加圧板６２と、磁力による吸引により加圧板６２をインクパック４０を加圧する方向に作動させる磁力作用部材６３が設けられ、磁力作用部材６３を磁力により吸引作動させる吸引部材７０を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体が無駄なく使え、メインタンクの液体残量エンド時またはメインタンク交換時に液体供給路への空気進入を防止できる信頼性の高い液体噴射装置の提供を目的とする。
【解決手段】液体噴射装置において、液体を貯留する可撓性袋を有するメインタンクと、前記メインタンクと前記液体噴射ヘッドの間に設けられて液体を貯留する可撓性袋を有する中間タンクと、前記メインタンクから前記中間タンクへ液体を圧送するポンプと、前記メインタンクと前記ポンプの間の流路での圧力を検知する圧力検知手段と、前記圧力検知手段が負圧を検知したとき、前記ポンプの動作を停止し、前記ポンプの動作を停止後、前記ポンプの送液方向を逆転するように制御する制御部と、を有する （もっと読む）

【課題】ヘッド部での塗布液の漏れがなく、液滴の吐出状態が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク6、サブタンク7、ヘッド部4、メインタンク6の塗布液をヘッド部4に供給する塗布液供給管20、ヘッド部4から出た塗布液をサブタンク7に戻す塗布液回収管22、サブタンク7の塗布液をメインタンク6に送るタンク間移送管13、タンク間移送管13の途中に設けられたタンク間移送用ポンプ14、メインタンク内を減圧するメインタンク用減圧手段9，11、サブタンク内を減圧するサブタンク用減圧手段16，17を備え、タンク6，7がヘッド部4より高い位置に設置され、サブタンク7の内圧がメインタンク6の内圧よりも低く保たれていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 内袋に塗布液のみが封入されている場合であっても、塗布液供給缶のサイズに拘らず、精度よく塗布液供給缶が空になったことを検知する。
【解決手段】 圧力流体を供給することにより塗布液を吐出する塗布液供給缶（１０）と、塗布液供給缶（１０）と塗布液吐出装置（６）との間に設けられ、塗布液を一時的に貯留した後に塗布液吐出装置（６）に供給する塗布液一時貯留タンク（４１）と、塗布液供給缶（１０）と塗布液一時貯留タンク（４１）とを結合する配管（４３）と、塗布液供給缶（１０）と塗布液一時貯留タンク（４１）との間の配管（４３）に配置され、塗布液供給缶（１０）が空になったことを塗布液の状態により検知する空検知手段（４２）とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多種の液体を取り扱う場合でも、確実に液体から気泡を除去し得る液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、複数の流路（１４）が形成された基板（１０）と、基板（１０）の一面側に設けられ、各流路（１４）にそれぞれ連通する複数の圧力室（３４）を備え、圧力室（３４）に供給された液体を液滴として吐出する液滴吐出部（３０）と、基板（１０）の他面側に設けられ、各流路（１４）に連通可能な複数の収容空間（２４）を備える液体収容部（２０）と、を有し、流路と圧力室を同数備え、収容空間を流路の数の整数倍備えており、液体収容部は、流路に連通する収容空間を変更できるように、基板に対して相対的に変位可能に設けられている、液滴吐出ヘッド（１）を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】光ディスク基板表面に安定した量の色素材料を塗布することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る塗布装置１０は、所定の量の色素材料Ｌを貯蓄可能な加圧タンク１２と、加圧タンク１２内の色素材料Ｌを所定の圧力を有する空気で押し出し、吐出させる圧空レギュレータ１３と、加圧タンク１２内の色素材料Ｌの液面高さを検出する液面計１１と、加圧タンク１２に補充するための色素材料Ｌを貯蓄するストックタンク１７と、ストックタンク１７内の色素材料Ｌを加圧タンク１２に補充する送液ポンプ１８とを備え、液面計１１によって検出された加圧タンク１２内の色素材料Ｌの液面高さが所定の高さに満たないときに、送液ポンプ１８から加圧タンク１２に補充する色素材料Ｌの量を制御する制御部３１を備えている。 （もっと読む）

