【課題】高温及び減圧の環境下での使用においても、気泡の発生又は膨張が少ない合成シリカガラス製品のための原料に適する、合成非晶質シリカ粉末及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の合成非晶質シリカ粉末は、造粒されたシリカ粉末に球状化処理を施した後、洗浄し乾燥して得られた平均粒径Ｄ₅₀が１０〜２０００μｍの合成非晶質シリカ粉末であって、ＢＥＴ比表面積を平均粒径から算出した理論比表面積で割った値が１．３５を超え１．７５以下、真密度が２．１０ｇ／ｃｍ³〜２．２０ｇ／ｃｍ³、粒子内空間率が０〜０．０５以下、円形度が０．５０以上０．７５以下及び球状化率が０．２０以上０．５５未満であることを特徴とする。 （もっと読む）

高品質シリコン材料(例えば、多結晶シリコン) を形成するためのシステム。特定の実施態様において、溶融材料には、シリコン材料及び不純物(例えば、リンの種)が含まれる。システムには、内側領域を備えるるつぼが含まれる。特定の実施態様において、るつぼは、適切な材料(例えば石英材料又は他のもの)でできている。石英材料は、シリコンを処理するために少なくとも摂氏1400度の温度に耐えることができる。特定の実施形態において、るつぼは、直立に配置されて、溶融材料を露出させる開放域を備える。特定の実施形態において、本システムは、エネルギー源を備える。かかるエネルギー源は、アークヒーター又は他の適切な加熱装置であってもよい。これには、複合加熱装置が含まれ、それらは、同じものか異なるものであってもよい。アークヒーターは、開放域より上に構成されて、露出溶融材料とアークヒーター銃口部との間の隙間によって間隔が開いている。露出溶融材料の中心付近内で、規定の温度プロファイルを形成させると共に、溶融材料の外側領域をるつぼの石英材料の融点より低い温度に維持する。システムは、結果としてリン種を0.1ppm以下含む溶融材料を生産する。これが、精製されたシリコンである。 （もっと読む）

【課題】高温及び減圧の環境下での使用においても、気泡の発生又は膨張が少ない合成シリカガラス製品のための原料に適する、合成非晶質シリカ粉末及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の合成非晶質シリカ粉末は、造粒されたシリカ粉末を焼成し、この焼成したシリカ粉末に球状化処理を施した後、洗浄し乾燥して得られた平均粒径Ｄ₅₀が１０〜２０００μｍの合成非晶質シリカ粉末であって、ＢＥＴ比表面積を平均粒径Ｄ₅₀から算出した理論比表面積で割った値が１．００〜１．３５、真密度が２．１０〜２．２０ｇ／ｃｍ³、粒子内空間率が０〜０．０５、円形度が０．７５〜１．００及び未溶解率が０．００〜０．２５であり、炭素濃度が２ｐｐｍ未満又は塩素濃度が２ｐｐｍ未満のいずれか一方或いはその双方を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発生ガス量を抑制し、原料の粉体の飛散を防止して反応容器内の充填率を向上できる加熱装置および加熱方法を提供する。
【解決手段】加熱によりガスを放出する粉体のための加熱装置１００であって、粉体の原料Ｐを収容し、ガスを排出可能に形成された容器１１０と、容器の周囲に設けられたヒータ１２０と、ヒータ１２０による容器１１０の加熱位置を所定速さ未満で移動させる加熱位置移動部と、を備えることを特徴としている。このように、容器１１０の加熱位置を所定速さ未満で移動させることで、発生ガス量を抑制し、原料の粉体Ｐの飛散を防止して反応容器１１０内の充填率を向上させることができる。また、原料の粉体Ｐが飛散せず適正な温度履歴を与えることができ、原料に期待した反応を生じさせることができる。また、粉体が飛散しないことから歩留まりが向上する。 （もっと読む）

【課題】
半導体製造用部材、液晶製造用部材、ＭＥＭＳ製造用部材として好適に利用可能な、腐蝕環境で用いる熔融石英ガラス部材を提供する。
【解決手段】
熔融石英ガラス部材に対して、以下の腐蝕曝露試験を行った際、腐食の深さ比（Ａ＋Ｂ）／Ａの値が１１５％以上となる局部腐蝕部が存在しない熔融石英ガラス。
腐蝕曝露試験：（１）２０ｍｍ×２０ｍｍ×２ｍｍ厚の熔融石英ガラスサンプルを調整し、その表面に光学鏡面を形成した後、７ｍｍ×７ｍｍ部分をマスクする。（２）反応性イオンエッチング装置を用い、ＣＦ_４ガス、Ｏ_２ガス及びＡｒを同時に流しながら、装置内圧力を１４Ｐａとして、マスクを施したガラス表面全体を、３００Ｗで４時間エッチングする。（３）ガラス表面からマスクを取り除き、マスク部と腐蝕を受けた非マスク部との段差量（Ａ）を測定する。（４）非マスク部表面に存在する凹部（局部腐蝕部）につき、非マスク部表面からの深さ（Ｂ）を測定する。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引き上げに用いる石英ガラスルツボであって、クリストバライト化の進行が抑制された石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１１１を作製した後、前記作製した石英ガラスルツボの外面側を研削することにより、あるいは、石英ガラスルツボの外面を熱処理することにより、前記作製した石英ガラスルツボ１１１の外層部１４２に存在するシリカの結晶相１５１を除去する。この結果、前記石英ガラスルツボ１１１の全体が石英ガラス１２１からなり、前記石英ガラスルツボ１１１の外層部１４２にシリカの結晶相１５１が実質的に存在しない石英ガラスルツボ１１１が得られる。 （もっと読む）

