【課題】安定した膜厚でペーストを基板上に塗工可能な塗工装置の提供。
【解決手段】塗工装置１００に、塗工ダイ５１１にタンクダイ間経路１２１を介して接続された第１，第２の塗工タンク１１２，１１３と、第１，第２の塗工タンク１１２，１１３にタンク間経路１２２を介して接続された供給タンク１１４と、供給タンク１１４とペースト収容部１７０とを接続する供給収容部間経路１２３と、を設けている。このため、ペースト収容部１７０から新ペーストのみを供給タンク１１４に供給してロットを切り替えたとしても、第１，第２の塗工タンク１１２，１１３に新ペーストのみで構成されるペーストＰが供給されることがなく、新ペーストおよび旧ペーストで構成されるペーストＰを供給することができる。したがって、ロット切り替え前後でのペーストＰの急激な組成の変化を抑制でき、安定した膜厚でペーストを塗工できる。 （もっと読む）

【課題】、反応性の高い塗布液を用いた場合でも、当該塗布液を安定して供給しつつ、塗布液を長期的に使用する。
【解決手段】塗布液供給装置３０は、塗布液供給源４０と、塗布液供給源４０から供給された塗布液を塗布ノズル２０に圧送するポンプ７０とを有している。塗布液供給源４０には、塗布液供給源４０内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給源４２が接続され、塗布液供給源４０内は所定の圧力に加圧されている。塗布液供給源４０とポンプ７０との間には、塗布液を一旦貯留させるリキッドエンドタンク５０と塗布液中に溶存する窒素ガス等の気体を除去する脱気機構６０が設けられている。ポンプ７０は、配管７３を介して、塗布ノズル２０に接続されている。配管７３には、塗布液中の不純物を除去するフィルタ８０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、減圧下でインクジェットヘッドから基板上に材料溶液を吐出塗布して薄膜を形成する際に、膜厚の均一性を実現すると共に、吐出塗布の機能を損なうことなく各構成を簡潔に実装した薄膜形成装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、一定間隔で形成された複数のノズルから材料溶液を吐出して基板に塗布する複数のインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにノズル面と液面との水頭差を利用して材料溶液を供給する塗布溶液収納容器と、前記基板を載置し水平に移動させる基板搬送テーブルと、前記インクジェットヘッド及び塗布溶液収納容器及び基板搬送テーブルを収容する減圧手段を備えた減圧室とからなり、前記インクジェットヘッドに直接接続された前記塗布溶液収納容器を同じ減圧環境下に置くことを特徴とする薄膜形成装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部での塗布液の漏れがなく、液滴の吐出状態が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク６、サブタンク７、ヘッド部４、メインタンク６の塗布液をヘッド部４に供給する塗布液供給管２０、ヘッド部４から出た塗布液をサブタンク７に戻す塗布液回収管２２、サブタンク７の塗布液をメインタンク６に送るタンク間移送管１３、タンク間移送管１３の途中に設けられたタンク間移送用ポンプ１４、メインタンク内を減圧するメインタンク用減圧手段９、１１、サブタンク内を減圧するサブタンク用減圧手段１６、１７を備え、前記サブタンク内に外気を取り込むことができるように構成された大気導入口９７と、流量調節弁９８と、外気取込フィルタ９９が設けられ、外気取込弁１００によって開閉可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ペースト容器内のペーストの使用効率を向上させることができ且つペースト容器の交換を行う際に処理を停止させる必要がないダイコータを提供する。
【解決手段】本発明のダイコータは、内部にペーストを収容し且つペーストを排出するペースト排出口を上面に備える交換式のペースト容器と、前記ペースト排出口から排出されたペーストを溜めるバッファタンクと、前記バッファタンクから排出されたペーストをヘッドから基板上に吐出して塗布層を形成する塗布層形成部とを備え、前記ペースト容器は、前記ペースト排出口からペーストが自重により排出されるように前記上面を鉛直面よりも下方向に向けて配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スパイラルスプレーの塗布開始時のフックを防止する。
【解決手段】液体を基材に塗布する液体塗布装置（１）において、液体吐出孔（１５）と、液体吐出孔の周りに設けられ、液体吐出孔から吐出された液体のビードの外周囲に対しほぼ接するように加圧空気を噴射する複数の空気噴射孔（１７）と、液体吐出孔からの液体の吐出の開始及び停止をおこなう弁体（３１）と、複数の空気噴射孔から噴射される加圧空気の圧力を第一圧力と第一圧力より高い第二圧力との間で切り換える圧力切換装置（５０）と、液体の吐出停止中に第一圧力で加圧空気を噴射し、液体の吐出開始と同時に又は液体の吐出開始から所定時間遅れて第二圧力で加圧空気を噴射するように圧力切換装置を制御する制御装置（６３）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大気圧より低い圧力雰囲気において基板上に薄膜を塗布する際に、インクジェットヘッドの不具合の原因となるインク充填不良を解消することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、マニホールドに充填したインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドと、ノズルから滴り落ちたインクを受ける材料吸引ブロックと、インクジェットヘッドにインクを供給する材料タンクと、マニホールドから溢れたインクを再利用のために材料タンクに送り返す戻りタンクと、吸引ポンプで負圧状態にし材料吸引ブロック又は戻りタンクの廃インクを吸引するドレンタンクと、インクジェットヘッド、材料吸引ブロック、材料タンク、戻りタンク及びドレンタンクを内部に収容し、真空排気ポンプにより内部を減圧できる真空容器と、大気圧力中に設置され材料タンクにインクを補充する外部タンクとからなるインク充填装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】複数の気泡除去ユニットの交換を容易にできると共に、漏れた機能液を適切に処理することができること。
【解決手段】気泡除去装置１３５は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路１２６に介設され、機能液流路１２６を流れる機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去装置１３５であって、ケーシング３０１とケーシング３０１内の気体透過膜との間隙に減圧室３０４を構成すると共に気体透過膜の内側に機能液が流れる内部流路３０３を構成し、気体透過膜を介して機能液から減圧室３０４に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する複数の気泡除去ユニット３００と、減圧室３０４を開放した複数の気泡除去ユニット３００を収容すると共に、真空吸引源８９に連なる単一の減圧容器３２０と、複数の気泡除去ユニット３００の内部流路３０３を直列に接続する複数の接続流路３３１、３３２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】侵食性・腐食性の高い薬液であっても劣化することなく、薬液の定量吐出を行うことのできる薬液吐出装置を提供する。
【解決手段】薬液を貯留する薬液タンクと、該薬液タンク内に加圧空気を供給するエアポンプと、薬液タンク内に垂下すると共に下端に開閉弁を設けた吸液管と、薬液タンクから外部に引き出した吸液管の先端に、一端を連結すると共に他端に薬液吐出口を設けた送液管と、吸液管の昇降手段を備え、開閉弁は弁体をスプリングで付勢して吸液管の下端の弁座を閉鎖すると共に、該弁体から下方突出部を設けており、昇降手段で吸液管を下降させて開閉弁の弁体の下端突出部の端面を薬液タンクの底壁に当接させると開閉弁が開弁され、加圧空気で加圧された薬液が吸液管から送液管を通して薬液吐出口から薬液が吐出される一方、吸液管を上昇させると開閉弁が閉弁して薬液の送給を停止する構成としている。 （もっと読む）

