【課題】 研磨パッドの貼り換え作業を行うことなく、研磨パッドの表面に紫外線硬化樹脂からなる膜を薄く均一に形成することができる研磨パッド用表面処理剤及び研磨パッド製造装置を提供する。
【解決手段】 紫外線硬化樹脂を溶剤に分散させた分散液からなる研磨パッド用表面処理剤３を回転自在な定盤１２に取り付けられた基材４上に均一に塗布するための表面処理剤塗布部１３と、塗布された前記基材４上の研磨パッド用表面処理剤３に対して紫外線を均一に照射する紫外線照射部１４と、を備える研磨パッド製造装置１０。 （もっと読む）

【課題】従来の硬質（乾式）研磨パッドを用いた場合に生ずるスクラッチの問題を改善し、かつ研磨レートや研磨均一性に優れ、一次研磨だけでなく仕上げ研磨にも対応できる研磨パッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】略球状の気泡を含むポリウレタンポリウレア樹脂発泡体を有する研磨層を含有する研磨パッドであって、前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体は、Ｍ成分のスピン−スピン緩和時間Ｔ２が１６０〜２６０μｓであり、
前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体の４０℃、初期荷重１０ｇ、歪範囲０．０１〜４％、測定周波数０．２Ｈｚ、引っ張りモードにおける貯蔵弾性率Ｅ’が１〜３０ＭＰａであり、且つ、
前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体の密度Ｄが０．３０〜０．６０ｇ／ｃｍ^３の範囲内であることを特徴とする、半導体デバイス研磨用の研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】湿式摩擦材及びその製造方法において、摩擦面に充填材を多く分布させることによって確実に正勾配性のμ−Ｖ特性を得ることができ、ジャダー現象を低減できること。
【解決手段】桝状の容器１０の底部に網１１を張ったものを平板１２で塞いで、この容器に大きさ５μｍ〜２０μｍの気泡３を含有させた水２を満たす。次に、気泡３を含有させた水２に繊維材料４及び充填材５を添加して、攪拌する。そして、所定時間静置することによって、繊維材料４は上方へ移動し、充填材５は下方へ移動して偏在した状態となる。そこで、平板１２を外して底部から脱水することによって、底部の網１１の面に充填材５が偏在し、その上に繊維材料４が堆積した基材前駆体６が得られる。この基材前駆体に熱硬化性樹脂を含浸して加熱硬化させることによって、充填材４が脱落することも目詰まりを起こすこともなく、湿式摩擦材用の摩擦材基材を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート２を有している。発泡シート２は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート２には、カーボンブラックのストラクチャー９が凝集した凝集体５が含有されている。凝集体５は、分散剤のＡＢＳ樹脂で被覆されている。凝集体５は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が３．０μｍ以下に制限されている。凝集体５が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することなく、略均一に分散される。 （もっと読む）

【課題】クッション性を確保しつつ長期にわたり研磨性能を発揮することができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、湿式成膜法で一体形成されたウレタン発泡体を備えている。湿式成膜法では、塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液を帯状の成膜基材にシート状に略均一に塗布する。成膜基材には表面平滑性を有するＰＥＴ製フィルムを用いる。浸漬工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、水を主成分とする凝固液に浸漬する。剥離工程で、ポリウレタン樹脂の凝固再生が完了する前に凝固液中で凝固再生中のポリウレタン樹脂を成膜基材から剥離した後、ポリウレタン樹脂の凝固再生を完了させる。厚み方向両側でシームレスに発泡構造の異なるウレタン発泡体が一体形成される。 （もっと読む）

【課題】安定した研磨レートを保持しうねりの低減を図ることができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液が成膜基材に塗布される。次の気化工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液が、５０℃〜８０℃の雰囲気下へ案内され、１０分〜６０分間の熱処理が施される。加熱雰囲気下へ案内されたポリウレタン樹脂溶液は、少なくとも表層に含まれる有機溶媒の一部が気化される。次いで凝固工程で、塗布され熱処理が施されたポリウレタン樹脂溶液が凝固液中で凝固再生される。凝固再生時にポリウレタン樹脂溶液中にマクロ気孔が形成されることなく、ミクロ気孔（気孔３）が略均一かつ略均等に形成される。 （もっと読む）

