本発明は基板を洗浄するための方法、装置及びシステムを提供し、本装置は制御装置と、制御装置に連結されたノズルを含む。制御装置は、ノズルを方向付けして均一な流体噴射流パターンを基板上に分注するように適合されている。制御装置は、ノズルの少なくとも１つの操作パラメータを調節することで、この均一な流体噴射流パターンを作り出し、所定の割合の液滴を所定のサイズ範囲内におさめるように適合されている。多数のその他の態様が開示される。
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【課題】機能液滴が塗布された基板を乾燥するときに、機能液滴から発生する生成物を除去するとともに、機能液滴の塗布作業から乾燥作業までを一貫して行うことが可能な機能液滴塗布装置、機能膜製造方法、および表示装置、ならびに電子機器を提供する。
【解決手段】機能液滴塗布装置１０は、機能液滴Ｌを吐出する機能液滴吐出ヘッド１１と、前記機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された前記機能液滴Ｌが塗布される基板Ｐを載置するステージ５と、前記基板Ｐに塗布された前記機能液滴Ｌを乾燥する乾燥室２５と、前記乾燥室２５で生成された生成物を捕集する捕集部４４と、前記捕集部４４に接続するように配置され、前記乾燥室２５を減圧する減圧部４１と、前記乾燥室２５と、前記捕集部４４と、前記減圧部４１とに接続され、前記生成物を排気する排気部４２と、前記排気部４２を加熱する加熱部４３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】長時間連続吸引しても吸引ノズルの詰まりが発生しないので、厚塗り部分の塗布液を確実に且つ安定して吸引することができる。
【解決手段】連続走行するウエブ１４に塗布液１８を塗布した後、厚塗り部分１８Ａの塗布液を吸引ノズル１２により吸引する塗布液の吸引方法において、吸引ノズル１２のノズル先端部に低蒸気圧の洗浄液を供給して、吸引ノズル１２内に吸引された塗布液に混合することにより、塗布液の溶媒蒸気圧を低下させる。 （もっと読む）

【課題】レンズのスピンコート法による塗布液の塗布処理において、多様なレンズのレンズ面形状に対応し、好適な塗膜を形成することが可能なレンズのスピンコート装置を提供する。
【解決手段】スピンコート装置１は、眼鏡レンズＬを載置して垂直軸回りに回転する回転保持台３と、回転保持台３の周囲を覆う側壁に回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上から振り切られるハードコート液ＬＱを回収する開口部５６が設けられたスピンカップ５と、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａにハードコート液ＬＱを吐出する吐出部８を備え、眼鏡レンズＬのレンズ面形状に対応して、スピンカップ５と回転保持台３とが、回転保持台３の垂直軸方向に相対移動して、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａにハードコート液ＬＱの塗布処理を行う。 （もっと読む）

【課題】コーティングを除去する方法および関連する装置を提供する。
【解決手段】本発明は、支持体の表面に、ガラスファイバベースの少なくとも１枚のファブリックによって構成されている支持体から、コーティングを除去する方法に関し、コーティングが、支持体に接着しており、かつ特にエポキシまたはポリウレタンタイプの樹脂によって構成される。本発明によれば、コーティングが、コーティングのガラス転移温度Ｔｇより高く、コーティングの粘性流温度Ｔｅより低い温度に加熱され、加熱の間に、コーティングの加熱に対し少なくとも１つの加熱パラメータを適用し、前記パラメータが、コーティング加熱温度およびコーティング加熱時間から選択され、それぞれ、支持体の物理的劣化温度より低く、かつ支持体の物理的劣化時間より短い。 （もっと読む）

