【課題】 高密度および高強度を有し、窒化チタン系の膜を成膜可能なスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 窒化チタン粉と酸化チタン粉とを焼結したスパッタリングターゲットであって、Ｎ：３０〜４３ａｔ％、Ｏ：９〜２７ａｔ％を含有し、残部がＴｉおよび不可避不純物からなる成分組成を有し、Ｏ／Ｔｉ原子比が２未満の酸化チタンを含む焼結体からなり、該焼結体の密度が４．４ｇ／ｃｍ^３以上である。また、このスパッタリングターゲットの製造方法は、窒化チタン粉と酸化チタン粉とを混合して混合粉末を作製する工程と、該混合粉末を真空中でホットプレスにて焼結する工程とを有し、前記酸化チタン粉の少なくとも一部をＯ／Ｔｉ原子比が２未満の酸化チタン粉とし、この酸化チタン粉を窒化チタン粉と混合する。 （もっと読む）

【課題】 機械的特性や熱的特性を有しているとともに体積抵抗率の大きな炭化珪素質焼結体およびこの炭化珪素質焼結体からなる静電吸着部材ならびに半導体製造装置用部材を提供する。
【解決手段】 炭化珪素を主成分とし、チタンを含む緻密質の炭化珪素質焼結体であって、炭化珪素の平均結晶粒径が4.8μｍ以下（但し、０μｍを除く）であり、チタンの含
有量が140質量ｐｐｍ以下（但し、０ｐｐｍを除く。）の炭化珪素質焼結体である。この
炭化珪素質焼結体は、機械的特性や熱的特性を有しているとともに体積抵抗率の大きなものである。 （もっと読む）

【課題】信頼性や精度の高い複雑な形状も含みうる無機繊維結合セラミックス部品、及び短期間に低コストでクラックや欠け等の欠陥がなく、複雑形状の形成も可能な該部品の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯを含む非晶質物質、並びにβ−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣを含む結晶質微粒子とＳｉＯ_２及びＭＯ_２を含む非晶質物質との集合体、のうち少なくとも１つからなる無機繊維と、Ｓｉ及びＯを含む非晶質物質、並びに結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２を含む結晶質物質、のうち少なくとも１つからなる無機物質と、Ｃを主成分とする境界層と、から構成される無機繊維結合セラミックス、及び主としてＳｉＣの焼結構造からなり、０．０１〜１質量％のＯ、及び特定の金属原子を含有する無機繊維と、Ｃを主成分とする境界層と、から構成される無機繊維結合セラミックスを放電加工する無機繊維結合セラミックス部品の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】超微粒、均粒かつ均質なチタン系炭窒化物固溶体粉末の製造方法を提供すること。
【解決手段】チタン酸化物粉末、炭素粉末、およびモリブデン酸化物粉末もしくはタングステン酸化物粉末の１種類以上の粉末からなる混合粉末、また、必要に応じて、Ｖ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｈｆの各酸化物粉末の１種以上をさらに添加した混合粉末を、非窒化性かつ非酸化性雰囲気中で１４００℃以上まで加熱昇温し、その後、雰囲気を窒素雰囲気に切り替え、該窒素雰囲気中において、１４００〜１６００℃の温度範囲で熱処理することにより、一次粒子の平均粒径が２００ｎｍ以下の超微粒の均粒であり、さらに、均質な固溶体組織を有する超微粒かつ均質なチタン系炭窒化物固溶体粉末を得る。 （もっと読む）

【課題】低温〜高温の広い温度域ですぐれた抵抗値特性を有する炭化ケイ素を製造することができる炭化ケイ素焼結体の製造方法及び炭化ケイ素焼結体を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素焼結体の製造方法は、炭化ケイ素と、チタンを含むチタン原料と、炭素を含む炭素原料と、が混合した原料粉末を調製する原料混合工程と、原料粉末を焼結する焼結工程と、酸化性雰囲気下で炭素を酸化して除去する酸化工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平均熱膨張係数（２３〜１５０℃）が２〜６ｐｐｍ／Ｋの範囲に任意に調節可能で、ヤング率が高くかつ機械的強度が大きく、焼結性に優れる窒化珪素・メリライト複合焼結体を用いた基板を提供する。
【解決手段】ヒーター基板３００は、板状の基板３１０と、ヒートパターン３２０とを備える。基板３１０は、窒化珪素結晶相と、メリライト結晶相（Ｍｅ２Ｓｉ３Ｏ３Ｎ４、Ｍｅはメリライトを形成する金属元素）と、粒界相とを有する窒化珪素・メリライト複合焼結体を材料として作成されている。窒化珪素・メリライト複合焼結体の切断面におけるメリライト結晶相の占める割合は２０面積％以上である。 （もっと読む）

