【課題】基板を撮影する際の基板の平坦度（特に撮像される部分の平坦度）を向上させて、正確に基板の上面を撮影する。
【解決手段】検査装置１において、基板９０を水平姿勢で搬送するコロ搬送機構である第１搬送部５と第２搬送部６とを設ける。また、第１搬送部５と第２搬送部６との間に支持部２を設けて搬送中の基板９０を浮上支持するとともに、支持部２によって浮上支持された状態の基板９０をＸ軸方向の１ラインを撮像するラインカメラ３１で撮像する。支持部２は基板９０から離間した状態で、浮上ステージから吐出するエアによって基板９０を浮上支持する。このようにして、Ｙ軸方向の位置Ｅ（撮像位置）においては、Ｘ軸方向の全幅に亘って検査装置１の部材が基板９０に当接しない構造とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、平坦でない被塗布物の表面にスピンコーティング法により塗布物を塗布するための、塗布物展延装置および塗布物展延方法を提供することを目的とする。
【解決手段】回転軸Ｒ回りに回転する回転軸部３０と、塗布物８８が供給された被塗布物８０を固定支持し、回転軸部３０に支持され、回転軸部３０の回転に伴い回転しながら回転軸Ｒの方向と交差する方向の回動軸Ｄ回りに回動する載置台１０とを備える塗布物展延装置１。被塗布物８０の表面に塗布物８８を供給する工程と、塗布物８８が供給された被塗布物８０を回転軸Ｒ回りに回転し、塗布物８８を展延する工程と、塗布物８８を展延する工程において、回転軸Ｒの方向と交差する方向の回動軸Ｄ回りに被塗布物８０を回動し、被塗布物８８の回転軸Ｒに対する角度Ｔを変える工程とを備える塗布物展延方法。 （もっと読む）

【課題】塗装用冶具等の被処理体に付着している塗料を、効率的かつ安全に除去できるようにする。
【解決手段】被処理体２の処理が行われる処理室Ｓと、処理室Ｓ内の被処理体２に対して洗浄液を供給する洗浄液供給機構１８とを備えた。洗浄液は、植物性洗剤、又は、植物性洗剤を希釈させた溶液とした。洗浄液供給機構１８には、洗浄液を貯留するタンク５１と、タンク５１内の洗浄液を加熱するヒータ５５と、洗浄液を処理室Ｓにおいてシャワー状に吐出するノズル５３と、タンク５１内の洗浄液をノズル５３に送液するポンプ６２とを備えた。また、処理室Ｓ内の洗浄液を排液する排液口２３を設け、排液口２３を通じて排液された洗浄液をタンク５１に戻して貯留する構成とした。 （もっと読む）

【課題】修正品位が高いパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、塗布針チャック４０の２本のフィンガ４１の間に挿入し、２本のフィンガ４１を閉じて２つの軟質材４３を介して塗布針２１の先端部を挟み込み、塗布針２１を上昇させることにより、塗布針２１の先端部の修正ペースト３１を軟質材４３によって拭き取る。したがって、修正ペースト３１の種類に関係なく、修正ペースト３１を完全に除去できる。 （もっと読む）

