【課題】 大型、高寸法精度、高耐久性の、シリカを主な構成成分とするシリカ容器を、安価な比較的低品位のシリカ粉体を主原料として、投入エネルギー量を少なく、低コストで製造するためのシリカ容器の製造方法、及び、このようなシリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ容器の製造方法であって、少なくとも、シリカを主な構成成分とし、回転対称性を有するシリカ基体を形成し、該シリカ基体の内表面上に、シリカゾルからゾル−ゲル法によって透明シリカガラス層を形成するシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】低コストで種々の外径の石英ガラス成形体を製造できるようにする。
【解決手段】厚さ１ｃｍ、直径５０ｃｍの円形のカーボン製の底板１２の中央に石英ガラス材料１６を載置し、その外側に板材１４の一方の端部を、多角形の隣接する辺の板材の端部から８ｃｍの位置に８枚を順次組み合わせ、カーボン繊維の糸条体で緊締して外筒を組み上げ、石英ガラス材料をこの外筒内に設置して電気炉内に移し、窒素ガス雰囲気下で１８００℃で２時間加熱溶融し、一辺８ｃｍ、平均高さ７．９ｃｍの正八角柱の石英ガラス成形体１６ａを得た。 （もっと読む）

【課題】 シリコン融液及び多結晶シリコンインゴットへの不純物汚染を抑制し、かつ、離型性に優れるとともに、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、内側表面部分の少なくとも一部に前記多結晶シリコンインゴットの離型を促進する離型促進剤が含有されているものであり、前記多孔質シリカ板体のかさ密度が、両平行平面の表面部分よりも内部の部分において低い多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）

【課題】合成石英ガラス成形体に存在する不純物汚染による不良部位を確実に選別することが可能な合成石英ガラス成形体の検査方法を提供する。
【解決手段】合成石英ガラス成形体に対して、可視光を遮蔽又は減光するフィルターを通したＨｇランプの波長２５４ｎｍのスペクトル線を照度１０ｍＷ／ｃｍ^２以上という条件で照射する工程と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長２５４ｎｍの輝線強度と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長５００ｎｍ〜６００ｎｍを中心とした緑色から黄色の蛍光の蛍光強度とを測定する工程と、前記輝線強度と前記蛍光強度との比（蛍光強度／輝線の強度）に基いて合成石英ガラス成形体の良部位を選別する工程と、を含む、合成石英ガラス成形体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】 重水素処理に伴う波長1400nm付近での吸収損失を低減し、1300〜1625nm波長域において低損失なシリカガラス光ファイバを効率よく作製するシリカガラスの処理方法及びシリカガラス光ファイバを提供する。
【解決手段】 シリカガラスを重水素含有雰囲気に所定時間暴露して該シリカガラス内に重水素分子を拡散させる重水素拡散ステップ、該シリカガラスを40℃以上に保持する高温保持ステップ、次いで該シリカガラスを室温にまで冷却する冷却ステップからなることを特徴とするシリカガラスの処理方法であり、前記シリカガラスは、シリカガラス系の光ファイバであって、中心に少なくともゲルマニウムを含有するシリカガラスのコアを有し、該コアをこれよりも屈折率の低いシリカガラスのクラッドが囲み、シリカガラスの表面には、樹脂被覆が施されている。 （もっと読む）

【課題】 シリコン融液及び多結晶シリコンインゴットへの不純物汚染を抑制し、かつ、離型性に優れるとともに、きわめて低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、多孔質シリカからなる平行平板状の多孔質シリカ板体を組み合わせて構成されたものであり、前記多孔質シリカ板体のかさ密度が、両平行平面の表面部分よりも内部の部分において低い多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器。 （もっと読む）

【課題】複数の火炎ツールを用いて高精度な火炎加工（表面仕上げ加工）を能率的に行い、供給量を増やすことが出来るようにしたリング状石英ガラス治具の火炎加工装置及び火炎加工方法を提供する。
【解決手段】回転可能に設けられたワーク載置台２４と、該ワーク載置台に載置固定されるリング状石英ガラス治具２６と、該リング状石英ガラス治具の外面側に火炎を吹付けるように等間隔に設置された複数個の外側ガスバーナ４６と、該リング状石英ガラス治具の内面側に火炎を吹付けかつ該外側ガスバーナと対応するように等間隔に設置された複数個の内側ガスバーナ４０と、該外側ガスバーナと内側ガスバーナを保持するガスバーナ保持手段と、該ガスバーナ保持手段を上下動させるガスバーナ移動手段と、を有し、水平方向火炎加工を順次上下方向に行い、該リング状石英ガラス治具の内面及び外面の全面を火炎加工するようにした。 （もっと読む）

