【課題】塗布膜等の処理膜の除去状態を改善する調整作業を、均質かつ迅速に行う。
【解決手段】ウェハＷの外縁部に形成された処理膜に除去液を吐出する除去液吐出ノズル５６と、除去液吐出ノズル５６を固定する固定ブロック１００を有している。固定ブロック１００には、除去液吐出ノズル５６をはめ込んで、除去液吐出ノズル５６を所定の俯角方向に向けて固定させるための溝が設けられており、この溝は、一定の角度毎に複数設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のＳＯＤ膜形成工程において、下層にダメージを生じることなくリワークを可能とする半導体製造方法および半導体製造装置を提供する。
【解決手段】ウェハを保持し、これを回転させながら、ウェハ上に絶縁膜を形成するための薬液を供給して、塗布膜を形成し、塗布膜が形成されたウェハについて、移動および加熱処理を行うことなく非接触で表面検査を行い、表面検査により不良と判断されたウェハ上に、溶媒を供給しながら回転させることにより、塗布膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】スピンコート法による層形成後の焼成工程においても、レンズ基材にクラックが生じにくい層形成方法および層形成装置を提供すること。
【解決手段】層形成装置１は、回転しているレンズ基材５０の表面にスピンコート法で液体を塗布して層を形成する液体塗布装置１００と、レンズ基材５０の外周部に付着した液体を除去する液体除去装置２００とを備える。この層形成装置１によれば、スピンコート法によりレンズ基材５０に硬化性液体の塗布を行った後、液体除去装置２００により基材の外周部に付着した余分な液体を除去することができる。その後にレンズ基材５０の焼成を行っても、レンズ基材５０にクラックが発生しにくい。 （もっと読む）

【課題】回転するワイヤバーによって製造される塗布フィルムにおいて、長手方向の塗布筋の発生を抑制した塗布フィルム、塗布装置及び塗布フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】１００ｍ／分以上の速度で連続して走行するフィルム１６の表面に、過剰に塗布液１７が塗布された後、円柱状をなすバー本体２２ａの外周面に直径２０〜２００μｍのワイヤ２２ｂが巻回されることにより形成されるワイヤバー２２が、前記フィルム１６の表面に押し付けられることにより塗布厚が調整された塗布フィルム１６ａにおいて、ワイヤバー２２は、ワイヤ２２ｂの直径（μｍ）／巻回されたワイヤ２２ｂ間の隙間（μｍ）の値が０．０９×塗布速度（ｍ／分）−６の値より大きくなるような関係で構成されることにより、目視により確認できる長手方向に延びる塗布筋を無くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課 題】ディスク状基板の下部に発生する液溜まりを防止して、均一な皮膜をディスク状基板の両面に形成できるディップコーティング装置を提供すること。
【解決手段】ディスク状基板Dを保持する基板保持部１１２を備えた基板支持機構１１０と、コーティング液Lを収容するディップ槽１２０と、上記基板支持機構１１０とディップ槽１２０とを相対的に昇降させる昇降機構とを備え、基板支持機構１１０は、下部に金網状の液溜まり防止部１１４を備え、上記金網状の液溜まり防止部１１４を、ディスク状基板Dの下端から所定の間隙を設けて下方に配置する。 （もっと読む）

【課題】掃引能率と液体の回収性が両立するノズルおよび液体回収方法を実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して回収するにあたり、前記ノズル（１００）として、外縁(３１２)が先端方向に突き出た端面(３１０)と、前記端面において外縁近くまで偏心した開口(３２２)を有するノズルを用いる。掃引後の液体の吸引は、前記ノズルを前記開口の偏心方向とは反対方向に試料表面に沿って相対的に移動させながら行う。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に対してレジスト塗布および露光後の現像処理を含む一連の処理を、その前工程および後工程を含めて高スループットで行うことができる処理装置を提供すること、およびこれに加えて、フットプリントを極力小さくすることができる処理装置を提供すること。
【解決手段】いずれも基板Ｇが略水平に搬送されつつ所定の処理が行われる、洗浄処理ユニット21と、レジスト処理ユニット23と、現像処理ユニット43とを有し、さらに各処理ユニットに付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットが集約された複数の熱的処理ユニットセクション24,25,44を有し、露光装置3を挟んで一方側に洗浄処理ユニット21およびレジスト処理ユニット23が存在し、他方側に現像処理ユニット43が存在する。 （もっと読む）

