【課題】構造が簡単で、フォトレジストの厚みムラの少ないスピンコータを提供する。
【解決手段】角形基板や半導体ウエハーなどの基板Ｋを回転させてその表面に薄膜を形成し、乾燥するスピンコータ１において、前記基板Ｋ等の外周側に円板２を配置し、前記基板Ｋ等の端面と前記円板２との間に全周に亘って吸引スリット３を形成し、この吸引スリット３に減圧させて前記基板Ｋ等の端面より吸引排気することによって前記基板Ｋ等の表面に形成された薄膜の周囲の部分を吸引排出する。 （もっと読む）

【課題】接着剤の捨て打ちのためのテープを不要として、作業性のよい捨て打ちを可能とする。
【解決手段】装着する電子部品を固定するために回路基板に所定の塗布量の接着剤を塗布すると共に、捨て打ちのために所定の場所に接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、前記接着剤が捨て打ちされる非接着性処理がなされた受板１２４と、該受板１２４に捨て打ちされた接着剤１２０の塗布径を計測する計測手段１１２と、該計測手段１１２から得られた接着剤１２０の塗布径から塗布量を決定する判定手段と、前記受板１２４に捨て打ちされた接着剤１２０を受板１２４から除去する除去手段１３０、１３２と、を設けた。 （もっと読む）

【課題】レジストを塗布し、露光後に現像処理を行った基板のレジスト表面に残渣が付着したまま残る残渣欠陥の発生を抑えること。
【解決手段】基板の表面にレジストを塗布してする塗布モジュールと、レジスト塗布後、露光処理された基板の表面に現像液を供給し、前記レジストを現像処理してレジストにパターンを形成する現像モジュールと、レジストを変質させずにレジストの表面の親水性を高めて、前記現像処理後に当該レジストに付着した残渣を除去するための薬液を前記基板に供給する薬液ノズルと、を備えるように塗布、現像装置を構成する。前記薬液としては例えばアルコールや酸を含んだアルコールが用いられる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー資源の有効活用を図ることができて、従来の装置では困難であった局所的な箇所での有効な塗布も容易に実現することができる液体塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明装置１は、液体Fを塗布するシャフト10を移動させる斜面2を有し、この斜面2は、その幅方向Wに間隔を空けて２つの柱部材3が配置されると共に、当該柱部材3の相互間に開口部4が形成され、この開口部4の直下に液体Fを貯留するタンク5を配置すると共に、このタンク5の上方に、２つの柱部材3の間に掛け渡された軸部材6を設け、この軸部材6は、自重によって垂下してタンク5の液体F内に浸漬すると共に、斜面2に沿って移動するシャフト10によって押し退けられてその溝11をなぞり、軸部材6の中心軸O周りを揺動可能な塗布部材7を備える。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペースを実現しつつ、基板の端面の汚染に起因した問題（欠陥の発生、トラックや露光装置へのクロスコンタミネーション等）を回避できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板の端面を洗浄する端面洗浄処理ユニットＥＣを備える洗浄処理部９３を、インデクサブロック９に配置する。インデクサブロック９に設けられたインデクサロボットＩＲは、カセットＣから取り出した未処理基板Ｗを、処理部である反射防止膜用処理ブロック１０に搬送する前に洗浄処理部９３に搬送する。洗浄処理部９３においては、基板Ｗの端面および裏面を洗浄する。すなわち、端面および裏面が汚れた基板Ｗが処理部に搬入されることがないので、基板の端面や裏面の汚染に起因した問題を回避できる。 （もっと読む）

【課題】保管用の液体を効率良く使用してノズルを保管する。
【解決手段】ノズル保管装置は、吐出口から吐出液を下方に吐出するノズルを保管する。ノズル保管装置は、突起部材と、供給配管と、貯留機構と、洗浄液供給手段とを備えている。突起部材は、供給口が設けられる上面がノズルの吐出口に対向する位置に配置される。供給配管は、洗浄液を供給する供給源から供給口までを連通する。貯留機構は、供給配管に接続され、突起部材の上面よりも上方で洗浄液を貯留可能である。洗浄液供給手段は、突起部材の上面上に洗浄液が液盛りされた状態で、かつ、貯留機構に洗浄液が貯留された状態となるように供給源から洗浄液を供給する。 （もっと読む）