【課題】簡易かつコンパクトな構成で高い洗浄性能を発揮できる基板の洗浄装置を提供する。
【解決手段】テーブル上面１２Ａで被洗浄ワークＷを吸引保持しながら回転駆動されるワークテーブル１２と、ワークテーブルの下面に駆動軸１４Ｂの先端が固着されるとともに、駆動軸の先端より所定深さの吸引穴２０が形成され、吸引穴の内側面には駆動軸の外側面と連通する連通孔２２が形成されている駆動モータ１４と、ブロックの中央部分に駆動モータの駆動軸が嵌挿される上下方向の貫通孔１６Ａが形成されており、貫通孔の内側面にはブロックの外表面と連通する１６Ｃ排気孔が形成されている装置上面ブロック１６と、装置上面ブロックの排気孔に接続される減圧手段とを備える。吸引穴、連通孔、及び排気孔を介してワークテーブル上面と減圧手段とが連通することにより、ワークテーブルの上面に被洗浄ワークを吸引保持しながら回転駆動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】表面酸化処理を施した溶融亜鉛めっき鋼板の表面に付着した酸性溶液を効率良くかつ十分に洗い流すことが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を溶融亜鉛めっき鋼板に接触させて、１秒以上経過した後に純水を溶融亜鉛めっき鋼板に接触させる。 （もっと読む）

【課題】チップ型電子部品に塗布した後の未乾燥のペースト膜の厚みを調整することが可能であり、そのペースト膜寸法のバラツキを抑制し、結果として、チップ型電子部品の実装不良を低減し、高密度実装を可能とするペースト塗布膜の厚み調整装置を提供すること。
【解決手段】ペースト塗布膜の厚み調整装置１０は、未乾燥のペースト塗布膜２０ａが形成されたチップ型電子部品２を保持する部品保持機構４と、接触することでペースト塗布膜２０ａを構成するペーストの少なくとも一部を吸収可能な吸水シート３０と、を有する。ペースト塗布膜２０ａを吸水シート３０に接触させるように、部品保持機構４を吸水シート３０に対して相対的に接近移動させると共に、ペースト塗布膜２０ａを吸水シート３０から引き離す方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】液滴に照射するレーザ光の光学特性を安定させて、液滴からなるパターンの形状制御性を向上させた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】吐出ヘッド３２と相対向するマザー基板２Ｍ上の位置に照射位置ＰＴを設定して、レーザヘッド３４（反射ミラーＭ）と照射位置ＰＴとの間に、液滴Ｆｂから蒸発する「蒸発成分Ｅｖ」を吸引する吸引ポート３３を配設するようにした。そして、ヘッドユニット３０を「走査方向ＲＡ」に沿って走査させて、レーザ光Ｂの照射された液滴Ｆｂを、吸引ポート３３からレーザヘッド３４に相対移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 第１に高品質な交互積層膜を高効率で量産性よく製造する方法および装置を提供し、第２にロール・トゥ・ロールにより効率的に高品質な交互積層膜を製造することができる方法および装置の提供する。
【解決手段】 基材を垂直に立てて水平方向に搬送しつつ、該基材を前記正電荷を有する物質を含む液に浸漬する浸漬処理工程と該基材を前記負電荷を有する物質を含む液に浸漬する浸漬処理工程をそれぞれ、所定回数行うことを特徴とする交互積層膜の製造方法。壁にフィルム状又はシート状の基材が進入するための垂直に設けられたスリット状開口部及びその基材が退出するための垂直に設けられたスリット状開口部を有し、正又は負の電荷を有する物質を含む液を収容又は導入するための浸漬処理槽を含み、基材が通過可能な浸漬工程槽を備えてなる交互積層膜製造装置。 （もっと読む）

【課題】基板にレジスト膜を形成し、液浸露光した後の基板に対して現像処理を行う装置において、液浸露光により基板上に残留する水滴によるレジストパターンの解像に対する悪影響を抑えること。
【解決手段】基板に付着した液滴はある時間が経つと、そのサイズが急激に小さくなり、このとき基板のレジスト膜に変質層（ウオータマーク）が形成されることに着眼し、液浸露光後に液滴のサイズが急激に小さくなっていく時間帯に入る前の時間帯にて基板が洗浄部で洗浄されるように基板の搬送制御を行う。具体的には露光装置から搬出準備信号が出力されたときに、インターフェイス部の基板搬送手段が他の搬送作業に優先して搬送ステージ上の基板を洗浄部に搬送する。 （もっと読む）

