【課題】回転軸等の外周面に形成したねじ部等の凹凸部に潤滑剤を迅速・容易に、かつ、異物が混入するのを防いだ状態で均一に塗布すること。
【解決手段】被塗布部材を挿入可能な長さ寸法及び径寸法で形成した横長な中空円筒状の塗布筒と、前記被塗布部材よりも大きな径寸法の挿通孔を有し、前記塗布筒の一方端側に着脱可能に取付けられる口蓋と、前記被塗布部材とほぼ同一径寸法の貫通孔を有し、前記塗布筒の一方端側の開口端部と前記口蓋との間に挟持・配設される弾力性及び柔軟性に優れた薄膜状部材と、前記塗布筒の他方端側に着脱可能に取付けられ、該塗布筒の他方端側の開口部を開閉可能に閉鎖する底蓋と、前記塗布筒の一方端側と近接する位置にその吐出口を塗布筒内に臨ませた状態で固定され、前記塗布筒内に挿入した被塗布部材の外周面に向けて潤滑剤を吐出する塗布ノズルと、前記塗布ノズルへ潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを備えて潤滑剤の塗布装置を構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板の裏面を洗浄するための溶剤をリサイクルできるようにしたレジスト塗布装置及び基板の裏面洗浄方法を提供する。
【解決手段】 ウエーハＷの表面上にレジストを滴下すると共に、このウエーハＷを回転させレジストを遠心力で拡散させることによって、ウエーハＷの表面上にレジストを塗布する際に、ウエーハＷの表面から裏面に回り込んだレジストを除去する方法であって、酢酸と炭酸エチレンとを混合した溶剤をウエーハＷの裏面に供給する工程と、供給された溶剤をウエーハＷの裏面から回収する工程と、回収された溶剤にオゾンを溶解させる工程とを含む。このような構成であれば、溶剤中のレジストはオゾンによって分解されるので、溶剤のリサイクルが可能である。 （もっと読む）

【課題】レジスト付き基板の周縁部の不要なレジスト残滓を確実に除去することができる不要膜除去装置および不要膜除去方法、並びにマスクブランクス製造方法を提供する。
【解決手段】不要な部分以外に薬液が供給されないように、基板表面から一定の間隙を設けて遮蔽部材（カバー部材）が設けられており、薬液が、基板周縁部に供給されるように、遮蔽部材（カバー部材）の外側に薬液案内部材を設ける不要膜除去装置および不要膜除去方法、並びにマスクブランクス製造方法。 （もっと読む）

【課題】 バッキングロールに支持されて連続的に走行するウェブの表面に対し、塗工液をスリット状ノズルから吹き出し塗工液ジェットを形成して供給するブレード塗工方式にて塗工する際に、高速操業時においても塗工欠陥や品質の低下を起こすことのない塗工装置を提供する。
【解決手段】バッキングロール３１に支持されて連続的に走行するウェブ３３の表面に対し、塗工液をスリット状ノズル１１ａから吹き出し塗工液ジェットを形成して供給するブレード塗工方式において、スリット状ノズル先端から走行しているウェブへの塗工液衝突点Ｃまでの距離ｄが５〜７００ｍｍであり、かつ塗工液がウェブに衝突する地点よりもウェブの上流側５〜１００ｍｍにおいてウェブに接触する同伴空気除去手段２１を有するのでウェブに同伴する同伴空気を除去するので塗工欠陥や品質の低下を起こすことがなくなる。 （もっと読む）

【課題】 支持体への厚塗りを防止して、ロールを汚すことがないような可撓性支持体塗布方法を提供する。
【解決手段】回転可能なロッド部材１４と、走行する可撓性支持体Ｓに塗布液給液可能なスリットを有してかつロッド部材１４を回転自在に保持可能なブロック部材とからなる塗布装置１３を用い、塗布液Ｉを過剰給液状態でスリットから吐出して可撓性支持体Ｓ上に塗布し、ロッド部材１４により余剰分を掻き落とし所望の厚み塗膜を得る塗布方法において、給液側側にバイパス機能１５，１９を設け、塗布開始時および塗布終了時バイパス機能を働かせてスリットから吐出する給液量を少なくした。 （もっと読む）

