【課題】電極汚染物のルツボ内混入防止を図る。ルツボからの単結晶引き上げへの影響を低減する。引き上げ単結晶特性の良好な石英硝子るつぼを提供する。低コストで電極汚染物の低減を図る。
【解決手段】アーク放電によって被溶融物を溶融するための炭素電極１３の製造方法であって、電力供給前に前記炭素電極表面を前記被溶融物１１と同種の摩擦体により摩擦処理する摩擦処理工程を有する。前記摩擦処理工程が、前記炭素電極先端を成形する研削工程後に行う。 （もっと読む）

【課題】ルツボの外周部分を焼結層で構成するのに適するカーボン製モールドを有する石英ルツボの製造装置を提供する。
【解決手段】回転モールド法により石英ルツボを製造するためのカーボン製モールドを有する石英ルツボ製造装置であって、前記カーボン製モールドは、熱伝導率が１２５W/(m・K)以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】結晶シリコンの引き上げに用いる３０インチ〜４０インチといった大口径の石英ガラスルツボのアーク溶融法による製造において、電極振動の発生を防止し、大出力アーク溶融に対応可能なアーク放電方法および装置を提供する。
【解決手段】３００ｋＶＡ〜１２，０００ｋＶＡの出力範囲で、複数の炭素電極１３によりアーク放電によって非導電性対象物を加熱溶融する方法であって、アーク放電開始時に前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として０．００１〜０．９の範囲となるよう設定する。また、前記炭素電極１３における電力密度を４０ｋＶＡ／ｃｍ２〜１，７００ｋＶＡ／ｃｍ２に設定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業により離型材を構成し、クラックや気泡を混入することなく石英ガラス材料を所定の形状に成形するようにする。
【解決手段】型材中で石英ガラス材料を加熱溶融してガラス製品の概形を成形する型材を用いた石英ガラス材料の成形方法において、加熱溶融される石英ガラス材料の接する面にアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）スラリーを塗布した後に乾燥させてアルミナ膜を形成したカーボン製の型材を用い、上記型材中に石英ガラス材料を載置して、上記型材中で石英ガラス材料を加熱溶融してガラス製品の概形を成形するようにした。 （もっと読む）

【課題】使用時に半導体素子を汚染するパーティクルの発生がなく、かつ使用を重ねても処理条件を変動することがないシリカガラス治具を提供する。
【解決手段】半導体を製造する工程で使用するシリカガラス治具において、その表面の一部又は全部に中心線平均粗さＲａが０．１〜２０μｍの凹凸が存在し、前記凹凸が、大柄な波状の凹凸とその表面に存在する微細な浅いお椀状の凹部とからなる多層構造で、しかも前記お椀状の凹部の底の深さが凹部の縁径より小の浅さで凹部間の縁には鋭角な凸がなく、かつ、濃度３．０〜４．０％で液温が１７〜２３℃のフッ化水素水溶液にて１５〜１７時間エッチングした時の表面と、エッチング処理しない時の表面とを触針部先端のＲが２〜１０μｍの範囲にある触針式表面粗さ測定装置を用いてＪＩＳＢ０６０１に基づき測定した時の中心線平均粗さRaの変化率が５０％以下であることを特徴とするシリカガラス治具。 （もっと読む）

【課題】特に、結晶化率の高いシリコン単結晶の引き上げを可能にする石英ガラスルツボ、および石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法を提供する。
【解決手段】シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボ10であって、該ルツボの同一高さ位置Ｈの全周にわたって測定した、気泡含有率、肉厚および透過率の円周最大公差が何れも６％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 熔融成形型の内側に、ＳｉＯ_２粒子から成る多孔性のＳｉＯ_２粒化物層が形成され、内部に化学的に結合された窒素を含有する石英ガラスから成る安定化層へとガラス化され、その際ＳｉＯ_２粒子は、このガラス化前またはガラス化中に、窒素を含有する反応ガスを使用して窒化される、少なくとも一部が窒素ドープした石英ガラスから成るルツボ内壁を有する石英ガラスルツボの製造方法から出発する。
【解決手段】 このことから出発して、石英ガラスルツボの内壁内に、出来る限り高い割合の化学的に結合された窒素での窒素ドープが達成可能な方法を提供するために、本発明によって、窒素含有反応ガスとして酸化窒素が使用されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材に利用可能な、紫外線、可視光線、赤外線の透過率が高く、高純度で耐熱性の高く、Ｃｕイオンの拡散速度の遅い石英ガラスを安価に提供する。
【解決手段】１０５０℃、大気圧下で４時間、酸化銅蒸気に曝露させた時に、曝露表面から５ｍｍの深さにおけるＣｕの濃度が０．０１ｐｐｍ以下であり、ＬｉとＮａの含有量を総量で０．２ｐｐｍ以下、Ｋ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｃｕの含有量を各々０．１ｐｐｍ未満の石英ガラス。また、波長２４５ｎｍの紫外光に対する厚さ１０ｍｍでの内部透過率が９５％以上であり、１２１５℃における粘性率が１０^１１．５Ｐａ・ｓ以上であり、さらにＡｌを重量比で３ｐｐｍ以下含有することにより、粘性率が１０^１２．０Ｐａ・ｓ以上である。このような石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。 （もっと読む）