【課題】 塗布した塗布液から効率よく溶剤を回収し再利用できるシステムを提供する。
【解決手段】 搬送ラインによって上流側から順に、基板投入部１、塗布装置２及び減圧乾燥装置３が配置され、減圧乾燥装置３からは排気用の配管３１が導出され、この配管３１に真空ポンプ３２が設けられ、この真空ポンプ３２の下流側に液化トラップ４が配置され,前記液化トラップ４からは溶剤回収用の配管５が導出され、この配管５には送液ポンプ６が設けられ、この送液ポンプ６の下流側には脱水装置７及びフィルタ８が配置され、液化トラップ４において液化した溶剤は送液ポンプ６によってバッファタンク９に送られる。そして、このバッファタンク９に溜められた溶剤はプライミングローラ２２の洗浄用に供される。 （もっと読む）

【課題】 飛散した処理液が固化して被処理物に再付着することを防止した処理装置を提供する。
【解決手段】 配管室１２の一端には、調圧装置３７が接続される。調圧装置３７は、配管室１２に空気を送り込んで配管室１２内を過給気状態にすることで、隔壁１５を介して隣接する処理室１１よりも配管室１２の内圧が高くなるように保つ。隔壁１５には開口３１，３１‥が形成されているが、隔壁１５全体の表面積に対しては開口３１，３１‥全体のの面積は充分に小さいので、処理室１１より配管室１２の内圧を高く保つことができる。 （もっと読む）

【課題】第１に、銅箔の厚みが均一化され、もって平均化されたエッチングが実施されて、例えば回路幅の過不足・バラツキ・誤差・不良等が解消され、高密度，微細，精細な回路が形成されると共に、第２に、しかもこれが簡単容易に実現され、コスト面やスペース面にも優れた、メッキ基板のエッチング装置を提案する。
【解決手段】このエッチング装置３は、回路基板の製造工程で使用され、搬送される基板材Ａにエッチング液を噴射してエッチングするものであり、基板材Ａの前端部Ｅのオーバーエッチングを解消するエリア１３が、付設されている。このエリア１３は、左右の幅方向Ｋに配設されたスプレー管１４と、スプレー管１４に取付けられエッチング液を噴射可能なスプレーノズルと、を備えている。そして、このスプレーノズルは、基板材Ａの前端部Ｅの通過時において、エッチング液の噴射を、ストップするか低い噴射圧で実施する。 （もっと読む）

【課題】塗布禁止領域に付着した流動性材料を除去し、塗布領域のみに流動性材料が定着した基板を容易に得る。
【解決手段】塗布システム１は、処理ユニット群２、インデクサ３およびマルチ搬送ロボット４を備え、処理ユニット群２は、有機ＥＬ塗布ユニット２４、有機ＥＬベークユニット２５および有機ＥＬ除去ユニット２６を含む。塗布システム１では、処理ユニット群２において、有機ＥＬ塗布ユニット２４により塗布領域および塗布禁止領域に有機ＥＬ液が塗布され、有機ＥＬ除去ユニット２６により塗布禁止領域にレーザ光が照射されて塗布禁止領域から有機ＥＬ液が除去される。その後、有機ＥＬベークユニット２５により基板に対する加熱処理が行われることにより、有機ＥＬ液が基板上に定着して有機ＥＬ層が形成される。このように、塗布システム１では、塗布領域のみに有機ＥＬ液が定着されて有機ＥＬ層が形成された基板９を容易に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェブの傷つきや破れといったトラブルを生じることなく、かつ、別部材を付加することなくコーティングロッド自体にて、塗布端部からの気泡の混入を防止し、気泡混入に起因する塗布欠点の発生を防止可能なコーティングロッドならびにそれを用いた塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】軸方向中央部に所定の溝深さＨｎを有する溝を備えた溝部Ａを有し、該溝部Ａの少なくとも一方の側部に下記（１）式を満足する溝深さＨｎ１の溝を備えた溝部Ｂを有し、さらに溝部Ｂの溝部Ａと反対側の側部に下記（２）式を満足する溝深さＨｎ２の溝を備えた溝部Ｃを有し、さらに溝深さＨｎ１と溝深さＨｎ２とが下記（３）式を満たすコーティングロッドを用いてスムージングする。 Ｈｎ１＝０．１Ｈｎ〜０．８Ｈｎ （式１） Ｈｎ２＝０．１Ｈｎ〜３．０Ｈｎ （式２） Ｈｎ１＜Ｈｎ２ （式３） （もっと読む）