【課題】回転時における塗布厚調整用バーの損傷を防止するとともに、回転している塗布厚調整用バーとの摺接によるバー支持凹部の耐久性を向上させることができるバーホルダ及びそれを備える塗布装置を提供する。
【解決手段】フィルムの表面にフィルムの走行方向に対して順方向又は逆方向に回転されるとともに塗布液１７が過剰に塗布された側のフィルムの表面に押し付けられることにより塗布厚を調整する硬質材料製の塗布厚調整用バー２２を支持するためのバー支持凹部２８を有するバーホルダ２７において、バー支持凹部２８は、合成樹脂材料で成形されるとともに塗布厚調整用バー２２との摺接面において、ガラスコート被膜３０が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板にハンダ層を形成するための溶融ハンダ塗布装置および溶融ハンダ塗布方法において、良好な界面強度を有するとともにそのバラツキが少ないハンダ層を形成できる溶融ハンダ塗布装置および溶融ハンダ塗布方法を提供することを課題としている。
【解決手段】本発明の一態様は、溶融ハンダをガラス基板の一面に塗布する溶融ハンダ塗布装置であって、前記溶融ハンダを前記ガラス基板の一面に供給する供給部を備えた溶融ハンダ供給手段と、前記ガラス基板の一面に当接する掻引部を備えるとともに前記溶融ハンダ供給手段と同期して移動可能な掻引手段とを有し、前記供給部は、前記掻引部と前記ガラス基板との当接部分に対し溶融ハンダを供給可能な位置に配設されている溶融ハンダ塗布装置である。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを小さくすることができ、排気と排液との分離機構を特別に設ける必要がなく、排気カップの全周に亘って均一に排気することが可能な液処理装置を提供すること。
【解決手段】回転カップ４をウエハＷと一体的に回転させるように構成するとともに回転カップ４の外側を囲繞するように環状の排液カップ５１を設け、さらにこの排液カップ５１を収容するように同心状に排気カップ５２を設け、排気カップ５２に取り入れられた気体成分の気流がほぼ全周から排気口７０に向けて流れるように気流を調整する気流調整機構９９ａ，９７を設けて、ウエハＷに処理液を供給しながら液処理を行う液処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 １つの工程装備にインシャワー、吸入および乾燥工程を行えるようにし、基板を塗布または剥皮したり洗浄工程を行ったりする際に時間と空間的な効率性を高めることができるインシャワー、吸入および乾燥工程を行う工程装置を提供する。
【解決手段】 インシャワー、吸入および乾燥工程を行う工程装置は、インシャワーナイフ、エアナイフを含むナイフユニットおよびナイフユニットが取付けられて基板上にナイフユニットを移送することができるフレームを含む。 （もっと読む）

