【課題】装置構成が複雑となることなく基体を拭取る拭取り部材を清浄に保ち、塗膜を効率的に除去すること。
【解決手段】本発明の塗膜除去装置１は、昇降機構２９による基体２５の降下により拭取り装置３６の力点部３８が押下されることにより、溶剤４０に浸漬されている拭取り部材２７を上昇させて、少なくともその一部を液面より露呈させて、該拭取り部材２７を基体２５の下端部および下端部の内外面に接触させる拭取り部材昇降機構４４により該拭取り部材２７が基体２５の下端部および下端部の内外面に接触された状態で、回転機構３０にて拭取り部材２７と基体２５とが相対的に回転されることで塗膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構６０は、超音波振動子１５を収納するとともに、この超音波振動子１５を冷却するための冷却水１３を貯留する冷却水貯留部１１を備える。また、洗浄機構６０は、冷却水貯留部１１に貯留された冷却水１３中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液１４を貯留する溶液貯留部１２を備える。スリットノズル４１を溶液１４中に浸漬した状態で超音波振動子１５が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水１３および溶液貯留部１２を介して溶液１４に伝達される。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の除去精度の向上、塗布膜除去時間の短縮及び溶剤の使用量の削減が図れる塗布膜除去方法及び装置を提供すること。
【解決手段】溶剤吐出部及び不活性ガス吐出部により基板表面の端部から溶剤及び不活性ガスを吐出しながら、塗布膜除去部を基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させ（除去工程：Ｓ−１）、濃度測定部により、排出路から排出される溶剤及び溶解物の混合排液中の溶解物の濃度を検出し（濃度検出工程：Ｓ−２）、濃度測定部により検出された混合排液中の溶解物の有無を判別し（濃度判別工程：Ｓ−３）、濃度測定部による溶解物の濃度検出値に基づいて塗布膜の除去条件を変更設定する（除去条件変更工程：Ｓ−６）。溶解物の濃度判別工程において、混合排液中の上記溶解物の無が確認されるまで、塗布膜除去工程を続行し、溶解物の無が確認された後、変更設定された除去条件により、塗布膜の除去を行う。 （もっと読む）

【課題】液流路の計測装置を効率よく洗浄することができ、長期間にわたり好ましい計測装置の動作が実現される液供給装置及び塗布装置並びに計測装置洗浄方法を提供する。
【解決手段】塗布部（12）へ供給される塗布液が貯留されるサブタンク(32)と、塗布部とサブタンクとを連通させる液供給路(34)と、液供給路内の塗布液の濃度を計測する濃度計(38)と、液供給路内の液を加圧する供給ポンプ(40)と、濃度計の接液部の洗浄に用いられる希釈液（洗浄液）が貯留される希釈液タンク(50)と、希釈液タンク及び液供給路と連通され、希釈液タンクから濃度計の接液部に対してサブタンクを介さずに洗浄液を直接供給するバイパス流路(60)と、濃度計の接液部に洗浄液が供給されるときは、サブタンクから塗布部へ塗布液が供給されるときよりも液供給路内の液の流速を上げるように供給ポンプの動作を制御するポンプ制御部(102)と、を備えた液供給装置。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、その直後にプライミングローラ１４に所定の回転角で往復の回転運動を行わせてから、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】エッチング形成したパターンが倒壊しないように埋め込み絶縁膜を形成する。
【解決手段】所定のパターンにエッチング加工した被加工物に対してパターン間に絶縁膜を埋め込み形成する半導体装置の製造方法である。前記被加工物のエッチング加工された前記パターン間のエッチング残渣を第１の薬液により洗浄する工程と、前記第１の薬液による洗浄の後前記被加工物をリンス液でリンスする工程と、前記リンスの後前記被加工物に絶縁膜形成用の塗布液を塗布する工程とを備える。前記第１の薬液による洗浄から前記塗布液の塗布までを、前記被加工物が前記パターン間で液体を保持した状態を維持するように同一の処理室内で実施することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 印刷によって封止樹脂がノッチ部分から他方の面に流出し残存してしまうことを防止することで、樹脂研磨の安定性を高める。
【解決手段】 クリーニング装置には、周縁部に切欠を有するウエハの一方の面に対して印刷部によって封止樹脂を印刷した後、ウエハの他方の面の周縁部をクリーニングするクリーニング部と、印刷部及びクリーニング部を制御する制御部とが備えられている。制御部は、印刷部による封止樹脂の印刷を終えた後に、クリーニング部によるウエハの他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行する。 （もっと読む）

