【課題】ルツボ内表面の気泡や不純物が少なく、シリコン単結晶の高い結晶化率を達成することができるシリカガラスルツボの製造方法および製造装置の提供。
【解決手段】本発明のシリカガラスルツボの製造方法は、モールド１０内に原料シリカ粉を供給してシリカ粉層１１を形成するシリカ粉供給工程と、複数本の炭素電極１３によるアーク放電でシリカ粉層１１を熔融するアーク熔融工程と、各炭素電極先端とモールド１０内に供給したシリカ粉層１１の被熔融表面との距離をそれぞれ等距離に設定して被熔融表面に吹きつけたアーク火炎により表面除去するファイヤーポリッシュ工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】廃ガラスを用いて、透明層を有するシリカガラスルツボを製造する方法を提供する。
【解決手段】単結晶又は多結晶シリコンインゴット製造用のシリカガラスルツボ１の製造方法であって、前記ルツボ１は、ルツボ形状のシリカ粉焼結体３に対して、前記シリカ粉焼結体３をルツボ内面側からアーク溶融させて前記シリカ粉焼結体３の厚さ方向の全部又は一部をガラス化させる工程を備え、（１）前記アーク溶融時にルツボ外面側から前記シリカ粉焼結体３を減圧することと、（２）前記アーク溶融時に前記シリカ粉焼結体３の内面に合成シリカ粉を散布することによってルツボ内面に合成シリカガラス層５を形成すること、のうちの少なくとも一方の手段を備えるシリカガラスルツボ１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコン融液への不純物の混入のおそれなく、シリカガラスルツボの座屈や沈み込みを抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶の引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁３の外表面から内表面に向かって厚さ２ｍｍの領域３ｃのシリカガラスのラマンスペクトルでの４９２ｃｍ^−１におけるピークの面積強度Ｉ１と、６０６ｃｍ^−１におけるピークの面積強度Ｉ２の比Ｉ２／Ｉ１が０．６７〜１．１７であるシリカガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】内面を無気泡化させたシリカガラスルツボを製造する方法を提供する。
【解決手段】ルツボ形状成形体２を回転させながら減圧し、壁部４０２の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボ４に与える回転数を制御して、壁部の透明層４０５の表面近傍に存在する気泡が残存するシリカガラス層を底部４０１に向けて移動させ、底部の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、該底部の透明層の表面近傍に存在する気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側に移動させて、シリカガラスルツボの透明層の気泡が残存するシリカガラス層を底部の径方向外側に集め、底部の内面側をアーク加熱によって溶融した状態にて、シリカガラスルツボに与える回転数を制御して、底部の透明層表面の無気泡層の一部を底部の径方向外側に移動させて、該無気泡層により気泡の集まった領域を被覆する。 （もっと読む）

【課題】シリコン単結晶引き上げ中の高温下において沈み込みが抑制された石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ１０は、ルツボの外表面側に設けられた多数の気泡を含む不透明石英ガラス層１１と、ルツボの内表面側に設けられた透明石英ガラス層１２とを備え、不透明石英ガラス層１１は、ルツボ上部に設けられた第１の不透明石英ガラス部分１１ａと、ルツボ下部に設けられた第２の不透明石英ガラス部分１１ｂとを有している。第１の不透明石英ガラス部分１１ａの原料石英粉のＯＨ基濃度が第２の不透明石英ガラス部分１１ｂの原料石英粉のＯＨ基濃度よりも高いため、第１の不透明石英ガラス部分１１ａの比重は第２の不透明石英ガラス部分１１ｂの比重よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】長時間、高温に加熱しても、変形することが少ないシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】本発明によれば、直胴部と、底部と、前記直胴部と前記底部をなめらかに接続する湾曲部とを有するシリカガラスルツボであって、前記シリカガラスルツボの壁は、内側から順に透明層及び気泡含有層を備え、前記直胴部の上端と下端の中間部分において、前記透明層の厚さに対する前記気泡含有層の厚さの比が０．７〜１．４であるシリカガラスルツボが提供される。 （もっと読む）

