【課題】低コストで種々の石英ガラスシリンダー材料を製造できるようにする。
【解決手段】炉１は、炉天井２、炉底３及び炉壁４から構成され、炉底３は支柱７に支持され、支柱７は、回転すると共に昇降可能としてあるので、炉底３は炉天井２に円形に配置された石英ガラス原料粉を溶融する熱源５に対して回転及び昇降可能である。石英ガラス原料粉が熱源５に供給され、溶融される。炉底３を熱源５に対して回転させながら降下させることによって溶融した石英ガラス原料粉は炉底３に円筒形状に積層して固化していき、円筒形の石英ガラスシリンダー材料８が得られる。 （もっと読む）

【課題】従来の貼り合せ工程で必要とされている面精度の向上を不要としかつ貼り合わせ用の設備を省略でき、コストも削減も実現することができる微細中空流路を有する石英ガラス物品の製造方法の提供。
【解決手段】平坦なシリカ基板１０の上面に燃焼除去可能な物質からなる凸状微小流路パターン部１２を形成する工程と、該微小流路パターン部を被覆するようにシリカ粉含有グリーン層１４を設けシリカ基板及びシリカ粉含有グリーン層からなるシリカ複合体１６を形成する工程と、該シリカ複合体を酸化性雰囲気で加熱保持して該微小流路パターン部を燃焼除去することにより微小中空流路１２Ａを形成し微小中空流路を有するシリカ複合体１６Ａを形成する工程と、該微小中空流路を有するシリカ複合体を高温に加熱して焼結透明化しかつ溶融一体化することにより微小中空流路を有する石英ガラス物品２０を形成する工程と、を含むようにした製造方法。 （もっと読む）

【課題】表層からのガラス微粒子粉や堆積層の脱落を抑制できる多孔質ガラス管の製造方法を提供する。
【解決手段】ロッド２０の周囲にＣＶＤ法によりガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体１３を作製し、ガラス微粒子堆積体１３からロッド２０を引き抜いて筒状の多孔質ガラス管１１を製造する多孔質ガラス管の製造方法であって、ガラス微粒子堆積体１３の作製後に、ガラス微粒子堆積体１３の表面をガラス微粒子の原料を含まない火炎により加熱する加熱処理を行う。 （もっと読む）

【課題】水素等の流体分離特性に優れつつ、シールするための強度を備えた流体分離材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ロッド３０の周囲にＣＶＤ法によりガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体２５を作製し、ガラス微粒子堆積体２５からロッド３０を引き抜いて筒状の多孔質ガラス支持体２１を作製し、多孔質ガラス支持体２１の表面にシリカガラス分離膜層２２を形成して水素分離材料２０を製造する方法であって、多孔質ガラス支持体２１の軸方向両端部を緻密化する緻密化工程を含む。 （もっと読む）

【課題】水素分離材料の支持体として好適に使用可能なガラス管を安定して生産できる製造方法を提供すること。
【解決手段】ロッドの周囲にＣＶＤ法によりガラス微粒子を堆積させ、ガラス微粒子堆積後にロッドを引き抜くことにより多孔質ガラスからなるガラス管を製造する方法であって、前記ロッドの熱膨張係数が４×１０^−７／Ｋ以上５×１０^−６／Ｋ以下であることを特徴とするガラス管の製造方法。 （もっと読む）

【課題】単結晶引き上げクリーンルーム内での清浄度低下の防止を図る。
【解決手段】原料粉末をルツボ成形用のモールド１０内に成形し、その成形体１１をアーク溶融により加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する方法であって、
アーク溶融をおこなう炭素電極１３として、石英ガラスの結晶化促進剤を含有する電極を用いて前記石英ガラスルツボ内側表面に結晶化促進剤含有層を形成する。 （もっと読む）

一定の外面形状を有し、反射コーティングが設けられるように意図され、かつミラー基板を意図されるように使用する際に高い負荷を受ける帯域として規定される、表面区域（surface region）を有する、ＥＵＶリソグラフィに使用されるミラー基板用の、高シリカ含有量を有するチタンドープガラス（ガラス）のブランクを製造する既知の方法に基づき、低コストで製造することができるにもかかわらず、均一性並びにブリスタ及び脈理がないことについて高い要件を満たすブランクを提供するために、（ａ）外面形状を包含するのに十分な大きさよりも大きい寸法を有するチタンをドープした高品質のガラスの前部体を作製する方法工程と、（ｂ）チタンドープガラスから円筒形の支持用基体（supporting body）を作製する方法工程と、（ｃ）前部体と支持用基体とを結合させる方法工程であって、複合体を形成する、前部体と支持用基体とを結合させる方法工程と、（ｄ）複合体を加工する方法工程であって、ミラー基板用ブランクを形成する、複合体を加工する方法工程とを含む手法が提案され、ここで、前部体を作製する工程は、ケイ素含有化合物の火炎加水分解によってストランドの形態で得られる出発用基体（starting body）をねじり加工して、前部体ブランクを形成することを伴う均一化プロセスを含み、支持用基体は、前部体よりも均一性の低い一体構造のガラスブロックとして形成される。 （もっと読む）

