【課題】線引して光ファイバとした状態においても該光ファイバのコア領域に充分な濃度のアルカリ金属元素を含有させることができる製造容易な光ファイバ母材を提供する。
【解決手段】光ファイバ母材１０は、石英ガラス系のものであって、コア部２０およびクラッド部３０を備える。コア部２０は、中心軸を含む第一コア部２１と、この第一コア部２１の外周に設けられた第二コア部２２とを含む。クラッド部３０は、第二コア部２２の外周に設けられた第一クラッド部３１と、この第一クラッド部３１の外周に設けられた第二クラッド部３２とを含む。コア部２０は、平均濃度５原子ppm以上のアルカリ金属元素を含有する。第一クラッド部３１の外周部におけるＯＨ基の濃度は最大値で２００mol ppm以上である。 （もっと読む）

【課題】表層からのガラス微粒子粉や堆積層の脱落を抑制できる多孔質ガラス管の製造方法を提供する。
【解決手段】ロッド２０の周囲にＣＶＤ法によりガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体１３を作製し、ガラス微粒子堆積体１３からロッド２０を引き抜いて筒状の多孔質ガラス管１１を製造する多孔質ガラス管の製造方法であって、ガラス微粒子堆積体１３の作製後に、ガラス微粒子堆積体１３の表面をガラス微粒子の原料を含まない火炎により加熱する加熱処理を行う。 （もっと読む）

【課題】入射するＰＡ測定レーザ光の回折による干渉の発生を防ぐ。
【解決手段】回転する出発材２又は火炎を噴出するバーナ１を相対的に成長軸方向に沿って往復トラバースさせながら、前記火炎によってガラス原料ガス及び火炎形成ガスを加熱してガラス微粒子を生成するとともに、該ガラス微粒子を前記出発材に堆積させてガラス微粒子堆積体３を製造する製造方法であって、トラバース毎に堆積するガラス微粒子層の厚みを、隣接し合う層で異なるように堆積させる。 （もっと読む）

【課題】水素等の流体分離特性に優れつつ、シールするための強度を備えた流体分離材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ロッド３０の周囲にＣＶＤ法によりガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体２５を作製し、ガラス微粒子堆積体２５からロッド３０を引き抜いて筒状の多孔質ガラス支持体２１を作製し、多孔質ガラス支持体２１の表面にシリカガラス分離膜層２２を形成して水素分離材料２０を製造する方法であって、多孔質ガラス支持体２１の軸方向両端部を緻密化する緻密化工程を含む。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑えてガラス微粒子堆積体を製造することが可能なガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】把持機構に支持したターゲットへバーナ１３で生成されるガラス微粒子を吹き付けて堆積させるガラス微粒子堆積体製造工程を含むガラス母材の製造方法であって、ガラス微粒子堆積体製造工程では、把持機構に把持される把持棒部２１にターゲットとなる種棒部２２を一体的に接合してダミー棒１１とし、ダミー棒１１の把持棒部２１を把持機構に把持させ、バーナ１３の把持棒部２１側の端部Ａを通るバーナ１３の軸線Ｘと平行な延長線Ｂが、ダミー棒１１における把持棒部２１と種棒部２２との接合箇所Ｃよりも把持棒部２１側を通らないようにしながら、バーナ１３で生成されるガラス微粒子をターゲットとなる種棒部２２へ吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】水素分離材料の支持体として好適に使用できるシリカ系多孔質体を提供すること、特に、良好なガス透過性能を有しながら耐衝撃性が向上したガラス管を提供すること。
【解決手段】ガラス管１０は、その平均気孔率が４０％以上７０％以下であり、少なくとも長手方向の一部の軸方向に垂直な断面における気孔率が内周側から外周側に向かって傾斜を有するとともに最内層気孔率が最外層気孔率よりも高くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントリソグラフィ用モールド基材として使用した場合に、寸法のばらつきが±１０％以内の凹凸パターンを形成することができるＴｉＯ2含有石英ガラス基板の提供。
【解決手段】１５〜３５℃における熱膨張係数が±２００ｐｐｂ／℃以内であり、ＴｉＯ₂濃度が４〜９ｗｔ％であり、転写パターンを形成する側の基板表面から深さ５０μｍまでの表面近傍領域におけるＴｉＯ₂濃度分布が、±１ｗｔ％以内であることを特徴とするＴｉＯ₂含有石英ガラス基板。 （もっと読む）