【課題】塗布液の凝固物が発生せず、良質な塗布層を形成できる塗布方法を提供する。
【解決手段】連続走行する帯状可撓性の支持体Ｗに塗布手段１２によって過剰の塗布液Ｆを塗布し、次いで計量手段１４によって過剰分の塗布液を掻き落して所望の厚さに計量した塗布層を形成する塗布方法である。計量手段の支持体の走行方向上流側における掻き落された過剰分の塗布液を略気密状態で回収して再使用する。 （もっと読む）

本発明は、移動面に塗布される液状又はペースト状媒体の調量及び／又は均しを行うための装置（１）に関する。該移動面（２）は、媒体の直接的な塗布では、紙、厚紙、又はその他の繊維状ウェブであり、前記媒体の間接的な塗布では、繊維性材料ウェブの表面に媒体を転写する転写要素（特にアプリケータロール）の表面である。本装置は、ドクターブレード要素（４）及び加圧要素（５）を保持するための保持体（３）を備える。保持体（３）は移動面（２）に対して配置され、圧力要素（５）は、塗布された媒体の調量及び／又は均しを行うためにドクターブレード要素（４）の頭部（４．１）を移動面（２）に押し付ける。本装置は管状クランプ（７）を備える。この管状クランプ（７）は、加圧されることでストローク長（ｗ）を移動することが可能であり、加圧されると、ドクターブレード要素（４）のベース部（４．２）を保持体（３）のサポートブロック（８）に押し付けてその要素を固定し、減圧されると、前記ドクターブレード要素（４）を解放する。本発明によれば、本装置は保持ブロック（９）を更に備え、該保持ブロック（９）は管状クランプ（７）を保持し、サポートブロック（８）と平行に延在し、保持体（３）内に脱着可能に保持される。保持ブロック（９）は、少なくとも１つの突起部（１２）を有し、この突起部（１２）は、サポートブロック（８）と対向し、管状クランプ（７）の最小のストローク長（ｗ）より距離（ａ）だけ突き出していて、サポートブロック（８）との間にギャップ（ｓ）を維持している。

（もっと読む）

【課題】 粘着剤などの塗工剤の粘度に左右されることなく、簡単な構成でシート体に塗工剤を部分的に散在するように塗布する塗工剤のコーティング方法およびコーティング装置を提供すること。
【解決手段】 液槽１８に充填された塗工剤５’を外表面９ａに付着したコーティングロール９の回動と、該コーティングロール９に当接および離間する方向に反復移動する塗工剤除去手段１６によって、コーティングロールの回転方向に対して断続した幅方向に延びる塗工剤の付着部６を形成し、その後マスキング手段１５によって付着部６がマスキングされ、付着部６の一部のみ部分的にシート体１に付着した状態が形成される。シート体１がマスキング手段１５の上面を通過するたびに塗工剤が連続して転写され、シート体１の表面には複数の塗工剤が疎らに形成される。したがって、シート体１の全面に塗工剤をコーティングする必要がなく節約も図れる。 （もっと読む）

【課題】 簡単に、かつ効率的に膜厚むらを発生させることなく部分的に薄膜を形成することができる部分的薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】 固形成分と固化成分と溶媒とを含む薄膜形成材料１５ａを基板１１上に部分的に滴下し、滴下された薄膜形成材料１５から溶媒を除去し、溶媒除去によって流動性が低下した薄膜形成材料１５中の固化成分を軟化させ、その後 軟化させた固化成分を固化させることによって、フィルタ膜１３中の欠陥除去部分１４に部分的に薄膜を形成し、液晶パネル用カラーフィルタを修復する。 （もっと読む）