【課題】表面に塗布膜が形成されたマスク基板の縁部の不要な塗布膜を効率良く除去すること。
【解決手段】塗布膜除去部４により基板Ｇの端縁から第１の距離分例えば１ｍｍ内側に溶剤を吐出しながら、この塗布膜除去部４を前記基板Ｇの端縁に沿って基板Ｇの一端側から他端側まで例えば５回移動させ（第１の除去工程）、次いで塗布膜除去部４により基板Ｇの端縁から第１の距離よりも短い第２の距離分例えば０．８ｍｍ内側に溶剤を吐出しながら、この塗布膜除去部４を第１の除去工程と同様に前記基板Ｇの辺の端縁に沿って例えば３回移動させる（第２の除去工程）。この手法では、第１の除去工程にて縁部の基板表面に線状の薄い塗布膜が発生するが、この線状の塗布膜が第２の除去工程にて除去されるので、トータルの処理時間が短縮され、効率良く前記縁部の塗布膜を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】１００℃以下で溶融し、且つ長時間外気に触れても硬化しないホットメルト系塗料を扱うとともに、その再循環使用を実現することのできる、新規なホットメルト系塗料に対応したロールコーターの開発を技術課題とした。
【解決手段】塗料Ｐとして低融点のホットメルト塗料が用いられるものであり、少なくとも塗料タンク７２並びに案内樋７６及び回収樋７７を加温可能な構成とすることにより、塗料Ｐの溶融状態を維持してその再循環使用が可能となるようにしたことを特徴として成るものであり、ホットメルト系の塗料Ｐを無駄なく使用することができるため、塗工コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】露光装置において基板に付着した液体による動作不良および処理不良が防止された基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】基板処理装置５００は、インターフェースブロック１５を備える。インターフェースブロック１５に隣接するように露光装置１６が配置される。インターフェースブロック１５は、第１および第２の洗浄／乾燥処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２を含む。第１の洗浄／乾燥処理ユニットＳＤ１において、露光処理前の基板Ｗの洗浄および乾燥処理が行われ、第２の洗浄／乾燥処理ユニットＳＤ２において、露光処理後の基板Ｗの洗浄および乾燥処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】 基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と塗膜除去装置とを提供する。
【解決手段】 ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】表面に同伴エア膜が形成される程度の高速でウエブを走行させて塗布を行なった場合でも、塗布膜に膜切れなどの欠陥が生じることがなく、安定した塗布が行なえるとともに、塗布の開始時或いは終了時における厚塗りを防止することのできる塗布装置及び方法を提供する。
【解決手段】バーコータ１０は、バー１２の上流側に塗布液の供給流路２４を有し、その供給流路２４の上流側に堰板１６を備える。堰板１６は、上端１６Ａが鋭角なウェッジ形状に形成され、その上端１６Ａはバー１２の最上端位置１２Ａよりも低い位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】 洗浄能力が向上され、しかも単純な制御系で、被洗浄基板を、振動させることなく、安定に搬送しながら、その被洗浄基板の被洗浄面を洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 搬送手段３２によって被洗浄基板３５を搬送しながら、その被洗浄基板３５の被洗浄面３４に洗浄液供給手段３３によって洗浄液３６を供給する。搬送手段３２は、回転駆動体４２と、ローラ体４１とを備える。回転駆動体４２は、円筒状の外周面４４が形成される車輪部４５を有し、回転軸線Ｌ１１まわりに回転駆動される。車輪部４５の外径寸法Ｄ１１は回転軸線Ｌ１１の方向に一様である。ローラ体４１は、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５まわりに個別に回転可能な各ローラ５１〜５５を有する。各ローラ５１〜５５の外周部５８は、前記車輪部４５の外周部４６に接触し、最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が、搬送方向Ａに垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面５９に沿って並ぶ。 （もっと読む）

電気化学的蓄電装置を組み立てる際に使用されるタブの形成された電極シートを作製するに有益な装置および方法が記載されている。導電性タブを取付けるためのきれいな表面を提供するため、被覆電極シートの一部を、上記シートに熱および溶媒を接触させ、溶媒にさらされた領域において電極材料を機械的に取り除くことにより選択的に除去される。
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【課題】外周部に環状の補強部が設けられ凹部が形成されたウエーハの裏面に樹脂被膜を均一に被覆することができる樹脂被膜の被覆方法および被覆装置を提供する。
【解決手段】表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを有しデバイス領域に対応する裏面に薄肉の凹部が形成され外周部に環状の補強部が設けられたウエーハの裏面に樹脂被膜を被覆する樹脂被膜の被覆方法であって、ウエーハをスピンナーテーブルに裏面を上側にして保持するウエーハ保持工程と、スピンナーテーブルを回転しつつスピンナーテーブルに保持されたウエーハの裏面中央領域に液状樹脂を供給するとともに、ウエーハの裏面に供給された液状樹脂を遠心力によって外周に向けて流動させ、その後該凹部の隅部に滞留した液状樹脂を吸引除去する樹脂被膜被覆工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】電極の表面に多孔質耐熱層を複数条設ける場合の課題である塗液性状と連動した滲み幅の経時変化を抑止し、各条に分離する際の切断不具合熱を回避できる電池を供給する。
【解決手段】本発明の多孔質耐熱層の形成方法は、活物質を含む合剤層を芯材の上に設けてなる電極を走行させ、周面に溝を設けたグラビアロールを電極と当接させつつその走行方向とは逆向きに回転させることにより、電極の表面に多孔質耐熱層の前駆体である塗液を塗布する工程を含み、グラビアロールを経て電極の表面に塗布された塗液の一部を、電極の表面に当接することにより走行方向と平行に連続除去するための掻き取り部を設け、塗液を連続除去した後に形成される多孔質耐熱層の幅の変動に相応して、掻き取り部を電極に当接させる幅を変化させることを特徴とする。 （もっと読む）