【課題】マルチ引き上げにおいてシリカガラスルツボの座屈や沈み込みを抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボ１であって、前記ルツボ１の内表面に鉱化剤を備え、前記鉱化剤は、Ca、Sr、Ba、Ra、Ti、Zr、Cr、Mo、Fe、Co、Ni、Cu、及びAgのうちの少なくとも一つの原子を含み、前記内表面上での前記鉱化剤の濃度が１．０×１０^５〜１．０×１０^１７個／ｃｍ^２であるシリカガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス母材を加熱溶融して石英ガラス成形体の外径を容易に変更できる方法を提供する。
【解決手段】カーボン製の同一形状の板材１４を組み立てて得られる正多角柱の外筒１０を型材として使用して溶融成形を行う際に、溶融石英ガラス成形体１６ａの外径を変更するために、板材１０の枚数を変更することによって組み立てる正多角柱の辺の数を変更して内接円の直径を変更する。一辺６ｃｍの板材１４を使用した場合は、内接円の直径は、正六角柱では１０．４ｃｍ、正八角柱では１４．５ｃｍ、正十二角柱では２２．４ｃｍであり、容易に直径を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】天然石英ガラス原料粉からの熱の拡散を抑制し、この天然石英ガラス原料粉を溶け易くすることで消費電力量を削減したシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】ルツボ成形用型１１内に天然石英ガラス原料粉末を装填し、さらにその内表面に合成シリカ原料粉末を装填し、ルツボ形状の２層の石英充填層２０を形成し、石英充填層２０に対して、カーボン電極１９に通電して内側から加熱し、天然石英ガラス原料粉末及び合成シリカ原料粉末を溶融し、その後、冷却し、内面側に透明石英ガラス層が形成され、外表側には不透明石英ガラス層が形成されるシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボの製造方法において、天然石英ガラス原料粉末として、粒径が１０〜５００μｍかつＢＥＴ法により測定した比表面積が２０ｍ^２／ｇ以上である天然石英ガラス原料粉末が用いられる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボ表面のＳｉＯ_２の蒸発（ベーパライズ）を抑制することによって、Ａｌ、Ｃａ等の不純物の濃縮を抑制することができる石英ガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】石英ガラス原料粉末を堆積させ、ルツボ形状体を形成する工程と、アーク放電を開始する工程と、アーク放電がなされ、ルツボ形状体の内側の石英ガラス原料粉末が溶融し、透明石英ガラス層が形成される透明石英ガラス層形成工程と、前記透明石英ガラス層形成工程後、ルツボ形状体の外側に気泡を有する不透明石英ガラス層が形成される不透明石英ガラス層形成工程と、前記不透明石英ガラス層形成工程中、窒素ガスまたはヘリウムガスをルツボ形状体内側の所定の部位に吹付け、前記部位の高温化を抑制するガス吹付け工程と、ルツボ形状体の外側に不透明石英ガラス層が形成された後、前記アーク放電及び該ガスの吹付けを停止する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ルツボに起因するシリコン単結晶の歩留低下の要因であるポリシリコン融液の液面振動を防止し、さらに、ブラウンモールドの発生を抑制するために、高ＯＨ基濃度かつ高純度のルツボ内表面を低コストで形成することができるシリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】直胴部及び底部を有するシリカガラスルツボの製造において、前記ルツボの開口部から直胴部にかけての内表面に、粒径７０〜３００μｍのシリカ粉と酸水素火炎とにより透明シリカガラスを堆積させて内層を形成する。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー法によってシリコン単結晶を引上げる際に用いる石英ガラスルツボにおいて、ルツボ上部の径方向内側への倒れ込みの発生を抑制し、サセプタとの密着性を向上することのできる石英ガラスルツボを提供する。
【解決手段】チョクラルスキー法によってシリコン単結晶を引上げる際に用いる石英ガラスルツボ１であって、第１の曲率を有する底部１ｂと、前記底部の周囲に形成され、第２の曲率を有する底部コーナー１ｃと、前記底部コーナーから上方に延設され、上端が開口する直胴部１ａとを有し、前記底部コーナーの外周面には、周方向に沿って環状に溝部２ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ルツボ上部の径方向内側への倒れ込み、及び直胴部の座屈変形の発生を抑制し、サセプタとの密着性を向上することのできる石英ガラスルツボ及びルツボ構造を提供する。
【解決手段】円筒状に形成され、上端に開口部を有する直胴部３ａと、前記直胴部の下端に形成された底部３ｃと、前記直胴部の開口部の周囲において、径方向外側に環状に延設されると共に、サセプタ２の上端２ｂに係合可能なフランジ部３ｂとを有し、前記直胴部の高さ寸法は、前記直胴部と前記底部とが前記サセプタ内に収容され、前記フランジ部が前記サセプタの上端に係合した状態で、前記底部の下端と、前記サセプタの底部２ｃとの間に所定の間隙が形成される長さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】ルツボ上部の径方向内側への倒れ込み、及び直胴部の座屈変形の発生を抑制し、サセプタとの密着性を向上する。
【解決手段】シリコン単結晶を引上げる単結晶引上装置において、ルツボ形状のサセプタ２と、該サセプタに収容される石英ガラスルツボ３とからなるルツボ構造１であって、前記石英ガラスルツボは、円筒状に形成され、上端に開口部を有するルツボ直胴部２ｂと、前記ルツボ直胴部の下端側に形成されたルツボ底部２ｃと、前記ルツボ直胴部における外周面の少なくとも一部に、周方向に沿って螺旋状に形成されたリブ４とを有し、前記サセプタは、円筒状に形成され、上端に開口部を有するサセプタ直胴部３ｂと、前記サセプタ直胴部の下端側に形成されたサセプタ底部３ｃと、前記サセプタ直胴部の内周面に、周方向に沿って螺旋状に形成された前記リブに係合可能な螺合溝５とを有し、前記石英ガラスルツボは、前記サセプタに螺合され収容される。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットの引き上げの時間が極めて長い場合でも内倒れや座屈を効果的に抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボ１であって、前記ルツボ１の壁が、前記ルツボ１の内面から外面に向かって、気泡含有率が０．５％未満である透明シリカガラス層と、気泡含有率が１％以上５０％未満である気泡含有シリカガラス層と、気泡含有率が０．５％以上１％未満であり且つＯＨ基濃度が３５ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満である半透明シリカガラス層を備えるシリカガラスルツボ。 （もっと読む）