【課題】 ウェブの弛みによる塗布均一性トラブルを防止できる塗布装置を提供する。
【解決手段】 連続的に走行するウェブ３を、走行方向と直角に配した２本のロールで支持し、２本のロール間でウェブに塗布液を塗布する塗布装置において、ウェブ走行方向上流側の上流側ロール１の周速をウェブ３の走行速度より遅くし、且つウェブ走行方向下流側の下流側ロール２の周速をウェブ３の走行速度より速くした。 （もっと読む）

【課題】 基板上の感光性材料の成分が露光装置における液体中に溶出することを防止できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】 基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、洗浄処理ブロック１３およびインターフェースブロック１４を備える。インターフェースブロック１４に隣接するように露光装置１５が配置される。洗浄処理ブロック１３は洗浄処理部８０を備える。レジスト膜用処理ブロック１１において基板Ｗ上にレジスト膜が形成される。露光装置において基板Ｗに露光処理が行なわれる前に、洗浄処理部８０において基板Ｗの洗浄および乾燥処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】従来技術の問題点を解消し、ロッドの耐磨耗性を向上させ、更にはリブスジの発生しない良好な面質を確保することができるロッド・コート方式に基づく塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布装置ＥＲＣは、その一部が複数本のウェブ案内ローラＧＲによって形成されるウェブ走行路に沿ってウェブＷを連続的に移送しながら、ウェブ案内ローラＧＲ間に張架されているウェブＷの一方の表面に予着塗布装置ＥＸによって余剰量の予着塗布層を塗着させた後、予着塗布層にロッド部Ｒを押圧して余剰塗布液を掻き落とし、所望する塗布量まで計量された最終塗布層ＣＬcを層設する塗布装置であって、ロッド部Ｒが、１０００以上のビッカース硬さ（Ｈｖ）を有する外周面を具備してなるので、ロッド部Ｒの単位時間当たりの磨耗量の増加を大幅に抑制してその寿命を飛躍的に向上させることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 走行中のウェブ上面に形成した塗膜の両側縁領域に生じる厚膜部から所望量の塗工液を除去して均一膜厚の塗膜を形成可能な塗工方法及び装置を提供する。
【解決手段】 走行中のウェブ１の上面に形成された塗膜２の両側縁領域に生じる厚膜部２ａに、外周表面を、多数の細孔を持つ多孔質材料で形成した吸引ロール１０を回転させながら接触させ、厚膜部２ａの塗工液を多孔質材料で吸引して厚膜化を防止し、吸引ロール１０に吸引した塗工液は洗浄装置１４によって吸引ロール１０から除去し、回収する構成とする。 （もっと読む）

【課題】条件に応じてメディア上に残存する溶媒の除去が実行される液体吐出装置及びインクジェット記録装置並びに液体除去方法を提供する。
【解決手段】印字部１２の紙送り方向下流側には記録紙１６上の溶媒を吸収する溶媒除去部４２が設けられている。溶媒除去部４２は記録紙１６上にの溶媒に接触させて該溶媒を吸収除去する吸収ロールを備え、吸収ロールを上下させる上下機構４７を用いて、溶媒除去実行時には吸収ロールを記録紙１６上の溶媒に接触させ、溶媒除去非実行時には吸収ロールを溶媒に接触させないように上下機構を制御する。記録紙１６上に吐出される処理液及びインクの吐出量データを集計し、この吐出量データに基づいて溶媒除去が実行されるので、記録紙１６上に吐出された処理液及びインクの量に応じて好ましい溶媒除去が実行される。記録紙１６の種類や温度、湿度に応じて溶媒除去を制御するとより好ましい。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の反応が抑制されて、品質が安定し、また塗布液を乾き難くして、簡略な回収制御系で効率的な生産が可能なスピンコーター塗布方法を提供する。
【解決手段】スピンコーター内の処理雰囲気をｐＨ＜６以下の酸性の水によって湿度を６０％以上に加湿した状態下で、塗布液を被塗布体にスピンコート塗布を行うようにし、その際、前記酸性の水が前記塗布液の酸性の溶媒成分の少なくとも１種以上を含む水とした。 （もっと読む）