【課題】
従来、半導体熱処理治具に一般に使用されてきた天然シリカ粉熔融石英ガラスは金属不純物、特に銅の拡散阻止能を持たない。金属不純物拡散阻止能を有し、高温粘性の高い石英ガラスを提供する。
【解決手段】
高純度の合成シリカ粉を電気炉中溶解やプラズマ溶解することにより、Ｓｉ孤立電子対含有濃度を０．５×１０^１６個／ｃｍ^３以下にし、さらに、ＯＨ基含有濃度を５０ｗｔ．ｐｐｍ以下にすることにより、金属不純物拡散阻止能を有し、半導体熱処理時に粘性率の高い石英ガラスが得られる。 （もっと読む）

【課題】モールド上部の断熱性（保温性）を向上させて、アーク加熱時の均熱性および熱効率を向上させることにより、石英ルツボ上部の径小薄肉化により切断除去を余儀なくされる部分を減少して、原料コストを低減する。
【解決手段】円筒状の直胴部と、すり鉢状の底部と、これらを連接するコーナー部とをそなえる石英ルツボ製造用モールドにおいて、該モールドの円筒状直胴部の上端から少なくとも１／５の上部領域を、高断熱構造とする。 （もっと読む）

【課題】従来分析が困難であった、短時間の拡散で拡散距離が数ｃｍにも及ぶ石英ガラス中の非常に速い拡散速度を持つ金属不純物の拡散について、石英ガラス中の、深さ方向に数ｃｍに渡る金属不純物濃度分布を測定し、金属不純物の拡散係数を算出する方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスの一面のみから金属不純物を拡散させた後、金属不純物を拡散させた面と平行に試料を切り出し、前記試料の前記石英ガラス表面からの正確な位置を測定し、前記試料中の金属不純物濃度を測定することで金属不純物の拡散速度を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】石英ルツボにシリコン原料融液が連続的又は断続的に供給された場合であっても、内壁の侵食に起因した石英ルツボの破損を抑制できる単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボ２０は、側壁２１の外周に、石英材料からなり、その上端部の高さ位置が、前記石英ルツボ２０の側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の60〜90％の範囲にあり、その下端部の高さ位置が、前記石英ルツボ２０の側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の5〜30％の範囲にある側壁補強部２２を設けて、前記側壁部分を厚肉側壁部２３とし、シリコン単結晶の引上げ時、石英ルツボ２０が加熱されて軟化し、前記厚肉側壁２３部が前記黒鉛ルツボ３０の内壁面３０ａ形状に対応して変形することで、石英ルツボ２０の前記厚肉側壁部２３が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高寸法精度、高耐熱性を有するシリカ容器を低コストで製造できるシリカ容器の製造方法、及び、このようなシリカ容器を提供する。
【解決手段】 Ｌｉ、Ｎａ、Ｋの合計濃度が５０ｗｔ．ｐｐｍ以下である基体形成用原料粉と、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａを合計で５０〜２０００ｗｔ．ｐｐｍ含有する内層形成用原料粉を作製し、型枠内で基体の仮成形体を形成し、その内表面上に内層の仮成形体を形成し、水素若しくはヘリウム又はそれらの混合ガスを１０ｖｏｌ．％を超える比率で含有するガス雰囲気にて、放電加熱溶融法により基体と内層の仮成形体の内側から加熱することによって、基体の仮成形体の外周部分を焼結体とするとともに、基体の仮成形体の内周部分及び内層の仮成形体を溶融ガラス体とすることにより、外周部分に気泡を含有する基体と、該基体の内表面上に形成された、透明シリカガラスからなる内層とを有するシリカ容器を製造する方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、石英ルツボにシリコン原料融液が連続的又は断続的に供給され、前記シリコンルツボ内でシリコン原料融液の液面高さ位置が実質的に一定の状態となる場合であっても、内壁の侵食に起因した石英ルツボの破損を抑制できる単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法を提供することにある。
【解決手段】前記石英ルツボ２０が、側壁外周の所定の高さ位置Ｈに、石英材料からなる側壁補強部２２を設けて前記側壁部分を厚肉側壁部２３とし、シリコン単結晶５の引上げ時、石英ルツボ２０が加熱されて軟化し、前記厚肉側壁２３部が前記黒鉛ルツボ３０の内壁面３０ａ形状に対応して変形することで、石英ルツボ２０の前記厚肉側壁部２３が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶の引上げ中に、石英ガラス製ルツボの減肉判定を容易かつ正確に実施できる石英ガラス製ルツボを提供する。
【解決手段】上面に開口した縁部を有する円筒状の直胴部と、すり鉢状の底部と、それらを連接するコーナー部とを備える石英ガラス製ルツボ１であって、少なくとも直胴部の内壁面の水平線上、１箇所または２箇所以上に凹部２または窪み群３を設ける。凹部の幅は、１〜５００μmとし、その深さは、１μm以上とする。 （もっと読む）

