【課題】磁性基材、半導体基材および光学基材の少なくとも一つを研磨するのに使用可能な積層開口網状研磨パッドの形成方法を提示する。
【解決手段】光硬化性ポリマーの第１および第２ポリマーシート１２または膜を曝露して、第１および第２ポリマーシート１２に曝露パターンを形成する。曝露は、光硬化性ポリマーを硬化させるのに十分な曝露時間で行われるが、近傍の細長部位がいっしょに硬化されない長さである。第１および第２ポリマーシートを接合して、第１および第２ポリマーシートのパターンがクロスした研磨パッドを形成する。第１および第２シートが、垂れ下がりを抑えるのに十分であって、ポリマーシートの細長チャネル３６同士、および平行面同士の間に直交関係を保持するのに十分な剛度を有した状態で、積層開口網状研磨パッドを硬化させることにより、固定化する。 （もっと読む）

【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート２を有している。発泡シート２は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート２には、カーボンブラックのストラクチャー９が凝集した凝集体５が含有されている。凝集体５は、分散剤のＡＢＳ樹脂で被覆されている。凝集体５は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が３．０μｍ以下に制限されている。凝集体５が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することなく、略均一に分散される。 （もっと読む）

【課題】クッション性を確保しつつ長期にわたり研磨性能を発揮することができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、湿式成膜法で一体形成されたウレタン発泡体を備えている。湿式成膜法では、塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液を帯状の成膜基材にシート状に略均一に塗布する。成膜基材には表面平滑性を有するＰＥＴ製フィルムを用いる。浸漬工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、水を主成分とする凝固液に浸漬する。剥離工程で、ポリウレタン樹脂の凝固再生が完了する前に凝固液中で凝固再生中のポリウレタン樹脂を成膜基材から剥離した後、ポリウレタン樹脂の凝固再生を完了させる。厚み方向両側でシームレスに発泡構造の異なるウレタン発泡体が一体形成される。 （もっと読む）

【課題】安定した研磨レートを保持しうねりの低減を図ることができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液が成膜基材に塗布される。次の気化工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液が、５０℃〜８０℃の雰囲気下へ案内され、１０分〜６０分間の熱処理が施される。加熱雰囲気下へ案内されたポリウレタン樹脂溶液は、少なくとも表層に含まれる有機溶媒の一部が気化される。次いで凝固工程で、塗布され熱処理が施されたポリウレタン樹脂溶液が凝固液中で凝固再生される。凝固再生時にポリウレタン樹脂溶液中にマクロ気孔が形成されることなく、ミクロ気孔（気孔３）が略均一かつ略均等に形成される。 （もっと読む）

ポリマー内部に分散した要素網状構造と、パッド内に形成された複数の空隙と、前記空隙の少なくとも一部分に連結される前記要素網状構造の少なくとも一部分と、を含む化学機械的平坦化研磨パッドが提供される。要素網状構造、およびポリマーと反応性プレポリマーとの少なくとも１つを含む組成物を提供するステップと、組成物に対し第１の気体を導入するステップと、気体を用いて組成物の中に複数の空隙を生成するステップと、を含む化学機械的平坦化研磨パッドを形成する方法も同様に開示されている。ポリマーまたは反応性ポリマーの内部で要素網状構造に対して力を加え、続いて力を除去し空隙を形成させることによる空隙形成方法も同様に開示されている。
（もっと読む）

【課題】ポリエステル繊維織布の表面処理が不要でありかつフェノール樹脂との十分な接着性が得られ摩擦摩耗特性に優れた繊維強化樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ビスフェノールＡを５０〜１００モル％含むフェノール類とホルムアルデヒド類とをアミン類を触媒として合成され、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー測定による数平均分子量Ｍｎが５００〜１０００でありかつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎの比としての分散度Ｍｗ／Ｍｎが２．５〜１５であるレゾール型フェノール樹脂と、四フッ化エチレン樹脂とを配合した樹脂組成物を、ポリエステル繊維織布に対し含浸してなる摺動部材用繊維強化樹脂組成物であり、好適には、レゾール型フェノール樹脂を４０〜６０重量％、四フッ化エチレン樹脂を１０〜３０重量％、及びポリエステル繊維織布を２５〜３５重量％含む。 （もっと読む）