【課題】
金型に供給する粉体塗布剤の排出量を安定させた粉体塗布剤供給装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
弾性体２１４に振動を与えて粉体離型剤を収容したタンク部２１から収容部３１に移動させるのと同時に、タンク部２１に配設した押出機構１１により粉体離型剤等を送出口２１５に向けて押圧を行う。
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【課題】複数の吐出口からパターン形成材料を吐出して線状の複数のパターン要素により構成されるパターンを形成する際に、パターンに生じるムラを抑制する。
【解決手段】パターン形成装置１は、複数の吐出口を有する得るノズル部５、および、基板９をノズル部５に対して移動するステージ移動機構２を備え、ノズル部５の複数の吐出口からパターン形成材料が連続的に吐出される間に基板９が移動することにより、基板９上に等ピッチにて配列された線状かつリブ状の複数のパターン要素により構成されるパターンが形成される。パターン形成装置１では、パターン形成材料の吐出速度などを変動させることにより、ノズル部５から基板９に付与されるパターン形成材料の量のノズル部５の相対移動距離に対する割合が不規則に変更される。これにより、各パターン要素の幅や高さが不規則に変更され、ストライプ状のパターンに生じるムラが抑制される。 （もっと読む）

【課題】ハンダ粉末の形状がくずれることがなく、均一に付着させることができ、より微細な回路パターンを実現できること。
【解決手段】プリント配線板上の導電性回路表面にハンダ粉末を含むスラリーを吐出し、加熱することにより該回路表面にハンダ層を形成する方法において、前記スラリーをスラリーのタンク内の圧力によって吐出する方法である。
上記の方法に用いる吐出装置はスラリーを貯えるタンクにスラリーの吐出管及びタンク内の圧力を調整する気体または溶媒の送入管が取り付けられている構成からなる。この装置において、タンクからスラリーを吐出する管とタンクにスラリーを貯める管を共通にすること、またタンクに気体等の送入及びタンクから気体等を吸引する管を共通にすることができる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置において、液体が、ゴミを嫌う液、粒子成分を含む液、時間経過で硬化を促進する液、嫌気性接着剤等においても適応できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】シリンジ１４の出口管路と、吐出管路と、内部に可動部のない流れ抵抗部を設けた液の供給ポートの管路の３つを連結し、液の供給ポートに圧力を付加した液を導入してシリンジ内に液を供給充填し、次に液の供給圧力の付加を停止してシリンジ内に圧力を付加して圧送し、逆流は流れ抵抗部の抵抗力で止め、吐出口より液を吐出する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル内の処理液の圧力を正確に測定することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】 ポンプ４から吐出した処理液はフィルタ５及びオン・オフバルブ６を介してスリットノズル２に送られる。スリットノズル２内に供給された処理液の一部はノズル下端の吐出口から処理基板表面に塗布され、残りの処理液は排出管８を介して回収される。このとき排出管８内の処理液の圧力は圧力センサ９によって測定される。 （もっと読む）