【課題】基板の上方におけるミスト発生を抑制できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部２と、基板保持部２を回転させる回転機構と、基板に処理液を供給する処理液供給機構と、基板保持部２の外側に、この基板保持部２に保持された基板を囲繞するように設けられ、基板保持部２とともに回転し、回転する基板から振り切られた処理液を受ける壁部３２を有する回転カップ４と、回転カップ４の外側に、この回転カッ４プ及び基板保持部２を囲繞するように設けられ、回転する基板から振り切られた処理液を収容する環状の液収容部５６と、この環状の液収容部５６よりも内側に設けられた内側環状空間９９ｂとを備えた排気及び排液カップ２０１と、排気及び排液カップ２０１の内側環状空間９９ｂに接続された排気機構２００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】磁性体を含む塗料を塗布された被塗装物品の表面に、線が交差する模様を美しく形成することができる塗装治具を提供する。
【解決手段】被塗装物品の表面に塗布された塗料に含まれる磁性体を、一点に対して略対称となる位置に、被塗装物品に対して同じ磁極が向くように配置される第１の一対の磁石と、一点に対して略対称となる位置に、第１の一対の磁石と異なる磁極が向くように配置される第２の一対の磁石とが発生する所定の磁束により配向し、第１の一対の磁石の、一点に対して第２の一対の磁石のうちの１つと同じ側にある頂点をそれぞれ結んだ直線が、その第２の一対の磁石のうちの１つと少なくとも接し、第１の一対の磁石の間隔が、第２の一対の磁石の間隔よりも小さく、第１の一対の磁石の、一点から所定の距離で横断したときの幅が、第２の一対の磁石の、一点からその所定の距離で横断したときの幅よりも大きくなるよう、塗装治具を構成する。 （もっと読む）

【課題】塗料を循環させつつ、この塗料とエアとを選択的に吐出できる注入ガンを提供すること。
【解決手段】注入ガン６０は、塗料およびエアを選択的に吐出する。具体的には、この注入ガン６０は、円筒状のガン本体６１と、このガン本体６１の内部に摺動可能に設けられた円筒状の塗料シャフト６２と、この塗料シャフト６２の内部に摺動可能に設けられたエアシャフト６３と、を備え、ガン本体６１には、塗料が流通する塗料供給路６１１および塗料排出路６１２が貫通して形成され、ガン本体６１および塗料シャフト６２には、それぞれ、エアが流通するエア供給路６１４およびエア供給路６２２が貫通して形成され、塗料シャフト６２の外周面には、塗料シャフト６２の先端がガン本体６１の先端まで前進した状態で、塗料供給路６１１の貫通位置から塗料排出路６１２の貫通位置に至る凹部６２３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】拭取ロール１３と駆動ロール１４と被動ロール１６の点検修理を効率的に行い、その点検修理に伴う基材表面ゴミ取り装置の停台時間を短縮化する。
【解決手段】基材１１の平面に付着している塵埃を粘着させて拭き取る粘着周面を有する拭取ロール１３と、拭取ロール１３の粘着周面１２から塵埃を拭き取る清掃パッド２１と、基材平面１１と清掃パッド２１の間で拭取ロール１３を往復移動させる拭取ロール移動装置２２と、基材平面１１から離れて清掃パッド２１に接触する部位において拭取ロール１３を回転駆動する駆動ロール１４を具備する基材表面ゴミ取り装置において、駆動ロール１４にコロガリ接触する被動ロール１６を拭取ロール１３の回転軸１５に軸支する。その被動ロール１６の周面１９を駆動ロール１４の周面２０に比してゴム硬度の柔らかい高分子物質で構成する。 （もっと読む）

【課題】液浸露光に適用される塗布、現像装置において、適正に保護膜が塗布されていない基板について正常な基板の処理効率に悪影響を与えることなく回収することができ、且つ保護膜の除去作業の簡便化を図ることができる技術を提供する。
【解決手段】液浸露光に対する保護膜の塗布が適正に行われない異常基板については、露光部に搬入させずに待機モジュールにて待機させ、一つ順番が前の基板が露光部から搬出され、指定モジュール例えば現像前の加熱モジュールに搬入された後、前記異常基板を前記指定モジュールに搬入するようにして、いわゆるスケジュール搬送には影響を及ぼさないようにすると共に、異常基板についても保護膜除去ユニットにおける処理を実行するように制御する。 （もっと読む）

【課題】溝付板材の溝内面を、溝のエッジまできれいに塗装することができる溝塗装方法及びそれを実施するための簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】塗布液を連続的に吐出するディスペンサノズル８を溝付板材１の溝４に対して相対的に移動させながら該溝内に塗布液１３を供給し、次いで、円盤状の回転スキージ９を回転させながら塗布液供給後の溝に対して相対的に移動させ、塗布液１３ｂを溝内面に拡げると共に過剰な塗布液１３ａを回転スキージ周面に付着させて溝４から除去し、長い溝４に対しても常に一定幅での溝塗装を行うことができる構成とする。 （もっと読む）

