【課題】ロール使用開始初期においても、ロールから脱粒したシリカ粒子のガラス表面への付着による不具合が抑制され、安定的に使用することができる安定的に使用することができるガラス搬送用溶融シリカ質ロールおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】溶融シリカ粉末原料を含むスラリーを型に流し込んで成形し、得られた成形体を乾燥させた後、１１５０℃以上１２５０℃以下で焼成し、外表面に研削加工およびラップ処理を施すことにより、弾性率が４５ＧＰａ以上、かつ、表面粗さＲａが０．５μｍ以下である溶融シリカ質ロールを製造する。 （もっと読む）

【課題】エキシマレーザーリソグラフィー装置のレンズ、プリズム、ビームスプリッター等の照明系、投影系に使用する内部透過率の高いＡｒＦエキシマレーザーリソグラフィー用合成石英ガラス部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】高純度の合成石英ガラスを均質化処理工程、成型工程及び除歪処理工程を経て合成石英ガラス部材に形成した後、波長２６０ｎｍ以下の連続紫外線を５０時間以上照射し波長１９３．４ｎｍに対する内部透過率を９９.８％以上とすることを特徴とするＡｒＦエキシマレーザーリソグラフィー用合成石英ガラス部材の製造方法。 （もっと読む）

ＳｉＯ₂粒子ならびに少なくとも１つのドーパントのための出発化合物を水性液体中に含有する懸濁液を準備し、前記液体を、前記ドーパントの粒子または前記ドーパントの前駆物質の粒子を含有するドープされた中間生成物の形成下で除去し、かつ前記ドープされた中間生成物から焼結によってドープされた石英ガラスを形成することによって、ドーパント分布の均一性に関して改善されている、ドープされた石英ガラス、殊にレーザー活性石英ガラスの経済的な製造を可能にする方法が記載され、その際、前記ドーパントの粒子または前記ドーパントの前駆物質の粒子の一部を、懸濁液中で前記出発化合物のｐＨ制御された沈殿反応の沈殿物として作製する方法。
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還元された化学的性質をもたらす新規のコート物質によって表面処理された石英ガラス製品が提供され、ここで融解ケイ素もしくは同様の腐食性の環境への接触に際し還元された化学的性質を有する石英ガラス表面は、石英ガラスルツボのコートされた表面の少なくとも３０％を覆う結晶構造を形成する。前記結晶が覆う表面は融解ケイ素との接触でのより安定した表面と単結晶のケイ素の成長をもたらす。本発明の一実施態様において、コートされた表面上に少なくとも一つの水素化およびメチル化された表面をもたらすためにコート物質は少なくとも一つのメチル基を含有し、コートされた表面の少なくとも８０％を覆うロゼット構造、または他の結晶形態を形成する。本発明の他の実施態様において、コート物質は、アミン、オルガノシランハロゲンおよびそれらの混合物の少なくとも一つより選択される。
【課題】
【解決手段】 （もっと読む）

【課題】融液表面の振動の発生が抑えられ、かつ、長時間の操業においてもルツボ内表面において荒れ面の発生率が低く、安定にシリコン単結晶を引上げることができる石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶引上げ方法を提供する。
【解決手段】天然石英ガラスからなる不透明な外層４と、その内側に形成した透明層５，６を有する石英ガラスルツボ１において、シリコン融液の初期湯面位置から単結晶引上げ後の残湯位置までの石英ガラスルツボ１の内表面に沿って測定した長さＭに対し、初期湯面位置から０．３Ｍの範囲で観測されるブラウンリングの単位面積（ｃｍ２）当りの個数が、残湯位置上０．３Ｍまでの範囲で観測されるブラウンリングの個数の１．８倍以上となるような石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶を引上げる。 （もっと読む）

【課題】溶融石英ガラスよりなるものであるにもかかわらず、放射照度維持特性に優れた光透過部材を提供すること。
【解決手段】この光透過部材は、チタンを含有する溶融石英ガラスよりなる光透過部材であって、当該光透過部材は、光入射面から１００μｍの表面層領域において、波長１６３ｎｍに吸収を示す酸素欠陥構造の濃度が６×１０^-3ｍｏｌ／Ｌ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 硝材の歩留まりを向上させてコスト低減を図ることができ、また、屈折率のばらつきΔｎが小さい大口径の硝材の製造が容易な硝材の製造方法を得る。
【解決手段】 石英ガラス棒１を石英パイプ３に挿入し高温下で前記石英パイプ３を収縮させることにより両部材が互いに密着状態になされた硝材母材５を形成し、該硝材母材５をアニール後、前記硝材母材５の石英パイプ３部分を削除する。 （もっと読む）