【課題】噴射不良の発生を抑止することができる液滴噴射塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射塗布装置１において、液体収容部２１から供給される液体を噴射する液滴噴射ヘッドＨと、液体収容部２１から液滴噴射ヘッドＨに液体供給流路３１を介して供給する液体供給部Ｐ１と、液体供給流路３１中に液体供給部Ｐ１より液滴噴射ヘッドＨ側に位置付けて設けられ流入する液体が滴下するように形成された第１緩衝液体貯留部１９と、液滴噴射ヘッドＨから液体収容部２１又は第１緩衝液体貯留部１９に液体戻し流路３２を介して戻す液体戻し部Ｐ３、Ｐ４と、液体戻し流路３２、３３中に液体戻し部Ｐ３より液滴噴射ヘッドＨ側に位置付けて設けられ流入する液体が滴下するように形成された第２緩衝液体貯留部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ等の円形状の基板の表面または裏面に液状樹脂を塗布するにあたって、被塗布面に塗布されずに落下した樹脂を容易に除去する。
【解決手段】塗布装置１０に樹脂受けパン１３を設け、樹脂受けパン１３内に水を供給する。スロットダイ６０のスロット６２は、チャックテーブル２０上に保持された基板１へ樹脂を排出する。このとき、基板１が塗布開始位置から塗布終了位置まで移動することで、基板１上に樹脂が塗布されるとともに、落下領域４周辺に排出された樹脂が樹脂受けパン１３内に落下する。樹脂受けパン１３は、樹脂受けパン１３内の水Ｗで落下した樹脂を受ける。樹脂が混合した水Ｗを排水口１３ａから排出受け１５へ排出することにより樹脂受けパン１３内から樹脂が除去される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インキ吐出印刷装置、ダイコーター、スピンコータ、印刷装置等の液吐出部を有する塗工装置およびその洗浄方法に関する。
【解決手段】
塗工液貯蔵タンクと、この塗工液貯蔵タンクに塗工液配管を介して接続されている液吐出部と、前記塗工液配管内に洗浄手段を設け、その洗浄手段が、少なくとも、乾燥用ガスを供給する乾燥用ガス供給手段と、複数の溶剤を供給する溶剤供給手段と、前記乾燥用ガスの流量を制御するガス制御手段と、前記複数の溶剤の流量を各々制御する溶剤制御手段と、を備え、前記液吐出部がインキ吐出部である塗工装置であって、前記塗工液配管に洗浄用溶剤を導入する直前に、気体と溶剤を混合させて、大きい気泡を含んだ気液混合液を形成し、さらに、より細かい気泡を含む気泡混合液を形成する気液混合液発生ノズルと、塗工液切り替えバルブと、を洗浄手段に具備していることを特徴とする塗工装置およびその洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】塗料充填時における塗料の浪費や、塗装ラインの洗浄時における洗浄液の浪費を防止すると共に、塗装（コーティング）品質を高品質に保つことのできる塗装装置、及び塗装システムの提供。
【解決手段】供給系統（Ｌ７）は塗料切換用三方バルブ（２１）に連通し、塗料切換用三方バルブ（２１）で塗装用ノズル（２２）側に連通するノズル側系統（Ｌ８）と廃液回収切換バルブ（４）に連通する廃液回収側系統（Ｌ９、Ｌ１０）とに分岐し、廃液回収側系統（Ｌ９）には光センサ（３）が介装され、光センサ（３）は、塗料が廃液回収側系統（Ｌ９、Ｌ１０）に充填されると内部が遮光され、洗浄液が廃液回収側系統（Ｌ９）を流過すると内部が透光可能となる様に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 塗装作業中に飛散したり滴下する塗料を受け止めて回収することにより、周囲が塗料によって汚れるのを防止する。
【解決手段】 円柱状又は円筒状の構造部材２の周面上に装着され、構造部材２の周面上を軸線方向に直進移動可能な装置本体３と、装置本体３に設けられて装置本体３と一体に直線移動するとともに、構造部材２の周方向に回転移動して構造部材２の周面に塗料を塗布する塗装部１７とを備えた塗装装置１であって、装置本体３に、塗装部１７から飛散する塗料を受け止めて回収する塗料回収部２９を着脱自在に取り付ける。塗料回収部２９は、装置本体３に着脱自在に取り付けられる支持軸３０と、支持軸３０に取り付けられる折り畳み自在な支持フレーム３１と、支持フレーム３１に取り付けられて塗装作業中に飛散したり滴下する塗料を受け止めて回収する塗料受け部３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】粉体塗料をエアー搬送した後、搬送エアーと粉体塗料とをサイクロン８によって分離する際に、サイクロン８の下部の出口を、ロータリーバルブやピンチバルブを使用することなく、極めて簡単な構造でエアーロックすることができるようにして、設備コストを大幅に低減し、しかも粉体塗料に強い圧縮力が生じさせず、ブツの発生の少ない、粉体塗料の回収装置を提供する。
【解決手段】粉体塗料と搬送エアーとの分離を行うサイクロン８の下方の出口に、柔軟性を有するフレシキブルチューブ１１を接続し、サイクロン８の上方に強制排気装置を接続し、サイクロン８に粉体塗料を搬送エアーによって供給する際に上記強制排気装置を駆動させ、この強制排気によってサイクロン８の下方の出口に接続したフレシキブルチューブを収縮させて閉じた状態とし、上記強制排気装置を停止させることにより、サイクロン８の下方のフレシキブルチューブ１１が開くようにした。 （もっと読む）