【課題】金属不純物を含有させることなく、紫外域と赤外域の光線透過率を低下させ、且つ可視域の透過率が高い紫外線赤外線吸収合成シリカガラス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】金属不純物濃度の総和が１ｐｐｍ以下であり、波長２５０ｎｍにおける酸素欠損型欠陥量が吸収係数で０．１〜２／ｃｍであり、波長２５０ｎｍ以下の光線の内部透過率が０％／ｃｍ以上８０％／ｃｍ以下であり、波長５００ｎｍから１１００ｎｍまでの光線の内部透過率が５０％／ｃｍ以上９２％／ｃｍ以下であり、波長１５００ｎｍ以上の光線の内部透過率が０％／ｃｍ以上８５％／ｃｍ以下であるようにした。 （もっと読む）

【課題】紫外線、可視光線、赤外線を利用する各種光学材料、半導体製造用部材、液晶製造用部材、ＭＥＭＳ製造用部材、液晶用ガラス基板に好適に利用可能な熔融石英ガラスの安価な提供。
【解決手段】ＯＨ含有量が５ｐｐｍ以下、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｃｕの含有量が各々０．１ｐｐｍ未満、かつＬｉとＮａの含有量が総量で０．０５ｐｐｍ以下、波長２４５ｎｍの紫外光に対する厚さ１０ｍｍでの内部透過率が９５％以上であり、好ましくはＡｌを重量比で３ｐｐｍ以下含有し、１２１５℃における粘性率が１０^１２．０Ｐａ・ｓ以上であり、１０５０℃、大気中でのＣｕイオンの熱拡散において、表面から２０〜１００μｍの深さにおけるＣｕイオンの拡散係数が１×１０^−１０ｃｍ^２／ｓｅｃ以下となる熔融石英ガラスであり、このような熔融石英ガラスは、原料シリカ粉を予めクリストバライト化した後、非還元性雰囲気中で熔融することにより得ることができる。 （もっと読む）

【課題】無転移シリコン単結晶の引上げの際に、るつぼ内壁からの不純物の放出を最小限にして、高歩留りで無転移シリコン単結晶の引上げを可能とする石英ガラスるつぼの製造方法を提供する。
【解決手段】壁体と、壁体の内側と外側を連通するように壁体に設けられた開口通路８とを有する溶融型１を提供する工程と、第１の粗大なＳｉＯ_２微粒子から構成される外側層微粒子体を提供し、外側層微粒子体からなる外側微粒子層１２を溶融型１の壁体の内面に形成する工程と、第２の微細なＳｉＯ_２微粒子から構成されるバリア層微粒子体を提供し、バリア層微粒子体からなるバリア微粒子層１６を外側微粒子層１２の内面に形成する工程と、溶融型１の壁体の外側に負圧を適用する工程と、透明な内側層を有する石英ガラスるつぼを形成するためバリア微粒子層１６及び外側微粒子層１２を加熱する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】熱間成形をする際に発生する不良部を小さくし、生産効率・歩留まりを高くして、低コストで石英ガラス加工部品を製造できるようにする。
【解決手段】母材であるカーボンの角材或いは丸材を研削により、円筒を２分割した型材１を真円の一部分を構成するように製造し、これらを組み合わせたとき内面が真円となる分割した型材１を製作し、これらを組み合わせて円筒形とした型材１の内部に石英ガラス母材４を設置して加熱し、溶融した石英ガラス母材４を型材１の内面が真円に合致する形状に成形して石英ガラス成形体５を得た。分割数は、カーボン型材１の内面形状が組み合わせたときに真円となるものであれば、３分割や４分割以上の分割数であっても構わない。更に、型材１をカーボン繊維からなる糸条体６０を用いて固定することにより、原料使用率に優れた石英ガラス成形体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 光軸方向の複屈折値の分布が制御されており、光軸と垂直方向の複屈折値の分布を低減された合成石英ガラスを製造する製造方法を提供すること。
【解決手段】 合成石英ガラスブロックを、５００℃以上１３００℃以下の温度範囲まで３００℃／時間以上で昇温する加熱工程と、前記温度範囲内に保持された合成石英ガラスブロックを５０℃／時間以上で冷却する冷却工程と、を備える合成石英ガラスの製造方法であって、前記加熱工程及び冷却工程のうち少なくとも加熱工程において、光学材料として用いられたときに光軸となるべき方向の、前記合成石英ガラスブロックの温度変化を、当該方向と垂直方向の前記合成石英ガラスブロックの温度変化よりも小さくする温度制御を実施する、合成石英ガラスの製造方法。 （もっと読む）