【課題】浸漬塗布法による円筒状基体下端内面の余剰塗布膜を、塗布膜除去装置への汚れ付着を軽減し、短時間で精度よく除去する塗布膜除去装置および塗布膜除去方法を提供する。
【解決手段】塗布膜除去装置は、支持部材１と支持部材１の側面に取り付けられた内面塗布膜除去部材３と支持部材１の上端に位置するテーパー面２とテーパー面２に設けられた溝６と支持部材の最上端部に位置する溶剤供給孔５を有する。円筒状基体１０に支持部材１を挿入し、支持部材１の最上端部の溶剤供給孔５から溶剤をオーバーフローさせ、テーパー面２に設けられた溝６によって内面塗布膜除去部材３に効率的に溶剤を供給する。そして、支持部材１を回転することで、支持部材１に取り付けられた内面塗布膜除去部材３を回転し、基体下端内面の余剰塗布膜を摺擦して除去する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗工装置のヘッド吐出面の汚れを自動でメンテナンスして、吐出ミスのない安定したインキ吐出をサポートでき、且つ、使用する洗浄液の量を節約することができるインクジェットヘッド管理装置を提供する。
【解決手段】ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニットと、ヘッドユニットの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニットと、ヘッドユニットのインク吐出面に洗浄液吐出スプレーにて洗浄液を吐出する洗浄液吐出ユニットと、ヘッドユニットのインク吐出面を洗浄部材で洗浄するヘッド洗浄ユニットと、インクジェット塗工装置からヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニットと、インクジェット塗工装置と連携して上記各ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置とから構成する。 （もっと読む）