【課題】 高温短時間で熱成形が可能であると共に、後硬化工程を省略することができ、かつ成形時の熱分解成分の発生を抑制し得る摩擦材用バインダー樹脂、およびこのバインダー樹脂を用いてなる摩擦材を提供する。
【解決手段】 アミノフェノール化合物とホルムアルデヒド類とを反応させて得られたポリベンゾオキサジン樹脂からなる摩擦材用バインダー樹脂、２官能性フェノール化合物と２官能性アミン化合物とホルムアルデヒド類とを反応させて得られたポリベンゾオキサジン樹脂からなる摩擦材用バインダー樹脂、並びに、これらのバインダー樹脂を用いて得られた摩擦材である。 （もっと読む）

【課題】
成形時にガス抜きを必要とせず、成形品にボイド、亀裂を生じることなく、かつ、低摩耗性に優れ、耐熱性の良好な摩擦材用フェノール樹脂組成物およびその製造方法並びに摩擦材を提供する。
【解決手段】
ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、アルキル置換芳香族炭化水素樹脂、エポキシ樹脂及び硬化触媒を均一に溶融混合させてなる摩擦材用フェノール樹脂組成物であって、各成分の割合はノボラック型フェノール樹脂３０〜９０重量％、レゾール型フェノール樹脂２〜５０重量％、アルキル置換芳香族炭化水素樹脂５〜５０重量％、エポキシ樹脂２〜５０重量％及び硬化触媒０．１〜１０重量％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】
成形時にガス抜きを必要とせず、成形品にボイド、亀裂を生じることなく、かつ、耐熱性に優れ、耐摩耗性の良好な摩擦材用フェノール樹脂組成物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】
ノボラック型フェノール樹脂、エポキシ樹脂、硬化触媒、及び固形レゾール型フェノール樹脂を均一に溶融混合させてなる摩擦材用フェノール樹脂組成物であって、各成分の割合はノボラック型フェノール樹脂５０〜９５重量％、エポキシ樹脂１〜５０重量％、硬化触媒０．１〜１０重量％、及び固形レゾール型フェノール樹脂１〜５０重量％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 製造課程で生じた摩擦材の削り粉、あるいは不要になった摩擦材を削って得た削り粉を摩擦材の原料として含む摩擦材において、削り粉を含んでも鳴きや異音の発生が増加せず、かつ製造が容易な摩擦材を提供する。
【解決手段】 繊維基材と摩擦調整剤と結合剤を混合し成形した摩擦材の成形体を削ることによって生じた削り粉、あるいは不要になった摩擦材を削って得た削り粉を摩擦材の原料として含む摩擦材であって、削り粉をゴムによって混練・造粒させて造粒体とし、その造粒体が摩擦材の原料として含まれている。 （もっと読む）

【課題】 摩擦材の品質を維持することが出来、かつ導入設備のコストを抑えつつ、予熱工程及び加熱加圧成形工程の時間短縮が実現可能な摩擦材の製造方法を提供する。
【解決手段】 繊維基材、結合材、充填材を主成分とする摩擦材の製造方法において、成形型への投入物を高周波誘電加熱により予備加熱し、その後、加熱加圧成形をおこなうことを特徴とする摩擦材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 水性ポリウレタン樹脂を繊維基材の全体にわたって均一に固着させることを可能とし、十分な硬度を有し、磨耗しにくく長寿命で、しかも形態安定性にも優れた研磨用シートを効率よくかつ確実に得ることを可能とすると共に、製造環境や環境汚染の問題も同時に解決できる研磨用シートの製造方法、並びに、その製造方法により得られる研磨用シートを提供すること。
【解決手段】 （Ａ）カルボキシル基含有ポリウレタン樹脂、（Ｂ）炭素数が１〜４であるカルボン酸のアンモニウム塩及び（Ｃ）水を含む混合液を、不織布に含浸させた後に乾燥して研磨用シートを得ることを特徴とする研磨用シートの製造方法。 （もっと読む）

被覆研磨物品が複合タイ層を有する。複合タイ層は、多官能性アジリジンを含む第１の重合性組成物をバッキング上に配置する工程と、少なくとも１つの酸性フリーラジカル重合性モノマーと単独重合が、５０℃より低いガラス転移温度を有するポリマーをもたらす少なくとも２つのフリーラジカル重合性側基を有する少なくとも１つのオリゴマーとを含む第２の重合性組成物を第１の重合性組成物上に配置し、第１および第２の重合性組成物を少なくとも部分的に重合させる工程とによって作製可能である。
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