【課題】大きな騒音を生ずることなく、また、洗浄能力を低下させることなく効率的に高速流の圧力流体をフィルム状物の表面の剥離洗浄に用いられるようにする。
【解決手段】本装置１では、バックアップロール２とクリーニングヘッド３の凹部３ａとの間に形成されたギャップＧ、換言すれば、ロール２に吸着されたフィルム状物Ｗと上記凹部３ａとの間に形成されたギャップＧに、この凹部３ａの開口口から噴出する高速流のエアが流入して凹部３ａの上流側端側及び下流側端側に二分されてこのギャップＧを通過し、フィルム状物Ｗに付着したダストなどを剥離する。このとき、フィルム状物Ｗは、ロール２に吸着されているので、高速流のエアを作用させても当該ロール２から剥離されない。そして、ダストなどを含む排出エアは、排気ダクト７ａ_１，７ａ_２を通って排気マニホールド６ａ_１，６ａ_２で吸引され外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】ウエブ状の被洗浄物に洗浄液を吹き付けて形成される液膜を、噴出ノズルから噴出する気体で除去する際に、除去した洗浄液の液滴やミストが被洗浄物に再付着することを防止できる。
【解決手段】搬送されるウエブＷの表面に洗浄液Ｌを吹き付ける洗浄液吹き付けノズル３０と、ウエブＷの搬送方向に対向する向きの噴出流が少なくとも形成されるように気体を噴出してウエブ表面に残存する液膜Ｌ１を除去する気体噴出ノズル３２と、の間に遮風壁３４を設けた。 （もっと読む）

【課題】着色層の形状を改善して歩留まりを向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５を移動させつつ基板３に対してインクを塗布し、インク塗布を行った分だけインクジェットヘッド５を移動させる。カラーフィルタ製造装置１は、インクジェットヘッド５の移動に伴い、シート９を移動させて基板３の着色層の上方を覆う。これにより、シート９で覆われた着色層の部分では、大気中の飽和度が大きくなって飽和蒸気環境に近づき、着色層に含まれる溶媒成分の揮発が抑制される。基板３全体において着色層の乾燥環境を均一にすることにより、着色層の変形を防止して表面形状を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】微細な配線パターンを形成できるパターン形成方法及びパターン形成装置を提供すること。
【解決手段】基板２の一方の面に液滴吐出ヘッド２０から吐出した第１の液体を着弾させて、所望のパターンを画定する第１の隔壁を形成する第１の隔壁形成工程と、液滴吐出ヘッド２０から吐出した第２の液体を着弾させて、第１の隔壁により、着弾した第２の液体が所望のパターンをなすように型取らせるパターン形成工程と、第２の液体を固化させる固化工程と、第１の隔壁を除去する第１の隔壁除去工程とを備えたことを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

塗り替え処理時に乗物１００の外装面をスプレーしぶきから保護する乗物用マスキングカバー１０は、複数のパネル部２０を含み、前記パネル部にはそれぞれ、隣り合うパネル部の固定手段９６，９８と取り外し可能に連結して、密閉された継ぎ目を形成する固定手段９６，９８が設けられる。乗物用マスキングカバー１０からパネル部の一部が折り曲げられて、塗り替える乗物１００の外装面を露出する一方で、乗物用マスキングカバー１０の連結したパネル部２０の下にある乗物１００の外装面をスプレーしぶきから保護するように設け、折り曲げられたパネル部２０が、当該折り曲げられたパネル部２０の一部で乗物用マスキングカバー１０に取り付けられたままとした。
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【課題】描画処理直後のワークに臨んで、混色検査を実施することができる液滴吐出装置等を提供する。
【解決手段】ワークＷに対し、異なる色彩の機能液を導入したインクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査方向に移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッド３０から機能液滴を吐出させて色彩別の描画を行なう描画手段１４と、ワークがセットされるワークステージ１０と、ワークステージ１０にセットされた描画直後のワークＷに臨み、ワークＷに描画された画像の混色を検査する混色検査手段１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムや磁気記録媒体等の極めて高精度な塗布が要求される塗布であっても、塗布ムラのない良好な面状の塗布膜を得ることができるバー塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】回転駆動源７２からの回転駆動力がベルト７４を介してバー駆動シャフト７６に伝達されるバー駆動系７０により、回転する塗布バー２８で塗布液を走行する支持体上に塗布するバー塗布方法において、バー駆動系７０の固有振動数を調整することにより、バー駆動系７０の振動と塗布バー２８の回転による振動とによる共振を回避した状態で塗布することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜等の処理膜の除去状態を改善する調整作業を、均質かつ迅速に行う。
【解決手段】ウェハＷの外縁部に形成された処理膜に除去液を吐出する除去液吐出ノズル５６と、除去液吐出ノズル５６を固定する固定ブロック１００を有している。固定ブロック１００には、除去液吐出ノズル５６をはめ込んで、除去液吐出ノズル５６を所定の俯角方向に向けて固定させるための溝が設けられており、この溝は、一定の角度毎に複数設けられている。 （もっと読む）