【課題】液処理装置において、前記処理液ノズルに付着した処理液からの析出物により基板が汚染されることを防ぎ、歩留りの低下を防ぐこと。
【解決手段】カップ体の中に基板を水平に保持する基板保持部を設けて構成される液処理部と、処理液ノズルと、前記カップ体の外側に設けられ、前記処理液ノズルを待機させるための待機部と、前記液処理部の各々の上方領域と、待機部との間で処理液ノズルを移動させるための移動手段と、前記待機部に設けられ、処理液ノズルに洗浄液を供給して洗浄する洗浄液供給手段と、前記待機部に設けられ、当該待機部で待機する処理液ノズルから垂れた前記洗浄液の液滴に接触して、当該液滴を処理液ノズルから除去する液取り部と、を備えるように装置を構成し、析出物を洗い流し、さらに使用した洗浄液の液滴を除去する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の供給量が変動しても清掃部材中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのクリーニング装置は、液体吸収性を有する清掃部材２１に洗浄剤を供給して清掃部材２１を濡らし、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に当接させることにより、ノズル面に付着した汚れを除去する。清掃部材２１に洗浄液を供給する洗浄液供給ライン１４ａと、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に押圧する押圧部２２と、清掃部材に供給した洗浄液を吸引する洗浄液排液ライン１４ｂとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１は、吐出口が形成された吐出面Ｍ１を有し吐出口から溶液系の接着剤を液滴として吐出する塗布ヘッド４と、吸液性を有し吐出面Ｍ１に接触しつつ吐出面Ｍ１を払拭するワイピング部材６ｂと、ワイピング部材６ｂに接着剤の溶質を溶かす溶剤を供給する溶剤供給部６ｄと、ワイピング部材６ｂの吸液状態を許容範囲内に保つように溶剤供給部６ｄを制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能を維持しつつ、洗浄水の使用量を大幅に削減することが可能な節水型基板洗浄システムを提供する。
【解決手段】薬液処理ゾーン１０の下流側に複数の洗浄ゾーン２０，３０及び４０を基板搬送方向に沿って配列する。最上流側の洗浄ゾーン２０にパドル処理用の洗浄機構２２を設ける。最下流側の洗浄ゾーン４０における洗浄機構４１，４２に未使用の純水からなる洗浄水を供給する。使用後の洗浄水を上流側の洗浄ゾーンにおける洗浄機構へカスケード方式で順次送給する。最上流側の洗浄ゾーンでの使用済み洗浄水を廃棄する。最上流側の洗浄ゾーンに基板先端が進入する前に当該洗浄ゾーンにおける洗浄機構２２からの洗浄水の吐出を開始し、当該洗浄ゾーンから基板後端が抜け出た後も所定時間、洗浄水の吐出を続けることにより、洗浄ゾーンで使用される洗浄水の汚染度を、許容限度内で且つその限度近傍に維持する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の導体パターン形成用インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消できる液滴吐出装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出方式による導体パターンの形成に用いられ、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用インク１を吐出する液滴吐出装置を洗浄する洗浄方法であって、前記液滴吐出装置の前記導体パターン形成用インク１の流路に、分散剤と有機溶剤とを含む第１の洗浄液を流す第１の洗浄工程と、前記第１の洗浄工程の後、前記液滴吐出装置の吐出性を検査する検査工程と、無機酸を含む第２の洗浄液を前記流路に流す第２の洗浄工程と、主として前記水系分散媒で構成された第３の洗浄液を前記流路に流す第３の洗浄工程とを有し、前記第２の洗浄工程および前記第３の洗浄工程は、前記検査工程の結果に応じて行う。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の導体パターン形成用インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消できる洗浄液、このような洗浄液を用いた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の洗浄液は、液滴吐出方式による導体パターンの形成に用いられ、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用インクを吐出する液滴吐出装置を洗浄するための洗浄液であって、セラミックス粒子と、前記セラミックス粒子が分散する水系分散媒とを含み、ｐＨが０．１以上３．０以下であることを特徴とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布液を異なる種類に交換する液換え作業が容易となる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出する口金３と、異なる二種類の塗布液それぞれを口金３側に送るために当該塗布液の種類毎に設けられた二つのポンプ２１，２２と、複数のポンプ２１，２２と口金３との間に設けられた切り換えバルブ７とを備えている。切り換えバルブ７は、ポンプ２１，２２それぞれと流路を介して繋がっている二つの入口ポート３１，３２を有し、これら入口ポート３１，３２を択一的に出口ポート３３と繋がった状態に切り換える。この出口ポート３３から口金３へと配管６を通じて塗布液が流れる。そして、ポンプ２１，２２と出口ポート３３との間に設けられた流入口２３から洗浄流体が供給され、当該洗浄流体によって、配管６及び口金３が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】長時間の停止などに伴ってノズルの吐出口や内壁に形成される皮膜によるノズル詰まりを回避可能なノズルクリーニング方法、及び前記ノズルクリーニング方法により、簡易な構成でノズルのワイピングを行うことなくノズル詰まりを回避でき、高い撥水性能を維持することで、全てのノズルから良好に液滴を製造可能な液滴製造方法の提供。
【解決手段】貯留手段に貯留された液体を吐出するための複数のノズルをクリーニングする方法であって、前記複数のノズルうち、前記液体に含まれる固形分からなる皮膜で吐出口が閉塞されたノズルに対し、該閉塞ノズルに隣接する未閉塞ノズルから液滴化させないように前記液体を吐出させて前記閉塞ノズルの吐出口に供給することで前記皮膜を溶解する溶解工程を含むクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】捨て吐出された機能液を受けるフラッシングユニットの機能を維持するための、吸収材の交換などの保守作業が必要となる頻度を抑制することができる液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドが実施する捨て吐出において吐出された液状体を受ける捨て吐出受部と、捨て吐出受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備える。また、液状体吐出ヘッドを搭載し、液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置面に略平行な方向において、載置面に対して相対移動可能なヘッドキャリッジを備え、洗浄液供給手段は、洗浄液を吐出する供給端末を備え、供給端末は、載置面に対して、ヘッドキャリッジと一体に相対移動可能に配設されている。 （もっと読む）

【課題】表面から塗料および他のコーティングを除去するための、費用対効果が高く、破壊を最小限に抑えた装置および方法を提供すること。
【解決手段】該装置は、該表面に接着するように適合されたマスキング材料およびストリッパを有するテープを備えており、該マスキング材料および該ストリッパを適用することは、単一のステップにおいて行われ得る。表面から物質を除去する装置であり、該装置は、該表面に接着するように適合されたマスキング材料およびストリッパを有するテープを備えており、該マスキング材料および該ストリッパの適用は、単一のステップにおいて行われ得る、装置。 （もっと読む）

【課題】ヘッドキャップにおける機能液が接触する可能性のある部分の全てに洗浄液を行き渡らせた状態とすることを、吸引ユニットのヘッドキャップの周辺が大きくなることを抑制して実現することができる液状体吐出装置、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルが形成されたノズル基板を備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、ヘッドキャップ内の液体の液面を検出する液面検出手段と、を備える。 （もっと読む）