【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによるピンホールの発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、多数の気泡を含む不透明石英ガラス層からなる外層１１と、実質的に気泡を含まない透明石英ガラス層からなる内層１２とを備えている。ルツボの内表面のうち底部の中心から一定範囲内には高濡れ性領域１２ｂが設けられており、高濡れ性領域１２ｂは、内表面から深さ１ｍｍまでの領域に含まれる金属不純物の各元素の濃度がいずれも５ｐｐｍ以上３０ｐｐｍ以下であり、ＯＨ基の濃度が３０ｐｐｍ以上５００ｐｐｍ以下であり、表面の算術平均粗さが０．１μｍ以上１０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減することができる石英ルツボ製造用モールドを提供する。
【解決手段】回転しているモールド１内壁に石英粉４を張り付けた状態で加熱溶融して石英ルツボを製造する際に用いるモールド１において、石英ルツボの上部領域に対応する、モールド１の上部開口部の内側を研削して段差を設け、この段差部９に、内径がモールド１内径よりも小さいリング状の断熱性バリアー材７を、内径が断熱性バリアー材７と同じかまたは幾分大きい中空円板状の支持部材８を介して設置する。 （もっと読む）

【課題】径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減することができる石英ルツボ製造用モールドを提供する。
【解決手段】回転しているモールド１内壁に石英粉を張り付けた状態でアークにより加熱溶融して石英ルツボを製造する際に用いるモールド１を、石英ルツボの上部領域に対応する、モールド１の上部開口部の内側に、フック８を介して、円筒状のリム片７を掛合支持した構造とし、さらに該リム片７の外径を、該モールドの内径よりも小さく、かつ石英ルツボの内径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】（１）シリカ粒子である第一原料粉、非晶質シリカからなり平均粒径が小さい第二原料粉、主成分がシリカであり、Ａｌ元素及び／又はＯＨ基を含有するか、結晶核材を含有する第三原料粉、及び、高純度結晶質シリカである第四原料粉の準備、（２）第一及び第二原料粉を含有する基体形成用混合スラリーの作製、（３）基体形成用混合スラリーを鋳込み型枠の中に導入、（４）鋳込み型枠内の基体形成用混合スラリーを加熱脱水して基体を仮成形、（５）基体の焼成、（６）基体の内側から第三原料粉を散布して供給しながら溶融し、基体の内表面上に中間層を形成、（７）中間層が形成された基体の内側から第四原料粉を散布して供給しながら溶融し、中間層の内表面上に内側層を形成、の各工程を有し、（５）と、（６）（７）とのいずれかを先に行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 優れた複屈折および耐レーザー損傷特性を有する溶融シリカガラスを提供する。
【解決手段】 約１９３．３６８ｎｍの波長において１．５６０８３５以下の絶対屈折率を有する、約１０ppm 未満の、プロチウム含有ヒドロキシル基およびジュウテロキシル基の複合濃度を有する溶融シリカ物品を提供する。溶融シリカガラスのアニール方法も提供する。提供された溶融シリカガラスを、アニール点を上回る第１の温度まで加熱する。溶融シリカガラスを、歪み点を下回る第２の温度まで、溶融シリカガラスのアニール速度未満の徐々に低下する冷却速度で冷却する。この場合、徐々に低下する冷却速度は溶融シリカガラスのアニール速度よりも低い。溶融シリカガラスを、第２の温度から室温まで第３の冷却速度で冷却する。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、不透明石英ガラス層１１からなる外層と、少なくともルツボ底部１０Ｂの中心から一定範囲内に設けられた透明石英ガラス層１２を含む内層とを備えている。ルツボ底部１０Ｂにおいて、透明石英ガラス層１２の内表面から少なくとも深さ４０μｍまでの領域に含まれるＡｌの濃度の平均値は３０ｐｐｍ以上１５０ｐｐｍ以下であり、透明石英ガラス層１２の内表面から少なくとも深さ４０μｍまでの領域に含まれるＮａ，Ｋ，及びＬｉの３元素の濃度の合計は０．５ｐｐｍ以下である。ルツボ底部１０Ｂの内層をこのように構成した場合には、内表面の凹みが防止され、気泡の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボは、外層が不透明石英ガラス層１１、内層が透明石英ガラス層１２からなる二層構造を有し、さらにルツボの底部１０Ｂには高透過率領域１０Ｘが形成されている。高透過率領域１０Ｘは、底部１０Ｂの温度上昇を抑制し、ＳｉＯガスの発生を防止する役割を果たす。高透過率領域１０Ｘの赤外線透過率は５０〜８０％であり、高透過率領域１０Ｘとそれ以外の領域との赤外線透過率の差は１０〜３０％である。高透過率領域１０Ｘは、ルツボの底部の中心から一定範囲内の領域であって、少なくともシリコン単結晶の投影面を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】不純物濃度が最小であり且つ気泡及び気泡成長を低減させたるつぼ内層を有するシリカるつぼを合理的なコストで作製する方法を提供する。
【解決手段】モールドキャビティに設けられるシリカ粒子を介して空気を吸引する形式のモールドキャビティにおいて、シリカるつぼを製造する方法であって、純粋なシリカ粒子層２３０を天然シリカ粒子層２２８の上部に形成し、シリカ粒子を介して空気を実質的に吸引することなく、純粋なシリカ粒子層２３０の少なくとも一部を溶融し、シリカを介してかなり高容量の空気を吸引しながら、任意の残留する純粋なシリカ粒子層２３０、及び天然シリカ粒子層２２８の少なくとも一部を溶融し、その後、溶融された純粋なシリカ粒子層２３０の少なくとも一部を昇華させる。 （もっと読む）