本開示は、シリカ系坩堝材料であって、焼結または焼成前に、その材料から製造された焼結または焼成坩堝に、改善された耐熱衝撃性および反復熱サイクルに耐える向上した能力を与える熱膨張安定化成分（Ｂ₂Ｏ₃およびＣａ₂ＳｉＯ₄）を選択された量含むシリカ系坩堝材料に関する。本発明を説明するための実施の形態は、その化学組成が、質量％で表して、約９１％から約９８％のＳｉＯ₂と、約１％から約８％の熱安定化成分と、約１．０％までの、ＭｇＯ、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｆｅ₂Ｏ₃、ＣａＯおよびＺｒＯ₂を含む追加の酸化物とを含む坩堝材料を提供する。 （もっと読む）

【課題】 内部に充填したシリコン融液の湯面振動を安定して抑制することができ、かつ長寿命のシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 周壁部、湾曲部および底部を有するシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボであって、該石英ガラスルツボは、前記周壁部の内面の特定領域に、複数個の微小凹部を具え、該微小凹部の下方位置に、複数個の気泡を具えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス製ルツボの品質評価用の試料およびその試料の作製方法とその試料を用いた品質等の評価方法およびその試料の作製装置とを提供する。
【解決手段】石英ガラス製ルツボの中心を含む方向にＵ型またはＪ型に切出した一次試料を、該一次試料の切出し方向に垂直かつ該一次試料の厚み方向に切出した二次試料に、該石英ガラス製ルツボの内壁面と外壁面を残し、これら内壁面と外壁面の間に複数の切込みを入れることにより設けた複数の短冊状部分を有する品質評価用試料を作製し、評価に用いる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にし、多結晶シリコンやドーパント等を充填する工程において、内面が汚染されない状態での石英ガラスルツボの取り扱いを可能にし、更に、石英ガラスルツボ内にドーパント等を充填する工程を容易とする方法を提供する。
【解決手段】椀状の底部１０１、及び、底部１０１から延在し、底部１０１から離間する側に開口した周壁部１０２からなる有底円筒状の石英ガラスルツボ１を密閉するための蓋３であって、石英ガラスルツボ１の蓋３は、石英ガラスルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に着脱自在であり、かつ、ドーパントをルツボ１内に挿入するための、開閉可能な挿入部７を具える。 （もっと読む）

【課題】内層中の気泡ができるだけ少ない石英ルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】石英ルツボが、内部のシリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を引き出すことができる形式のモールドキャビティにおいて製造される。シリカ粒子１６の層がモールドキャビティ内に形成され、ヘリウム、窒素、水素又はそれらの混合物を含み得るガスがモールドキャビティに導入される。シリカ粒子１６の層は、シリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を実質的に引き出すことなく加熱される。その後、シリカ粒子１６の層の少なくとも一部がシリカ粒子１６を介して周囲雰囲気を引き出しながら溶融される。ガスがモールドキャビティ内の空気を追い出すことで、窒素酸化物及びオゾンを低減させる。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボの製造中に、正確なヒューム発生量の測定を可能とし、内表面の特性の低下を防止できるとともに、原料熔融状態の制御がリアルタイムで可能なシリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粉をモールド１０内に供給してシリカ粉層を形成し、このシリカ粉層１１をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボ５０を製造する装置であり、シリカガラスルツボの外形を規定するモールド１０と、複数本の炭素電極１３及び電力供給手段４０を具備するアーク放電手段と、モールド１０内において発生するヒューム８０の量を検出するヒューム量測定部３０が備えられてなる。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットの生産効率を向上させることができる石英るつぼおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】高純度の溶融石英ガラスの鋳塊から板状の石英ガラスを切り出す。切り出した石英ガラスを所定サイズに切断する。サイズを整えた板状の石英ガラスを酸水素混合火炎を用いた溶接によって接合して箱形状の石英るつぼを組み立てる。組み立てた石英るつぼにはフッ酸を用いた表面洗浄を施し、さらに酸水素混合火炎による表面処理を行って石英ガラス全体を透明にする。この石英るつぼを用いてシリコンを溶融させて凝固させるときに、石英るつぼの全体が透明であれば、シリコンからの熱放射はるつぼ壁面の石英ガラスによってほとんど遮られることがなくなる。その結果、シリコンの冷却速度が速くなり、シリコンインゴットの生産効率を向上させることができる。 （もっと読む）