【課題】 研磨領域と光透過領域との間からのスラリー漏れを防止することができ、光学的検知精度に優れる研磨パッドを生産性よく製造する方法を提供する。
【解決手段】 機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、透明支持フィルムをモールド内に配置し、該支持フィルム上の所定位置に注入孔及び注入壁を有する光透過領域形成用型枠を配置する工程、前記注入孔内に光透過領域形成材料を吐出し、該光透過領域形成材料を硬化させて光透過領域を形成する工程、前記注入孔外の前記透明支持フィルム上に前記気泡分散ウレタン組成物を吐出し、該気泡分散ウレタン組成物を硬化させて研磨領域を形成する工程、及び前記光透過領域形成用型枠及びモールドを離型して、光透過領域と研磨領域との間に隙間を有する研磨層を作製する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 スラリー漏れを防止することができ、かつ光学的検知精度に優れる研磨パッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】 ポリウレタン発泡体からなる研磨領域９を作製する工程、貫通孔１２と棚部１３とからなる開口部１４を前記研磨領域に形成する工程、前記研磨領域より薄い凸状の光透過領域１０を作製する工程、前記光透過領域を前記研磨領域の開口部内に設置する工程、及び前記研磨領域の研磨裏面側に透明支持フィルム１１を貼り合わせる工程を含む研磨パッド８の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 フェード現象の防止と生産性及び生産コストの向上を両立させることができる摩擦材の製造方法を提供する。
【解決手段】 熱硬化性樹脂結合材、補強繊維、摩擦調整材とからなる摩擦材の製造方法において、熱成形後過熱蒸気雰囲気下で熱処理することを特徴とする摩擦材の製造方法。熱硬化性樹脂結合材、補強繊維、摩擦調整材とからなる摩擦材の製造方法において、熱成形後加熱空気中で熱処理し、更に過熱蒸気雰囲気下で熱処理することを特徴とする摩擦材の製造方法。過熱蒸気雰囲気下での熱処理を、処理温度１８０℃以上８００℃未満、処理時間１５分〜１時間で行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 熱硬化性樹脂を含む摩擦材において、熱硬化性樹脂が完全に硬化するための熱処理時間を短縮できる摩擦材の製造方法を提供する。
【解決手段】 熱硬化性樹脂を含む摩擦材とバックプレートとを重ね、加圧・加熱して摩擦材をバックプレートに貼り付ける成形工程と、その後加熱下で摩擦材を硬化させる熱処理工程とを含む摩擦材の製造方法において、前記熱処理工程が、前記バックプレート１と該バックプレート１に貼り付けた摩擦材１３との両面から熱板２１ａ，２１ｂを圧接する工程であって、摩擦材側の熱板２１ａの温度が３００〜６５０℃で、バックプレート側の熱板２１ｂの温度が１８０〜３５０℃とした。従来数時間要した熱処理時間を、２〜７０分に短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 摩擦材の品質を維持することが出来、かつ導入設備のコストを抑えつつ、予熱工程及び加熱加圧成形工程の時間短縮が実現可能な摩擦材の製造方法を提供する。
【解決手段】 繊維基材、結合材、充填材を主成分とする摩擦材の製造方法において、成形型への投入物を高周波誘電加熱により予備加熱し、その後、加熱加圧成形をおこなうことを特徴とする摩擦材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】摩擦係数が制御されたクリーニングブレード部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】付着したトナーを除去するクリーニング部に用いるクリーニングブレード部材において、２５℃での反発弾性とヤング率との比率（２５℃での反発弾性／ヤング率）が４．５以下であるポリウレタンからなるクリーニングブレード部材とする。 （もっと読む）

被覆研磨物品が複合タイ層を有する。複合タイ層は、多官能性アジリジンを含む第１の重合性組成物をバッキング上に配置する工程と、少なくとも１つの酸性フリーラジカル重合性モノマーと単独重合が、５０℃より低いガラス転移温度を有するポリマーをもたらす少なくとも２つのフリーラジカル重合性側基を有する少なくとも１つのオリゴマーとを含む第２の重合性組成物を第１の重合性組成物上に配置し、第１および第２の重合性組成物を少なくとも部分的に重合させる工程とによって作製可能である。
（もっと読む）