【課題】 低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）シリカ粒子である第一の原料粉、非晶質シリカからなり、平均粒径が第一の原料粉の平均粒径よりも小さい第二の原料粉、及び、結晶質シリカからなり、第一の原料粉及び第二の原料粉よりもシリカ純度が高い第三の原料粉を準備する工程、（２）第一の原料粉と第二の原料粉と水とを含有する基体形成用混合スラリーを作製する工程、（３）基体形成用混合スラリーを、回転対称性を有する鋳込み型枠の中に導入する工程、（４）鋳込み型枠に導入した基体形成用混合スラリーを加熱脱水して基体を仮成形する工程、（５）基体を酸素含有雰囲気下で焼成する工程、（６）基体の内側から第三の原料粉を散布して供給しながら溶融し、基体の内表面上に透明シリカガラス層を形成、の各工程を有し、（４）の後に（５）と（６）とのいずれかを先に行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、天然石英ガラス層からなる外層１１と、合成石英ガラス層からなる内層１２とを備え、合成石英ガラス層は、ルツボ底部の中心からルツボ口径の５０％以内の領域に形成された第１の合成石英ガラス層１２ａと、第１の合成石英ガラス層１２ａの形成領域を除いた領域に形成された第２の合成石英ガラス層１２ｂとを含んでいる。前記第１の合成石英ガラス層１２ａは０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の厚さを有しており、第１の合成石英ガラス層１２ａに含まれるＯＨ基の濃度が１００ｐｐｍ以下である。このように合成石英層をできるだけ薄く且つ高い粘度で構成した場合には、ルツボ底部の内表面の凹みが防止され、気泡の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】還元反応を発生し難くして金型の寿命の延命化を図るとともに、シリコンの析出を防いで歩留りの向上を図ることができるプレス加工用硝材およびプレス加工用硝材の製造方法を提供する。
【解決手段】焼結炉１１の炉心管１２内にガラス微粒子堆積体２０を収容し、炉心管１２内をフッ素を含む添加剤のガス雰囲気にする。そして、炉心管１２の外側に配置した発熱体１３によりフッ素添加剤を添加しながらガラス微粒子堆積体２０を焼結する。その後、所定形状に切断加工が施されるプレス加工用硝材およびプレス加工用硝材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、外層が第１の天然石英ガラス層１１、内層が合成石英ガラス層１２からなる二層構造を有し、さらにルツボの底部１０Ｂの内表面には第２の天然石英ガラス層１３が形成されている。そのため、ルツボの直胴部１０Ａ及び湾曲部１０Ｃは二層構造であるが、ルツボの底部１０Ｂは三層構造となっている。第２の天然石英ガラス層１３は、石英ガラスルツボ１０の底部の内表面のみに形成された層であり、そのＣａ濃度は０．５ｐｐｍ以下である。第２の天然石英ガラス層１３の内表面に形成された傷は、第２の天然石英ガラス層１３の融解と共に早期に消滅するので、ＳｉＯガスの発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶中にＳｉＯガスの気泡が取り込まれることによる空洞欠陥の発生を防止することが可能な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ１０は、多数の気泡を含む不透明石英ガラス層１１からなる外層と、実質的に気泡を含まない透明石英ガラス層１２からなる内層とを備えている。ルツボ直胴部１０Ａ及び湾曲部１０Ｃの内表面の少なくとも一部は、深さ５０μｍ以上４５０μｍ以下の多数の傷が形成された凹凸面１２ａであり、ルツボ底部１０Ｂの内表面のうち、底部１０Ｂの中心から一定範囲内の領域は、実質的に傷が形成されていない平滑面１２ｂである。ルツボ直胴部１０Ａの内表面に形成された傷を起点として発生したＳｉＯガスの気泡はほぼ垂直に浮上するため、引き上げ中のシリコン単結晶に取り込まることなく、炉内空間に放出される。 （もっと読む）