【課題】廃ガラスを用いて、透明層を有するシリカガラスルツボを製造する方法、及びその製造に適したシリカ粉を提供する。
【解決手段】シリカガラスルツボの製造工程で生じた廃ガラスを平均粒径が１００μｍ以下になるように粉砕してシリカ微粉５を形成し、前記シリカ微粉５を、平均粒径が５０μｍ以上になるように、ヘリウム雰囲気下で造粒する。前記粉砕工程で、平均粒径が１００μｍ以下になるように廃ガラスを粉砕してシリカ微粉５を作成するとともに、空気よりも離脱しやすいヘリウムの雰囲気下で造粒を行うことにより、シリカ微粉５内に気泡が残留しにくくなるので、前記造粒シリカ粉を用いれば、ルツボの内面側に透明層を有するシリカガラスルツボを容易に製造することができる。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボの座屈や沈み込みが抑制され且つ亀裂が入りにくいシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】本発明によれば、シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁が、前記ルツボの内面側から外面側に向かって天然シリカガラス又は合成シリカガラスからなるノンドープの内面層、及び鉱化元素が島状に偏在した鉱化元素偏在領域が分散している鉱化元素偏在シリカガラス層を備え、前記鉱化元素偏在領域のガラス成分とその周辺のガラス成分は、鉱化元素がドープされた天然シリカガラスとノンドープの合成シリカガラスの組み合わせ、又は鉱化元素がドープされた合成シリカガラスとノンドープの天然シリカガラスの組み合わせであり、前記内面層は、前記鉱化元素偏在領域のガラス成分とは異なる種類のガラス成分からなるシリカガラスルツボが提供される。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス成形体製造用の外筒を正確にかつ容易に組み上げられるようにする。
【解決手段】板材１４を組み上げて正多角柱状の外筒を形成するにあたり、正多角柱状の組立用治具１８を底板１２の上に載せ、組立用治具１８の側面のガイド面１９に沿わせて板材１４を並べて正多角柱状の型材となる外筒を組み上げる。板材１４が移動しないように固定した後、組立用治具１８を取り出すことによって外筒が完成する。組立用治具１８を用いることによって、正多角柱状の外筒を正確にそして短時間で組み上げることができる。 （もっと読む）

【課題】アーク放電による加熱温度を調整すべく電極を移動可能としながらも、隔壁の貫通孔とこれに挿通された電極との隙間を縮小できる構造を備えたシリカガラスルツボ製造装置を提供する。
【解決手段】回転モールド１０の上方に板状の隔壁１５を配し、加熱熔融を行なう電極１３を、隔壁１５をその厚さ方向に貫通する貫通孔１６に挿通させて回転モールド１０に向けて延びるように配し、隔壁１５の上に電極１３を仮想揺動軸Ｐ周りに揺動させる揺動手段４０を設け、仮想揺動軸Ｐが貫通孔１６内を通過するように構成する。 （もっと読む）

【課題】脈理除去のための熱処理をすることなしに、比較的大口径な石英ガラス成型体であっても、脈理の影響を排除して光学用途に適した光学特性を有する石英ガラス成型体を提供できる方法を提供する。
【解決手段】直接法により合成した石英ガラスインゴットをインゴットの成長方向と同一の方向から加圧して、板状成型体を得る工程、得られた板状成型体の加圧により形成された一方または両方の面(以下、加圧形成面という)を、前記加圧形成面の垂直方向からの目視観察において脈理が観察されなくなるまで削除して、石英ガラス成型体を得る工程を含む、光学用石英ガラス成型体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 シリコン単結晶の製造の際のルツボ自体に起因するシリコン単結晶の有転位化を回避し、かつ、高い耐熱性を有する石英ガラスルツボ及びその製造方法、並びにそのような石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】 石英ガラスからなり、ルツボ形状を有するルツボ基材を準備する工程と、直接法又はスート法により合成石英ガラス材を作製する工程と、前記合成石英ガラス材を、粉砕することなくルツボ形状に加工する工程と、前記ルツボ形状に加工した合成石英ガラス材を、前記ルツボ基材の内面に溶着する工程とを含む石英ガラスルツボの製造方法。 （もっと読む）