【課題】マルチ引き上げにおいてもシリコンインゴットの結晶性の悪化を抑制することができるシリカガラスルツボを提供する。
【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボ１であって、前記ルツボ１の壁が、前記ルツボ１の内面から外面に向かって合成シリカガラス層、天然シリカガラス層、不純物含有シリカガラス層及び天然シリカガラス層を有するシリカガラスルツボが提供される。前記不純物含有シリカガラス層は、前記ルツボ１の底部３３での厚さが前記ルツボ１の側部での厚さよりも薄いか、前記ルツボの底部には形成されない。また、前記不純物含有シリカガラス層は、前記ルツボ１の側部３１およびコーナー部３２において、前記ルツボ１の壁の厚さの３０％〜７０％の厚さである。 （もっと読む）

【課題】 シリコン融液及び多結晶シリコンインゴットへの不純物汚染を十分に防止することができる能力を有し、かつ、離型性に優れた、低コストの多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器、及びそのような角形シリカ容器を製造する方法を提供する。
【解決手段】 シリコン融液を収容した後凝固して多結晶シリコンインゴットを製造するための角形シリカ容器であって、該角形シリカ容器は、少なくとも多孔質シリカ基体からなるものであり、前記多孔質シリカ基体は、かさ密度が１．８０〜２．１０ｇ／ｃｍ^３であり、Ａｌ濃度が５〜５００ｗｔ．ｐｐｍであり、ＯＨ基濃度が５〜５００ｗｔ．ｐｐｍであり、前記多孔質シリカ基体の内表面部分の少なくとも一部に、前記多結晶シリコンインゴットの離型を促進する離型促進剤が含有されているものである多結晶シリコンインゴット製造用角形シリカ容器、及びこのような角形シリカ容器を製造する方法。 （もっと読む）

【課題】成形体の中央に形成される凹部の中心軸がずれないようにした石英ガラスの成形体を得る型材を提供する。
【解決手段】石英ガラス材１６を加熱溶融して筒形のガラス製品の概形を成形する型材１０において、ガイド部材２０の外径を外筒１４の内径よりも２ｍｍ〜１０ｍｍ小さくして、ガイド部材２０と外筒１４の間に間隙を形成すると共に、ガイド部材２０の厚さを３０ｍｍ以上とすることによって局所的に高温となって石英ガラス材１６の上面に傾斜が発生しても、ガイド部材２０が外筒１４の内壁面に引っ掛からないようにし、石英ガラス成形体１６の中央に形成される凹部の中心軸がずれないようにした。 （もっと読む）

【課題】多孔質ガラス体へのフッ素の導入を４００℃以下の低温で実施ができ、かつ安定して、最終的に得られる合成石英ガラスのフッ素濃度を１０００質量ｐｐｍ以上とすることができる合成石英ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）ガラス形成原料を火炎加水分解して得られる石英ガラス微粒子を、基材に堆積、成長させて、多孔質ガラス体を形成する工程と、（ｂ）多孔質ガラス体を、反応槽内にて、圧力Ｐ_ｂ１および温度４００℃以下のフッ素単体（Ｆ_２）含有雰囲気下に保持し、ついで、同反応槽内にて、前記圧力Ｐ_ｂ１よりも低い圧力Ｐ_ｂ２および温度４００℃以下の条件下に保持して、フッ素を含有した多孔質ガラス体を得る工程と、（ｃ）フッ素を含有した多孔質ガラス体を、ガラス化炉内にて、透明ガラス化温度まで加熱して、フッ素を含有した透明ガラス体を得る工程とを有する合成石英ガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリカを用いてガラス基板の鏡面研磨を行っても基板表面に微小な凸状の表面欠陥が発生するのを抑えたマスクブランクス用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリカを含むスラリーを供給しながら、研磨パッド７とガラス基板１とを相対的に移動させてガラス基板１の主表面を鏡面に研磨する研磨工程を有するマスクブランクス用ガラス基板１の製造方法である。ここで、前記ガラス基板１に供給する前記スラリーの温度を２５℃以下に制御する。 （もっと読む）