【課題】ガラス微粒子合成用バーナ等によって生成されたガラス微粒子を出発材表面に効率よく付着・堆積させることにより、高い生産効率を有する多孔質ガラス微粒子堆積体の製造方法、およびその製造方法に用いる製造装置を提供する。
【解決手段】反応容器内において、ガラス微粒子合成用のバーナまたはプラズマトーチを用いて生成されたガラス微粒子を軸周りに回転する出発材の表面に吹き付けることにより、前記出発材の表面に前記ガラス微粒子を付着させ、かつ堆積させて順次ガラス微粒子の堆積面を形成しながら多孔質ガラス微粒子堆積体を製造する方法において、前記反応容器の壁部の全領域から、前記ガラス微粒子の堆積面に対する形態係数が０．２以上となるような領域を選択して冷却することを特徴とする製造方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス母材の製造コストをさらに低コスト化できるガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス母材の製造方法は、ガラス微粒子堆積体１４作製時の容器１１内を、板厚０．２ｍｍ〜２．０ｍｍの仕切板３１〜３３でガラス微粒子堆積体１４の中心軸に沿った面で仕切ることで、ガラス母材の外径に応じて容器１１内の容積Ｖを調整する。 （もっと読む）

【課題】堆積速度を速めることができるとともに、安定した外径が得られる多孔質ガラス母材の製造装置および多孔質ガラス母材の製造方法を得る。
【解決手段】反応容器１１に設けられた一本以上のバーナ１３によりガラス原料ガスおよび燃焼ガスを含む反応ガスを噴き出し、回転するターゲット１５をバーナ１３に対し相対的に往復運動させて反応ガスが反応して生成したガラス微粒子をターゲット１５に堆積させる多孔質ガラス母材１７の製造装置１９であって、バーナ１３が貫通しターゲット１５から離間配置されてクリーンエア２１を噴出するメッシュ状壁部２３と、バーナ１３を前後方向に移動させるバーナ駆動部と、ターゲット１５を挟みメッシュ状壁部２３に対向する排気部２７と、を備え、メッシュ状壁部２３から後退した位置でバーナ１３との隙間を塞ぐ密閉機構をメッシュ状壁部２３に設けた。 （もっと読む）

【課題】酸水素火炎バーナの火炎を乱さずに、割れることのない高品質な多孔質ガラス母材を製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス原料を酸水素火炎バーナ１７から噴出させて容器１５の内部１５ａで火炎加水分解し、生成される多孔質ガラス１１を出発部材１３に堆積させる多孔質ガラス母材１１の製造方法において、酸水素火炎バーナ１７に供給するガラス原料ガス、可燃性ガス、助燃性ガス、及びシールガスの総量が、多孔質ガラス堆積中に一定となるようにシールガスの流量を制御し、容器１５の内部１５ａの圧力が一定の負圧となるようにする。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ母材内における気泡の発生を抑制できる光ファイバ母材製造装置及び光ファイバ製造方法を提供する。
【解決手段】反応容器１０内に配されたターゲット部材２０にガラス微粒子を堆積させるバーナ３０，４０を備えた光ファイバ母材製造装置１であって、前記反応容器１０を内在させるブース５０と、前記ブース５０の内部を、第一空間５０ａと第二空間５０ｂとに区画する仕切板５１と、前記第一空間５０ａ内に清浄な空気を供給する給気手段６０と、を備え、前記反応容器１０及び前記バーナ３０，４０は、前記第一空間５０ａ内に配され、前記仕切板５１は、前記第一空間５０ａと前記第二空間５０ｂとを互いに連通する複数の貫通孔５１ａを有しており、前記第二空間５０ｂ内の空気を排出するように排気手段７０が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外径変動量を低減できるガラス微粒子堆積体の製造方法を提供する。
【解決手段】回転する出発ロッド１１に対向した複数本のガラス微粒子合成用バーナ１３を略均等間隔に配置し、ガラス微粒子合成用バーナ１３を出発ロッド１１と相対移動なガラス微粒子合成用バーナ１３で合成されるガラス微粒子を出発ロッド１１の周囲に順次堆積させるガラス微粒子堆積体１９の製造方法であって、出発ロッド１１とガラス微粒子合成用バーナ１３との相対トラバース速度が０となる場合を除いたときのトラバース速度に合わせてガラス微粒子合成用バーナ１３に供給する少なくとも原料ガスのガス流量を、トラバース毎のガラス微粒子堆積体１９の堆積量が長手方向で一定になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】大型の石英炉を使用することなく透過率及び透過率維持率に優れた大口径の石英ガラスを低コストで製造する方法を提供する。
【解決手段】直径３００mm以上の外径のガラス微粒子堆積体１を焼結して透明ガラス化する石英ガラス４の製造方法において、シリカ微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体１を生成するスス付け工程ａと、スス付け工程で得られたガラス微粒子堆積体１を、石英炉Ｃを除く加熱炉Ｂで焼結して仮焼結体２を得る第１焼結工程ｂと、第１焼結工程ｂで得られた仮焼結体２を石英炉Ｃで更に焼結して焼結体（石英ガラス母材）３を得る第２焼結工程ｃと、スス付け工程ａ、第１焼結工程ｂ、第２焼結工程ｃのいずれか一つ又は二つの工程、或いは全ての工程において、フッ素を添加するフッ素添加工程を備える。 （もっと読む）

