【課題】ガラス板の冷却速度を調整可能なガラス板製造方法、ガラス板製造装置またはガラス板冷却方法を提供する。
【解決手段】成形体１０からオーバーフローした溶融ガラス９０を、成形体１０の両側面に沿って流下させた後、成形体１０の下端部近傍で合流させてガラス板９１を製造する、ガラス板９１の冷却速度を調整可能なガラス板成形装置１０１であって、複数の冷却調整板４０ａ〜４０ｆと、温度制御ユニットとを備える。複数の冷却調整板４０ａ〜４０ｆは、溶融ガラス９０の合流ポイントより下方で、溶融ガラス９０の流れ方向に沿って並列して配置され、ガラス板９１の冷却速度を調整する。温度制御ユニットは、各冷却調整板４０ａ〜４０ｆに対応して設けられ、各冷却調整板４０ａ〜４０ｆを冷却する。 （もっと読む）

【課題】成形体において溶融ガラスを分流させて流下させた後、合流ポイントにおいて合流させてガラス板を成形し、鉛直方向下方に流下させ、歪みの少ない板ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス板Ｇの進行方向に対して、断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・により複数個に分割した徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・を設ける、ガラス板Ｇの進行方向に対して順次温度が下がるように当該徐冷空間４２ｂ，４２ｃ，・・・毎に温度を制御するヒーターを設ける。断熱板部材４０ａ，４０ｂ，・・・は、ガラス板Ｇに対向するように配置され、断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・はその対向面が、ガラス板Ｇと断熱部材４０ａ，４０ｂ，・・・との間隔が実質的に均一になるように、ガラス板Ｇの板厚変動に対応した形状になっている。 （もっと読む）

【課題】安定した電気的特性と高い信頼性を有する半導体装置を実現する成膜装置を提供することを課題の一とする。また、マザーガラスのような大きな基板を用いて、信頼性の高い半導体装置の大量生産を行うことの出来る成膜装置を提供することを課題の一とする。また、上記成膜装置を用いて安定した電気的特性と高い信頼性を有する半導体装置の作製方法を提供することを課題の一とする。
【解決手段】基板の搬送機構と、搬送機構が送る基板の進行方向に沿って、酸化物半導体を成膜する第１の成膜室と、第１の熱処理を行う第１の加熱室とを有し、基板は、該基板の成膜面と鉛直方向との成す角が１°以上３０°以内に収まるよう保持され、大気に曝すことなく、基板に第１の膜を成膜した後に第１の熱処理を施すことのできる成膜装置を用いて、酸化物半導体層を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アニール処理による歪みの除去や屈折率の調整を効果的に行うことができ、かつ、白ヤケの発生を抑制することができる光学素子の製造方法及びアニール処理装置を提供する。
【解決手段】炉内を加熱することができる加熱手段２を有する熱処理炉３と、該熱処理炉３内に、炉内の雰囲気ガスとは別に乾燥ガスを保持可能な空間を設け、かつ、該空間内にトレー５に載置したプレス成形して得られた光学素子を収容することができる炉内容器４と、空間内に大気圧露点が−５℃以下の乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給手段６と、を有するアニール処理装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス成形時に、ガラスの温度を適温に保つことができる技術の提供を課題とする。
【解決手段】第１ヒータ２７が内蔵されガラス１１の縁部５３を支える成形リング２４と、第２ヒータ２８が内蔵されガラス１１を上から押して成形する成形型２９と、成形リング２４の開口１９内にガラス１１の中央部５５を下から温める第３ヒータ４０とからなることを特徴とする。
【効果】これにより、ガラス１１を全面的に温めることができる。ガラス成形時に、ガラス１１の温度低下を防ぎ、ガラス１１の温度を適温に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】 シャッタの開閉時に炉体の内部に進入した外気がワークに届くことを簡易な構成にて防止することが可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】 熱処理装置１０は、循環ファン３２、ヒータ３４、シャッタ１４、流路形成部材２０、および案内板３８を備える。シャッタ１４は、複数のシャッタ片１４１〜１４６から構成されており、炉体に設けられた炉口の一部を占める領域を選択的に開閉する。流路形成部材２０は、シャッタ片１４２〜１４５にそれぞれ取り付けられる。流路形成部材２０は、シャッタ片１４２〜１４５の炉体内部に対向する裏面に沿って水平方向に流れ、かつ、上方に開放した循環空気の経路を形成するように構成される。案内板３８は、循環ファン３２で発生した循環空気を流路形成部材２０の一端部に案内する。 （もっと読む）