【課題】コア領域にアルカリ金属が添加され伝送損失が低い光ファイバを歩留りよく製造することができる光ファイバ母材を提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバ母材製造方法は、石英系ガラスからなるパイプにアルカリ金属を添加するアルカリ金属添加工程と、ガラスパイプに酸素分子を添加する酸素分子添加工程と、ガラスパイプを加熱し中実化する中実化工程とを備え、光ファイバ母材を製造する。光ファイバ母材において、コア部はアルカリ金属が添加されたアルカリ金属添加コアガラス部を含み、コア部における酸素分子の濃度の最大値が３０ｍｏｌｐｐｂ以上であり、コア部におけるアルカリ金属の濃度の平均値が５原子ｐｐｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】高収率、かつ、低コストで石英ガラス成形体を製造できるようにする。
【解決手段】厚さ１ｃｍ、直径５０ｃｍの円形のカーボン底板１２の上に、下型５２、石英ガラス母材１６、押圧治具１８、ガイド部材２０、及び荷重板２２を順次載置した。この外側に幅２０ｃｍ、長さ３０ｃｍ、厚さ３ｃｍのカーボン板を６枚組み合わせて正六角柱の外筒１４を組み上げ、カーボン治具で固定して製造装置を組み上げた。石英ガラス母材１６を外筒の内部にセットして電気炉に入れ、１８００℃において２時間加熱溶融したところ、上面中央にφ２２ｃｍ、深さ５ｃｍ、また、その下面中央にφ２０ｃｍ、深さ４ｃｍの凹部を有する一辺２０ｃｍ、平均高さ１２ｃｍの正六角柱の石英ガラス成形体１６ａを得た。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボ製造時の熔融状態を制御して、シリコン単結晶製造時のルツボ内表面のブラウンリング発生を防止し、湯面振動を抑制するシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリカガラスルツボ製造方法は、原料シリカ粉をルツボ成形用のモールド内に成形し、そのシリカ粉層をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボを製造する方法であって、原料シリカ粉を前記モールド内部に供給してシリカ粉層を形成するシリカ粉供給工程と、複数本の炭素電極によるアーク放電でシリカ粉層を熔融するアーク熔融工程とを有し、前記アーク熔融工程では、シリカ粉層の内表面に設定した複数の測定点の温度を測定し、各測定点にて熔融の初期に現れる最初の温度の極大点Ｔｐを検知する。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボ製造時の熔融状態を制御して、シリコン単結晶製造時のルツボ内表面のブラウンリング発生を防止し、湯面振動を抑制するシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリカガラスルツボ製造方法は、原料シリカ粉をルツボ成形用のモールド内に供給してシリカ粉層を形成し、そのシリカ粉層をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボを製造する方法であって、原料シリカ粉を前記モールド内部に供給してシリカ粉シリカ粉層を形成するシリカ粉供給工程と、複数本の炭素電極によるアーク放電でシリカ粉シリカ粉層を熔融するアーク熔融工程とを有し、前記アーク熔融工程では、前記シリカ粉層の温度を測定し、上記アーク熔融工程の初期に現れる最初の温度の極大点Ｔｐを基準温度とし、上記基準温度に基づいてシリカガラス熔融状態を制御する。 （もっと読む）

【課題】製造工程でのルツボの取り違えを防止することができるシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】シリカガラスルツボの外形を規定するモールドの内面にシリカ粉を堆積させてシリカ粉層を形成するシリカ粉層形成工程と、前記モールド内で前記シリカ粉層をアーク加熱により溶融させると共に前記シリカガラス層と前記モールドの間に未溶融シリカ粉層が残留するようにアーク加熱を終了するアーク加熱工程と、取り出した前記シリカガラスルツボの外面にある未溶融シリカ粉層を除去するホーニング工程とを備え、前記ホーニング工程の前に、１又は複数の溝線で構成された識別子を前記シリカガラスルツボの外面にマーキングするマーキング工程をさらに備える。前記溝線は、前記ホーニング工程後の深さが０．２〜０．５ｍｍであり、前記溝線の開口部での幅が０．８ｍｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】内表面の状態（ルツボ内表面特性）などが適切に制御されたシリカガラスルツボを製造する。
【解決手段】回転するモールド１０内で、シリカ粉末からなるシリカ粉層１１を複数本の炭素電極１３によるアーク放電で加熱熔融し、シリカガラスルツボを製造する方法であって、上記シリカ粉層１１、上記熔融時に発生するヒューム、上記アーク放電で生じるアーク火炎からなる群より選ばれる１以上について、加熱熔融時における最適温度を予め求めておく予備工程と、最適温度が求められた上記群より選ばれる１以上について、加熱熔融時における実温度を測定する温度測定工程と、実温度が測定された上記群より選ばれる１以上について、最適温度になるように、実温度を制御する温度制御工程とを有するシリカガラスルツボの製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリカガラスルツボの製造において製造中に正確な温度測定を可能とすること。
【解決手段】シリカ粉末をルツボ成形用のモールド内に供給してシリカ紛層を形成し、そのシリカ紛層をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボを製造する装置であって、
シリカ粉を供給してシリカ紛層を形成するためのモールドと、複数本の炭素電極および電力供給部とを具備するアーク放電部と、少なくとも前記モールド内の熔融部分の温度測定を行う温度測定部とを有し、
前記温度測定部が、波長４．８〜５．２μｍの放射エネルギーを検出して温度を測定する放射温度計とされてなる。 （もっと読む）