【課題】 凝集性を改良した炭化ケイ素微粉を提供する。
【解決手段】 炭化ケイ素粗粉体に、金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子を加えてなる炭化ケイ素微粉であって、そのＢＥＴ比表面積比（＝金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子のＢＥＴ比表面積／炭化ケイ素粗粉体のＢＥＴ比表面積）が２０〜８０で、且つ、金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子の含有量が１〜１０％であることを特徴とする。前記炭化ケイ素粗粉体のＢＥＴ比表面積が１〜１０ｍ^２／ｇであること、前記金属酸化物が、ケイ素、アルミニウム、チタンの酸化物の少なくとも１種からなること、が好ましい。 （もっと読む）

【課題】非接触式電力伝達系を提供する。
【解決手段】この電力伝達系は誘電材料を含む場集束素子を含む。誘電材料は（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ_３又はＣａＣｕ_３Ｔｉ_４Ｏ_１２の群から選択される組成物を含む。（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ_３の組成物には、Ｃａ_{１−ｘ−ｙ}Ｂａ_ｘＳｒ_ｙＴｉ_１−ｚＣｒ_ｚＯ_３−δＮ_ｐのような材料が包含され、ここで０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１、０≦ｚ≦０．０１、０≦δ≦１、０≦ｐ≦１である。ＣａＣｕ_３Ｔｉ_４Ｏ_１２の組成物には、Ｃａ_{１−ｘ−ｙ}Ｂａ_ｘＳｒ_ｙ（Ｃａ_１−ｚＣｕ_ｚ）Ｃｕ_２Ｔｉ_４−δＡｌ_δＯ_{１２−０．５δ}のような材料が包含され、ここで０≦ｘ＜０．５、０≦ｙ＜０．５、０≦ｚ≦１、０≦ｄ≦０．１である。 （もっと読む）