【課題】 低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）シリカ粒子である第一原料粉、非晶質シリカからなり平均粒径が小さく球状の第二原料粉、主成分がシリカであり、Ａｌ元素及び／又はＯＨ基を含有するか、結晶核材を含有する第三原料粉、及び、高純度結晶質シリカである第四原料粉の準備、（２）第二原料粉を顆粒体とする工程、（３）第一原料粉と第二原料粉の顆粒体とを混合、（４）混合粉体を外型枠の内壁に導入して所定形状とする工程、（５）混合粉体を加圧して基体を成形、（６）基体を焼成、歪除去、（７）基体の内側から第三原料粉を散布して供給しながら溶融し、基体の内表面上に中間層を形成、（８）中間層が形成された基体の内側から第四原料粉を散布して供給しながら溶融し、中間層の内表面上に内側層を形成、の各工程を有し、（６）と、（７）（８）とを順不同で行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】内表面全体の研磨処理を行うことなく、透明層における気泡量を低減したシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの新たな製造方法を提供する。
【解決手段】石英原料粉から形成したルツボ形状成形体に対して内面から外面方向に減圧を与え、かつルツボ形状成形体を回転させながらアーク溶融することにより、内面側は透明層であり、外面側は気泡層である石英ガラスルツボを形成する工程、石英ガラスルツボの壁部内面をアーク溶融によって再溶融して壁部内面の透明層に存在する気泡を壁部内面の底部方向に移動させる底部方向移動工程、および石英ガラスルツボの底部内面をアーク溶融によって再溶融して底部内面の透明層に存在する気泡を底部内面の外周方向に移動させる外周方向移動工程を含み、壁部内面と底部内面が形成する透明層のコーナー部に気泡を集積した石英ガラスルツボを得る。底部方向移動工程と外周方向移動工程は、どちらを先に実施してもよい。 （もっと読む）

【課題】熱伝導率に異方性を持たせることで半導体プロセス等において必要な温度分布を得ることができる石英材の製造方法および石英材を提供する。
【解決手段】石英材からなるコア部材２と、石英材からなる外管部材３と、コア部材２と外管部材３との間に形成された気泡を含む層からなる断熱層４と、を備える石英材の製造方法および石英材。 （もっと読む）

【課題】径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減することができる石英ルツボ製造用モールドを提供する。
【解決手段】回転しているモールド１内壁に石英粉４を張り付けた状態で加熱溶融して石英ルツボを製造する際に用いるモールド１において、石英ルツボの上部領域に対応する、モールド１の上部開口部の内周壁に、内径がモールド内径よりも小さくかつ石英ルツボ内径よりも大きいリング状の断熱性バリアー材７を設置する。 （もっと読む）

【課題】大型化したシリコン単結晶の製造（引き上げ）においても、溶融シリコンの局所的な温度のばらつきを抑制して、均質なシリコン単結晶を製造（引き上げ）できる石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボであって、ルツボ内表面側から外表面側に向けて、少なくとも透明層、半透明層および不透明層を有し、透明層は、気泡含有率が０．３％未満であり、半透明層は、気泡含有率が０．３％〜０．６％の範囲であり、不透明層は、気泡含有率が０．６％超である石英ガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】 低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）シリカ粒子である第一の原料粉、非晶質シリカからなり平均粒径が第一の原料粉よりも小さく球状の第二の原料粉、及び、結晶質シリカからなり第一及び第二の原料粉よりもシリカ純度が高い第三の原料粉の準備、（２）第二の原料粉をバインダーコーティングされた顆粒体とする工程、（３）第一の原料粉と第二の原料粉の顆粒体とを混合、（４）混合粉体を回転対称性を有する外型枠の内壁に導入して所定形状とする工程、（５）所定形状とした混合粉体を加圧して基体を成形工程、（６）基体を酸素含有雰囲気下で焼成、その後歪除去、（７）基体の内側から第三の原料粉を散布して供給しながら溶融することで基体の内表面上に透明シリカガラス層を形成、の各工程を有し、（５）の工程終了後に（６）の工程及び（７）の工程を順不同で行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】スートを堆積させて作製した多孔質ガラス体を透明化し、板状体に加工する際、該板状体の少なくともマスク形成領域内に脈理が露出することを抑制することができるチタニア−シリカガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】チタニア原料及びシリカ原料を酸水素火炎中に導入し、回転する基体上にチタニア−シリカガラス微粒子を堆積・成長させて、多孔質ガラス体を作製する工程（Ｓ１０１）と、多孔質ガラス体を研削加工して、ブロック状の多孔質ガラス体を作製する工程（Ｓ１０２）と、ブロック状の多孔質ガラス体を加熱して透明化しながら、底部が平面である凹部を備えた成形型の該底部に、多孔質ガラス体の堆積・成長方向と垂直に押圧して、ブロック状の透明ガラス体を作製する工程（Ｓ１０３）と、透明ガラス体を、前記成形型の底部との接触面と平行な方向に切断して板状体を作製する工程（Ｓ１０４）とを経て、チタニア−シリカガラスを製造する。 （もっと読む）