【課題】耐熱強度が高く長時間の引き上げに使用することができ、さらに低コストで製造可能なルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複合ルツボ１０は、石英ガラスルツボ本体１１と、ルツボの上端部に設けられた補強層１４を備え、補強層１４は、アルミナとシリカを主成分とするムライト質な材料で構成されている。石英ガラスルツボ本体１１は、ルツボの外表面側に形成された不透明石英ガラス層１２と、ルツボの内表面側に形成された透明石英ガラス層１３とを備えており、不透明石英ガラス層１２と補強層１４はルツボの外層を構成しており、透明石英ガラス層１３はルツボの内層を構成している。 （もっと読む）

【課題】ブラウンモールドの発生が抑制され、かつ、シリコン単結晶におけるエアポケットの発生も抑制し、シリコン単結晶引上げの歩留向上を図ることができるシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】直胴部及び底部を有するシリカガラスルツボにおいて、厚さ０．５〜２００μｍのＳｉＯ_x膜（０＜ｘ＜２）からなる最内層と、ＯＨ基濃度が３０ｐｐｍ未満、厚さ３〜５ｍｍの前記最内層に接する領域を有する透明シリカガラスからなる内層と、不透明シリカガラスからなる外層とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】ブラウンモールドの発生が抑制され、かつ、シリコン単結晶におけるエアポケットの発生も抑制し、シリコン単結晶引上げの歩留向上を図ることができるシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】直胴部及び底部を有するシリカガラスルツボにおいて、厚さ０．０５〜０．５ｍｍのホウケイ酸ガラスからなる最内層と、ＯＨ基濃度が３０ｐｐｍ未満、厚さ３〜５ｍｍの前記最内層に接する領域を有する透明シリカガラスからなる内層と、不透明シリカガラスからなる外層とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】シリコン溶融中のシリカガラスルツボ外層から内層へ拡散される汚染を効果的に抑制しつつ、高強度かつ高純度のシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】本発明に係るシリカガラスルツボは、ＯＨ基が０．１ｐｐｍ以上３０ｐｐｍ以下のシリカからなる内層と、前記内層の外側に形成されＯＨ基が２００ｐｐｍ以上５００ｐｐｍ以下のシリカからなる中間層と、前記中間層の外側に形成されシリカガラスまたは無機材料からなる外層と、から構成されている。より好ましくは、中間層が、酸素欠乏型欠陥の濃度が１×１０^１４atoms/cm^３以上１×１０^１８atoms/cm^３以下である。 （もっと読む）

【課題】ブラウンモールドの発生が抑制され、かつ、シリコン単結晶におけるエアポケットの発生も抑制し、シリコン単結晶引上げの歩留向上を図ることができるシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】直胴部及び底部を有するシリカガラスルツボにおいて、ポリシラザンコーティングによる厚さ０．０２〜０．２ｍｍのシリカガラス膜からなる最内層と、ＯＨ基濃度が３０ｐｐｍ未満、厚さ３〜５ｍｍの前記最内層に接する領域を有する透明シリカガラスからなる内層と、不透明シリカガラスからなる外層とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】ブラウンモールドの発生が抑制され、かつ、シリコン単結晶におけるエアポケットの発生も抑制し、シリコン単結晶引上げの歩留向上を図ることができるシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】直胴部及び底部を有するシリカガラスルツボにおいて、塩素又はフッ素濃度が５０〜１００００ｐｐｍ、厚さ０．０５〜０．２ｍｍの透明シリカガラスからなる最内層と、ＯＨ基濃度が３０ｐｐｍ未満、厚さ３〜５ｍｍの前記最内層に接する領域を有する透明シリカガラスからなる内層と、不透明シリカガラスからなる外層とを備えた構成とする。 （もっと読む）