【課題】 高密度および高強度を有し、窒化チタン系の膜を成膜可能なスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 窒化チタン粉と酸化チタン粉とを焼結したスパッタリングターゲットであって、Ｎ：３０〜４３ａｔ％、Ｏ：９〜２７ａｔ％を含有し、残部がＴｉおよび不可避不純物からなる成分組成を有し、Ｏ／Ｔｉ原子比が２未満の酸化チタンを含む焼結体からなり、該焼結体の密度が４．４ｇ／ｃｍ^３以上である。また、このスパッタリングターゲットの製造方法は、窒化チタン粉と酸化チタン粉とを混合して混合粉末を作製する工程と、該混合粉末を真空中でホットプレスにて焼結する工程とを有し、前記酸化チタン粉の少なくとも一部をＯ／Ｔｉ原子比が２未満の酸化チタン粉とし、この酸化チタン粉を窒化チタン粉と混合する。 （もっと読む）

【課題】 機械的特性や熱的特性を有しているとともに体積抵抗率の大きな炭化珪素質焼結体およびこの炭化珪素質焼結体からなる静電吸着部材ならびに半導体製造装置用部材を提供する。
【解決手段】 炭化珪素を主成分とし、チタンを含む緻密質の炭化珪素質焼結体であって、炭化珪素の平均結晶粒径が4.8μｍ以下（但し、０μｍを除く）であり、チタンの含
有量が140質量ｐｐｍ以下（但し、０ｐｐｍを除く。）の炭化珪素質焼結体である。この
炭化珪素質焼結体は、機械的特性や熱的特性を有しているとともに体積抵抗率の大きなものである。 （もっと読む）

【課題】信頼性や精度の高い複雑な形状も含みうる無機繊維結合セラミックス部品、及び短期間に低コストでクラックや欠け等の欠陥がなく、複雑形状の形成も可能な該部品の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ、Ｍ、Ｃ及びＯを含む非晶質物質、並びにβ−ＳｉＣ、ＭＣ及びＣを含む結晶質微粒子とＳｉＯ_２及びＭＯ_２を含む非晶質物質との集合体、のうち少なくとも１つからなる無機繊維と、Ｓｉ及びＯを含む非晶質物質、並びに結晶質のＳｉＯ_２及びＭＯ_２を含む結晶質物質、のうち少なくとも１つからなる無機物質と、Ｃを主成分とする境界層と、から構成される無機繊維結合セラミックス、及び主としてＳｉＣの焼結構造からなり、０．０１〜１質量％のＯ、及び特定の金属原子を含有する無機繊維と、Ｃを主成分とする境界層と、から構成される無機繊維結合セラミックスを放電加工する無機繊維結合セラミックス部品の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】低温〜高温の広い温度域ですぐれた抵抗値特性を有する炭化ケイ素を製造することができる炭化ケイ素焼結体の製造方法及び炭化ケイ素焼結体を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素焼結体の製造方法は、炭化ケイ素と、チタンを含むチタン原料と、炭素を含む炭素原料と、が混合した原料粉末を調製する原料混合工程と、原料粉末を焼結する焼結工程と、酸化性雰囲気下で炭素を酸化して除去する酸化工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 凝集性を改良した炭化ケイ素微粉を提供する。
【解決手段】 炭化ケイ素粗粉体に、金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子を加えてなる炭化ケイ素微粉であって、そのＢＥＴ比表面積比（＝金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子のＢＥＴ比表面積／炭化ケイ素粗粉体のＢＥＴ比表面積）が２０〜８０で、且つ、金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子の含有量が１〜１０％であることを特徴とする。前記炭化ケイ素粗粉体のＢＥＴ比表面積が１〜１０ｍ^２／ｇであること、前記金属酸化物が、ケイ素、アルミニウム、チタンの酸化物の少なくとも１種からなること、が好ましい。 （もっと読む）

【課題】高強度で熱伝導率やヤング率も高く、且つ緻密であると同時に、１０００℃以下の低温での焼成によって製造することができ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ等の低抵抗導体から成る配線層を表面或いは内部に備えた絶縁基板として有用な低温焼成セラミック焼結体を得る。
【解決手段】結晶相として、（ａ）ガーナイト結晶相および／またはスピネル結晶相、（ｂ）アスペクト比が３以上の針状晶を含むセルシアン結晶相、及び（ｃ）ＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＣ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２及びＭｇ_２ＳｉＯ_４の群から選ばれる少なくとも１種の結晶相、を含有しており、且つ開気孔率が０．３％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、耐衝撃チッピング性と耐クレーター摩耗性との両者を十分に向上させることにより工具寿命をさらに長くした複合焼結体を提供することにある。
【解決手段】本発明の複合焼結体は、立方晶窒化硼素と結合材とを含み、該立方晶窒化硼素は、該複合焼結体中に２５体積％以上８０体積％以下含まれ、該結合材は、Ｔｉ系化合物群を含み、該Ｔｉ系化合物群は、少なくともＴｉを含む化合物を１種以上含むものであって、かつ互いに異なった平均粒径を有する２種以上の粒子成分から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム溶湯との濡れ性が良くして超音波処理を好適に行うことができるとともに、破壊靱性を高めて耐久性を向上させた窒化珪素基焼結体製の超音波ホーン用いてアルミニウム鋳造組織を効率的に微細化する。
【解決手段】通常の焼結助剤を含むＳｉ_３Ｎ_４原料複合粉中のＳｉ_３Ｎ_４粉末１００質量部に対して４Ａ族元素を金属換算で１.０〜１０質量部を含む複合粉の焼結体を焼結した窒化珪素基焼結体製の超音波ホーンによりアルミニウム溶湯に超音波を照射する。
窒化珪素基焼結体製造の際に、Ａｌ_２Ｏ_３やＹ_２Ｏ_３等の焼結助剤の他に４Ａ族元素或いはその化合物を添加した焼結体を用いることにより、アルミニウム溶湯との濡れ性が良くして超音波処理を好適に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】優れた硬度を有する焼結体、およびその製造方法、ならびに耐摩耗性に優れた切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】立方晶の結晶構造を有する立方晶型サイアロン、ならびに鉄、コバルト、ニッケル、第４族元素、第５族元素、および第６族元素よりなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を含む焼結体に関する。 （もっと読む）

