【課題】熱可塑性樹脂からなるシート部材に所定のパターンを正確に転写することが可能な熱可塑性樹脂の成形方法および成形装置を提供する。
【解決手段】成形装置１は、金型６３と、加熱部材としてのヒータ３と、搭載部材（ロール４、ロール支持部材６８、ベース部材６９、ガイド部材６７）とを備える。金型６３は、熱可塑性樹脂からなるシート部材７に転写するパターンが表面に形成されている。ヒータ３は、金型６３を加熱するためのものである。搭載部材はシート部材７を金型６３上に搭載する。搭載部材は、シート部材７において金型６３と接触する部分の面積が徐々に大きくなるように、シート部材７を操作するとともに、シート部材７を金型６３に押圧する。 （もっと読む）

【課題】不透明でかつ金属材料のスタンパを用いた光インプリント技術を用いることができて、生産性がよく両面一括成形できる。
【解決手段】上スタンパ１と下スタンパ２の側面から、間の透明光硬化樹脂材に対して光を照射可能とする光照射ユニット１２を有している。また、光照射ユニット１２からの光照射時に、上ホルダー３および下ホルダー４を上スタンパ１と下スタンパ２と共に一定速度で回転させる回転機構部５，６を有している。さらに、光照射ユニット１２が、先端のレンズの焦点距離を異ならせることにより、光照射ユニット１２の放射照度分布を異ならせて透明光硬化材の内部に対してより均等に光照射するようになっている。 （もっと読む）

【課題】親モールドの破損が抑えられ、微細パターンの転写精度が高く、転写の際の圧力を低くでき、かつ硬化性樹脂の使用量が抑えられる、微細パターンを有する物品の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】親モールド１００の表面に形成された微細パターンを一旦、転写基材１０４に転写して反転パターンを有するレプリカモールドを製造し、ついでレプリカモールドの表面に形成された反転パターンを物品本体１０２の表面に転写して微細パターンを有する物品を製造するに際し、親モールド１００の微細パターンが形成された表面に、第１の供給手段１７から第１の硬化性樹脂を供給し、該第１の硬化性樹脂を、親モールド１００の微細パターンの転写基材１０４への転写に用いる。 （もっと読む）

【課題】高速な転写を実現しつつ、パターン転写性及びモールド作成コストに優れた加工装置を提供することができる。
【解決手段】本発明の加工装置は、パターンが形成されたモールドを被転写体に塗布された被加工材料に押し付け、パターンを基板ＷＦに転写する加工装置であって、モールドＭＬを傾斜させる傾斜機構と、傾斜したモールドＭＬを基板ＷＦに近接させる移動機構と、傾斜したモールドＭＬの端部が基板ＷＦに接触したとき、モールドＭＬが基板ＷＦと平行になるようにモールドＭＬを回転させる回転機構と、回転機構によりモールドＭＬが回転する間、モールドＭＬの端部の位置が基板ＷＦに対して動かないように制御する制御機構とを有する。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントにおいて高アスペクト比の微細構造体を高速で安定して形成するための微細構造パターン転写用ベルト状金型およびそれを用いた微細パターン転写装置（ナノインプリント装置）を提供する。
【解決手段】本発明のナノインプリント用のベルト状金型は、ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を有する。 （もっと読む）

【課題】ディスク基板とモールドの中心位置合わせを簡単かつ高精度に行うことができるインプリント装置およびインプリント方法を提供する。
【解決手段】中央部に直径Ｄ１の貫通孔を有するモールドと中央部に直径Ｄ２の貫通孔を有する基板とを密着させて加圧してモールドの凹凸パターンを基板に転写するインプリント装置において、モールドおよび基板の貫通孔の周縁部に当接する支持位置においてモールドと基板を支持する支持手段と、支持手段により支持されたモールドと基板の相対位置を維持しつつ基板およびモールドを保持する保持手段と、保持手段に押圧を加える加圧手段とを設ける。支持手段は、その断面の径がＤ１に一致する第１位置でモールドを支持し、その断面の径がＤ２に一致する第２位置で基板を支持する。 （もっと読む）

【課題】現在、一般的に知られたナノインプリントは、ワークの片面に対する加工であり、ワークの表裏両面に対して効率よくインプリント加工を行うことができない。
【解決手段】本発明によるインプリント装置１０は、平坦な基板Ｐの外周縁部を保持するための基板保持部材１１と、一対の透明なモールド１２ａ，１２ｂの外周縁部をこれらにそれぞれ形成された成形面１４が基板Ｐを挟んで対向するように把持する一対のモールド把持部材１３ａ，１３ｂと、これら一対のモールド把持部材１３ａ，１３ｂをモールド１２ａ，１２ｂの成形面１４の対向方向に沿って駆動するモールド駆動手段と、基板保持部材１１に保持された基板Ｐを挟んで対向するように配され、基板Ｐの表裏両面にそれぞれ塗布された光硬化型樹脂Ｒを硬化させるための光を一対のモールド１２ａ，１２ｂを通してそれぞれ照射するための一対の樹脂硬化用光源１５ａ，１５ｂとを具える。 （もっと読む）