本発明は、ＳｉＯ₂内層顆粒が、軽ガスを含有する雰囲気中でプラズマの作用下で、遮熱材（２）によって少なくとも部分的に覆われた回転する溶融モールド（１）内でガラス化されて透明内層が得られ、軽ガスの少なくとも一部が、遮熱材のガス入口（８、９）を通して溶融モールド（１）に供給される石英ガラスるつぼの製造方法から始まる。エネルギー及び材料に関して最小限の労力で、気泡含有量が特に少ない内層を形成するために、ガラス化工程に先立つ層形成工程において、ＳｉＯ₂内層顆粒の顆粒層（１４）が内壁上に形成され、プラズマ領域（１３）とガス入口（８、９）を有する遮熱材（２）とが、少なくとも回転軸に垂直な方向に可動であり且つ顆粒層（１４）をガラス化するようにガラス化工程中に顆粒層（１４）の方向に横方向に移動することが提案される。
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【課題】半導体材料のシリコン単結晶や太陽電池材料のシリコン多結晶などの引上げに用いる円形度の高い石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面１１の真円度Ｓｘとルツボ外表面１２の真円度Ｓｙが、真円度と同一測定高さにおける最大肉厚Ｍに対して、何れも０.４以下（Ｓｘ/Ｍ≦０.４、Ｓｙ/Ｍ≦０.４）とし、また、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面１１の中心とルツボ外表面１２の中心との距離Ｌが、ルツボ外表面１２中心を通る最長直径Ｄの０.０１以下（Ｌ≦０.０１Ｄ）とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボなどをモールドから容易に取り出すことができるルツボリフト装置とその取り出し方法を提供する。
【解決手段】ルツボ２０が設置されたモールド３０の上側にリフト装置１０が設置される。上記ルツボ２０の開口部に向かって蓋材５が下降し、緩衝材を介して蓋材５がルツボ２０の開口部に密着し、ルツボ２０の内部空間２１を密封する。次いで、吸引ダクト６を通じて上記内部空間２１が減圧されると、蓋材５は開口部に吸着されてルツボ２０と一体になる。減圧後、昇降モータ７によってシャフト３が回転し、蓋材５と一体にルツボ２０が持ち上げられる。このとき、好ましくは、モールド３０の通気孔３１を通じて、モールド内表面とルツボ２０の間に圧縮空気を導入し、ルツボ２０がモールド３０から離れ易くする。こうして、モールドから石英ガラスルツボが自動的に取り出される。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引上げ用ルツボであって、ルツボ内表面のＳｉＯガスの発生を抑制し、シリコン単結晶のエアポケットを防止した石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶の投影面を含むルツボ底面中央部の高温溶解速度が、中央部の周囲１４よりも高いことを特徴とし、好ましくは、シリコン単結晶の投影面を含む中央部の内表面層１３にアルミニウムを含有させることによって中央部の高温溶解速度をその周囲よりも高くした石英ガラスルツボ１０。 （もっと読む）

【課題】最大平均濃度および最小濃度を有する所定の濃度範囲内にある水素濃度を添加する方法を、幅広い厚さの溶融シリカ物品に同時に行う。
【解決手段】表面領域および中心部分を有する、少なくとも１種類の溶融シリカ物品を提供する。溶融シリカ物品を所定の温度で加熱する。溶融シリカ物品の中心部分が、溶融シリカ物品の添加が完了した際に最小濃度を超えるように、所定の温度で溶融シリカ物品に水素を添加する。溶融シリカ物品が、最大平均濃度の上限未満の平均水素濃度を有するように、所定の温度で溶融シリカ物品の表面領域から水素を除去する。溶融シリカ物品に亘る水素濃度が所定の濃度範囲内にあるように、所定の温度で表面領域に水素を再添加する。 （もっと読む）

【課題】ガラス部品を接合して複雑な形状のものとする場合における接合工程を簡素化して製造コストの低減を図る。
【解決手段】球状石英ガラス粉末にアクリル樹脂系バインダーを加熱ニーダーで混練してペレットを作製し、このペレットを射出成形機で所望の形状に成形してグリーン材の成形体１０を得、この成形体１０の接着面にキシレン等の有機溶媒を塗布して成形体１０を接合して一体化した。この接合体１を常圧で５００℃に加熱して脱脂し、真空雰囲気で１３００℃で焼成して一体化されたガラス部品を得た。ガラス粉末を適宜選択することによって、透明体としたり黒色体とすることができる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス板材を均一な肉厚で接合でき、接合部における気泡の混入を抑制すると共に、接合部の垂れ下がりを抑制する。
【解決手段】石英ガラス板材Ａ，Ｂの接合端面の断面形状を、該石英ガラス板材の厚さ寸法をＤとしたとき、端面先端部からの寸法が０．２５Ｄ乃至０．７５Ｄの範囲内にある前記石英ガラス板材の上下面の２点と、前記石英ガラス板材の厚さ方向の中心を基準にＤの±１０％以内の端面先端部の１点を通る放物線によって構成される凸曲面に形成する工程と、接合する各石英ガラス板材を水平状態に支持し、接合する端面Ａ１，Ｂ１同士を対向させる工程と、前記石英ガラス板材の上下に、接合端面の長手方向に沿って所定ピッチで設けられた複数のバーナノズルを接合端面の長手方向に沿って揺動させながら接合端面に火炎を当て、接合端面を溶融する工程と、接合端面同士を押し合わせ、溶着する工程とを含む。 （もっと読む）