第１の光学表面（７）および第１の光学表面と同じ湾曲方向を有する第２の光学表面（８）を有するマイクロリソグラフィー機器において使用するための合成石英ガラスからなるメニスカスレンズを製造するために、ＳｉＯ₂粒子は、珪素含有出発化合物の酸化または火炎加水分解によって形成され、および層毎に担体上に、成長方向に延びる面法線を有する複数の層を含む円柱体状のＳｉＯ₂半加工品の形成下に堆積される。光学的性質または機械的性質のできるだけ僅かな損傷を生じさせる層を可能にするために、本発明によれば、未完成品を熱成形法で変形力の作用下でプレフォーム（６）に可塑的に変形し、このプレフォームは、少なくとも第１の湾曲した表面（７）を有し、この湾曲した表面内で層は、湾曲方向で湾曲して延在し、このプレフォームからメニスカスレンズを得ることが提案される。
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【課題】石英ガラス治具等の石英ガラス加工品に対して、表層クリーン度を向上させる純化処理装置及びその装置を用いた純化処理方法を提供する。
【解決手段】筐体と、
該筐体内部に設けられた円筒状の石英ガラス製純化処理容器と、
前記純化処理容器の外方に設けられかつ前記純化処理容器内部を加熱してヒートゾーンを形成する作用を行うヒーターと、
石英ガラス加工品格納及び取り出し用の底部開口部と、
前記底部開口部を密封状態で閉塞する閉塞手段と、
石英ガラス加工品を上下動可能な状態で保持する保持手段と、
前記純化処理容器の下端部に設けられかつ前記純化処理容器内にガスを導入するためのガス導入部と、
純化処理容器内のガスを前記筐体の外部に排気するためのガス排気通路と、を含み、
前記保持手段に保持された石英ガラス加工品を前記純化処理容器内で純化処理することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】耐失透性及び耐熱性に優れ、ランプ寿命を長く保持でき、紫外線問題を解消した放電灯用合成シリカガラス製バルブ、該バルブの製造方法及び該バルブを用いた放電灯装置を提供する。
【解決手段】バルブ中のＯＨ基含有量が２ｐｐｍ以上５０ｐｐｍ以下、バルブ中のアルカリ金属の合計含有量が０．０２ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下であり、内表面から０．１ｍｍまでのＯＨ基含有量が１ｐｐｍ以下、内表面から０．１ｍｍまでのアルカリ金属の合計含有量が０．０１ｐｐｍ以下であり、２５０ｎｍでの酸素欠損型欠陥量が吸収係数で０．１〜２／ｃｍであり、１１００℃での粘度が１０^１４〜１０^１６ポアズであり、波長１５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下の光線の内部透過率が５０％／ｃｍ以下であるようにした。 （もっと読む）

【課題】保護膜に熱的衝撃や物理的衝撃が発生した場合でも保護膜の破損を防止することができ、かつ、シリコンブロックをルツボから脱型する際には、保護膜自体を容易に破損させることができるシリコン溶融ルツボを提供する。
【解決手段】耐熱性部材からなるルツボ本体１の少なくとも内表面１ａ上に保護膜２が設けられたシリコン溶融ルツボであって、保護膜２は、複数の閉気孔を有してなる多孔体で構成され、閉気孔は、保護膜２の最表面から保護膜２の厚さ方向に向かって各々離間して複数配置されており、少なくとも表面がＳｉＯ_ＸＮ_Ｙ（Ｘ＞０、Ｙ＞０）組成を有する固体粒子で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス管の延伸加工において、高い製造効率を維持しつつ、紫外光透過率の低下を抑制することができる新規な方法を提供する。
【解決手段】 ガラス管１，２の内側３の圧力を外側４の圧力より高く保ち、その状態でガラス管１を加熱し軟化させて延伸し、所望の外径、内径、厚さをもったガラス管２に形成する。ガラス管１，２の内側３と外側４の少なくとも一方の雰囲気を、酸素含有雰囲気とする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス管の延伸加工において、高い製造効率を維持しつつ、紫外光透過率の低下を抑制することができる新規な方法を提供する。
【解決手段】 ガラス管１，２の内側３の圧力を外側４の圧力より高く保ち、その状態でガラス管１を加熱し軟化させて延伸し、所望の外径、内径、厚さをもったガラス管２に形成する。ガラス管１，２の内側３と外側４の少なくとも一方の雰囲気を、ガラス管１，２が加熱軟化する温度において化学的に不活性なガス７を主成分とする雰囲気とする。 （もっと読む）

【課題】複数のガラス体を融着させることにより大質量ガラス体を作製することを可能とするＥＵＶリソグラフィ用ガラスの成型方法の提供。
【解決手段】２以上のガラス体を１０Ｔｏｒｒ以下の雰囲気で徐冷点〜軟化点のいずれかの温度に昇温し融着した後、１００Ｔｏｒｒを越える雰囲気で軟化点〜軟化点＋２５０℃にて成型することを特徴とするＥＵＶリソグラフィ用ガラスの成型方法。 （もっと読む）