【課題】高強度で熱伝導率やヤング率も高く、且つ緻密であると同時に、１０００℃以下の低温での焼成によって製造することができ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ等の低抵抗導体から成る配線層を表面或いは内部に備えた絶縁基板として有用な低温焼成セラミック焼結体を得る。
【解決手段】結晶相として、（ａ）ガーナイト結晶相および／またはスピネル結晶相、（ｂ）アスペクト比が３以上の針状晶を含むセルシアン結晶相、及び（ｃ）ＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＣ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２及びＭｇ_２ＳｉＯ_４の群から選ばれる少なくとも１種の結晶相、を含有しており、且つ開気孔率が０．３％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、耐衝撃チッピング性と耐クレーター摩耗性との両者を十分に向上させることにより工具寿命をさらに長くした複合焼結体を提供することにある。
【解決手段】本発明の複合焼結体は、立方晶窒化硼素と結合材とを含み、該立方晶窒化硼素は、該複合焼結体中に２５体積％以上８０体積％以下含まれ、該結合材は、Ｔｉ系化合物群を含み、該Ｔｉ系化合物群は、少なくともＴｉを含む化合物を１種以上含むものであって、かつ互いに異なった平均粒径を有する２種以上の粒子成分から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐欠損性と耐摩耗性とを高度に両立させた複合焼結体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の複合焼結体は、立方晶窒化硼素と結合材とを含み、該立方晶窒化硼素は、該複合焼結体中に２５体積％以上８０体積％以下含まれ、該結合材は、Ｔｉ系化合物群を含み、該Ｔｉ系化合物群は、少なくともＴｉを含む化合物を１種以上含むものであって、かつ粒径が０．１μｍ以下の粒子で構成される第１微粒成分を含み、該第１微粒成分は、該複合焼結体の少なくとも一断面において、該結合材が占める面積の１０〜６０％を占めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来法よりも比較的低温で高密度のホウ化チタン焼結体を製造することが可能な方法を提供する。
【解決手段】本製法は、３〜１０体積％の酸化チタン粉末が均一に混合されたホウ化チタン粉末を調製し、この混合粉末を成形して成形体を製造する工程Ａと、前記工程Ａで得られた成形体をパルス通電加圧焼結して、相対密度９０％以上のホウ化チタン焼結体を製造する工程Ｂを含む。更に高密度で、機械的特性の優れた焼結体を得るには、３〜７体積％の酸化チタン粉末及び１〜４体積％の酸化マグネシウム粉末が均一に混合されたホウ化チタン粉末を調製し、この混合粉末を用いて製造された成形体をパルス通電加圧焼結すれば良く、工程Ｂの条件としては、１０Ｐａ以下の真空下、焼結温度１６５０℃、保持時間１０分、加圧力３０ＭＰａ、昇温速度１００℃／分が好ましい。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム溶湯との濡れ性が良くして超音波処理を好適に行うことができるとともに、破壊靱性を高めて耐久性を向上させた窒化珪素基焼結体製の超音波ホーン用いてアルミニウム鋳造組織を効率的に微細化する。
【解決手段】通常の焼結助剤を含むＳｉ_３Ｎ_４原料複合粉中のＳｉ_３Ｎ_４粉末１００質量部に対して４Ａ族元素を金属換算で１.０〜１０質量部を含む複合粉の焼結体を焼結した窒化珪素基焼結体製の超音波ホーンによりアルミニウム溶湯に超音波を照射する。
窒化珪素基焼結体製造の際に、Ａｌ_２Ｏ_３やＹ_２Ｏ_３等の焼結助剤の他に４Ａ族元素或いはその化合物を添加した焼結体を用いることにより、アルミニウム溶湯との濡れ性が良くして超音波処理を好適に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】純度が低く安価な窒化けい素原料粉末を使用して形成した場合であっても、助剤成分の分散状態を制御することが可能であり、従来の窒化けい素焼結体と同等以上の機械的強度、耐磨耗性、転がり寿命特性に加え、加工性に優れた転がり軸受け部材として好適な窒化けい素焼結体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属窒化法により製造された窒化けい素粉末と焼結助剤とを混合し焼結した窒化けい素焼結体において、焼結助剤成分として希土類元素を２〜５質量％、Ａｌ元素を１〜５質量％、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，ＮｂおよびＣｒからなる群より選択される少なくとも１種の元素を０．５〜５質量％含有し、気孔率が１％以下であり、上記窒化けい素焼結体を構成する窒化けい素結晶粒子の最大長さが４０μｍ以下であり、上記窒化けい素焼結体の結晶組織における助剤成分の偏析凝集部の最大径が２０μｍ以下であり、上記窒化けい素焼結体が不純物としてＦｅを１０〜３５００ｐｐｍ含有するとともに、Ｃａを１０〜１０００ｐｐｍ含有しており、上記窒化けい素焼結体の破壊靭性値が６ＭＰａ・ｍ^１／２以上であり、抗折強度が６００ＭＰａ以上であり、圧砕強度が１５０Ｎ／ｍｍ^２以上であることを特徴とする窒化けい素焼結体である。 （もっと読む）

【課題】相変化記録媒体の界面層膜の結晶化促進機能と光学的特性とを両立させた金属化合物膜の成膜等を可能にするスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】スパッタリングターゲットは、Ｍ（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0.1≦ｘ≦0.5、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））で表される組成を有する。このようなスパッタリングターゲットを用いて成膜した金属酸窒化膜は、相変化記録媒体１の界面層４、６等に使用される。 （もっと読む）