【課題】アスペクト比１以上の高アスペクト比微細構造体を高スループットで形成すること。
【解決手段】１対の円筒形加圧加熱ロールから構成された微細な構造を転写するための微細構造転写装置を用い、金型と基材表面の接触部の圧力が１ＭＰａ以上であり、且つ、基材の進行方向と平行な加圧部分の幅Ｗが数式１を満たす条件でパターン転写を行う。
Ｗ≧１２８・η・ａ／Ｐ ・・・・ 数式１
上記数式１において、η：基材表面の粘度（Ｐａ・ｓ），ａ：ロールの周速度（ｍｍ／ｓ），Ｐ：加圧部圧力（Ｐａ）である。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の製造等におけるスキュー角に対応した構造体を容易に製造することができるライン状凹構造を有する構造体の製造方法、ナノインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】ライン状凹構造を有する構造体の製造方法であって、
被加工基板における円形状の領域に、同一のモールドを用い又はプレス毎にモールドを変えて、複数回プレスによりライン状凹構造を形成するに際し、
前記複数回プレスによる前記ライン状凹構造のプレス中心点を結ぶ直線の、前記円形状の領域における右回り円周方向に対する傾き角が、
前記円形状の領域における円の中心から離れるほど大きくなるように形成する工程を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】インジェクション金型や射出成形機を使用しないで、プラスチック製歯車等の周面凹凸製品を製作することのできる周面凹凸製品の製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】周面凹凸製品の製造装置は、表面に凹凸を有する平板状の金型と、熱可塑性の合成樹脂からなる円柱状部材を回転可能に保持し、前記円柱状部材の回転軸と前記金型表面との距離を一定に保って相対的に移動させる移動機構とを備え、前記金型を加熱した状態で、前記移動機構により前記金型表面の凹凸に沿って前記円柱状部材を回転させることで、前記円柱状部材の周面部分に熱可塑性を利用して前記金型表面の凹凸を転写させる。 （もっと読む）

【課題】ロール状のフィルムを、金型の表面から離型し転写するフィルムをすばやく供給できる間欠式フィルム成形装置と方法を提供する。
【解決手段】微細凹凸形状が表面に形成された金型３と、金型表面にフィルムを押圧するプレス装置と、フィルム２を搬送する搬送装置と、金型の表面からフィルムを離型する離型装置とを含む間欠式フィルム成形装置１。離型装置が剥離ロール２１と、該剥離ロールと略平行に配された補助ロール２２と、フィルムを剥離ロールに抱きつかせる補助ロール移動手段と、剥離ロールを表面と平行に移動させる駆動手段と、表面に平行に移動させる案内ガイドと、剥離ロールよりもフィルム搬送方向下流側にフィルムに張力を付加する張力付加機構とを備えた間欠式フィルム成形装置。 （もっと読む）

【課題】ロール状のフィルムをプレス装置に配設した金型の表面から離型し転写するフィルムをすばやく供給できる間欠式フィルム成形装置及び成形方法を提供する。
【解決手段】微細凹凸形状が表面に形成された金型と、金型の表面にフィルムを押圧するプレス装置と、フィルムを搬送するための搬送装置と、金型の表面からフィルムを離型するための離型装置とを含む間欠式フィルム成形装置。離型装置がフィルムを剥離するための剥離ロールと、剥離ロールを回転駆動するための剥離ロール駆動手段と、フィルムパスラインを挟んで剥離ロールと略平行に配された補助ロールと、フィルムを剥離ロールに抱きつかせるように剥離ロール周辺で補助ロールを移動させる補助ロール移動手段と、前記剥離ロールと前記補助ロールがフィルムを剥離ロールに抱きつかせる相対位置関係を保持したまま金型表面近傍を該表面に平行に移動させる案内ガイドとを備えた間欠式フィルム成形装置。 （もっと読む）