【課題】 目詰まりを簡単に除去できる塗布液吸引ノズル及び塗布液吸引装置を得る。
【解決手段】 吸引管５４を外管５２から取り外すことができるため、塗布液吸引口３８や吸引管５４の外周面に固着した固着物（塗布液が固化したもの等）や吸引管５４内に付着した固着物などを容易に洗浄することができる。また、塗布液吸引ノズル１４の目詰まりが生じた場合、塗布液吸引ノズル１４全体を本体部４２から取り外す必要はなく、該塗布液吸引ノズル１４の吸引管５４を外管５２から取り外した後、新しい、又は既に洗浄されているスペアの吸引管５４を外管５２に取付ければ良いため、塗布液吸引装置１０を停止させる時間を大幅に削減することができる。 （もっと読む）

【課題】バッキングロールに支持されて連続的に走行するウェブの表面に対し、塗工液をスリット状ノズルから吹き出し塗工液ジェットを形成して供給するブレード塗工方式にて塗工する際に、高速操業時においても塗工欠陥や品質の低下を起こすことのない塗工装置を提供する。
【解決手段】バッキングロール３１に支持されて連続的に走行するウェブ３３の表面に対し、塗工液をスリット状ノズル１１ａから吹き出し塗工液ジェットを形成して供給するブレード塗工方式において、塗工液がウェブに衝突する地点よりもウェブの上流側３〜１００ｍｍを始点として、ウェブ進行方向に対し、略鉛直方向に空気を吸引するためのウェブの幅方向に略平行方向のスリット状のダクト開口部を有する複数のダクトを備えた空気吸引装置２１を設置するのでウェブに同伴する同伴空気を除去するので塗工欠陥や品質の低下を起こすことがなくなる。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構成ながらも効率的にミストを捕集することが可能な液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】 吐出ヘッド３の走査と連動して移動する板状部材３０を、用紙２の支持面を挟んで吐出ヘッド３と対向する位置に設ける。板状部材３０は、上方に開口部２２を有するケース２０内に収容され、開口部２２には適度な通気性を有する吸液性部材で形成された吸収体２７が配設されている。吐出ヘッド３が走査されると、板状部材３０の移動後方側に発生する負圧の補償のためｆ５〜ｆ７の気流が発生し、この気流ｆ５〜ｆ７によって、吐出ヘッド３の走査後方側の領域に多く浮遊するミストが捕集される。 （もっと読む）

【課題】処理液の使用量の低減を図ることが可能な処理液回収装置を提供する。
【解決手段】処理液を用いて自動車ボディ４に所定処理を行った後に、ボディ４から流出する処理液を回収するための処理液回収装置５０は、ボディ４から流出する処理液を回収するドレンパン５１と、ボディ４の搬送方向に沿ってドレンパン５１を案内するドレンパン用ガイドレール５２と、を備えており、ボディ４を搬送するオーバヘッドコンベア２の駆動力を利用して、ドレンパン５１がボディ４に追従して移動する。 （もっと読む）