【課題】水冷モールド構造の適正化を図ることによって、十分な耐熱性を有すると共に原料石英粉の未溶融部分を大幅に低減した水冷モールドを提供する。
【解決手段】石英ルツボ製造用水冷モールド10であって、内部に冷却水が導入される空間をもち、金属または合金の熱伝導性材料からなる外側モールド部分11と、該外側モールド部分11の内面に密着して配設され、耐熱材料からなる内側モールド部分12とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

管状の石英ガラスストランドを引き抜くための公知の方法では、溶融坩堝にＳｉＯ_２含有の原料を供給し、該溶融坩堝（１）内で軟化させて粘稠性の石英ガラス材料（２７）を形成し、この石英ガラス材料（２７）を、溶融坩堝（１）の底部領域に設けられた、底部開口と引抜きノズル内側部分とにより規定されるギャップ状の出口（２５；３６）を備えた引抜きノズル（４；３４）に通して、シリンダ形の石英ガラスストランド（５；３３）として垂直方向下方に向かって引き抜き、この石英ガラスストランドから所定の長さの石英ガラスシリンダを切断する。この方法を起点として、石英シリンダガラスの側方の寸法が汎用の溶融坩堝の内径のサイズオーダにある場合でも、より均質な石英ガラスシリンダの製造を容易にする方法を提供するために、本発明によれば、粘稠性の石英ガラス材料（２７）を、引抜きノズル（４；３４）の、溶融坩堝内室に面した上側の領域に設けられた、下方に向かって流れ通路を介して出口（２５；３６）に通じた流れ狭窄部（１２；３２）を介して引き抜き、ただし前記出口（２５；３６）は、流れ狭窄部（１２；３２）の幅よりも大きな開口幅を有しており、流れ狭窄部（１２；３２）を取り囲む第１の包囲円が、引き抜こうとする石英ガラスストランド（５；３３）を取り囲む第２の包囲円の直径の最大３０％である直径を有していることが提案される。本発明は相応する装置にも関する。
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【課題】 耐白色失透や耐黒色失透に優れ、かつ耐熱性の高い合成シリカガラス及びその製造方法並びに該合成シリカガラスで作成した部材を備えた装置を提供することをその目的とする。
【解決手段】 OH基濃度が５ｐｐｍ以下、金属不純物濃度の総和が１ｐｐｍ以下、２５０ｎｍでの酸素欠損型欠陥量が吸収係数で０．０１〜６／ｃｍで、２１５ｎｍでの吸収係数が２５０ｎｍの吸収係数より小さく、かつ１１００℃での粘度が１０^１４〜１０^１６ポアズの合成シリカガラス、特にランプ用の発光管のため波長２５０ｎｍ以下の光線の内部透過率を５０％／ｃｍ以下とした合成シリカガラス及びその製造方法並びに前記合成シリカガラスで作成した部材を備えた装置。 （もっと読む）

【課題】大口径の合成シリカガラス管の製造に適し、安価で、合成シリカガラス管の肉厚が均一、高純度な合成シリカガラス管の製造装置を提供する。
【解決手段】本合成シリカガラス管の製造装置は、炉体内部に回転昇降可能に配設され、中央部近傍に通気孔が設けられたターゲットと、このターゲットを回転昇降させる回転昇降装置と、ターゲット回転中心軸側から吹き出し方向がこのターゲットの一側に対向するように鉛直線に対し所定角度をもって傾斜してターゲットの上方に設けられかつ、ターゲット上面に円筒状スートを堆積させるバーナーと、円筒状スートの上端近傍かつターゲットの外周側に設けた排気口を備える第１の排気系と、通気孔に下側で連通する第２の排気系とを備える。 （もっと読む）

【課題】結晶化促進剤を用いずに、使用時の高温下でもルツボの変形を生じ難く、かつ製造が容易な石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、外面層が気泡含有石英ガラス層によって形成されており、内面層が肉眼で気泡が観察されない石英ガラス層によって形成されており、外面層の表面に未溶融ないし半溶融の石英層（半溶融石英層と略称する）を有し、該半溶融石英層の中心線平均粗さ(Ｒａ)が５０μm〜２００μmであることを特徴とし、好ましくは、半溶融石英層の層厚が０.５〜２.０mmである石英ガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】シリカ坩堝が高温に加熱されるときの気泡及び気泡成長が最小化する壁を有するシリカ坩堝であり、成形された坩堝の上部切除部が短い切除部分であるシリカガラス坩堝を製造する方法を提供する。
【解決手段】モールド１２内に形成されるキャビティと連通する複数の空気路を有する回転しているモールド１２内にシリカ粒子５４が堆積され、次に、厚みが実質的に均一である壁５６を含む下方部分を有する坩堝の形状になるように成形される。シリカ粒子の上方部分は、成形される形状の外周のまわりに、実質的に狭い壁部分になるように成形される。シリカ粒子は加熱され、シリカが溶融されている間に、ポンプが空気路を通してガスを吸引する。狭い壁部分にわたって圧力降下が生じる。溶融後、狭い壁部分を含む坩堝の上方部分は切除される。 （もっと読む）