【課題】面粗さの小さい基板として適当なＴｉＯ_２−ＳｉＯ_２ガラスの提供。
【解決手段】ＴｉＯ_２濃度が１〜１２質量％のシリカガラスであり、かつ、ＴｉＯ_２濃度の最大値と最小値との差が、少なくとも一つの面内における３０ｍｍ×３０ｍｍの範囲で０．０６質量％以下であることを特徴とするＴｉＯ_２を含有するシリカガラス。 （もっと読む）

【課題】非稼動時に外部からの不純物等の侵入を防いで炉心管内部が汚染されるのを確実に防ぐことができるガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス微粒子を堆積させたガラス微粒子堆積体１３を炉心管１１内に吊り下げ、該炉心管１１外部からガラス微粒子堆積体１３を加熱して脱水焼結するガラス母材の製造方法であって、脱水焼結時以外の非稼動時に、不純物の侵入を防ぐために炉心管１１内部の待機温度を７００℃以上に保持する。 （もっと読む）

【課題】焼結時に未焼結部をできるだけ小さくすることにより、多孔質ガラス母材の割れや落下を防ぎ、また、線引き時の変形や偏心などの不具合を最小限に抑えることができるガラス微粒子堆積体の焼結方法を提供する。
【解決手段】ガラス微粒子堆積体の焼結方法は、出発種棒３にガラス微粒子を堆積させたガラス微粒子堆積体１をヒータ１２の熱により加熱焼結させるガラス微粒子堆積体の焼結方法であって、焼結後のガラス微粒子堆積体１上部のテーパ状ガラス微粒子堆積部２における上部透明化率を、０．４以上にする。なお、上部透明化率は、上部透明長さをＬ１、線引き変形長さをＬ２とすると、Ｌ１／Ｌ２で表わされる。 （もっと読む）

【課題】設備コスト及びランニングコストを極力抑えることが可能なガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】製造装置１０は、出発ロッド１２を支持する把持機構３２と、把持機構３２を水平移動及び昇降移動させる搬送機構３３と、反応容器１１内に配置された出発ロッド１２にガラス微粒子を吹き付けて堆積させるバーナ１３と、を備え、搬送機構３３は、反応容器１１内に出発ロッド１２を配置させてバーナ１３により出発ロッド１２にガラス微粒子を堆積させる堆積位置Ａと、反応容器１１の外部であって出発ロッド１２の取り付け及び堆積終了後のガラス微粒子堆積体１４の取り外しを可能とする着脱位置Ｂとの間で、把持機構３２を水平移動可能である。 （もっと読む）

【課題】設備にかかわりなく合成石英ガラス母材の径方向のΔｎの均質性を高める。
【解決手段】バーナ１による酸水素火炎中でシリカガラス原料を加水分解してシリカ微粒子を生成するとともに、前記シリカ微粒子を堆積することで多孔質シリカ母材３を生成し、多孔質シリカ母材３を焼結して中心部のＯＨ基濃度が２５ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下の合成石英ガラス母材４を製造する方法であって、多孔質シリカ母材３の径方向の平均かさ密度が０．６ｇ／ｃｍ³以上となるように、堆積中の堆積面温度を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】ＥＵＶ光の反射面において、反射面の中心に位置する原点（Ｏ）及び複屈折測定点（Ａ）を結ぶ直線と、測定点（Ａ）における複屈折の進相軸とによりなす角度（θ）の平均値が４５°より大きいチタニアドープ石英ガラス。
【効果】複屈折の進相軸が同心円状に分布しており、高い平坦性を有し、ＥＵＶリソグラフィ用、特にＥＵＶリソグラフィフォトマスク用として有用なチタニアドープ石英ガラスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン単結晶を製造する際のシリコン単結晶の有転位化を回避し、かつ、高い耐熱性を有し、生産性、歩留まりの低下を抑制することができる石英ガラスルツボ及びその製造方法、並びにそのような石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくとも、直接法又はスート法により合成石英ガラス材を作製する工程と、前記合成石英ガラス材を、粉砕することなくルツボ形状に加工する工程と、前記ルツボ形状に加工された合成石英ガラス材の外壁にシリカ粉末を溶着させる工程と、を含むことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。 （もっと読む）