【課題】液体カートリッジの加圧動作と噴射ヘッドの吸引動作を同じポンプで行い、ポンプの稼働時間を短縮してポンプ寿命を確保するとともに廃液を加圧系にまわさない液体噴射装置を提供する。
【解決手段】記録紙に向かってインクを噴射する記録ヘッド３０と、記録ヘッド３０に供給するインクが封入されたインクパック２４が収容されたインクカートリッジ９と、上記記録ヘッド３０のノズル面をキャップするキャップ部材１１ａの内部空間を吸引するポンプ２７と、上記ポンプ２７をインクカートリッジ９内の加圧手段として機能させるようポンプ２７の排出側をインクカートリッジに接続する接続経路１３と、上記吸引動作によってポンプ２７から排出される廃液を廃液回収タンク２２に導入し、インクカートリッジ９を加圧するためにポンプ２７から排出される加圧空気を接続経路１３の下流側に向かって導入するための切換弁１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
気泡の少ない液状物質、特に所定の直径を超える気泡をほとんど含まない液状物質を被塗布部材に供給すること。
【解決手段】
液状物質に大気圧よりも高い正の圧力を与える加圧タンクと、前記液状物質を吐出するノズルを有するシリンジと、前記加圧タンクから前記シリンジに前記液状物質を通流させる流路を形成する流路部材とを備える液状物質供給装置であって、前記流路部材の途中に設けられて前記流路を開閉するバルブ部材と、前記シリンジと前記バルブ部材との間における前記流路部材の途中に位置して前記流路部材を流れる前記液状物質から気泡を除去する気泡除去用フィルタと、前記シリンジ内に大気圧よりも高い第１の圧力又はその第１の圧力よりも低い第２の圧力を選択的に与えて、前記ノズルによる前記液状物質の吐出を開始又は停止させる圧力付与機構とを備えることを特徴とする液状物質供給装置。
（もっと読む）

【課題】倒立状態での安定した保持を可能とする一方、高圧空気取入れ口やシール剤取出し口への異物進入や破損を防止でき、しかも各ホースの接続作業を容易とするとともに、送給ホースを便宜に収納する。
【解決手段】耐圧ボトル２、高圧空気取入れ口２０とシール剤取出し口２５とを設けた小塔部８を有するシール剤取出しユニット３、シール剤取出し口２５に取り付く送給ホース４と、シール剤取出しユニット３の先端に着脱自在に取り付く蓋台部材１０とを具える。前記小塔部８の周囲に、送給ホース４を巻付けて収納する収納空間Ｈを形成する。蓋台部材１０は、円盤状の基部３２の一方面に、該基部３２の周囲に沿って環状にのびる環状脚部３３を具える。蓋台部材１０を、環状脚部３３が耐圧ボトル２に向く内向きに取り付けることにより、前記環状脚部３３は、前記送給ホース４の巻戻りを抑える巻戻り防止手段３４をなす。 （もっと読む）

【課題】無用な液体の消費を伴うことなく好適な条件で、しかも時間効率よく回復動作を行うことができる液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】針部材３１ａ〜３１ｄの基部付近は、拡幅されたフィルタ室４４となっており、フィルタ室４４にはフィルタ部材４３が配設されている。また、フィルタ室４４と連通する連通路３２の内壁面に形成された凹部３５には、圧力センサ３６が配設されている。液体吐出装置は、予備吐出時における圧力センサ３６の検出値（水頭値）に基づいてフィルタ室４４内の気泡量を推量し、フィルタ室４４から気泡を排出するための回復動作の要否を判断する。 （もっと読む）