【課題】枚葉の平板状基材の上全面に一枚ずつ塗工液を塗布するリバースロールコーターにおいて、平板状基材の搬送方向先頭の側面に塗工液が付着することにより発生する不良を防ぐ為の機構を有する塗工装置を提供する。
【解決手段】枚葉の平板状基材（０１）がリバースロールコーターの塗工ロール（０２）へ接触する手前にて、平板状基材と同厚かつ同幅以上の角状棒（０４）を、平板状基材に突き当て一体化させた後に塗工する。そうすることにより、塗工ロール上の塗液で、平板状基材上面に塗布される以外の部分の塗液を該角状棒により除去し、平板状基材上面のみに塗工液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】コーティング液中に発生するダマを効率よく除去し、コーティング槽の底部から供給されるコーティング液の流速を均一にして、均一なコーティング処理を行うことができるコーティングユニットを提供する。
【解決手段】材料がコーティング液２６に浸漬されてコーティングされるコーティング槽１０と、所定の角度で折り曲げられたコーティング液注入部１２が、コーティング液排出部１４の内部に組み込まれ一体化されたコーティング液注入排出部１６と、コーティング槽１０から溢れ出したコーティング液２６を一時蓄えるコーティング液溜め槽１８と、コーティング液排出部１６とコーティング液溜め槽１８のコーティング液２６を回収し循環させるためのコーティング液回収槽２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板とプレートとの隙間の有無を選択的に行って、角形の基板の回転処理においても、四角い形状の影響をなくすようにした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】角形の基板Ｇを水平状態に保持し、鉛直軸回りに回転するスピンチャック１０と、スピンチャック１０にて保持された基板Ｇの各辺の外方近傍に位置すると共に、基板Ｇの表面と略同一平面の表面を有する気流調整用のプレート１１と、スピンチャック１０にて保持された基板Ｇの表面に処理液を供給する塗布液供給ノズル１２と、スピンチャック１０にて保持された基板Ｇの裏面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル１３と、を具備する基板処理装置において、各プレート１１を基板Ｇの辺に対して選択的に接離移動するプレート移動機構２０を設ける。これにより、プレート移動機構２０を作動して、基板Ｇとプレート１１との隙間の有無を選択的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ピグの交換時期を適切に判断することが可能な塗料供給装置を提供する
【解決手段】塗料供給装置１０は、塗料供給装置１０内を移動する塗料の流量や塗料が移動する時間を計測する流量計１００と、流量計１００により計測された流量値又は時間値に基づいて、ピグ９０の交換時期を判断する判断装置７０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】磨耗したピグを新規なピグに容易に交換することが可能な塗料供給装置を提供する。
【解決手段】塗料供給装置１０の送り側ピグステーション４０は、主通路４１内を外部に開放することが可能な開閉部４６を有しており、この開閉部４６を介して、磨耗したピグ９０を主通路４１ａ内から取り出したり、新規のピグ９０を主通路内４１ａに載置することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】ノズルを交換することなくバルブの切替のみによって塗布液の交換を行える塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液Ｒ１から塗布液Ｒ２に切り替える場合には、先ずスリットノズル１内を洗浄する。具体的には、先ずバルブ６ａ、９ａ、１４ａを開とし、残りのバルブを閉とし、この状態で、ポンプ１９を駆動して循環液配管９から液の供給配管６に液を送り込む。この液は新液ではなくある程度使用して未だ洗浄力が残っている液でよい。液の供給配管６に送り込まれた液は、液の供給配管６を通り、スリットノズル１の供給ポート３から流路２を経て排出ポート４に至り、さらに排出ポート４を出て塗布液の排出配管１２及び配管１４をへて再び循環液配管９に戻る。これを繰り返すことで、液の供給配管６内およびスリットノズル１の流路２内を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】吐出ユニットからの漏液が塗布対象物上へ落下することを防止することができ、しかも、少ない液量の漏液をも検知することができる漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置の提供。
【解決手段】テーブル上に載置されたワークと、ワークと対向する吐出ユニットを相対移動させて液体材料を塗布する塗布装置に取付可能な漏液検知機構であって、前記吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部を有する受け皿と、受け皿に溜まった漏液を検知する漏液検知装置とから構成され、吐出ユニットの直下に配設される漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドから流体が噴射された場合においてミストが発生しているときには該ミストを的確に検出できるミスト検出装置、及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】キャップ３０内に配置される電極部材３３と、電極部材３３と記録ヘッド１９との間に電圧を印加する電圧印加回路３４と、電圧印加回路３４が電圧を印加した場合に、記録ヘッド１９に対する電極部材３３の電圧の変化を電圧変化情報として取得する制御装置３９とを備え、制御装置３９は、基準変化情報が予め記憶されたＲＯＭを有し、取得した電圧変化情報と基準変化情報との比較結果に基づきフレーム内にインクミストが発生しているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 上層部がゲル状あるいは半固形状になる廃液の回収作業を容易化することができる薬液廃液回収システムおよび方法を提供する。
【解決手段】 コータ側廃液タンクＡ１１は、コータ側スピンナーカップ３から排出される第１の薬液を含む粘度４０ｃｐ以上の中高粘度の第１の廃液を貯留する。廃液移し変え用ポンプ１７は、コータ側廃液タンクＡ１１に貯留する第１の廃液を廃液搬送第１パイプ１８によって吸い出し、吸い出した第１の廃液を廃液搬送第２パイプ１９によってデベロッパ側廃液タンク１２に送給する。デベロッパ側廃液タンク１２は、デベロッパ側スピンナーカップ４から排出される第２の薬液を含む粘度１０ｃｐ以下の低粘度の第２の廃液を貯留する。コータ側廃液タンクＡ１１からデベロッパ側廃液タンク１２に送給された第１の廃液は、第２の廃液と混合して薄められ、粘度が低くなる。 （もっと読む）

【課題】塗布液収容部材から漏出する塗布液が外部に至るのを確実に防止する。
【解決手段】塗布液が収容され、塗布液流動部１８を備えた塗布液収容部材５と、塗布液収容部材５内に挿入され、塗布液収容部材５内に収容された塗布液を、塗布液流動部１８を介して外部へと吐出させる塗布液押出部材６とを備える。塗布液収容部材５は、塗布液押出部材６の挿入部９に、挿入部９を介して漏出する塗布液を回収するための塗布液回収部２２を備える。 （もっと読む）