【課題】歪除去及び純化を効果的に行うことのできる合成シリカガラス体の熱処理方法を提供し、紫外線、特にＡｒＦエキシマレーザー光の照射に対して長期間、優れた光透過性を示す合成シリカガラス製光学部材の製造方法を提供する。
【解決手段】被処理物である合成シリカガラス体５０の歪除去及び純化を行う熱処理方法であって、前記被処理物の外表面の全てをＡｌ濃度１０ｐｐｍ〜３０ｐｐｍ、且つＮａ濃度５０ｐｐｂ未満のＳｉＯ_２質粉体２０によって接触状態で被覆し、９００℃〜１３００℃の温度範囲で３０分〜８００時間の熱処理を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】球状の不純物が少ない合成シリカガラス粉末を経済的に製造することができる方法、およびこの方法によって製造した球状の合成シリカガラス粉末を提供する。
【解決手段】合成したシリカ質のゲルをスプレー乾燥して球状化し、この球状乾燥粒子を焼成してガラス化することを特徴とする合成シリカガラス粉末の製造方法であり、好ましくは、球状乾燥粒子を１１２５℃以上に加熱焼成して、嵩比重１.０以上、比表面積０.１ｍ²/ｇ以下にする製造方法、および上記方法によって製造され、光透過性が焼成前の乾燥粒子より低いことを特徴とする合成シリカガラス粉末。 （もっと読む）

【課題】耐失透性に優れ、各種合成シリカ材料に好適で、特に、放電灯用のバルブ材として好適に用いられる耐失透性合成シリカガラス及びその製造方法を提供することを目的とする。また、ランプ寿命を長く保持できる放電灯用合成シリカガラス製バルブ、該バルブを用いた放電灯装置、及び放電灯用合成シリカガラス製バルブの製造方法を提供する。
【解決手段】２５０ｎｍでの酸素欠損型欠陥量が吸収係数で０．０１〜２／ｃｍ、Ｃｌ含有量が１０ｐｐｍを超え１００００ｐｐｍ以下、ＯＨ基含有量が１０ｐｐｍ以下、アルカリ金属の合計含有量が１０ｐｐｍ以下、水素分子濃度が１×１０^１６分子／ｃｍ^３以下、及び１１００℃での粘度が１０^１４〜１０^１６ポアズであるようにした。 （もっと読む）

【課題】露光装置にセットしたときの透光性基板の平坦度をシミュレーションにより高精度に算出してマスクブランク用基板を製造する。
【解決手段】シミュレーション工程Ｓ３において、主表面形状の情報とマスクステージの形状情報とに基づき、捩じれ変形を考慮した撓み微分方程式を用いて、透光性基板を露光装置にセットしたときの複数の測定点の高さ情報をシミュレーションして得て、このシミュレーションして得た高さ情報に基づき、平坦度算出工程Ｓ４にいて透光性基板を露光装置にセットしたときの当該透光性基板の平坦度を算出する。この平坦度が仕様に適合するか否かを選定工程Ｓ４で判定して、平坦度が仕様に適合する透光性基板をマスクブランク用基板として用いる。 （もっと読む）

【課題】脈理の発生を抑えることができる、ＥＵＶＬ用光学部材に好適なＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂ガラスの製造方法の提供。
【解決手段】平均粒子径０．５ｍｍ以下、かつ、Ｄ９０＝１．２ｍｍ以下に分級されたＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂ガラス微粒子を加熱成型用の型に充填した後、１ＭＰａ以上の荷重をかけながら、大気雰囲気下、１１００℃〜１３００℃で熱処理を行い多孔質ＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂ガラス成型体を得る工程、および、真空雰囲気下、または、ヘリウムガス雰囲気下で、１３００℃以上で熱処理することにより、該多孔質ＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂ガラス成型体を緻密化する工程を含む、ＴｉＯ₂−ＳｉＯ₂ガラス体の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、溶融鋳型内に粒子層を形成させ、該粒子層を石英ガラスるつぼの形成下に焼結又は溶融させることによる、単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの公知の製造法をベースとしている。高純度である点で傑出しており、かつ、気泡不含となるように再現性よく調節することを可能にするばかりでなく、所定の均一な細孔性をも可能にする、石英ガラスるつぼのための石英ガラスの廉価な製造を提供するために、本発明によれば、該粒子層の少なくとも一部をシリカガラス顆粒から作製し、その製造が以下の方法工程を含むことが提案される：実質的に均一な回転楕円状のモルホロジーを有する圧縮成形体の形成下に、シリカ粉末をロールブリケッティング法を用いて機械的に圧密化する工程、及び該圧縮成形体又は該圧縮成形体の破片を熱的に圧密化し、シリカガラス顆粒にする工程。
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