【課題】窒素などの不活性ガスの消費量を低減でき且つ気泡が完全に除去されたフォトレジストを安定して連続供給できるフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】可フォトレジスト供給装置は、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）で搬入されるフォトレジストを処理プロセスへポンプ（４）により連続供給するフォトレジスト供給装置であり、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）からポンプ（４）へ至る送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）…を複数系統備え、各送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）には、可搬式容器（１ａ）、（１ｂ）から取り出されたフォトレジストを一旦収容する中間容器（２ａ）、（２ｂ）が設けられる。中間容器（２ａ）、（２ｂ）は、分離した気体を排出可能な気液分離器として構成され、そして、複数系統の送液ライン（Ｌ１）、（Ｌ２）は、中間容器（２ａ）、（２ｂ）の液量に応じて切替使用する様に構成される。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】ポンプを使用せずに吐出液を循環させられる塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンダ５４の内部をピストン５１によって二分し、形成された第一、第二室５２Ｌ、５２Ｒを第一、第二の循環タンク３１Ｌ、３１Ｒにそれぞれ接続する。ピストン５１を移動させ、第一、第二室５２Ｌ、５２Ｒの容積比率を変え、第一、第二の循環タンク３１Ｌ、３１Ｒのいずれか一方を加圧、他方を減圧する。ピストン５１の移動により簡単に差圧を生成でき、その差圧によって、吐出液を移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】液体の残留振動を確実に検出し、液体の有無を高精度に検出することが可能な液体検出装置及びそれを備えた液体収容容器を提供する。
【解決手段】液体流入口１１Ａ及び液体流出口１１Ｂを備えた圧力センサ室３３Ｂと、振動板４３を有し、この振動板４３の圧力センサ室３３Ｂ側にキャビティ４１が形成された圧電センサ３４と、圧電センサ３４の振動板４３に取り付けられ圧力センサ室３３Ｂ内のインクに振動を印加するとともに自由振動の状態を検出する圧電素子４４と、圧電センサ３４を圧力センサ室３３Ｂ内の液量に応じて変位可能に支持し、圧電センサ３４とともに圧力センサ室３３Ｂの一部を形成する可撓性を有するダイヤフラム４８とから液体検出装置３０を構成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録装置を応用したプローブ・アレイ調製装置において、液体噴射ヘッドにプローブ溶液を充填する際の浪費を最小限に抑える。
【解決手段】液体を噴射する噴射ノズルと前記噴射ノズルに液体を供給するためのリザーバタンクとからなる液体噴射ヘッドにおいて、前記リザーバタンク内の圧力を減圧することによって前記噴射ノズルから前記リザーバタンクに吸引された液体が所定量に達すると吸引を停止する吸引制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】、ポンプ機構の可変容器を容易に交換する。
【解決手段】塗布装置は、基板に向けて流動性材料を吐出する３本のノズル、３本のノズルに流動性材料をそれぞれ送出する３つの吐出機構を備える。吐出機構は、ノズルに接続される可動配管および固定配管１８２、固定配管１８２の上流側に接続されて固定配管１８２に流動性材料を送出するポンプ機構１８５、並びに、ポンプ機構１８５を制御する圧力制御部である電空レギュレータ１８６を備える。ポンプ機構１８５は、流動性材料を貯溜する柔軟な可変容器１８５１、および、可変容器１８５１を内部に収容する耐圧容器１８５２を備える。可変容器１８５１は固定配管１８２に着脱可能に接続され、継続的に圧力を加えられることにより固定配管１８２に流動性材料を送出する。塗布装置では、可変容器１８５１を容易に交換することができるため、吐出機構および塗布装置のメンテナンスを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 気体と薬液が接触しない液送方式を容易に実現する薬液供給瓶及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 容器１０内には伸縮性袋１２が設けられている。伸縮性袋１２は、容器１０に設けられたガス導入口１３から与えられるガス圧力に応じて大きさが可変となっている。薬液導出口１４は、伸縮性袋１２の膨張途中で塞がらないような位置に設けられている。伸縮性袋１２は、薬液１１の薬液導出口１４への経路を確保しながら膨張する。薬液１１は、伸縮性袋１２の膨張により容器１０内の容積が小さくなる分、薬液導出口１４から外部に押し出されるようになる。密栓部材１５は、容器１０が図示しない所定の半導体製造装置にセットされ、その半導体製造装置における塗布部の配管端部に結合されるときに外される。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単で小型化が容易な液体移送装置及び液体移送ヘッドを提供すること。
【解決手段】インク移送ヘッド１は、各共通流路１４の流路形成面に配置されて、この共通流路１４内のインクに直接接触する共通電極１７と、各共通流路１４から分岐する複数の個別流路１５の流路形成面にそれぞれ配置された複数の個別電極２２と、これら複数の個別電極２２をそれぞれ覆うように配置され、個別流路１５内のインクと個別電極２２の間の電位差が所定の限界電位差以上になったときに、その表面における濡れ角が、その表面にインクが存在し得る限界濡れ角以下まで低下する絶縁層２５とを有する。さらに、各インク流路１２に設けられた複数の個別電極２２は、その他のインク流路１２に設けられた複数の個別電極２２とそれぞれ対応し、これら対応する個別電極２２同士が互いに導通している。 （もっと読む）