【課題】多孔質石英ガラスを合成する反応炉から塩化水素ガス等のガスが漏れるのを防止し、かつ反応炉の外部から異物が侵入することを防ぐことの可能な多孔質石英ガラス母材の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】給排気装置１０は、清浄なガスを給排気装置１０の内部に供給するための給気用管路１１と、反応炉１０１から給排気装置１０内部に漏れ出たガスを排気するための排気用管路９とを有し、給排気装置１０の上面に配設された開口部７とこの開口部７に貫通された種棒１０８との間に形成された隙間１７から外部に向けて上昇気流が吐出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＶＡＤ法により、質量５０ｋｇ以上の石英ガラス母材、または、径４００ｍｍφ以上の石英ガラス母材を効率よく、かつ、安定的に製造する方法を提供する。
【解決手段】多重管バーナー１００にケイ素原料他複数のガスを供給し、多孔質石英ガラス体４００を製造する方法であって、多重管バーナー１００の中心軸に平行な平面に投影した直線と、回転ターゲット３００の回転軸とがなす角度が１０°未満であり、多重管バーナー１００の最外周の径をｄ（ｍｍ）とするとき、中央ノズルの端面と、ターゲット３００表面上若しくはターゲット３００上に堆積した多孔質石英ガラス体４００表面上における多重管バーナー１００の中心軸との交点との距離が３ｄ〜６ｄ（ｍｍ）であり、中央ノズルの開口部面積をＳ_c（ｍｍ²)とするとき、中央ノズルへ供給されるガスの供給量が標準状態（０℃、１ａｔｍ）で０．３０Ｓ_c（Ｌ／ｍｉｎ）以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＶＡＤ法により、質量５０ｋｇ以上の石英ガラス母材、または、径２５０ｍｍφ以上の石英ガラス母材を７５％以上の収率で安定的に製造する方法を提供する。
【解決手段】ガラス形成原料をバーナー１０から発せられる酸水素火炎２０中で加水分解して得られるガラス微粒子を、回転するターゲット３０上に堆積、成長させて多孔質石英ガラス体４０を合成する手順を含む石英ガラス母材の製造方法であって、前記ターゲット３０上に形成される多孔質石英ガラス体４０表面の前記ターゲットの回転軸と略一致する位置に、深さ５〜３０ｍｍの凹部４２が形成されるように、多孔質石英ガラス体４０の合成条件を制御することを特徴とする石英ガラス母材の製造方法。 （もっと読む）

石英ガラスシリンダを製造するための公知の製造方法では、長軸を中心に回転する担体（炭化ケイ素から成る層（ＳｉＣ層）を有するもの）のシリンダジャケット面にＳｉＯ₂粒子を堆積させることによって、多孔質のスートチューブを製造し、これを焼結して石英ガラスシリンダにする。ここから出発して、容易に取り外すことができる一方で、またスート体にとって汚染の危険性が僅かな、破断強度の高い担体を得るため、本発明によれば、ＳｉＣ層をＳｉＯ₂粒子堆積の前に酸素含有雰囲気で、高温下で処理することによって、酸化により厚さが少なくとも０．１μｍのＳｉＯ₂保護層を生成させることが提案される。
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【課題】露光装置、レーザ加工装置、光洗浄装置等、集積回路等の微細パターンを露光・転写に用いるステッパ露光装置に用いられる光学系材の蛍光発光による欠陥をなくし、強度低減できるより優れた透過性能を備えた合成石英ガラスの提供。
【解決手段】水素含浸処理前の合成石英ガラスは、２８０ｎｍ帯の蛍光ピークに相当する欠陥、及び３９０ｎｍ帯の蛍光ピークに相当する欠陥が抑圧されており、水素含浸処理により、２８０ｎｍ帯の蛍光ピークに相当する欠陥、及び３９０ｎｍ帯の蛍光ピークに相当する欠陥、６５０ｎｍ帯の蛍光ピークに相当する欠陥が抑圧されている。 （もっと読む）

【課題】脱水処理を短時間で行うことにより生産性の向上と共にコスト削減を図ることができるシリカガラス材の製造方法を提供する。
【解決手段】シリカガラス材の製造方法は、真空加熱炉１１の炉心管１２内にスート法を用いて製造された多孔質ガラス母材１を収容し、炉心管１２の外側に配置したヒータ１３により多孔質ガラス母材１を加熱することで該多孔質ガラス母材１を脱水させる脱水工程を含む。そして、脱水工程における温度を、脱水処理可能な温度に一定時間保持し、その後冷却して一定時間保持し、その後再度、脱水処理可能な温度に加熱して一定時間保持する昇降温を繰り返し行う。 （もっと読む）