【課題】 各々基板の回転及び排気を伴う複数の液処理部を備えた液処理装置において、排気管の省スペース化を図ることができ且つ各液処理部のカップ内の排気を常に予定とする排気状態で行うことができる技術を提供すること。
【解決手段】 各基板保持部３を夫々囲む複数のカップ４に夫々接続された複数の排気路７を共通化し、基板を基板保持部により回転させて液処理を行うにあたって、各排気路に設けた排気量調整部７１の開度を、各基板保持部の回転数の組み合わせと各排気路の設定排気量の組み合わせとを対応付けたデータを参照して調整することで、どのカップ内の基板がどの工程を行っているのかといったことに左右されずに常にカップ内を予定とする排気量で排気することができる。 （もっと読む）

【課題】 製造効率やコストを改善するとともに、基板の塗布不要領域に付着物を残さずに塗布液を塗布できる基板塗布装置を提供する。
【解決手段】 ノズル５２１〜５２３は、その先端部から塗布液を吐出する。ステージ２１は、基板Ｐを載置面に載置する。相対移動機構は、Ｙ軸方向にノズル５２１〜５２３とステージ２１とを相対的に移動させる。ノズル移動機構５１は、ステージ２１上の空間において、Ｘ軸方向にノズル５２１〜５２３を往復移動させる。拭取部材５５２は、基板Ｐと当接することによって、その基板Ｐに塗布された塗布液を拭き取る。拭取部材支持部は、ステージ２１に載置された基板Ｐに対して塗布液が塗布された領域の一部に拭取部材５５２を当接させて支持する。 （もっと読む）

【課題】短時間で効率良く薬液の交換を行うことが可能となり、木材の防腐防蟻処理作業の作業性を向上させることができる薬液塗布装置の提供。
【解決手段】連続して供給される木材Ｍに薬液を塗布する薬液塗布部２と、木材Ｍの表面に付着した薬液以外の余分な薬液を回収する薬液回収部３と、この薬液回収部３から下方に落下排出された薬液を貯留する薬液貯留部４と、この薬液貯留部４に貯留された薬液を前記薬液塗布部２に再び循環供給させる循環装置５とを備えており、
前記薬液貯留部４は、種類の異なる薬液を貯留する複数の薬液タンク６、６０を有しており、これら複数の薬液タンク６、６０は、それぞれ前記薬液回収部３の直下に配置可能であるとともに前記循環装置５に接続可能であることを特徴とする薬液塗布装置１。 （もっと読む）

【課題】 短時間かつ低コストにて構造体の面形状を形成しつつ、当該形成する面形状の高精度化を図ること。
【解決手段】 構造体１の所定の面に対して所定形状のレジストを形成するレジスト形成手段２と、レジストが形成された構造体１の所定の面に対してエッチング処理を行うエッチング手段と、を備えた面形状形成装置であって、レジスト形成手段２は、構造体１の所定の面にレジスト材料Ａを吐出することにより所定形状のレジスト形成を行うレジスト吐出手段２を備えた。 （もっと読む）

【課題】画像上にガラスやフィルム等の保護部材を積層せず、画像の記録された記録媒体に対して液体を転写することによって生の画像の画質感を維持しつつ画像の耐性を高めることを可能とする液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】インクによって画像の記録された記録物の記録面に対し、画像の耐性を高めるための液体を塗布する装置として、前記記録物と前記塗布装置の塗布部とが相対的に進行する方向に、前期液体を過剰に塗布する部分と余剰な液体を拭き取る一連の連続する工程を有する。 （もっと読む）