１０ｐｐｍ未満、ある実施の形態において、１ｐｐｍ未満の水酸基（ＯＨ）および重水酸基（ＯＤ）濃度の総濃度を有する溶融シリカ物品が記載されている。この溶融シリカ物品は、一酸化炭素を含む無ハロゲンの雰囲気中でスートブランクを乾燥させることによって形成される。乾燥されたスートブランクは、必要に応じて、ＯＨおよびＯＤ濃度の目標レベルに到達するようにドープし、溶融シリカ物品内の均一性を改善してもよい。次いで、乾燥されたスートブランクを酸化し、焼結して、前記物品を形成する。１０ｐｐｍ未満のＯＨおよびＯＤの総濃度を減少させる方法も記載されている。
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以下の特徴；面積：１００〜５０００μｍ^２、ＥＣＤ：５〜１００μｍ、周囲：２０〜４００μｍ、最大直径：１０〜１４０μｍ、最小直径：５〜８０μｍ（上記すべての値は平均値）、ＢＥＴ比表面積：＜１ｍ^２／ｍ、不純物量：＜５０ｐｐｍを有するシリカガラス粒子に関する。この粒子は、ａ）１５〜１９０ｇ／ｌの突き固め密度を有する熱分解法シリカ粉末をスラグに圧縮し、ｂ）これらを引き続いて微粉砕し、かつ、１００μｍを下回る直径を有するスラグ片及び８００μｍを上回る直径を有するスラグ片を除去し、ｃ）その際、スラグ片は３００〜６００ｇ／ｌの突き固め密度を有しており、かつ、ｄ）これらを引き続いて、ヒドロキシル基を除去するのに適した１個又はそれ以上の化合物を含有する雰囲気中で、６００〜１１００℃で処理し、かつ、ｅ）その後に１２００〜１４００℃で焼結することにより製造した。 （もっと読む）

【課題】 高い化学的安定性及び機械的強度を有するとともに、光触媒作用を効率よく発揮させることができる光触媒体及びこれの製造方法、並びにこのような光触媒体を用いた浄化装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも、連続気泡を有する多孔質シリカガラス担体を作製し、該多孔質シリカガラス担体の表面に、光触媒となる材料の被膜を形成する処理を行う多孔質光触媒体の製造方法、及び、少なくとも、連続気泡を有する多孔質シリカガラス担体と、前記多孔質シリカガラス担体の表面に形成された、光触媒となる材料の被膜とからなる多孔質光触媒体、並びに、少なくとも、反応器と、該反応器内に収容された、上記の多孔質光触媒体と、紫外線ランプとを具備し、前記紫外線ランプで前記多孔質光触媒体に紫外線を照射しながら、前記多孔質光触媒体に被処理物を通過させ、光触媒作用によって該被処理物を浄化処理する浄化装置。 （もっと読む）

【課題】 ＭＣＺ法で引き上げ育成したシリコン単結晶へのリン不純物ドープのためのＮＴＤに要する時間を短縮しその低コスト化を容易にする。
【解決手段】 シリコン単結晶インゴットの引き上げ育成において、ステップＳ１で石英ルツボに多結晶シリコンとＮ型不純物を供給し、これ等をステップＳ２で融解し適度なＮ型不純物の添加量を有するシリコン融液を形成する。そして、ステップＳ３でＭＣＺ法によるインゴット引上げを行い、ステップＳ４において上記インゴットの加工を行い中性子線照射に適するシリコン単結晶の形状にする。そして、ステップＳ５で目標の抵抗率となるようにシリコン単結晶に中性子線照射を施し、ステップＳ６においてシリコン単結晶の熱処理を行い照射欠陥を除去する。その後は、公知のスライス・ラップ加工等でウェーハに加工する。 （もっと読む）

【課題】エッチャントによりガラス基板等の被加工物の表面を外周部を含めて目的とする形状に加工する表面加工方法の提供。
【解決手段】加工ヘッドによりエッチャントを被加工物３の表面に供給し、吸引することにより、該加工ヘッドと被加工物との隙間に一定面積のエッチング領域をなすエッチャントの流路を形成し、該加工ヘッドを該被加工物に対して走査することで被加工物の表面を加工する際に、前記被加工物３の端に面位置を合わせて板部材５１を当接させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で直胴部上端の内側への倒れ込みを防止することができるシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】直胴部と底部を備えたシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ溶融後、ルツボをモールド５２内にて保持して、ルツボの外側を所定時間保温することにより該外側の仮想温度を低くして、少なくとも直胴部に仮想温度の勾配を形成し、最外側の仮想温度を最内側の仮想温度よりも２５℃以上低くする。 （もっと読む）