【課題】板状部材の出し入れを安定して行うとともに、板状部材の出し入れの際も温度制御に対する外乱の少ない板状部材の温度制御装置を提供する。
【解決手段】大型ガラス基板２４を支持すると共に、当該大型ガラス基板２４の上下面に沿う流体流を形成して温度を制御する上下に分離可能な流体通路３Ａ〜３Ｃと、前記大型ガラス基板２４の搬入出時に前記流体通路３Ａ〜３Ｃを上下に分離して搬入出路を形成する上部側開閉機構３１ａ，３１ｂ及び下部側開閉機構３２ａ，３２ｂとを有し、前記上部側開閉機構３１ａ，３１ｂ及び下部側開閉機構３２ａ，３２ｂで前記流体通路を上下に分離して搬入出路を形成した状態でも前記流体流の形成を継続するようにした。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化を抑制しつつ、板状部材の冷却を効果的に行えるようにする。
【解決手段】吹き出しヘッダ３４を複数個並列に設置し、その間に排気ヘッダ３６が構成されるように、吹き出しヘッダ３４と排気ヘッダ３６とが長手方向に対して側面を表裏に共有させながら、吹き出しヘッダ３４は、ヘッダベース３２側に開口するとともに、ガラス基板２０側に吹き出し穴３５を持ち、排気ヘッダ３６はヘッダベース３２側に閉じるとともに、ガラス基板２０側に開口し、ヘッダベース３２は、吹き出しヘッダ３４および排気ヘッダ３６を支持しつつ、吹き出しヘッダ３４側に開口するように構成する。 （もっと読む）

【課題】加熱炉内に搬入されたガラス板下面の受熱量が上面よりも大きくなることに起因するガラス板の反りを防止又は低減する。また、ガラス板のローラの軸方向にローラからの受熱量に分布ができることに起因するガラス板の挙動が不安定になることを防止又は低減する。
【解決手段】加熱炉１０内に設置された複数のローラ２０によりガラス板Ｇを搬送する搬送工程と、該加熱炉１０内に設けられた加熱手段４０によって搬送中のガラス板Ｇを加熱する加熱工程とを備えるガラス板Ｇの加熱搬送方法において、前記ローラ２０の軸方向の少なくともガラス板Ｇが接する領域に前記加熱炉１０内の雰囲気温度よりも低い温度の加熱エアを噴射することにより、該ローラ２０を所望の温度に制御するローラ温度制御工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

ダウンドロー法ガラス形成プロセスで形成される帯状ガラスの幅にわたって測定される温度及び／又は位置ずれを測定する方法及び装置である。帯状ガラスに接触しない測定アセンブリによって、温度及び位置ずれの測定が、高い空間分解能で同時に行われ得るのが有利である。温度測定は、帯状ガラスの略全幅にわたって行われ得る。測定アセンブリによって生成されたデータは、帯状ガラスの形成条件を制御するために自動フィードバックループで用いられ得る。
（もっと読む）

【課題】 セッターを用いずに板状被加熱物を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪みが発生するのを抑えることができるローラハース式連続焼成炉を提供する。
【解決手段】 少なくとも板状被加熱物Ａが熱歪みを生じる温度以上になる領域のハースローラー２のピッチ間隔ｄを、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２上に載置しても歪みが生じないように狭くした。 （もっと読む）