【課題】水素分離特性に優れつつ耐擦傷性にも優れた水素分離材料及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】水素分離材料１０は、熱膨張係数が２×１０^−６／Ｋ以下の多孔質支持体１１上に、シリカガラス分離膜層１２および多孔質保護層１３をこの順に有する。 （もっと読む）

【課題】合成石英ガラス成形体に存在する不純物汚染による不良部位を確実に選別することが可能な合成石英ガラス成形体の検査方法を提供する。
【解決手段】合成石英ガラス成形体に対して、可視光を遮蔽又は減光するフィルターを通したＨｇランプの波長２５４ｎｍのスペクトル線を照度１０ｍＷ／ｃｍ^２以上という条件で照射する工程と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長２５４ｎｍの輝線強度と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長５００ｎｍ〜６００ｎｍを中心とした緑色から黄色の蛍光の蛍光強度とを測定する工程と、前記輝線強度と前記蛍光強度との比（蛍光強度／輝線の強度）に基いて合成石英ガラス成形体の良部位を選別する工程と、を含む、合成石英ガラス成形体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】クラックや異物、気泡の残留なく高品質なガラス微粒子堆積体を製造することができるガラス微粒子堆積体の製造方法を提供する。
【解決手段】反応容器１６内のターゲット１５にバーナ２１の火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を吹き付けて堆積させるガラス微粒子堆積体２２の製造方法であって、バーナ２１の近傍に反応容器１６内へクリーンエアＣＡが導入されるクリーンエア導入口２５を設けるとともに、クリーンエア導入口２５と反対側に反応容器１６内のガスが排気される排気口２７を設け、ターゲット１５へのガラス微粒子の堆積時に、クリーンエア導入口２５から、温度１０℃以上４０℃以下、湿度３０％以上７０％以下、０．３μｍ以上のダスト量１００個／ＣＦ以下のクリーンエアＣＡを反応容器１６内へ供給する。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ投影露光機の投影対物レンズの製造方法、及びそれにより対応して製造された投影対物レンズであって、高精度結像を得ることができ、特に材料の影響による結像収差又は設計固有の結像精度を最小化することができるものを提供する。
【解決手段】光学レンズ５を、シリコン含有材料の酸化により回転円板１上に堆積されるガラス、特に石英ガラス、好適には合成石英ガラスから製造し、回転円板をガラス堆積中に回転させることで、ガラスから成る円板４又はリングができるようにし、そこから光学レンズ５を切り離し、光学レンズ毎に円板又はリングの中心方向における二等分線が方位角０°を定義し、少なくとも１つの光学レンズを、光軸方向にｚ軸をとった投影露光機のデカルトｘｙｚ座標系において、ｘ軸と平行な方位角を０°として組み込み、少なくとも１つの光学レンズを、ｙ軸と平行な方位角を０°として組み込む。 （もっと読む）

【課題】波長１９３ｎｍの光を用いた光学装置、例えばＡｒＦリソグラフィ用露光装置に使用される合成石英ガラスの、使用波長における熱に変換される光の吸収量を、小さい試料で、精度よく、かつ簡便に評価することが可能な評価方法を提供する。
【解決手段】合成石英ガラスにおける波長１９３ｎｍの光の内部吸収量のうち熱に変換される光の吸収量を評価する方法であって、前記合成石英ガラスからなる試料に対して波長１９３ｎｍの光を照射したときに前記試料から発せられる波長３２０ｎｍの光の発光強度および波長５５０ｎｍの光の発光強度から、前記減衰量を評価する合成石英ガラスの評価方法。 （もっと読む）

【課題】ＶＡＤ法によりガラス母材を製造する際に、クラッド外径、コア径及びコア屈折率がロット内やロット間で安定化したガラス母材を低コストで製造することができるガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス母材の製造方法は、ガラス微粒子堆積中にガラス微粒子堆積体１４の堆積形状をモニターし、堆積形状が目標形状となるように、ガラス微粒子堆積体１４の引き上げ速度を制御しながら、ガラス微粒子生成用バーナであるコア用バーナ１７およびクラッド用バーナ１８へ投入するガラス原料ガス流量、火炎形成ガス流量、ガラス微粒子堆積体１４に対するコア用バーナ１７およびクラッド用バーナ１８の位置、の少なくともいずれか１つを制御する。また、堆積形状が目標形状から外れる場合にはガラス微粒子の堆積を停止する。 （もっと読む）