【課題】樹脂の表面を高精度で加工する。
【解決手段】複数の貫通孔が形成されていて加工対象の樹脂６０が載置される載置台２０と、前記貫通孔にパイプ５０を通じて連結された吸引手段４０と、樹脂６０の表面を切削する先端のカーブが１アールから３アールの範囲である刃先８２を有する刃物８０と、刃物８０を樹脂６０の表面に直交する軸８２を中心に回転させる回転手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】誘電体層の不均一性やリブの欠陥を容易に低減することができる、ＰＤＰ用基板の製造装置を提供すること。
【解決手段】平板上にリブを備えたプラズマディスプレイパネル用基板を製造する装置において、平板の支持台、平板上にリブの前駆体を設けるためのリブ前駆体供給部、平板上に設けられたリブの前駆体の上に設置されるものであって、一定の間隔をあけて平行に配設された溝部を少なくとも有する可とう性の成形型、成形型に圧力を与えて、その成形型をリブの前駆体を介して平板と密着させるための成形型押圧部、そして成形型押圧部を成形型の溝部に沿って移動させるための駆動部を含んでなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 ＵＶ導光路を転写領域に垂直方向から導入することができる転写装置を提供する。
【解決手段】 ジンバル機構４５を備えた転写装置において、被成形材料を搭載するテーブル１１と、テーブル１１面に対向して配置された型を固定保持する型保持体２０５と、型保持体２０５を保持すると共に凸球面部を形成してなるジンバル部材２０１と、前記凸球面部と対接する凹球面部を形成したジンバル部材２０３と、ジンバル部材２０３を保持し、テーブル１１面に対し垂直方向に進退可能な可動体１９と、ＵＶ発生装置４２から与えられるＵＶを導くＵＶ光路とを有する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ技術を用いて型の表面に形成された微細な凹凸パターンを被成形品の表面に転写するとき、位置ずれを小さく抑えることができると共に、微細な凹凸形状を損傷することなく離形を行うことのできる転写装置及び方法を提供する。
【解決手段】成形材料の基板を搭載するテーブルと、同テーブル面に対向して配置された型を固定保持する型保持体と、型保持体を保持し凸球面部を形成してなる第１のジンバル部材と、第１のジンバル部材の凸球面部と対接する凹球面部を形成した第２のジンバル部材と、第２のジンバル部材を保持して上下方向に進退可能な可動体と、可動体を上下動せしめる可動体駆動手段と、第１のジンバル部材の姿勢を調整保持するための姿勢調整及び保持手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】２個のロール間のオフセットに起因するこじり現象の発生と剛性不足による弾性変形を回避して、高精度な賦形成形を行うことができる成形ロール装置を提供する。
【解決手段】所定間隙を有して配設された２個のロール２，３を回転駆動手段５，２５によって回転し、該２個のロール２，３間に樹脂を通してシートを成形するロール装置であって、該２個のロール２，３にはシートの表裏両面に凹凸模様を賦形するための彫刻が設けられ、さらに、前記２個のロール２，３の間隙を調整するための間隙調整手段と、いずれか一方のロール２を軸方向へ移動調整するための軸方向位相調整手段１４とを備えた成形ロール装置１において、前記回転駆動手段５と軸方向位相調整手段１４とを同一のスライド架台１９に設置し、かつ、該スライド架台１９が前記一方のロール２の軸方向へ移動可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 微細な凹凸形状の場合でも成形された凹凸形状を損傷することなく離形を容易にする転写装置および転写方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 ジンバル機構４５を備えた転写装置において、被成形材料を搭載するテーブル１１と、テーブル１１面に対向して配置された型を固定保持する型保持体２０５と、型保持体２０５を保持すると共に凸球面部を形成してなるジンバル部材２０１と、前記凸球面部と対接する凹球面部を形成したジンバル部材２０３と、ジンバル部材２０３を保持し、テーブル１１面に対し垂直方向に進退可能な可動体１９と、ジンバル部材２０１の姿勢を調整保持するための姿勢調整及び保持手段とを有し、前記姿勢調整手段及び保持手段は、ピエゾ素子を積層して形成されたピエゾアクチュエータを、各ジンバル部材２０１、２０３の間に３個配置して構成されている転写装置である。 （もっと読む）

不透明ウェブの両側にパターン化表面を成形する装置および方法。装置は第１のパターン化ロール（１８）と、第２のパターン化ロール（２０）と、ウェブが連続移動されつつパターンが透明ウェブ（１２）の両側に転写されるように、第１および第２のパターン化ロール（１８、２０）を回転させる手段とを含む。このプロセス中、第１および第２のパターン化ロール（１８、２０）が硬化エネルギーに対して不透明な複数の領域を備えるとともに、それらのパターンが少なくとも１００マイクロメートル以内に連続位置合わせされた状態で維持される。
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本発明は基板をウェハ・チャックに保持する方法に向けられる。この方法は基板の一部分をウェハ・チャックに向けて加速させ、ウェハ・チャックへ向かう基板の移動の速度を生成させ、基板がウェハ・チャックに到達する前に速度を下げることを特徴とする。この方式で、ウェハ・チャックとこの部分の衝突の力が大幅に削減され、これは基板の構造的完全性が傷つけられる可能性、さらには基板上の層および／またはウェハ・チャックが傷つけられる可能性を下げる。
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