【課題】金属窒化法で製造された窒化けい素粉末の様に低純度、安価な窒化けい素粉末により形成した場合でも、助剤成分の分散状態の制御が可能であり、均質で粒界強度のばらつきが小さくでき、従来の窒化けい素焼結体と同等以上の機械的強度、耐摩耗性、転がり寿命特性、加工性に優れた転がり軸受け部材として好適な窒化けい素焼結体の提供。
【解決手段】焼結助剤成分として希土類元素１．５〜３質量％、Ａｌ元素１〜３質量％、酸素元素５質量％以下含有の窒化けい素焼結体であり、不純物としてＦｅ１０〜３０００ｐｐｍ、Ｃａ１０〜１０００ｐｐｍ含有し、窒化けい素焼結体のビッカース硬度Ｈｖが１３００〜１６００であり、ヤング率が２９０ＧＰａ以上であり、この窒化けい素焼結体の結晶組織において窒化けい素結晶粒子の短径に対する長径の比が２以上である窒化けい素針状結晶粒子の面積率が５０％以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、多結晶の立方晶窒化ホウ素（ＰＣＢＮ）の本体を固体のインサートとして又は支持体に取り付けられるものとして含む、その上に硬質かつ耐摩耗性のＰＶＤコーティングが堆積された、チップ除去による機械加工のための切削工具インサートに関する。前記コーティングは、Ａ層及びＢ層の互層の多結晶のナノ積層構造を含み、ここで、Ａ層は（Ｔｉ、Ａｌ、Ｍｅ１）ＮでありＭｅ１は周期表の３、４、５又は６族からの金属元素の１種以上であり、Ｂ層は（Ｔｉ、Ｓｉ、Ｍｅ２）Ｎであり、Ｍｅ２は、Ａｌを含む周期表の３、４、５又は６族からの金属元素の１種以上であり、厚さは、０．５〜１０ｍである。本発明のインサートは、高温を発生する金属切削用途、例えば、鋼、鋳鉄、超合金及び硬化鋼の高速加工において特に有用である。
（もっと読む）

【課題】窒化珪素製球状体からなる転動体と鉄鋼材料からなる内輪および外輪とを有する転がり軸受（ハイブリット軸受）として、耐焼き付き性に優れたものを提供する。
【解決手段】転がり軸受の内輪１および外輪２をＳＵＪ２製とする。窒化珪素製の玉３を焼結工程とボールミル工程により得る。焼結工程では、窒化珪素を主成分とし、焼結助剤としてアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）およびイットリア（Ｙ₂ Ｏ₃ ）を含有し、酸化チタン（ＴｉＯ₂ ）の含有率が１０００ｐｐｍ以下である原料粉末を、所定形状に成形した後に焼結する。ボールミル工程では、遊星ボールミルのミルポット内に入れて、遊星ボールミルを作動させ、前記球状体に、ミルポット内に発生する公転に伴う遠心力と自転に伴う遠心力を付与することで、前記球状体同士を衝突させるとともに、前記球状体をミルポットの内壁へ衝突させて、前記球状体の表面の残留応力を増加させる。 （もっと読む）

【課題】窒化珪素焼結体製の転動体による金属製の内輪および外輪に対する攻撃性を緩和する。
【解決手段】転がり軸受の内輪１および外輪２をＳＵＪ２製とする。玉３を、窒化珪素を主成分とし、焼結助剤としてアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）およびイットリア（Ｙ₂ Ｏ₃ ）を含有し、酸化チタン（ＴｉＯ₂ ）の含有率が１０００ｐｐｍ以下である原料粉末を、所定形状に成形した後に焼結して得られた窒化珪素焼結体で構成する。 （もっと読む）