【課題】冷却中における基板の反りを防止できる熱処理炉及びこの熱処理炉を使用する平面表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理炉２１は、セッター３２上に載置された基板３１を、セッターごとその内部を通過させることにより、基板の熱処理を行う連続式の熱処理炉である。熱処理炉において、装入された基板を加熱する加熱部と、加熱部から排出されたセッター及び基板を冷却する冷却部２３と、この冷却部から排出されたセッター及び基板を更に冷却する冷却部２４とをこの順に設ける。そして、冷却部において、セッター及び基板の搬送経路２５の下方のみに冷却手段２６を設けて基板を徐冷する。また、冷却部において、搬送経路の上方及び下方の双方に冷却手段２７を設けて基板を急冷する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス製光学素子の成形歪みを、短時間に、一個ずつ、光学的に影響無いレベルに低減する。
【解決手段】 光学素子を徐冷して、成形工程などの影響による複屈折や屈折率分布を取り除いて所望の光学性能を得る工程において、光学素子１を、光学素子の体積の５００％以下の空間を有する容器３内に配置して徐冷を行う。 （もっと読む）

【課題】従来検査形状検査のため用いられていた検査型を不要とし、また従来よりも検査の手間を省き、生産性を向上させる。
【解決手段】風例強化処理を行う前に治具２１上のガラス板１００の位置情報を取得し、この位置情報に基づいて風冷強化後のガラス板の品質を判定する。例えば、治具に載置されたガラス板を加熱炉内で所望の形状に曲げ成形する工程と、治具に載置されたガラス板の画像を撮像する工程と、この撮像された画像に基づいて前記ガラス板の治具に対する位置情報を取得する工程と、この位置情報に基づいてガラス板の品質を判定する工程と、この品質の判定されたガラス板に冷却媒体を吹き付けることで強化処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 消費電力を削減し、装置の横幅寸法を縮小し、装置コストの削減を図ることのできる焼成装置を提供する。
【解決手段】 焼成装置は、焼成炉11と、焼成炉11内両側面にそれぞれ備えられているヒータ12と、互いに間隔をおいて炉長さ方向にのびた２つの搬送経路を有しかつ各搬送経路上で基板Ｐを搬送方向と平行に立てた状態で搬送する搬送装置13と、両搬送経路の間をのびている給気管31および排気管32とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、強化のためにガラスパネル（３）を加熱するための方法に関する。その方法は、水平なガラスパネル（３）が、炉（４）内において、上方及び下方からの対流噴射並びに上方及び下方からの放射加熱によって加熱される方法であって、その方法では、ガラスパネル（３）に関する情報及び加熱を制御及び／または調節するために用いられる情報が読み取られ、搬送方向及びその方向を横切る方向にマトリックス式に放射加熱を分布させることによって、上方からの放射加熱が制御及び／または調節される。少なくとも上方からの対流噴射は、炉（４）の各セクションにおいて搬送方向（Ｋ）及びその方向を横切る方向おいてマトリックス式に対流噴射を分布させることによって制御及び／または調節され、搬送方向に連続する対流噴射素子（７ａ）の相対的な噴射効果が、搬送方向に対流噴射を分布させるために調節される。本発明はまた、上記の方法を利用した装置に関する。
（もっと読む）

ガラス板の製造の際に有害な粉塵の量を減少させる耐熱性ロールカバーが記載される。このロールカバーは、高剛性化圧縮繊維セグメントにより機械的に支持される低粉塵性ミルボードセグメントを含めて、複数のセグメントを含む。ミルボードセグメントはガラス板と接触するのに適合している。ミルボードは、発生するいずれの粉塵もガラス板に対する親和力がほとんどなく、あるいは対流する流れによって容易に流動化しないように選ばれる。高剛性化圧縮繊維は、粉塵をほとんど放出しない融合表面を有する。結果として得られるロールカバーは、機械的に優れたロールカバーを提供する一方で粉塵の発生を実質的になくす。 （もっと読む）