【課題】特に大口径石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶引上げを行う際、内表面の結晶化物質の剥離を抑制でき、石英ガラスルツボの変形を抑制できるとともに、毒性が低く、取扱いが容易な石英ガラスルツボとその製造方法およびシリコン単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】モリブデン含有物質を石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部に有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】緻密膜層が保護された多孔質材料を容易に製造することができる方法を提供する。
【解決手段】本発明の多孔質材料製造方法は、多孔質層と緻密膜層とを有する多孔質材料を製造する方法であって、セラミック材料からなる多孔質母材２５の内部において集光するようにレーザ光Ｂを該多孔質母材２５に対して照射して、多孔質母材２５の内部におけるレーザ光集光箇所を選択的に緻密化し、その緻密化した層を緻密膜層とし、その他の部分を多孔質層として、多孔質材料を製造する。 （もっと読む）

【課題】
従来、半導体熱処理治具に一般に使用されてきた天然シリカ熔融石英ガラスは金属不純物、特に銅の拡散阻止能を持たない。金属不純物阻止能を有し、高温粘性の高い石英ガラスを提供する。
【解決手段】
高純度の合成シリカ粉を中性不活性雰囲気中結晶化した後に電気炉中溶解やプラズマ溶解することにより、酸素欠乏欠陥ＯＤＣＩＩ含有量を１０×１０^１５個／ｃｍ^３以下にし、かつＳｉ孤立電子対含有量を２×１０^１５個／ｃｍ^３以下にし、さらに含有Ｎａ濃度を０．０３ｗｔ．ｐｐｍ以下に抑えことにより、金属不純物拡散阻止能を有し、半導体熱処理時に粘性率の高い石英ガラスが得られる。 （もっと読む）

【課題】 不純物汚染防止及び離型性に優れ、結晶粒の大きさ及び結晶軸方位が揃った多結晶シリコンインゴットを製造することができる、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、少なくとも前記角形シリカ容器の側部をなす前記多孔質シリカ板体における両平行平面の表面部分のかさ密度が、前記角形シリカ容器の内表面部分よりも外表面部分において高く、前記角形シリカ容器の底部をなす前記多孔質シリカ板体の内表面部分は、溝又は穴を所定間隔で複数有しており、前記溝又は穴の側面の少なくとも一部が、鉛直方向に対して１５〜６０°の角度をなす斜面で形成されている多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）

【課題】
焼きなまし速度の変化を通じて、透過特性の改善とＣＴＥの絶対値の調整の両方を同時に生じる、ＣＴＥの絶対値を調整する手段。
【解決手段】
１つの実施の形態では、本開示は、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞９０％／ｃｍ、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞９３％／ｃｍ、または、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞９５％／ｃｍの内部透過性を有するシリカ・チタニアガラスを対象とする。別の実施の形態では、本開示は、ガラスでできた光学系部材の全般的な透過性が、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞８４％、３４０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞８６％、または３３０ｎｍ〜８４０ｎｍの波長において＞８８％である、シリカ・チタニアガラスを対象とする。さらなる実施の形態では、シリカ・チタニアガラスは、３重量ｐｐｍ未満のＴｉ⁺³濃度レベルを有する。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク用基板に表面欠陥が発生した場合でも、簡便にかつ基板の平坦度及び表面粗さに悪影響を及ぼすことなくマスクブランク用基板の表面欠陥を修正することのできる、低コストかつ高い歩留まりのマスクブランク用基板の製造方法、並びにマスクブランク及び転写用マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】対向する２つの主表面を有する基板からなるマスクブランク用基板の製造方法であって、前記基板の２つの主表面を研磨する工程と、前記基板の主表面に存在する表面欠陥に対して、前記基板の軟化点以上の燃焼温度の火炎を接触させて前記表面欠陥を修正する工程とを有することを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス母材を加熱溶融して成形する石英ガラス成形体の外径を容易に変更できるようにする。
【解決手段】カーボンよりなる板材を組み合わせることによって得られる正多角柱を外筒とする型材１０を用いて溶融成形を行う際に、得られる溶融成形体の外径を変更するために、板材の幅を変更することによって解決する。正八角形の場合、板材の一辺の幅をａから１．２ａ、そして１．４ａと大きくしていくことによって、組み立てられた正多角柱の内接円の直径（Ｒ）は、それぞれ２．４ａ、２．９ａ、そして３．４ａと大きくなっていくので、容易に直径を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン融液及び多結晶シリコンインゴットへの不純物汚染を抑制しながらも、離型性に優れた、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を収容した後凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、前記多孔質シリカ板体の両平行平面の表面部分のかさ密度が、前記角形シリカ容器の内表面部分よりも外表面部分において高い多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）