【課題】アルカリ性溶液と酸性溶液とに対する耐食性に優れ、それら溶液に頻繁に晒されるような過酷な環境下でも強度が低下しにくいセラミック多孔体を提供する。
【解決手段】１０〜２０質量％のＺｒＯ_２を含むガラス相と、ＺｒＯ_２粒子及びＳｉＣ粒子からなる群より選択される何れか一種の骨材粒子とを含むセラミック多孔体。 （もっと読む）

【課題】鉛を使用せずに、圧電定数とヤング率の積が大きい圧電性に優れた圧電体材料を提供する。
【解決手段】組成式ＡＢＯ_２Ｎ（Ａは３価の陽イオン、Ｂは４価の陽イオンを示す。但し、Ａ、Ｂは鉛を除く。）で表されるペロブスカイト型結晶または前記ペロブスカイト型結晶を含むバルク材料からなる圧電体材料であって、前記圧電体材料中に含まれる窒素Ｎの個数をＮｘｙｚとし、Ｎｘｙｚのうち結晶中の面心位置であってかつ長軸方向に配置された窒素の個数をＮｚとすると、Ｎｚ／Ｎｘｙｚ＞１／３である圧電体材料。前記ＡはＬａ、ＢはＴｉであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】窒化けい素本来の高強度・高靭性特性に加えて所定の電気抵抗値（導電性）を有し、特に摺動特性が優れた窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】酸素を１．７質量％以下、α相型窒化けい素を９０質量％以上含有する平均粒径１．０μｍ以下の窒化けい素粉末に、炭化けい素を１２〜２８質量％、Ｍｏ，Ｗ，Ｔａ，Ｎｂの炭化物からなる群より選択される少なくとも１種をけい化物換算で３〜１５質量％、希土類元素を酸化物に換算して２〜１０質量％、アルミニウムを酸化物に換算して２〜１０質量％、Ｔｉ，Ｈｆ，Ｚｒ、からなる群より選択される少なくとも１種を酸化物に換算して５質量％以下添加した原料混合体を成形して成形体を調製し、得られた成形体を脱脂後、非酸化性雰囲気下で１６５０〜１８５０℃の温度で焼結することにより前記炭化物がけい化物になることを特徴とする窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】非加圧含浸でありながら短時間で金属を含浸させる。
【解決手段】まず、含浸促進材であるチタニア（ＴｉＯ₂）と炭化ケイ素粉末とを、炭化ケイ素に対する含浸促進材の粒径比が１／１０以下、炭化ケイ素に対する含浸促進材の体積比が０．１５以上となるように混合した混合粉末を作製し該混合粉末を成形してプリフォーにする。このプリフォームをカーボン坩堝に入れ、プリフォーム上にＡｌ合金インゴットを載置した状態で、真空雰囲気下で１２００℃に加熱することにより、Ａｌ合金をプリフォームに含浸させて含浸体とする。その後、含浸体を徐々に冷却することによりＳｉＣ／Ａｌ系複合材料を得る。 （もっと読む）

【課題】耐熱衝撃性に優れた窒化珪素結合ＳｉＣ耐火物の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の窒化珪素結合ＳｉＣ耐火物の製造方法は、扁平粒子のＳｉＣ粉末と、Ｓｉ粉末と、Ａｌ、ＡｌＮ、Ａｌ酸化物、Ｃａ酸化物、Ｍｇ酸化物、Ｆｅ酸化物、Ｔｉ酸化物、Ｚｒ酸化物から選択された少なくとも１種とを混合する工程を有することを特徴とし、前記ＳｉＣ粉末の初期かさ密度は、１．４０〜１．５５ｇ／ｃｍ^３であるのが好ましい。 （もっと読む）

本発明は、多孔質セラミック材料から製造されたハニカムタイプの構造であって、その構造を構成する多孔質セラミック材料は４５〜９０質量％の炭化ケイ素ＳｉＣ、好ましくはα型のＳｉＣ、及び、１０〜５５質量％の実質的にチタン酸アルミニウムＡｌ_２ＴｉＯ_５の形態のセラミック酸化物相を少なくとも部分的に含み、その材料は、また、多孔度が１０％を超え、そしてメジアン孔サイズが５〜６０ミクロンであることを特徴とする、ハニカムタイプの構造に関する。 （もっと読む）

【課題】本来備える高強度特性に加えて、熱伝導率が高く放熱性に優れた窒化けい素焼結体の製法を提供する。
【解決手段】酸素を１．７重量％以下、不純物陽イオン元素としてのＡｌ，Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｍｎ，Ｂを合計で０．３重量％以下、α相型窒化けい素を９０重量％以上含有し、平均粒径１．０μｍ以下の窒化けい素粉末に、希土類元素を酸化物に換算して２．０〜１７．５重量％，Ｍｇを酸化物に換算して０．３〜３．０重量％添加した原料混合体を成形して成形体を調製し、得られた成形体を脱脂後、温度１７００〜１９００℃で焼結し、上記焼結温度から、１５００℃までの冷却速度を毎時１００℃以下にして徐冷することにより、粒界相中における結晶化合物相の粒界相全体に対する割合を２０％以上とすることを特徴とする高熱伝導性窒化けい素焼結体の製造方法である。 （もっと読む）