【課題】窒化ケイ素焼結体からなる耐摩耗性部材において、強度や破壊靭性に加えて、転がり寿命などの摺動特性を向上させる。
【解決手段】耐摩耗性部材は、窒化ケイ素粉末に、希土類化合物を酸化物に換算して０．５〜１０質量％、チタン化合物を窒化チタンに換算して０．１〜５質量％、酸化アルミニウムを０．１〜５質量％、および窒化アルミニウムを５質量％以下の範囲で添加した混合原料粉末を成形、焼結してなる窒化ケイ素焼結体を具備する。該窒化ケイ素焼結体は、長軸径が１μｍ以下の窒化チタン粒子を０．２〜５質量％含有する。該窒化チタン粒子は、アスペクト比が１．０〜１．２の範囲の粒子を８０％以上含む。該窒化ケイ素焼結体は気孔率が０．５％以下である。 （もっと読む）

【課題】金属窒化法で製造された窒化けい素粉末の様に低純度、安価な窒化けい素粉末により形成した場合でも、助剤成分の分散状態の制御が可能であり、均質で粒界強度のばらつきが小さくでき、従来の窒化けい素焼結体と同等以上の機械的強度、耐摩耗性、転がり寿命特性、加工性に優れた転がり軸受け部材として好適な窒化けい素焼結体の提供。
【解決手段】焼結助剤成分として希土類元素１．５〜３質量％、Ａｌ元素１〜３質量％、酸素元素５質量％以下含有の窒化けい素焼結体であり、不純物としてＦｅ１０〜３０００ｐｐｍ、Ｃａ１０〜１０００ｐｐｍ含有し、窒化けい素焼結体のビッカース硬度Ｈｖが１３００〜１６００であり、ヤング率が２９０ＧＰａ以上であり、この窒化けい素焼結体の結晶組織において窒化けい素結晶粒子の短径に対する長径の比が２以上である窒化けい素針状結晶粒子の面積率が５０％以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、多結晶の立方晶窒化ホウ素（ＰＣＢＮ）の本体を固体のインサートとして又は支持体に取り付けられるものとして含む、その上に硬質かつ耐摩耗性のＰＶＤコーティングが堆積された、チップ除去による機械加工のための切削工具インサートに関する。前記コーティングは、Ａ層及びＢ層の互層の多結晶のナノ積層構造を含み、ここで、Ａ層は（Ｔｉ、Ａｌ、Ｍｅ１）ＮでありＭｅ１は周期表の３、４、５又は６族からの金属元素の１種以上であり、Ｂ層は（Ｔｉ、Ｓｉ、Ｍｅ２）Ｎであり、Ｍｅ２は、Ａｌを含む周期表の３、４、５又は６族からの金属元素の１種以上であり、厚さは、０．５〜１０ｍである。本発明のインサートは、高温を発生する金属切削用途、例えば、鋼、鋳鉄、超合金及び硬化鋼の高速加工において特に有用である。
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【課題】窒化珪素製球状体からなる転動体と鉄鋼材料からなる内輪および外輪とを有する転がり軸受（ハイブリット軸受）として、耐焼き付き性に優れたものを提供する。
【解決手段】転がり軸受の内輪１および外輪２をＳＵＪ２製とする。窒化珪素製の玉３を焼結工程とボールミル工程により得る。焼結工程では、窒化珪素を主成分とし、焼結助剤としてアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）およびイットリア（Ｙ₂ Ｏ₃ ）を含有し、酸化チタン（ＴｉＯ₂ ）の含有率が１０００ｐｐｍ以下である原料粉末を、所定形状に成形した後に焼結する。ボールミル工程では、遊星ボールミルのミルポット内に入れて、遊星ボールミルを作動させ、前記球状体に、ミルポット内に発生する公転に伴う遠心力と自転に伴う遠心力を付与することで、前記球状体同士を衝突させるとともに、前記球状体をミルポットの内壁へ衝突させて、前記球状体の表面の残留応力を増加させる。 （もっと読む）

【課題】窒化珪素焼結体製の転動体による金属製の内輪および外輪に対する攻撃性を緩和する。
【解決手段】転がり軸受の内輪１および外輪２をＳＵＪ２製とする。玉３を、窒化珪素を主成分とし、焼結助剤としてアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）およびイットリア（Ｙ₂ Ｏ₃ ）を含有し、酸化チタン（ＴｉＯ₂ ）の含有率が１０００ｐｐｍ以下である原料粉末を、所定形状に成形した後に焼結して得られた窒化珪素焼結体で構成する。 （もっと読む）