【解決手段】ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスと可燃性ガス及び支燃性ガスをバーナ先端部から噴出させ、ケイ素源原料ガス及びチタン源原料ガスを可燃性ガス及び支燃性ガスにより酸化又は火炎加水分解させて得た合成シリカ−チタニア微粒子を回転すると共に所定速度で後退するターゲット上に堆積すると同時に溶融ガラス化してチタニアドープ石英ガラスのインゴットを製造する際、バーナの先端部と成長するインゴット先端部との距離が２５０ｍｍ以上とすることを特徴とするチタニアドープ石英ガラスの製造方法。
【効果】本発明によれば、厚さ５ｍｍあたりの見かけ透過率における吸収端波長の分布が少なく、ＥＵＶリソグラフィ用部材として好適なチタニアドープ石英ガラスを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
ガラスの［ＯＨ］含有量および仮想温度の変化を通じて、低熱膨張性のシリカ・チタニアガラスの膨張性を調整および改善する。
【解決手段】
ガラスにおける［ＯＨ］濃度は６００〜２５００ｐｐｍの範囲でありうる。仮想温度Ｔ_Fは９００℃未満である。 （もっと読む）

【課題】高い歩留りでガラス母材を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス母材製造方法は、固定工程，堆積工程，引抜工程，透明化工程および中実化工程を順に経て、ガラス母材を製造する。堆積工程において、透明化工程後の透明ガラス管材１４の中空孔の内壁面から径方向に１.７ｍｍまでの領域において石英ガラス以外の添加物の濃度が８wt％以下となるようにガラス微粒子堆積体１３を作製する。中実化工程において、気相エッチングを終了してから中実のガラス母材を作製するまでの期間において透明ガラス管材１４の温度を５００℃以上に保つ。 （もっと読む）

【課題】高い歩留り及び高い生産性でガラス母材を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス母材製造方法は、固定工程，カーボン皮膜形成工程，堆積工程，引抜工程，透明化工程および中実化工程を順に経て、ガラス母材を製造する。カーボン皮膜形成工程では、出発棒の軸方向に沿って出発ロッドとカーボン皮膜形成用バーナとを相対的に往復運動させ、出発棒の外周にカーボン皮膜を形成する。このとき、出発ロッドの周辺のガス流速を０.５ｍ／ｓ以下に管理する。 （もっと読む）

【課題】高い歩留りでガラス母材を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス母材製造方法は、固定工程，堆積工程，引抜工程，透明化工程および中実化工程を順に経て、ガラス母材を製造する。堆積工程において、出発棒１１の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度より、種棒パイプ１２の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度が大きくなるようにする。堆積工程Ｓ２において、出発棒１１の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を０.２ｇ／ｃｃ以上０.４ｇ／ｃｃ未満とし、種棒パイプ１２の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を０.４ｇ／ｃｃ以上とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】波長１.３８μｍ帯の伝送損失が低減された光ファイバを製造するのに好適なガラス母材を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス母材製造方法は、固定工程，堆積工程，引抜工程，透明化工程および中実化工程を順に経て、ガラス母材を製造する。透明化工程では、ガラス微粒子堆積体１３は、一体となっている種棒パイプ１２とともに、ＨｅガスやＣｌ_２ガスが導入された加熱炉２２の内部に入れられ、ヒータ２３により加熱される。これにより、透明ガラス管材１４が作製される。透明ガラス管材１４が作製された直後に加熱炉２２内に乾燥ガスが導入されて、透明ガラス管材１４の外周雰囲気の湿度が０.１％以下に管理された状態で透明ガラス管材１４が冷却される。 （もっと読む）

【課題】高い歩留りでガラス母材を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス母材製造方法は、固定工程，堆積工程，引抜工程，透明化工程および中実化工程を順に経て、ガラス母材を製造する。堆積工程において、ガラス微粒子の堆積開始から１０層目までは、出発棒１１の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を０.１ｇ／ｃｃ以上０.３ｇ／ｃｃ以下とし、かつ種棒パイプ１２の周囲に堆積されるガラス微粒子の平均密度を０.４ｇ／ｃｃ以上とする。また、堆積工程Ｓ２において、ガラス微粒子の堆積開始から１０層目まで、出発棒１１と種棒パイプ１２との境界位置に対し長手方向の±５０ｍｍ以内の範囲で堆積されるガラス微粒子の平均密度の長手変化量を０.０１ｇ／ｃｃ／ｍｍ以下とすることが好ましい。 （もっと読む）