延伸により石英ガラス管を製造する既知の方法では、石英ガラスの中空円筒が連続的に加熱ゾーンに供給され、その中で加熱ゾーン毎に軟化され、管撚り線がロール引張装置を用いて、軟化した領域から引張軸の方向に引き伸ばされる。ロール引張装置は複数の引張ロールが固定された枠を備える。引張ロールは回転軸の周りを回転可能であり、管撚り線の周囲に配置され、管撚り線の円筒形外面と接する。ここから出発して、機構的な努力をあまり必要としないで、高い引き伸ばし比が実現できる垂直引き伸ばし法を示す。これには、ロール引張装置８の形態をした取り出しユニットを用いる。これにより、同時に、得られた石英ガラス管１０の寸法安定性を最良にできる。さらに、特に、楕円化と偏芯による材料損失が避けられる。本発明によれば、ロール引張装置８の枠は静止している。中空円筒４と管撚り線は引張軸２の周りを互いに回転する。相対回転は、引き伸ばされた管撚り線の直線メートル当り０．０１〜５回転の範囲に設定される。
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【課題】簡単な構造で直胴部上端の内側への倒れ込みを防止することができるシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ１０は、直胴部１２と底部１４を備え、シリコン単結晶引き上げ作業中に、直胴部１２の上端が内側に倒れ込むのを防止するため、直胴部１２外周であって、初期メルトラインＬより上方に周状の溝２０を設ける。溝２０は、カーボンサセプターの上端より下方となるような位置に設ける。 （もっと読む）

【課題】
耐熱性・加工精度が極めて高く、しかも緻密で透光性の高い石英ガラス成形品を製造できるようにすることを技術的課題としている。
【解決手段】
シリカ顆粒（１）を成形用金型に充填して乾式プレス成形することにより得られた焼結用成形体を加熱焼結する石英ガラス製品の製造方法であって、体積平均粒径０.１〜２.０μｍのシリカマイクロビーズ（２Ｍ）に対し、これを加圧充填したときにその隙間に入る粒径及び量に選定された比表面積（ＢＥＴ値）３０〜５００ｍ^２／ｇのシリカナノビーズ（２Ｎ）を混合したものを有機系バインダ（３）の水溶液に均一分散させて混合スラリとし、該混合スラリを噴霧乾燥することにより前記有機系バインダ（３）を介してシリカマイクロビーズ（２Ｍ）及びシリカナノビーズ（２Ｎ）を凝集させてなる顆粒を前記シリカ顆粒（１）として用いた。 （もっと読む）

【課題】固体シリコンを溶融するときに該固体シリコンを収容するルツボにおいて、シリコン溶融中の変形が少なく、カーボン製外ルツボを必要としないシリコン溶融用ルツボおよびこれを用いたシリコン単結晶引上装置を提供する。
【解決手段】シリコン溶融用ルツボにおいて、非晶質のシリカ粉末を主成分とするバインダー層５と非晶質のシリカ砂からなるスタッコ層６ａ、６ｂとが交互に積層された構造をもつルツボ殻を、８００〜１２００℃で１〜８時間加熱保持して焼成し、結晶質のシリカ同士が焼結により拡散結合した成形体とする。 （もっと読む）

【課題】寸法特性が非常に優れた石英ガラス管の製造
【解決手段】中空石英ガラス素材１を下記の工程１により拡管して得た中空石英ガラス中間体２を、下記の工程２により延伸して石英ガラス管３を得る石英ガラス管の製造方法。
工程１：中空石英ガラス素材１にダイス４中心に対して相対的な回転を与えつつ、中空石英ガラス素材１の少なくとも一部を加熱した後、中空石英ガラス素材１をダイス４に挿入して中空石英ガラス中間体２を得る工程であって、中空石英ガラス素材１の内部を加圧し、中空石英ガラス素材１の外面がダイス４内面に接触するまで拡管する工程
工程２：中空石英ガラス中間体２にその軸中心周りに回転を与えつつ、中空石英ガラス中間体２の少なくとも一部を加熱し、延伸する工程 （もっと読む）

本願において、ドープ石英コンポーネントの製造方法を提供する。一実施形態において、ドープ石英コンポーネントは、基板を支持するように構成されたイットリウムをドープした石英リングである。別の実施形態において、ドープ石英コンポーネントは、イットリウムとアルミニウムをドープしたカバーリングである。更に別の実施形態において、ドープ石英コンポーネントは、イットリウム、アルミニウム及び窒素を含有するカバーリングである。
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【課題】
プレス成形法により、無気泡で、且つ、クリストバライト化されていない非晶質の不透明石英ガラス成形品を比較的低温で焼結できるようにする。
【解決手段】
シリカ顆粒（１）を成形用金型（11）に充填してプレス成形することにより得られた焼結用成形体（Ｆ）を加熱焼結する不透明石英ガラス製品の製造方法であって、室温以上４００℃以下で液化あるいは熱分解する有機系バインダ（３）の水溶液中に、アルミ元素を失透核としてドープした球形のシリカマイクロビーズ（２…）を均一分散させてスラリとし、該スラリを噴霧乾燥することにより前記有機系バインダ（３）を介してシリカマイクロビーズ（２…）を凝集させた顆粒を前記シリカ顆粒（１）として用いた。 （もっと読む）