【課題】短時間で残留液体の回収が可能な液体回収機構および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１は、材料液（液体）４０を貯留する材料液タンク４１と、材料液４０を液滴として吐出するヘッド部２０と、材料液タンク４１とヘッド部２０との間に設けられヘッド部２０との水頭差を維持するためのサブタンク４２と、材料液タンク４１からヘッド部２０へ材料液４０を供給するための供給管４６とを備え、さらに、供給管４６と連通するタンク回収管４７と、材料液４０をタンク回収管４７を通して回収するためにサブタンク４２へ圧力を付与する圧力付与部６０と、圧力付与部６０とサブタンクとを接続するサブタンク圧力管６５と、回収した材料液４０を貯留する回収タンク４３とを有する材料液回収機構（液体回収機構）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体供給路の途中に設けられた圧力室内における気泡の滞留を抑制することのできるバルブユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット１９は、液体供給路の途中に設けられて上流側からインクを流入させるための流入口３９ａ及び下流側へインクを流出させるための流出口３９ｂを有する圧力室３９と、圧力室３９の壁面の一部を構成し、その圧力室３９内の圧力変動に基づいて変位する隔壁フィルム３７と、圧力室３９内に設けられ、閉弁状態となることにより流入口３９ａを閉鎖するとともに、開弁状態となることにより流入口３９ａを開放する弁部材４４と、圧力室３９内に設けられ、弁部材４４を常には閉弁状態となる方向に付勢する弁付勢ばね４６と、隔壁フィルム３７により圧力室３９との隔壁を構成するように圧力室３９の外側に設けられ、その内部が負圧に保持された負圧室４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】レジスト瓶の交換にあたって無駄を省き、作業効率を向上するためのフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ８へのレジストの供給を行っていくうちに、レジスト瓶２ａ内のレジスト２０ａを消耗して、空になった場合、配管Ａ１３ａに設置された状態センサー１２が検出し、これを配管Ａ１３ａに介装されたコック１４へ通知する。コック１４はこの通知を受けると閉塞して配管Ａ１３ａ内へ気泡が混入することを防止する。このため、レジスト瓶２ａの交換作業において、バッファタンク４でレジストごと気泡を除去する作業を行う必要がない。また、この交換作業の間、レジスト充填容器２ｂには十分な量のレジストが充填充填されており、第二の加圧制御部３ｂによってポンプ６にレジスト２０ｂを送り続けることができるために、この交換作業の間でも、レジストの供給が滞ることはない。 （もっと読む）

本発明は３次元プリンターの粉体処理用の方法と装置に向けられている。本発明は多数のソースから粉体ディスペンス用装置へ最小のユーザー介入で粉体を輸送する手段を含んでおり、かくして該３次元プリンター及び周囲範囲への野放し状の粉体での汚染を減じる、一方粉体を再使用するリサイクリングを改善する手段を提供する。
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【課題】処理液を液圧一定に供給して処理精度の向上を図り、単一の処理液貯留容器の交換を行うことができ、処理液貯留容器が空になっても処理を止めることなく継続して処理液による連続処理を行えるようにする。
【解決手段】処理液貯留容器１とリザーバタンク５と接続する第１の処理液供給管路に、液圧センサ１０と第１の開閉弁Ｖ１を介設し、処理液貯留容器と加圧手段であるＮ２ガス供給源３とを接続する主加圧管路２に、電空レギュレータ２０を介設し、リザーバタンクとＮ２ガス供給源とを接続する補助加圧管路９に、加圧用開閉弁Ｖ３を介設する。液圧センサによって検知された液圧の信号を受け、その検知信号に基づいて電空レギュレータの加圧側圧力を調整し液圧が一定になるように制御すると共に、調整する圧力値と液圧センサで検知される圧力値との差圧から処理液無しを判定し、加圧用開閉弁と第１の開閉弁Ｖ１とを切り換え制御する制御部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】長尺の帯状支持体に複数台のヘッドを使用して薄膜塗布を行う時、各ヘッド間の濃度のムラを発生させることなく、品種切り換え時間が短く、塗布液の残液量が少なく、コンパクトで安価な塗布方法及び塗布装置の提供。
【解決手段】固形分を溶解又は分散した塗布液をノズル吐出口から液滴として射出するヘッドを用いた塗布装置を使用し、連続的に搬送する長尺の帯状支持体に対し、前記帯状支持体に前記塗布液を連続的に吐出して塗布し塗膜面を形成する塗布方法において、前記ヘッドは前記帯状支持体の幅手方向に少なくとも２つが配設され、前記ヘッドの全てに同一の塗布液供給タンクより塗布液を供給し、前記塗布液により前記ヘッドに掛かる圧力の平均値に対して、前記ヘッドへ掛かる最大の圧力値と最小の圧力値とが前記式１）、前記式２）に示される関係を有していることを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）